JP2015227900A - ミラー駆動装置 - Google Patents
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- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 25
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910021364 Al-Si alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018594 Si-Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910008465 Si—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】ミラー駆動装置1は、固定フレーム5と、トーションバー10a,10bを介して、固定フレーム5に対して揺動可能に支持された可動部7と、可動部7の表面7a上に配置されたミラー9と、可動部7の周囲に磁場を形成する永久磁石3とを備え、可動部7は、基材14と、ミラー9の下方で且つ主面14aに対して直交する方向から見てミラー9の内側に配置され、溝部20内に配置された第1の金属材料によって構成された駆動コイル12と、溝部20の開口を覆うように主面14a上まで延びると共に、第1の金属材料の拡散を抑制する第2の金属材料で構成された被覆層16と、主面14a上及び被覆層16上に配置された絶縁層18とを有する。
【選択図】図3
Description
Claims (7)
- 支持部と、
連結部材を介して、前記支持部に対して揺動可能に支持された可動部と、
前記可動部の表面上に配置されたミラーと、
前記可動部の周囲に磁場を形成する磁石と、を備え、
前記可動部は、
主面と、前記主面側に位置する溝部とを含む基材と、
前記ミラーの下方で且つ前記主面に対して直交する方向から見て前記ミラーの内側に少なくとも一部が配置され、前記溝部内に配置された第1の金属材料によって構成された駆動コイルと、
前記溝部の開口を覆うように前記主面上まで延びると共に、前記第1の金属材料の拡散を抑制する第2の金属材料で構成された被覆層と、
前記主面上及び前記被覆層上に配置された第1の絶縁層と、を有することを特徴とするミラー駆動装置。 - 前記第1の金属材料はCu又はAuであることを特徴とする請求項1に記載のミラー駆動装置。
- 前記第2の金属材料はAl又はAlを含む合金であることを特徴とする請求項1又は2に記載のミラー駆動装置。
- 前記基材は、前記主面と前記溝部の内壁面とに沿って配置された第2の絶縁層を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のミラー駆動装置。
- 前記基材はシリコンで構成されており、
前記第2の絶縁層はシリコンが熱酸化された酸化シリコンで構成されていることを特徴とする請求項4に記載のミラー駆動装置。 - シード層が、前記第2の絶縁層と前記第1の金属材料との間に配置されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のミラー駆動装置。
- 前記シード層はTiNにより構成されていることを特徴とする請求項6に記載のミラー駆動装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013160522A JP6175305B2 (ja) | 2013-08-01 | 2013-08-01 | ミラー駆動装置 |
PCT/JP2013/083359 WO2014109170A1 (ja) | 2013-01-11 | 2013-12-12 | ミラー駆動装置 |
US14/760,637 US10103613B2 (en) | 2013-01-11 | 2013-12-12 | Mirror driving device |
CN201380074565.8A CN105934698B (zh) | 2013-01-11 | 2013-12-12 | 镜驱动装置 |
EP13871072.8A EP2944998B1 (en) | 2013-01-11 | 2013-12-12 | Mirror driving device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013160522A JP6175305B2 (ja) | 2013-08-01 | 2013-08-01 | ミラー駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015227900A true JP2015227900A (ja) | 2015-12-17 |
JP6175305B2 JP6175305B2 (ja) | 2017-08-02 |
Family
ID=54885417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013160522A Expired - Fee Related JP6175305B2 (ja) | 2013-01-11 | 2013-08-01 | ミラー駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6175305B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018004667A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | 株式会社リコー | 光偏向装置、光走査装置、画像投影装置及び故障検知方法 |
JP2019020698A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
WO2019031437A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール、及び、光モジュールの製造方法 |
EP3407111A4 (en) * | 2016-01-21 | 2019-10-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | actuator |
US12021431B2 (en) | 2017-12-01 | 2024-06-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001155977A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Matsushita Electric Works Ltd | シリコンウェハの接合方法 |
US20020171901A1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-11-21 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multi-axis magnetically actuated device |
US6508561B1 (en) * | 2001-10-17 | 2003-01-21 | Analog Devices, Inc. | Optical mirror coatings for high-temperature diffusion barriers and mirror shaping |
JP2008122955A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-29 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 電磁気マイクロアクチュエータ |
JP2008181127A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Samsung Electro Mech Co Ltd | Memsデバイス、およびその製造方法 |
JP2010169948A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 光走査装置用揺動ミラー、揺動状態検出装置、及び、光走査装置 |
JP2010226130A (ja) * | 2010-05-31 | 2010-10-07 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US20120319527A1 (en) * | 2011-06-20 | 2012-12-20 | International Business Machines Corporation | Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures |
-
2013
- 2013-08-01 JP JP2013160522A patent/JP6175305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001155977A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Matsushita Electric Works Ltd | シリコンウェハの接合方法 |
US20020171901A1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-11-21 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multi-axis magnetically actuated device |
US6508561B1 (en) * | 2001-10-17 | 2003-01-21 | Analog Devices, Inc. | Optical mirror coatings for high-temperature diffusion barriers and mirror shaping |
JP2008122955A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-29 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 電磁気マイクロアクチュエータ |
JP2008181127A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Samsung Electro Mech Co Ltd | Memsデバイス、およびその製造方法 |
JP2010169948A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 光走査装置用揺動ミラー、揺動状態検出装置、及び、光走査装置 |
JP2010226130A (ja) * | 2010-05-31 | 2010-10-07 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US20120319527A1 (en) * | 2011-06-20 | 2012-12-20 | International Business Machines Corporation | Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3407111A4 (en) * | 2016-01-21 | 2019-10-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | actuator |
US10759655B2 (en) | 2016-01-21 | 2020-09-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
JP2018004667A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | 株式会社リコー | 光偏向装置、光走査装置、画像投影装置及び故障検知方法 |
JP7171850B2 (ja) | 2017-07-21 | 2022-11-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
JP2019020698A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
US11675185B2 (en) | 2017-07-21 | 2023-06-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
JP2021181155A (ja) * | 2017-07-21 | 2021-11-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
US11199695B2 (en) | 2017-07-21 | 2021-12-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
JP2019035820A (ja) * | 2017-08-10 | 2019-03-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール、及び、光モジュールの製造方法 |
US11385455B2 (en) | 2017-08-10 | 2022-07-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and method for manufacturing optical module |
JP7015653B2 (ja) | 2017-08-10 | 2022-02-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール、及び、光モジュールの製造方法 |
WO2019031437A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール、及び、光モジュールの製造方法 |
US11789255B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-10-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and method for manufacturing optical module |
US12021431B2 (en) | 2017-12-01 | 2024-06-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
JP7506780B2 (ja) | 2017-12-01 | 2024-06-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6175305B2 (ja) | 2017-08-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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