JP7483561B2 - EXPANSION METHOD AND EXPANSION DEVICE - Google Patents

Description

本発明は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法及びエキスパンド装置に関する。 The present invention relates to an expansion method and an expansion device for expanding a sheet to which a workpiece is attached.

ワークへのレーザービーム照射により改質層を形成した後、シートをエキスパンドすることでワークを分割する方法が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に示されたエキスパンド装置は、シートの４辺を挟持してエキスパンドすることで、例えば縦横でサイズの異なるチップでも縦横でエキスパンド量を変えられるため、十分な拡張が可能となる。特許文献１に示されたエキスパンド装置は、更にエキスパンドした後にフレームで固定することでシートの弛みが生じることを防止できる。 A method has been put into practical use in which a modified layer is formed by irradiating a workpiece with a laser beam, and then the workpiece is divided by expanding the sheet (see, for example, Patent Document 1). The expansion device shown in Patent Document 1 clamps and expands the four sides of the sheet, allowing the amount of expansion to be changed vertically and horizontally, even for chips with different sizes vertically and horizontally, enabling sufficient expansion. The expansion device shown in Patent Document 1 can also prevent the sheet from sagging by fixing it with a frame after expanding.

特開２００６－２２９０２１号公報JP 2006-229021 A

しかし、特許文献１に示されたエキスパンド装置は、第１方向にエキスパンドした状態で第２方向をエキスパンドしようとしても、シートが第１方向に張っているため、第２方向に十分エキスパンドできず、チップが分割されないという問題がある。 However, the expansion device shown in Patent Document 1 has a problem in that even if an attempt is made to expand in a second direction after the sheet has been expanded in a first direction, the sheet is stretched in the first direction, so the sheet cannot be sufficiently expanded in the second direction, and the chips do not separate.

特に分割対象がウェーハの裏面に貼着されたＤＡＦや、金属等からなる膜が成膜されたウェーハの場合、未分割領域が発生しやすく問題となっていた。 In particular, when the object to be divided is a DAF attached to the backside of the wafer, or a wafer on which a film made of metal or the like is formed, undivided areas tend to occur, which is problematic.

本発明の目的は、未分割領域の発生を抑制することができるエキスパンド方法及びエキスパンド装置を提供することである。 The object of the present invention is to provide an expansion method and an expansion device that can suppress the occurrence of undivided regions.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエキスパンド方法は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第１挟持部材と第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドする第１エキスパンドステップと、該第１エキスパンドステップを実施した後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させ該シートの張力を緩和させる第１戻しステップと、該第１戻しステップを実施した後、第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第３挟持部材と第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドする第２エキスパンドステップと、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the expanding method of the present invention is an expanding method for expanding a sheet to which a workpiece is attached, and is characterized by comprising a first expanding step in which a first clamping member and a second clamping member, which face each other while sandwiching the workpiece in a first direction and each clamp the sheet, are moved in a direction away from each other to expand the sheet in the first direction, a first returning step in which, after the first expanding step, the first clamping member and the second clamping member are moved in a direction toward each other to relieve the tension in the sheet, and a second expanding step in which, after the first returning step, a third clamping member and a fourth clamping member, which face each other while sandwiching the workpiece in a second direction and each clamp the sheet, are moved in a direction away from each other to expand the sheet in the second direction.

本発明のエキスパンド装置は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第１挟持部材と、第２挟持部材と、該第１挟持部材と該第２挟持部材を該第１方向で近接離反可能に移動させる第１移動ユニットと、第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第３挟持部材と、第４挟持部材と、該第３挟持部材と該第４挟持部材を該第２方向で近接離反可能に移動させる第２移動ユニットと、少なくとも該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドした後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させた状態で、該第３挟持部材と該第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドするよう該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御することを特徴とする。 The expanding device of the present invention is an expanding device that expands a sheet to which a workpiece is attached, and includes a first clamping member and a second clamping member that face each other while sandwiching the workpiece in a first direction and each clamp the sheet, a first moving unit that moves the first clamping member and the second clamping member so that they can move toward and away from each other in the first direction, a third clamping member and a fourth clamping member that face each other while sandwiching the workpiece in a second direction and each clamp the sheet, and a second moving unit that moves the third clamping member and the fourth clamping member so that they can move toward and away from each other in the second direction, and a controller that controls at least the first moving unit and the second moving unit, the controller controls the first moving unit and the second moving unit to expand the sheet in a first direction by moving the first clamping member and the second clamping member in a direction away from each other, and then, in a state in which the first clamping member and the second clamping member are moved in a direction toward each other, to expand the sheet in a second direction by moving the third clamping member and the fourth clamping member in a direction away from each other.

本発明は、未分割領域の発生を抑制することができるという効果を奏する。 The present invention has the effect of suppressing the occurrence of undivided regions.

図１は、実施形態１に係るエキスパンド装置の構成例を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of an expanding device according to the first embodiment. 図２は、図１に示されたエキスパンド装置の加工対象のワークを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a workpiece to be processed by the expanding device shown in FIG. 図３は、図２に示されたワークとエキスパンドシート等を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the workpiece and the expand sheet etc. shown in FIG. 図４は、図１に示されたエキスパンド装置の挟持ユニットの上方挟持部材を下方からみた斜視図である。4 is a perspective view of an upper clamping member of a clamping unit of the expanding device shown in FIG. 1, as viewed from below. 図５は、実施形態１に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing the flow of the expanding method according to the first embodiment. 図６は、図５に示されたエキスパンド方法の挟持ステップを模式的に示す平面図である。FIG. 6 is a plan view that illustrates a clamping step of the expanding method illustrated in FIG. 図７は、図５に示されたエキスパンド方法の第１エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。FIG. 7 is a plan view that illustrates a first expanding step of the expanding method illustrated in FIG. 図８は、図５に示されたエキスパンド方法の第１戻しステップを模式的に示す平面図である。FIG. 8 is a plan view that illustrates a first returning step of the expanding method illustrated in FIG. 図９は、図５に示されたエキスパンド方法の第２エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。FIG. 9 is a plan view that illustrates a second expanding step of the expanding method illustrated in FIG. 図１０は、図５に示されたエキスパンド方法の第２戻しステップを模式的に示す平面図である。FIG. 10 is a plan view that illustrates a second returning step of the expanding method illustrated in FIG. 図１１は、図５に示されたエキスパンド方法の間隔調整ステップを模式的に示す平面図である。FIG. 11 is a plan view that illustrates a spacing adjustment step of the expanding method illustrated in FIG.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 The following describes in detail the form (embodiment) for carrying out the present invention with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiment. The components described below include those that a person skilled in the art can easily imagine and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or modifications of the configuration can be made without departing from the spirit of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るエキスパンド装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るエキスパンド装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示されたエキスパンド装置の加工対象のワークを示す斜視図である。図３は、図２に示されたワークとエキスパンドシート等を示す斜視図である。図４は、図１に示されたエキスパンド装置の挟持ユニットの上方挟持部材を下方からみた斜視図である。 [Embodiment 1]
An expanding device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Fig. 1 is a perspective view showing a schematic configuration example of the expanding device according to the first embodiment. Fig. 2 is a perspective view showing a workpiece to be processed by the expanding device shown in Fig. 1. Fig. 3 is a perspective view showing the workpiece and the expanding sheet etc. shown in Fig. 2. Fig. 4 is a perspective view showing an upper clamping member of a clamping unit of the expanding device shown in Fig. 1 from below.

実施形態１に係る図１に示すエキスパンド装置１は、図２に示すワーク２００が貼着されたシートであるエキスパンドシート２０１（図３に示す）をエキスパンド（拡張ともいう）する装置である。実施形態１に係るエキスパンド装置１の加工対象であるワーク２００は、図２に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板２０３とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハ２２０と、ウェーハ２２０に貼着されたＤＡＦ（Die Attach Film）２２１とを備える。 The expanding device 1 shown in FIG. 1 according to the first embodiment is a device that expands (also called expands) an expanding sheet 201 (shown in FIG. 3) to which a workpiece 200 shown in FIG. 2 is attached. The workpiece 200 to be processed by the expanding device 1 according to the first embodiment includes a wafer 220 such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer, with silicon, sapphire, gallium arsenide, SiC (silicon carbide) or the like as a substrate 203, and a DAF (Die Attach Film) 221 attached to the wafer 220, as shown in FIG. 2.

ウェーハ２２０は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４の互いに交差（実施形態１では、直交）する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成されている。また、ウェーハ２２０は、基板２０３の結晶包囲を示す異形状部であるノッチ２０８が形成されている。実施形態１では、ウェーハ２２０は、分割予定ライン２０５に沿って基板２０３を分割する分割線２０６が形成されて、個々のチップ２２２に分割されている。 As shown in FIG. 2, the wafer 220 has devices 202 formed in each region defined by a plurality of planned division lines 205 that intersect (orthogonal in embodiment 1) on the surface 204 of the substrate 203. The wafer 220 also has a notch 208 formed therein, which is an irregularly shaped portion that indicates the crystalline surrounding of the substrate 203. In embodiment 1, the wafer 220 is divided into individual chips 222 by forming division lines 206 that divide the substrate 203 along the planned division lines 205.

チップ２２２は、基板２０３の一部分と、基板２０３の表面２０４に形成されたデバイス２０２とを備える。なお、実施形態１では、チップ２２２は、平面形状が０．１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下×０．１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下程度の矩形状である。即ち、実施形態１では、チップ２２２は、小チップである。ウェーハ２２０は、分割予定ライン２０５に切削ブレードにより切削される切削加工、レーザービームが照射されるレーザー加工又はプラズマエッチンによるプラズマダイシングが施されて、分割予定ライン２０５に基板２０３を分割する分割線２０６が形成されて、個々のチップ２２２に分割されている。 The chip 222 comprises a portion of the substrate 203 and a device 202 formed on the surface 204 of the substrate 203. In the first embodiment, the chip 222 is rectangular in plan view, measuring 0.1 mm or more and 5 mm or less by 0.1 mm or more and 5 mm or less. That is, in the first embodiment, the chip 222 is a small chip. The wafer 220 is subjected to cutting along the intended dividing lines 205 by a cutting blade, laser processing by irradiating a laser beam, or plasma dicing by plasma etching, so that dividing lines 206 that divide the substrate 203 are formed along the intended dividing lines 205, and the wafer is divided into individual chips 222.

ＤＡＦ２２１は、実施形態１において、ウェーハ２２０と同径の円板状に形成され、個々のチップ２２２の分割されたウェーハ２２０の表面２０４の裏側の裏面２０７に貼着されている。実施形態１では、ＤＡＦ２２１は、個々のチップ２２２毎に分割されていない。なお、ＤＡＦ２２１は、チップ２２２を他のチップ又は基板等に固定するためのダイボンディング用の接着フィルムである。 In the first embodiment, the DAF 221 is formed in a disk shape with the same diameter as the wafer 220, and is attached to the back surface 207 behind the front surface 204 of the wafer 220 divided into individual chips 222. In the first embodiment, the DAF 221 is not divided into individual chips 222. The DAF 221 is an adhesive film for die bonding to fix the chip 222 to another chip or a substrate, etc.

また、実施形態１において、ワーク２００は、図３に示すように、基板２０３の裏面２０７側のＤＡＦ２２１にエキスパンドシート２０１が貼着され、エキスパンド装置１によりＤＡＦ２２１が個々のチップ２２２毎に分割される。 In the first embodiment, as shown in FIG. 3, the workpiece 200 has an expand sheet 201 attached to the DAF 221 on the back surface 207 side of the substrate 203, and the DAF 221 is divided into individual chips 222 by the expander 1.

エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有し、例えば、加熱された合成樹脂が第１方向２１１に沿って伸長されながら、第１方向２１１に対して直交する第２方向２１２に延伸されて成形される。エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有する合成樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ伸縮性と粘着性とを有する合成樹脂により構成された粘着層とを備える。実施形態１では、第１方向２１１は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第２方向２１２は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。なお、粘着層の表面を、以下、粘着面２０１－１と記し、基材層の表面を、以下、基材面２０１－２と記す。 The expandable sheet 201 is elastic, and is formed, for example, by stretching heated synthetic resin along a first direction 211 while stretching in a second direction 212 perpendicular to the first direction 211. The expandable sheet 201 includes a base layer made of elastic synthetic resin, and an adhesive layer laminated on the base layer and made of elastic synthetic resin with adhesive properties. In the first embodiment, the first direction 211 is the so-called flow direction (MD: Machine Direction), and the second direction 212 is the so-called vertical direction (TD: Transverse Direction). The surface of the adhesive layer is hereinafter referred to as adhesive surface 201-1, and the surface of the base layer is hereinafter referred to as base surface 201-2.

実施形態１に係るエキスパンド装置１は、ワーク２００に貼着したエキスパンドシート２０１を第１方向２１１と、第２方向２１２とにエキスパンドして、ワーク２００のＤＡＦ２２１を個々のチップ２２２毎に分割するとともに、互いに隣接するチップ２２２間に間隔を形成する装置である。また、エキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１をエキスパンドして、互いに隣接するチップ２２２間に間隔を形成した後、エキスパンドシート２０１に内径がワーク２００よりも大径な環状フレーム２０９を貼着して、環状フレーム２０９の開口２１０内にワーク２００を支持する装置でもある。 The expanding device 1 according to the first embodiment is a device that expands an expanding sheet 201 attached to a workpiece 200 in a first direction 211 and a second direction 212, divides the DAF 221 of the workpiece 200 into individual chips 222, and forms gaps between adjacent chips 222. The expanding device 1 is also a device that expands the expanding sheet 201 to form gaps between adjacent chips 222, and then attaches an annular frame 209, the inner diameter of which is larger than that of the workpiece 200, to the expanding sheet 201, and supports the workpiece 200 within an opening 210 of the annular frame 209.

また、実施形態１において、エキスパンドシート２０１は、第１方向２１１に伸長されながら整形されるため、第１方向２１１にテンションが付与されており、第１方向２１１の方が、第２方向２１２よりもエキスパンドされにくい。即ち、実施形態１では、エキスパンドシート２０１は、第２方向２１２の方が第１方向２１１よりもエキスパンドされ易い。なお、本発明では、エキスパンドシート２０１のエキスパンドされにくい方向及びエキスパンドされ易い方向は、実施形態１に記載された方向に限定されない。 In addition, in embodiment 1, the expandable sheet 201 is shaped while being stretched in the first direction 211, so tension is applied in the first direction 211, and the expandable sheet 201 is less likely to expand in the first direction 211 than in the second direction 212. That is, in embodiment 1, the expandable sheet 201 is more likely to expand in the second direction 212 than in the first direction 211. Note that in the present invention, the directions in which the expandable sheet 201 is less likely to expand and the directions in which it is more likely to expand are not limited to those described in embodiment 1.

エキスパンド装置１は、図１に示すように、平板状の固定基台２と、固定基台２の中央に設けられた保持テーブル１０と、図示しないワーク搬送ユニットと、挟持機構３０と、移動機構４０と、図示しないフレーム搬送ユニットと、シート切断ユニット６０と、撮像ユニット７０と、コントローラである制御ユニット１００とを備える。 As shown in FIG. 1, the expanding device 1 includes a flat fixed base 2, a holding table 10 provided in the center of the fixed base 2, a work transport unit (not shown), a clamping mechanism 30, a moving mechanism 40, a frame transport unit (not shown), a sheet cutting unit 60, an imaging unit 70, and a control unit 100 that serves as a controller.

保持テーブル１０は、円板状に形成され、エキスパンドシート２０１が保持面１１に載置される。保持テーブル１０は、移動機構によって鉛直方向に移動自在に設けられている。保持面１１は、水平方向に沿って平坦に形成され、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００が載置可能な直径を有している。保持面１１は、エキスパンドシート２０１を介して、ワーク２００が載置される。 The holding table 10 is formed in a disk shape, and the expandable sheet 201 is placed on the holding surface 11. The holding table 10 is provided so as to be freely movable in the vertical direction by a moving mechanism. The holding surface 11 is formed flat along the horizontal direction, and has a diameter that allows the workpiece 200 to be placed thereon via the expandable sheet 201. The workpiece 200 is placed on the holding surface 11 via the expandable sheet 201.

また、実施形態１では、保持テーブル１０は、保持面１１に載置されたエキスパンドシート２０１及びワーク２００を冷却するペルチェ素子を備えている。 In addition, in embodiment 1, the holding table 10 is equipped with a Peltier element that cools the expand sheet 201 and the workpiece 200 placed on the holding surface 11.

ワーク搬送ユニットは、挟持機構３０の上方に配置され、かつ下面にワーク２００を保持する。ワーク搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。ワーク搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持したワーク２００が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、保持テーブル１０と鉛直方向に対面する位置にワーク２００を位置付ける。また、ワーク搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、挟持機構３０に保持されたエキスパンドシート２０１にワーク２００を貼着する。 The work transport unit is disposed above the clamping mechanism 30 and holds the work 200 on its underside. The work transport unit is provided so that it can be moved vertically by the lifting unit, and is also provided so that it can be moved horizontally by the horizontal movement unit. The horizontal movement unit positions the work 200 held on its underside in a position where it is coaxial with the holding table 10, and positions the work 200 in a position facing the holding table 10 in the vertical direction. The work transport unit is also lowered by the lifting unit to attach the work 200 to the expand sheet 201 held by the clamping mechanism 30.

挟持機構３０は、エキスパンドシート２０１を保持するものである。挟持機構３０は、第１挟持ユニット３１－１と、第２挟持ユニット３１－２と、第３挟持ユニット３１－３と、第４挟持ユニット３１－４とを備える。第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、ワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１をワーク２００の外周で挟持する挟持ユニットである。 The clamping mechanism 30 holds the expandable sheet 201. The clamping mechanism 30 includes a first clamping unit 31-1, a second clamping unit 31-2, a third clamping unit 31-3, and a fourth clamping unit 31-4. The first clamping unit 31-1, the second clamping unit 31-2, the third clamping unit 31-3, and the fourth clamping unit 31-4 are clamping units that clamp the expandable sheet 201 to which the workpiece 200 is attached, at the outer periphery of the workpiece 200.

第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、それぞれエキスパンドシート２０１のワーク２００よりも外周側の位置を挟持する。第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。 The first clamping unit 31-1, the second clamping unit 31-2, the third clamping unit 31-3, and the fourth clamping unit 31-4 each clamp the expanding sheet 201 at a position on the outer periphery side of the work 200. The first clamping unit 31-1, the second clamping unit 31-2, the third clamping unit 31-3, and the fourth clamping unit 31-4 have substantially the same configuration, and therefore will be described with the same reference numerals assigned to the same parts.

第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、固定基台２上に設けられた柱状の移動基台３２と、移動基台３２に鉛直方向に移動自在に設けられた上方挟持部材３３と、下方挟持部材３４と、上方挟持部材３３と下方挟持部材３４とを互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動する部材移動ユニット３５とを備える。上方挟持部材３３と、下方挟持部材３４とは、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、部材移動ユニット３５により互いに近づけられて互いの間にエキスパンドシート２０１を挟んで保持する。 The first clamping unit 31-1, the second clamping unit 31-2, the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4 each include a columnar movable base 32 provided on the fixed base 2, an upper clamping member 33 and a lower clamping member 34 provided on the movable base 32 so as to be movable in the vertical direction, and a member moving unit 35 that moves the upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 in directions toward and away from each other. The upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 are disposed at a distance from each other in the vertical direction, and are brought toward each other by the member moving unit 35 to hold the expand sheet 201 between them.

第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とは、第１方向２１１に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。即ち、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とは、第１方向２１１で保持テーブル１０に保持されたワーク２００を挟んで対向して配設されている。 The clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 face each other along the first direction 211, with the holding table 10 positioned between them. That is, the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 are arranged facing each other in the first direction 211, sandwiching the workpiece 200 held on the holding table 10 therebetween.

第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とは、第２方向２１２に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。即ち、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とは、第２方向２１２で保持テーブル１０に保持されたワーク２００を挟んで対向して配設されている。 The clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 face each other along the second direction 212, with the holding table 10 positioned between them. That is, the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 are arranged facing each other in the second direction 212, sandwiching the workpiece 200 held on the holding table 10 therebetween.

第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４の構成は、等しいので、以下、第１挟持ユニット３１－１を代表して説明する。上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、第２方向２１２と平行な直線状に形成されている。上方挟持部材３３は、移動基台３２の上端部から水平方向に伸びた支持アーム３９の先端に支持され、下方挟持部材３４は、移動基台３２の中央部から水平方向に伸びた支持アーム３９の先端に支持されている。 The first clamping unit 31-1, the second clamping unit 31-2, the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4 have the same configuration, so the following description will be centered on the first clamping unit 31-1. The upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 are formed in a straight line parallel to the second direction 212. The upper clamping member 33 is supported by the tip of a support arm 39 that extends horizontally from the upper end of the movable base 32, and the lower clamping member 34 is supported by the tip of a support arm 39 that extends horizontally from the center of the movable base 32.

上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、それぞれ、支持アーム３９の先端に固定された挟持部本体部材５１と、挟持ブロック５２とを備える。挟持部本体部材５１は、第２方向２１２と平行な直線状の柱状に形成されている。 The upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 each include a clamping body member 51 fixed to the tip of the support arm 39 and a clamping block 52. The clamping body member 51 is formed in a linear column shape parallel to the second direction 212.

挟持ブロック５２は、上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４それぞれの挟持部本体部材５１の長手方向に沿って複数並べられて配置されている。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２とは、鉛直方向に対向して配置されている。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２の互いに対向する表面５３（図４に示す）は、水平方向に沿って平坦に形成されている。 The clamping blocks 52 are arranged in a row along the longitudinal direction of the clamping section main body member 51 of each of the upper clamping member 33 and the lower clamping member 34. The clamping blocks 52 of the upper clamping member 33 and the clamping blocks 52 of the lower clamping member 34 are arranged facing each other in the vertical direction. The opposing surfaces 53 (shown in FIG. 4) of the clamping blocks 52 of the upper clamping member 33 and the clamping blocks 52 of the lower clamping member 34 are formed flat along the horizontal direction.

また、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２では、図４に示すように、二つの挟持ブロック５２が挟持部本体部材５１に回動支持部材５４を介して取り付けられている。回動支持部材５４は、二つの挟持ブロック５２を第１方向２１１と平行な回転軸５５を中心として回転自在に支持している。実施形態１では、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２は、全ての互いに固定されているとともに、挟持部本体部材５１に直接固定されている。 As shown in FIG. 4, the two clamping blocks 52 of the upper clamping member 33 are attached to the clamping unit main body member 51 via a rotating support member 54. The rotating support member 54 supports the two clamping blocks 52 so that they can rotate freely around a rotation axis 55 parallel to the first direction 211. In the first embodiment, the clamping blocks 52 of the lower clamping member 34 are all fixed to each other and are directly fixed to the clamping unit main body member 51.

また、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２とは、部材移動ユニット３５により挟持部材３３，３４が互いに近づけられると、互いに近づいて互いの挟持ブロック５２の間にエキスパンドシート２０１を挟持する。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２とは、部材移動ユニット３５により挟持部材３３，３４が互いに離れると、互いに離れる。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２の挟持ブロック５２が回動支持部材５４より回転軸５５を中心として回転自在に支持されているので、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２との間にエキスパンドシート２０１を挟持する際に、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２がエキスパンドシート２０１の向きに応じて回転して、挟持ブロック５２は、挟持ブロック５２間にエキスパンドシート２０１を挟持することができる。 When the clamping members 33, 34 are moved closer to each other by the member moving unit 35, the clamping block 52 of the upper clamping member 33 and the clamping block 52 of the lower clamping member 34 move closer to each other and clamp the expandable sheet 201 between them. When the clamping members 33, 34 are moved away from each other by the member moving unit 35, the clamping block 52 of the upper clamping member 33 and the clamping block 52 of the lower clamping member 34 move away from each other. Since the clamping block 52 of the upper clamping member 33 is supported by the rotating support member 54 so as to be rotatable about the rotation axis 55, when the expandable sheet 201 is clamped between the clamping block 52 of the lower clamping member 34, the clamping block 52 of the upper clamping member 33 rotates according to the orientation of the expandable sheet 201, and the clamping block 52 can clamp the expandable sheet 201 between the clamping blocks 52.

挟持ブロック５２は、挟持ブロック５２間にエキスパンドシート２０１を挟持する際に、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２の表面５３にエキスパンドシート２０１の粘着面２０１－１が接触し、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２の表面５３にエキスパンドシート２０１の基材面２０１－２が接触する。 When the expanding sheet 201 is clamped between the clamping blocks 52, the adhesive surface 201-1 of the expanding sheet 201 contacts the surface 53 of the clamping block 52 of the upper clamping member 33, and the base material surface 201-2 of the expanding sheet 201 contacts the surface 53 of the clamping block 52 of the lower clamping member 34.

また、挟持ブロック５２の各挟持ブロック５２は、図４に示すように、表面５３に第２方向２１２と平行な溝５６を複数設け、表面５３の保持テーブル１０寄りの外縁部に冷却されたエアーを噴出可能な噴出口５７を第２方向２１２と平行に複数並べて配置している。なお、実施形態１では、上方挟持部材３３と下方挟持部材３４との双方の挟持ブロック５２の表面５３に溝５６を複数設けたが、本発明では、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２の表面５３に溝５６を設けなくても良い。本発明では、挟持ブロック５２の少なくとも上方挟持部材３３の挟持ブロック５２の表面５３に溝５６を設けるので、挟持ブロック５２の粘着面２０１－１との接触面積を抑制して、挟持ブロック５２が粘着面２０１－１に貼り付いてしまうことを抑制することができる。 As shown in FIG. 4, each of the clamping blocks 52 has a plurality of grooves 56 on the surface 53 parallel to the second direction 212, and a plurality of nozzles 57 capable of ejecting cooled air are arranged parallel to the second direction 212 on the outer edge of the surface 53 near the holding table 10. In the first embodiment, a plurality of grooves 56 are provided on the surface 53 of the clamping blocks 52 of both the upper clamping member 33 and the lower clamping member 34, but in the present invention, the grooves 56 do not need to be provided on the surface 53 of the clamping block 52 of the lower clamping member 34. In the present invention, the grooves 56 are provided on at least the surface 53 of the clamping block 52 of the upper clamping member 33, so that the contact area between the clamping block 52 and the adhesive surface 201-1 can be reduced, and the clamping block 52 can be prevented from sticking to the adhesive surface 201-1.

第３挟持ユニット３１－３、及び第４挟持ユニット３１－４では、上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４が、第１方向２１１と平行な直線状に形成されているとともに、挟持部本体部材５１が、第１方向２１１と平行な直線状の柱状に形成されている。第３挟持ユニット３１－３、及び第４挟持ユニット３１－４では、回動支持部材５４が、二つの挟持ブロック５２を第２方向２１２と平行な回転軸５５を中心として回転自在に支持している。第３挟持ユニット３１－３、及び第４挟持ユニット３１－４では、溝５６が第２方向２１２と平行であるとともに、噴出口５７が第２方向２１２と平行に複数並べられている。 In the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4, the upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 are formed in a straight line parallel to the first direction 211, and the clamping body member 51 is formed in a straight columnar shape parallel to the first direction 211. In the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4, the rotating support member 54 supports the two clamping blocks 52 so that they can rotate freely around a rotation axis 55 parallel to the second direction 212. In the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4, the groove 56 is parallel to the second direction 212, and multiple ejection ports 57 are arranged parallel to the second direction 212.

なお、第１挟持ユニット３１－１の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第１挟持部材であり、第２挟持ユニット３１－２の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第２挟持部材である。第３挟持ユニット３１－３の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第３挟持部材であり、第４挟持ユニット３１－４の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第４挟持部材である。 The upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 of the first clamping unit 31-1 are the first clamping members described in the claims, and the upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 of the second clamping unit 31-2 are the second clamping members described in the claims. The upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 of the third clamping unit 31-3 are the third clamping members described in the claims, and the upper clamping member 33 and the lower clamping member 34 of the fourth clamping unit 31-4 are the fourth clamping members described in the claims.

部材移動ユニット３５は、移動基台３２に設けられている。部材移動ユニット３５は、挟持部材３３，３４を鉛直方向に移動自在とするモータ３６と、モータ３６により軸心回りに回転されるボールねじ３７と、ボールねじ３７に螺合しかつ挟持部材３３，３４と支持アーム３９を介して連結したナット３８とを備える。部材移動ユニット３５は、モータ３６がボールねじ３７を軸心回りに回転させることで、ナット３８、支持アーム３９及び挟持部材３３，３４を鉛直方向に移動させる。 The member moving unit 35 is provided on the moving base 32. The member moving unit 35 includes a motor 36 that moves the clamping members 33, 34 vertically, a ball screw 37 that is rotated about its axis by the motor 36, and a nut 38 that is screwed into the ball screw 37 and connected to the clamping members 33, 34 via a support arm 39. The member moving unit 35 moves the nut 38, support arm 39, and clamping members 33, 34 vertically by the motor 36 rotating the ball screw 37 about its axis.

部材移動ユニット３５は、モータ３６によりボールねじ３７を軸心回りに回転することで、挟持部材３３，３４を互いに近づく方向に移動させて、挟持部材３３，３４間にエキスパンドシート２０１を挟持する。部材移動ユニット３５は、モータ３６によりボールねじ３７を軸心回りに回転することで、挟持部材３３，３４を互いに離れる方向に移動させて、挟持部材３３，３４間のエキスパンドシート２０１の挟持を解除する。また、部材移動ユニット３５は、モータ３６によりボールねじ３７を軸心回りに回転することで、挟持部材３３，３４を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。 The member moving unit 35 rotates the ball screw 37 around its axis using the motor 36 to move the clamping members 33, 34 toward each other, thereby clamping the expandable sheet 201 between the clamping members 33, 34. The member moving unit 35 rotates the ball screw 37 around its axis using the motor 36 to move the clamping members 33, 34 away from each other, thereby releasing the clamping of the expandable sheet 201 between the clamping members 33, 34. The member moving unit 35 can also move the clamping members 33, 34 in the same vertical direction by rotating the ball screw 37 around its axis using the motor 36.

移動機構４０は、第１移動ユニット４１と、第２移動ユニット４２とを備える。 The moving mechanism 40 comprises a first moving unit 41 and a second moving unit 42.

第１移動ユニット４１は、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２と第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１に沿って移動させることで、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２と第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１で互いに離反する方向である図７に示す矢印３００に移動させるものである。第１移動ユニット４１は、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２と第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１に沿って移動させることで、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と、第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを第１方向２１１で近接離反可能に移動させるものでもある。第１移動ユニット４１は、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２を第１方向２１１に移動させる第１移動機構４３－１と、第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１に移動させる第２移動機構４３－２とを備える。 The first moving unit 41 moves the moving base 32 of the first clamping unit 31-1 and the moving base 32 of the second clamping unit 31-2 along the first direction 211, thereby moving the moving base 32 of the first clamping unit 31-1 and the moving base 32 of the second clamping unit 31-2 in the direction of arrow 300 shown in FIG. 7, which is a direction in which they move away from each other in the first direction 211. The first moving unit 41 moves the moving base 32 of the first clamping unit 31-1 and the moving base 32 of the second clamping unit 31-2 along the first direction 211, thereby also moving the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 so that they can move toward and away from each other in the first direction 211. The first moving unit 41 includes a first moving mechanism 43-1 that moves the moving base 32 of the first clamping unit 31-1 in the first direction 211, and a second moving mechanism 43-2 that moves the moving base 32 of the second clamping unit 31-2 in the first direction 211.

第２移動ユニット４２は、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２と第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２に沿って移動させることで、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２と第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２で互いに離反する方向である図９に示す矢印３０２に移動させるものである。第２移動ユニット４２は、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２と第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２に沿って移動させることで、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と、第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを第２方向２１２で近接離反可能に移動させるものでもある。第２移動ユニット４２は、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２を第２方向２１２に移動させる第３移動機構４３－３と、第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２に移動させる第４移動機構４３－４とを備える。 The second moving unit 42 moves the moving base 32 of the third clamping unit 31-3 and the moving base 32 of the fourth clamping unit 31-4 along the second direction 212, thereby moving the moving base 32 of the third clamping unit 31-3 and the moving base 32 of the fourth clamping unit 31-4 in the direction of arrow 302 shown in FIG. 9, which is a direction in which they move away from each other in the second direction 212. The second moving unit 42 moves the moving base 32 of the third clamping unit 31-3 and the moving base 32 of the fourth clamping unit 31-4 along the second direction 212, thereby moving the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 so that they can move toward and away from each other in the second direction 212. The second moving unit 42 includes a third moving mechanism 43-3 that moves the moving base 32 of the third clamping unit 31-3 in the second direction 212, and a fourth moving mechanism 43-4 that moves the moving base 32 of the fourth clamping unit 31-4 in the second direction 212.

第１移動機構４３－１、第２移動機構４３－２、第３移動機構４３－３及び第４移動機構４３－４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。 The first movement mechanism 43-1, the second movement mechanism 43-2, the third movement mechanism 43-3, and the fourth movement mechanism 43-4 have substantially the same configuration, so the same parts are denoted by the same reference numerals and will be described.

第１移動機構４３－１、第２移動機構４３－２、第３移動機構４３－３及び第４移動機構４３－４は、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の移動基台３２を第１方向２１１又は第２方向２１２に移動可能とするモータ４４と、モータ４４により軸心回りに回転されて移動基台３２を第１方向２１１又は第２方向２１２に移動させるボールねじ４５とを有する。 The first moving mechanism 43-1, the second moving mechanism 43-2, the third moving mechanism 43-3 and the fourth moving mechanism 43-4 each have a motor 44 that enables the moving base 32 of the clamping units 31-1, 31-2, 31-3 and 31-4 to move in the first direction 211 or the second direction 212, and a ball screw 45 that is rotated around its axis by the motor 44 to move the moving base 32 in the first direction 211 or the second direction 212.

第１移動機構４３－１、第２移動機構４３－２、第３移動機構４３－３及び第４移動機構４３－４は、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４を互いに離反する方向である矢印３００，３０２に移動させることで、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４が挟持したエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。 The first moving mechanism 43-1, the second moving mechanism 43-2, the third moving mechanism 43-3 and the fourth moving mechanism 43-4 move the clamping units 31-1, 31-2, 31-3 and 31-4 in the directions of arrows 300 and 302, which are directions away from each other, thereby expanding the expandable sheet 201 clamped by the clamping units 31-1, 31-2, 31-3 and 31-4.

フレーム搬送ユニットは、挟持機構３０の上方に配置され、下面に環状フレーム２０９を保持する。フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、図示しない水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。フレーム搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した環状フレーム２０９の開口２１０が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、環状フレーム２０９の開口２１０と保持テーブル１０に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着したワーク２００とが鉛直方向に対面する位置に環状フレーム２０９を位置付ける。また、フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着する。 The frame transport unit is disposed above the clamping mechanism 30 and holds the annular frame 209 on its underside. The frame transport unit is provided so that it can be moved vertically by a lifting unit, and is also provided so that it can be moved horizontally by a horizontal movement unit (not shown). The frame transport unit is disposed by the horizontal movement unit at a position where the opening 210 of the annular frame 209 held on its underside is coaxial with the holding table 10, and the annular frame 209 is positioned so that the opening 210 of the annular frame 209 faces the workpiece 200 attached to the expand sheet 201 placed on the holding table 10 in the vertical direction. The frame transport unit is also lowered by the lifting unit to attach the annular frame 209 to the expand sheet 201.

シート切断ユニット６０は、環状フレーム２０９に貼着されたエキスパンドシート２０１を環状フレーム２０９に沿って切断するものである。シート切断ユニット６０は、図１に示すように、エキスパンドシート２０１を切断するカッター６１を備える。シート切断ユニット６０は、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９が貼着された後に、カッター６１を裏面２０７側からエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間に切り込ませて、カッター６１を環状フレーム２０９に沿って回転させて、エキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を切断する。 The sheet cutting unit 60 cuts the expand sheet 201 attached to the annular frame 209 along the annular frame 209. As shown in FIG. 1, the sheet cutting unit 60 includes a cutter 61 for cutting the expand sheet 201. After the annular frame 209 is attached to the expand sheet 201, the sheet cutting unit 60 cuts the expand sheet 201 between the inner and outer edges of the annular frame 209 of the expand sheet 201 from the back surface 207 side with the cutter 61, and rotates the cutter 61 along the annular frame 209 to cut the expand sheet 201 between the inner and outer edges of the annular frame 209.

撮像ユニット７０は、保持テーブル１０の上方に配置され、保持テーブル１０にエキスパンドシート２０１を介して保持されたワーク２００を撮像するものである。撮像ユニット７０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００の表面２０４全体を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット７０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影して、画像を取得し、取得した画像を制御ユニット１００に出力する。 The imaging unit 70 is disposed above the holding table 10 and captures an image of the workpiece 200 held on the holding table 10 via an expandable sheet 201. The imaging unit 70 is equipped with an imaging element that captures an image of the entire surface 204 of the workpiece 200 held on the holding table 10. The imaging element is, for example, a CCD (Charge-Coupled Device) imaging element or a CMOS (Complementary MOS) imaging element. The imaging unit 70 captures an image of the workpiece 200 held on the holding table 10, and outputs the captured image to the control unit 100.

制御ユニット１００は、エキスパンド装置１の各構成要素を制御して、エキスパンド装置１にエキスパンドシート２０１に対するワーク２００の貼着動作、エキスパンドシートのエキスパンド動作及びエキスパンドシート２０１に対する環状フレーム２０９の貼着動作等を実施させるものである。即ち、制御ユニット１００は、少なくとも、第１移動ユニット４１と第２移動ユニット４２とを制御する。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、エキスパンド装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してエキスパンド装置１の各構成要素に出力する。 The control unit 100 controls each component of the expanding device 1 to cause the expanding device 1 to perform operations such as attaching the work 200 to the expanding sheet 201, expanding the expanding sheet, and attaching the annular frame 209 to the expanding sheet 201. That is, the control unit 100 controls at least the first moving unit 41 and the second moving unit 42. The control unit 100 is a computer having an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and an input/output interface device. The arithmetic processing device of the control unit 100 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and outputs control signals for controlling the expanding device 1 to each component of the expanding device 1 via the input/output interface device.

また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。 The control unit 100 is also connected to a display unit, such as a liquid crystal display device that displays various information and images, and an input unit that the operator uses to register processing content information, etc. The input unit is composed of at least one of a touch panel provided on the display unit and an external input device such as a keyboard.

なお、本発明では、エキスパンド装置１は、上述した構成に加え、ロールに巻かれたエキスパンドシート２０１を保持するシート保持ユニットと、粘着面２０１－１を上向きにしてシート保持ユニットからエキスパンドシート２０１を挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４に送り出す送り出しユニットと、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を所定の長さで切断する切断ユニットとを備える。 In addition to the above-mentioned configuration, in the present invention, the expanding device 1 includes a sheet holding unit that holds the expanding sheet 201 wound on a roll, a delivery unit that delivers the expanding sheet 201 from the sheet holding unit to the clamping units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 with the adhesive surface 201-1 facing upward, and a cutting unit that cuts the expanding sheet 201 delivered by the delivery unit to a predetermined length.

次に、本明細書は、実施形態１に係るエキスパンド方法を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態１に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。図６は、図５に示されたエキスパンド方法の挟持ステップを模式的に示す平面図である。図７は、図５に示されたエキスパンド方法の第１エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。図８は、図５に示されたエキスパンド方法の第１戻しステップを模式的に示す平面図である。図９は、図５に示されたエキスパンド方法の第２エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。図１０は、図５に示されたエキスパンド方法の第２戻しステップを模式的に示す平面図である。図１１は、図５に示されたエキスパンド方法の間隔調整ステップを模式的に示す平面図である。なお、図６から図１１は、ワーク２００のノッチ２０８、分割線２０６、デバイス２０２を省略している。 Next, this specification describes the expanding method according to the first embodiment with reference to the drawings. FIG. 5 is a flow chart showing the flow of the expanding method according to the first embodiment. FIG. 6 is a plan view showing the clamping step of the expanding method shown in FIG. 5. FIG. 7 is a plan view showing the first expanding step of the expanding method shown in FIG. 5. FIG. 8 is a plan view showing the first returning step of the expanding method shown in FIG. 5. FIG. 9 is a plan view showing the second expanding step of the expanding method shown in FIG. 5. FIG. 10 is a plan view showing the second returning step of the expanding method shown in FIG. 5. FIG. 11 is a plan view showing the interval adjusting step of the expanding method shown in FIG. 5. Note that the notch 208, the parting line 206, and the device 202 of the work 200 are omitted in FIGS. 6 to 11.

実施形態１に係るエキスパンド方法は、ワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１をエキスパンドする方法であって、前述したエキスパンド装置１のエキスパンドシート２０１のエキスパンド動作でもある。エキスパンド装置１は、オペレータが入力ユニットを操作するなどして入力した加工内容情報を受け付け、オペレータが入力ユニットを操作する等して入力した加工動作の開始指示を受け付けると、エキスパンド動作を開始する。エキスパンド方法は、制御ユニット１００がエキスパンド装置１の各構成要素に動作を制御することで実施され、図６に示すように、挟持ステップ１００１と、第１エキスパンドステップ１００２と、第１戻しステップ１００３と、第２エキスパンドステップ１００４と、第２戻しステップ１００５と、間隔調整ステップ１００６とを備える。 The expanding method according to the first embodiment is a method for expanding the expandable sheet 201 to which the work 200 is attached, and is also the expanding operation of the expandable sheet 201 of the expanding device 1 described above. The expanding device 1 accepts processing content information input by an operator operating an input unit, and starts the expanding operation when it accepts an instruction to start the processing operation input by the operator operating the input unit. The expanding method is performed by the control unit 100 controlling the operation of each component of the expanding device 1, and includes a clamping step 1001, a first expanding step 1002, a first returning step 1003, a second expanding step 1004, a second returning step 1005, and a spacing adjusting step 1006, as shown in FIG. 6.

（挟持ステップ）
挟持ステップ１００１は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向する第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とでエキスパンドシート２０１を挟持し、且つ、第２方向２１２でワークを挟んで互いに対向する第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とでエキスパンドシート２０１を挟持するステップである。 (Clamping step)
The clamping step 1001 is a step in which the expanded sheet 201 is clamped between the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2, which face each other while clamping the workpiece 200 in the first direction 211, and the expanded sheet 201 is clamped between the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4, which face each other while clamping the workpiece in the second direction 212.

挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、粘着面２０１－１を上向きにしてシート保持ユニットからエキスパンドシート２０１を送り出しユニットにより挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４に送り出し、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を切断ユニットにより所定の長さで切断する。挟持ステップ１００１では、図６に示すように、エキスパンドシート２０１を第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４間に挟持し、第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４間に挟持し、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４間に挟持し、第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４間に挟持し、エキスパンドシート２０１の基材面２０１－２を保持テーブル１０の保持面１１に保持する。 In the clamping step 1001, the expanding device 1 sends out the expanding sheet 201 from the sheet holding unit with the adhesive surface 201-1 facing upward to the clamping units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 by the feed unit, and the expanding sheet 201 sent out by the feed unit is cut to a predetermined length by the cutting unit. In the clamping step 1001, as shown in FIG. 6, the expanding sheet 201 is clamped between the clamping members 33 and 34 of the first clamping unit 31-1, between the clamping members 33 and 34 of the second clamping unit 31-2, between the clamping members 33 and 34 of the third clamping unit 31-3, and between the clamping members 33 and 34 of the fourth clamping unit 31-4, and the base surface 201-2 of the expanding sheet 201 is held on the holding surface 11 of the holding table 10.

挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、ワーク搬送ユニットに保持した分割線２０６が形成されたワーク２００の裏面２０７側のＤＡＦ２２１をエキスパンドシート２０１の各挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４で囲まれた領域に対向させた後、ワーク搬送ユニットを下降させて、図６に示すように、エキスパンドシート２０１にワーク２００の裏面２０７側のＤＡＦ２２１を貼着する。挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、互いに交差する分割予定ライン２０５のうち一方が第１方向２１１と平行となり、他方が第２方向２１２と平行となる向きで、エキスパンドシート２０１にワーク２００の裏面２０７のＤＡＦ２２１を貼着する。挟持ステップ１００１では、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００の裏面２０７側を保持テーブル１０の保持面１１で保持し、ペルチェ素子を動作させて、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００の特にＤＡＦ２２１を冷却する。 In the clamping step 1001, the expanding device 1 faces the DAF 221 on the back surface 207 side of the workpiece 200 on which the dividing line 206 held by the workpiece transport unit is formed to the area surrounded by the clamping members 33, 34 of each clamping unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 of the expanding sheet 201, and then lowers the workpiece transport unit to attach the DAF 221 on the back surface 207 side of the workpiece 200 to the expanding sheet 201 as shown in FIG. 6. In the clamping step 1001, the expanding device 1 attaches the DAF 221 on the back surface 207 of the workpiece 200 to the expanding sheet 201 in such a manner that one of the mutually intersecting planned dividing lines 205 is parallel to the first direction 211 and the other is parallel to the second direction 212. In the clamping step 1001, the back surface 207 side of the workpiece 200 is held by the holding surface 11 of the holding table 10 via the expand sheet 201, and the Peltier element is operated to cool the workpiece 200, particularly the DAF 221, via the expand sheet 201.

（第１エキスパンドステップ）
第１エキスパンドステップ１００２は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３００に移動させることでエキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドするステップである。また、第１エキスパンドステップ１００２は、第２方向２１２でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持することでエキスパンドシート２０１の第２方向２１２のエキスパンドを規制するステップでもある。 (First expansion step)
The first expanding step 1002 is a step of expanding the expanding sheet 201 in the first direction 211 by moving the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2, which face each other with the work 200 sandwiched therebetween and each clamp the expanding sheet 201, in the direction of arrow 300, which is a direction away from each other. The first expanding step 1002 is also a step of restricting the expansion of the expanding sheet 201 in the second direction 212 by maintaining the respective positions of the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4, which face each other with the work 200 sandwiched therebetween and each clamp the expanding sheet 201.

第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、図７に示すように、移動機構４３－１，４３－２に第１挟持ユニット３１－１と第２挟持ユニット３１－２とを第１方向２１１に沿って互いに離反する方向である矢印３００に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－１，３１－２の移動基台３２の移動とともに、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３とを第１方向２１１に沿って互いに離反する方向である矢印３００に移動させて、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１のみにエキスパンドする。 In the first expansion step 1002, as shown in FIG. 7, the expanding device 1 causes the moving mechanisms 43-1 and 43-2 to simultaneously move the first clamping unit 31-1 and the second clamping unit 31-2 in the direction of arrow 300, which is a direction away from each other along the first direction 211. Then, the expanding device 1 moves the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping member 33 of the second clamping unit 31-2 in the direction of arrow 300, which is a direction away from each other along the first direction 211, together with the movement of the moving bases 32 of the clamping units 31-1 and 31-2, thereby expanding the expanding sheet 201 only in the first direction 211.

また、実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図７に示す矢印３００に沿って所定距離移動させると、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを停止する。 In addition, in the first expansion step 1002 in the first embodiment, the expansion device 1 expands the expanding sheet 201 while spraying cooling air onto the expanding sheet 201 from the nozzles 57 of the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2. In the first expansion step 1002 in the first embodiment, the expansion device 1 moves the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 a predetermined distance along the arrows 300 shown in FIG. 7, and then stops the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2.

実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７からエキスパンドシート２０１に向かって冷却エアーを噴出するので、各挟持ユニット３１－１，３１－２の挟持部材３３，３４で挟持された領域を冷却する。エキスパンドシート２０１の各挟持ユニット３１－１，３１－２の挟持部材３３，３４で挟持された領域が硬化する。エキスパンドシート２０１のエキスパンドの結果、エキスパンドシート２０１に第１方向２１１に沿った引張力が作用する。 In the first embodiment, in the first expansion step 1002, the expansion device 1 ejects cooling air from the ejection ports 57 of the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 toward the expanding sheet 201, thereby cooling the areas clamped by the clamping members 33, 34 of each clamping unit 31-1, 31-2. The areas of the expanding sheet 201 clamped by the clamping members 33, 34 of each clamping unit 31-1, 31-2 are hardened. As a result of the expansion of the expanding sheet 201, a tensile force acts on the expanding sheet 201 along the first direction 211.

このようにワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第１方向２１１に沿った引張力が作用すると、ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って分割線２０６が形成されて個々のチップ２２２に分割されているので、主に、第２方向２１２と平行な分割予定ライン２０５に沿ってＤＡＦ２２１が分割されて、第１方向２１１のチップ２２２間の間隔が広がる。このために、第１エキスパンドステップ１００２では、ワーク２００の第１方向２１１に沿って並ぶチップ２２２間でＤＡＦ２２１を分割することとなる。 When a tensile force along the first direction 211 acts on the expand sheet 201 to which the workpiece 200 is attached in this manner, the workpiece 200 is divided into individual chips 222 by the division lines 206 formed along the planned division lines 205, so that the DAFs 221 are mainly divided along the planned division lines 205 parallel to the second direction 212, widening the gap between the chips 222 in the first direction 211. For this reason, in the first expansion step 1002, the DAFs 221 are divided between the chips 222 aligned along the first direction 211 of the workpiece 200.

なお、実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつ第１方向２１１に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出することなく、第１方向２１１に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドしても良い。 In the first embodiment, in the first expansion step 1002, the expansion device 1 expands the expand sheet 201 along the first direction 211 while spraying cooling air onto the expand sheet 201 from the nozzles 57 of the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2. However, the present invention is not limited to this, and the expand sheet 201 may be expanded along the first direction 211 without spraying cooling air onto the expand sheet 201 from the nozzles 57.

（第１戻しステップ）
第１戻しステップ１００３は、第１エキスパンドステップ１００２を実施した後、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、互いに近接する方向である図８に示す矢印３０１に移動させエキスパンドシート２０１の張力を緩和させるステップである。また、第１戻しステップ１００３は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持するステップでもある。 (First Return Step)
The first return step 1003 is a step in which, after the first expand step 1002, the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 are moved in the direction of arrow 301 shown in Fig. 8, which is a direction in which they approach each other, thereby relieving the tension of the expand sheet 201. The first return step 1003 is also a step in which the positions of the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 are maintained.

第１戻しステップ１００３では、エキスパンド装置１は、図８に示すように、移動機構４３－１，４３－２に第１挟持ユニット３１－１と第２挟持ユニット３１－２とを第１方向２１１に沿って互いに近接する方向である矢印３０１（矢印３００と逆向きの方向）に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－１，３１－２の移動基台３２の移動とともに、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３とを第１方向２１１に沿って互いに近接する方向である矢印３０１に移動させて、エキスパンドシート２０１の張力を緩和する。 In the first return step 1003, as shown in FIG. 8, the expanding device 1 causes the moving mechanisms 43-1 and 43-2 to simultaneously move the first clamping unit 31-1 and the second clamping unit 31-2 in the direction of arrow 301 (opposite the direction of arrow 300) toward each other along the first direction 211. Then, together with the movement of the moving bases 32 of the clamping units 31-1 and 31-2, the expanding device 1 moves the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping member 33 of the second clamping unit 31-2 in the direction of arrow 301 toward each other along the first direction 211, thereby relieving the tension of the expanding sheet 201.

また、実施形態１において、第１戻しステップ１００３では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図８に示す矢印３０１に沿って第１エキスパンドステップ１００２と同距離である所定距離移動させると、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを停止する。 In addition, in the first embodiment, in the first return step 1003, the expander 1 moves the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 a predetermined distance, which is the same distance as the first expand step 1002, along the arrow 301 shown in FIG. 8, and then stops the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2.

なお、実施形態１において、第１戻しステップ１００３では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第１エキスパンドステップ１００２と同距離移動させた。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、例えば、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第１エキスパンドステップ１００２よりも短い距離移動させても良い。本発明では、第１戻しステップ１００３において、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とをそれぞれ第１エキスパンドステップ１００２よりも短い距離移動させた場合、第１方向２１１に沿って並ぶチップ２２２同士が接触することを抑制することができる。 In the first embodiment, in the first return step 1003, the expander 1 moves the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 by the same distance as the first expand step 1002. However, the present invention is not limited to this, and for example, the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 may be moved by a distance shorter than the first expand step 1002. In the present invention, when the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 are moved by a distance shorter than the first expand step 1002 in the first return step 1003, contact between the chips 222 arranged along the first direction 211 can be suppressed.

（第２エキスパンドステップ）
第２エキスパンドステップ１００４は、第１戻しステップ１００３を実施した後、第２方向２１２でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３０２に移動させることでエキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドするステップである。また、第２エキスパンドステップ１００４は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持することでエキスパンドシート２０１の第１方向２１１のエキスパンドを規制するステップでもある。 (Second Expanding Step)
The second expanding step 1004 is a step in which, after the first returning step 1003, the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4, which face each other with the work 200 sandwiched therebetween in the second direction 212 and each clamp the expand sheet 201, are moved in the direction of arrow 302, which is a direction away from each other, to expand the expand sheet 201 in the second direction 212. The second expanding step 1004 is also a step in which the expansion of the expand sheet 201 in the first direction 211 is restricted by maintaining the respective positions of the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2, which face each other with the work 200 sandwiched therebetween in the first direction 211 and each clamp the expand sheet 201.

第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、図９に示すように、移動機構４３－３，４３－４に第３挟持ユニット３１－３と第４挟持ユニット３１－４とを第２方向２１２に沿って互いに離反する方向である矢印３０２に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－３，３１－４の移動基台３２の移動とともに、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３とを第２方向２１２に沿って互いに離反する方向である矢印３０２に移動させて、エキスパンドシート２０１を第２方向２１２のみにエキスパンドする。 In the second expansion step 1004, as shown in FIG. 9, the expanding device 1 causes the moving mechanisms 43-3 and 43-4 to simultaneously move the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4 in the direction of arrow 302, which is a direction away from each other along the second direction 212. Then, the expanding device 1 moves the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping member 33 of the fourth clamping unit 31-4 in the direction of arrow 302, which is a direction away from each other along the second direction 212, along with the movement of the moving bases 32 of the clamping units 31-3 and 31-4, thereby expanding the expanding sheet 201 only in the second direction 212.

また、実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図９に示す矢印３０２に沿って第１エキスパンドステップ１００２と同距離である所定距離移動させると、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを停止する。 In addition, in the first embodiment, in the second expansion step 1004, the expansion device 1 expands the expanding sheet 201 while spraying cooling air onto the expanding sheet 201 from the nozzles 57 of the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4. In the first embodiment, in the second expansion step 1004, the expansion device 1 moves the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 a predetermined distance that is the same distance as the first expansion step 1002 along the arrows 302 shown in FIG. 9, and then stops the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4.

なお、実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、第１エキスパンドステップ１００２と同距離移動させた。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、第１エキスパンドステップ１００２と異なる距離、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを移動させても良い。 In the first embodiment, in the second expand step 1004, the expander 1 moves the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 the same distance as in the first expand step 1002. However, the present invention is not limited to this, and the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 may be moved a distance different from the first expand step 1002.

実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７からエキスパンドシート２０１に向かって冷却エアーを噴出するので、各挟持ユニット３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４で挟持された領域を冷却する。エキスパンドシート２０１の各挟持ユニット３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４で挟持された領域が硬化する。エキスパンドシート２０１のエキスパンドの結果、エキスパンドシート２０１に第２方向２１２に沿った引張力が作用する。 In the first embodiment, in the second expansion step 1004, the expansion device 1 ejects cooling air from the ejection ports 57 of the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 toward the expanding sheet 201, thereby cooling the areas clamped by the clamping members 33, 34 of each clamping unit 31-3, 31-4. The areas of the expanding sheet 201 clamped by the clamping members 33, 34 of each clamping unit 31-3, 31-4 are hardened. As a result of the expansion of the expanding sheet 201, a tensile force acts on the expanding sheet 201 along the second direction 212.

このようにワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第２方向２１２に沿った引張力が作用すると、ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って分割線２０６が形成されて個々のチップ２２２に分割されているので、主に、第１方向２１１と平行な分割予定ライン２０５に沿ってＤＡＦ２２１が分割されて、第２方向２１２のチップ２２２間の間隔が広がる。このために、第２エキスパンドステップ１００４では、ワーク２００の第２方向２１２に沿って並ぶチップ２２２間でＤＡＦ２２１を分割し、ＤＡＦ２２１を個々のチップ２２２毎に分割することとなる。 When a tensile force acts along the second direction 212 on the expand sheet 201 to which the workpiece 200 is attached, the workpiece 200 is divided into individual chips 222 by the division lines 206 formed along the planned division lines 205, so that the DAFs 221 are mainly divided along the planned division lines 205 parallel to the first direction 211, and the spacing between the chips 222 in the second direction 212 increases. For this reason, in the second expand step 1004, the DAFs 221 are divided between the chips 222 aligned along the second direction 212 of the workpiece 200, and the DAFs 221 are divided into individual chips 222.

なお、実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつ第２方向２１２に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出することなく、第２方向２１２に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドしても良い。 In the first embodiment, in the second expansion step 1004, the expansion device 1 expands the expand sheet 201 along the second direction 212 while spraying cooling air onto the expand sheet 201 from the nozzles 57 of the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4. However, the present invention is not limited to this, and the expand sheet 201 may be expanded along the second direction 212 without spraying cooling air onto the expand sheet 201 from the nozzles 57.

こうして、実施形態１に係るエキスパンド方法では、第１エキスパンドステップ１００２、第１戻しステップ１００３及び第２エキスパンドステップ１００４を順に実施することで、制御ユニット１００は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３００に移動させることでエキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドした後、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、互いに近接する方向である矢印３０１に移動させた状態で、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３０２に移動させることでエキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドするよう第１移動ユニット４１と第２移動ユニット４２とを制御する。 Thus, in the expansion method according to the first embodiment, the first expansion step 1002, the first return step 1003, and the second expansion step 1004 are carried out in order, and the control unit 100 moves the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 in the direction of arrow 300, which is a direction in which they move away from each other, to expand the expandable sheet 201 in the first direction 211, and then moves the first clamping unit 31-2 to the second direction 211. The first moving unit 41 and the second moving unit 42 are controlled so that the clamping members 33, 34 of the knit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 are moved in the direction of arrow 301 toward each other, and the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 are moved in the direction of arrow 302 away from each other, thereby expanding the expandable sheet 201 in the second direction 212.

（第２戻しステップ）
第２戻しステップ１００５は、第２エキスパンドステップ１００４を実施した後、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、互いに近接する方向である図１０に示す矢印３０３に移動させエキスパンドシート２０１の張力を緩和させるステップである。また、第２戻しステップ１００５は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持するステップでもある。 (Second Return Step)
The second return step 1005 is a step in which, after the second expand step 1004 is performed, the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 are moved in the direction of arrow 303 shown in Fig. 10, which is a direction in which they approach each other, thereby relieving the tension of the expand sheet 201. The second return step 1005 is also a step in which the respective positions of the clamping members 33, 34 of the first clamping unit 31-1 and the clamping members 33, 34 of the second clamping unit 31-2 are maintained.

第２戻しステップ１００５では、エキスパンド装置１は、図１０に示すように、移動機構４３－３，４３－４に第３挟持ユニット３１－３と第４挟持ユニット３１－４とを第２方向２１２に沿って互いに近接する方向である矢印３０３（矢印３０２と逆向きの方向）に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－３，３１－４の移動基台３２の移動とともに、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３とを第２方向２１２に沿って互いに近接する方向である矢印３０３に移動させて、エキスパンドシート２０１の張力を緩和する。 In the second return step 1005, as shown in FIG. 10, the expanding device 1 causes the moving mechanisms 43-3 and 43-4 to simultaneously move the third clamping unit 31-3 and the fourth clamping unit 31-4 in the direction of arrow 303 (opposite the direction of arrow 302), which is a direction in which they approach each other along the second direction 212. Then, together with the movement of the moving bases 32 of the clamping units 31-3 and 31-4, the expanding device 1 moves the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping member 33 of the fourth clamping unit 31-4 in the direction of arrow 303, which is a direction in which they approach each other along the second direction 212, thereby relieving the tension of the expanding sheet 201.

また、実施形態１において、第２戻しステップ１００５では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図１０に示す矢印３０３に沿って第２エキスパンドステップ１００４と同距離である所定距離移動させると、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを停止する。 In addition, in the first embodiment, in the second return step 1005, the expander 1 moves the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 a predetermined distance, which is the same distance as the second expand step 1004, along the arrow 303 shown in FIG. 10, and then stops the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4.

なお、実施形態１において、第２戻しステップ１００５では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第２エキスパンドステップ１００４と同距離移動させた。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、例えば、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第２エキスパンドステップ１００４よりも短い距離移動させても良い。 In the first embodiment, in the second return step 1005, the expander 1 moves the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 the same distance as the second expand step 1004. However, the present invention is not limited to this, and for example, the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 may be moved a distance shorter than the second expand step 1004.

本発明では、第２戻しステップ１００５において、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とをそれぞれ第２エキスパンドステップ１００４よりも短い距離移動させた場合、チップ２２２同士が接触することを抑制することができる。 In the present invention, if the clamping members 33, 34 of the third clamping unit 31-3 and the clamping members 33, 34 of the fourth clamping unit 31-4 are moved a distance shorter than the second expand step 1004 in the second return step 1005, contact between the tips 222 can be suppressed.

（間隔調整ステップ）
間隔調整ステップ１００６はチップ２２２間の距離が所定距離となるように、エキスパンドシート２０１を少なくとも第１方向２１１にエキスパンドし、エキスパンドされたエキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着するステップである。実施形態１において、間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、撮像ユニット７０でワーク２００を撮像しながら、図１１中の矢印３００，３０２で示すように、移動機構４３－１，４３－２，４３－３，４３－４に挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４のエキスパンドシート２０１を挟持した挟持部材３３，３４を互いに第１方向２１１又は第２方向２１２に離反する方向である矢印３００，３０２に同時に移動させる。 (Spacing adjustment step)
The interval adjustment step 1006 is a step of expanding the expand sheet 201 at least in the first direction 211 so that the distance between the chips 222 becomes a predetermined distance, and attaching the annular frame 209 to the expanded expand sheet 201. In the first embodiment, in the interval adjustment step 1006, the expanding device 1 simultaneously moves the clamping members 33 and 34 that clamp the expand sheet 201 of the clamping units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 in the moving mechanisms 43-1, 43-2, 43-3, and 43-4 in the directions indicated by arrows 300 and 302 in FIG. 11 , which are directions away from each other in the first direction 211 or the second direction 212.

間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、撮像ユニット７０が撮像して取得した画像に基づいて、互いに隣接するチップ２２２間の距離を算出し、全てのチップ２２２間の間隔が所定距離以上となると、移動機構４３－１，４３－２，４３－３，４３－４による挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４の移動を停止する。間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、開口２１０とエキスパンドシート２０１に貼着されたワーク２００とが対面する位置にフレーム搬送ユニットに保持した環状フレーム２０９を位置付ける。また、本発明では、あらかじめ、チップ２２２間に所望の間隔を形成するために必要な拡張距離を実験的に求めておき、求めた拡張距離分だけ、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４を移動させてもよい。 In the interval adjustment step 1006, the expander 1 calculates the distance between adjacent chips 222 based on the image captured by the imaging unit 70, and when the interval between all chips 222 is equal to or greater than a predetermined distance, the movement of the clamping members 33 and 34 of the clamping units 31-1, 31-2, 31-3 and 31-4 by the moving mechanisms 43-1, 43-2, 43-3 and 43-4 is stopped. In the interval adjustment step 1006, the expander 1 positions the annular frame 209 held by the frame transport unit at a position where the opening 210 faces the work 200 attached to the expand sheet 201. In addition, in the present invention, the expansion distance required to form a desired interval between the chips 222 may be experimentally determined in advance, and the clamping members 33 and 34 of the clamping units 31-1, 31-2, 31-3 and 31-4 may be moved by the determined expansion distance.

間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、フレーム搬送ユニットを下降させて、フレーム搬送ユニットが保持した環状フレーム２０９をエキスパンドシート２０１に貼着する。間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、シート切断ユニット６０のカッター６１にエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を環状フレーム２０９に沿って切断させ、エキスパンド装置１のエキスパンド動作即ち実施形態１に係るエキスパンド方法を終了する。 In the gap adjustment step 1006, the expanding device 1 lowers the frame transport unit and attaches the annular frame 209 held by the frame transport unit to the expanding sheet 201. In the gap adjustment step 1006, the expanding device 1 causes the cutter 61 of the sheet cutting unit 60 to cut along the annular frame 209 between the inner edge and the outer edge of the annular frame 209 of the expanding sheet 201, thereby completing the expanding operation of the expanding device 1, i.e., the expanding method according to embodiment 1.

以上説明した実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、第１エキスパンドステップ１００２を実施した後、第１戻しステップ１００３を実施する。その後、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、第２エキスパンドステップ１００４を実施する。 The expansion method and expansion device 1 according to the first embodiment described above performs the first expansion step 1002, and then the first return step 1003. After that, the expansion method and expansion device 1 according to the first embodiment perform the second expansion step 1004.

このために、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドする際には、エキスパンドシート２０１が第２方向２１２にエキスパンドされていないために、エキスパンドシート２０１に第２方向２１２の張力が付与されていない。また、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドする際には、エキスパンドシート２０１の第１方向２１１の張力が緩和されている。その結果、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１と第２方向２１２とのそれぞれに沿って十分にエキスパンドすることができ、ワーク２００に未分割領域の発生を抑制することができるという効果を奏する。 For this reason, in the expanding method and expanding device 1 according to embodiment 1, when the expanding sheet 201 is expanded in the first direction 211, the expanding sheet 201 is not expanded in the second direction 212, and therefore no tension is applied to the expanding sheet 201 in the second direction 212. In addition, in the expanding method and expanding device 1 according to embodiment 1, when the expanding sheet 201 is expanded in the second direction 212, the tension of the expanding sheet 201 in the first direction 211 is relaxed. As a result, the expanding method and expanding device 1 according to embodiment 1 can sufficiently expand the expanding sheet 201 along both the first direction 211 and the second direction 212, and have the effect of suppressing the occurrence of undivided regions in the workpiece 200.

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１では、第２戻しステップ１００５を実施した後、間隔調整ステップ１００６を実施したが、本発明では、第２戻しステップ１００５を実施せずに、第２エキスパンドステップ１００４を実施した後、間隔調整ステップ１００６を実施しても良い。 The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment. In other words, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. In the first embodiment, the second return step 1005 is performed, and then the spacing adjustment step 1006 is performed. However, in the present invention, the second return step 1005 may not be performed, and the spacing adjustment step 1006 may be performed after the second expand step 1004.

また、実施形態１では、ＤＡＦ２２１がウェーハ２２０の裏面２０７に貼着されて、エキスパンドシート２０１に貼着されたが、本発明では、ＤＡＦ２２１が予めエキスパンドシート２０１に貼着されており、挟持ステップ１００１において、エキスパンドシート２０１に予め貼着されたＤＡＦ２２１にウェーハ２２０の裏面２０７を貼着しても良い。この場合、ウェーハ２２０は、分割予定ライン２０５に沿って分割線２０６が形成されることなく、基板２０３の内部に分割予定ライン２０５に沿った分割起点である改質層が形成されて、エキスパンドステップ１００２，１００４において改質層を起点にＤＡＦ２２１とともに分割されて、個々のチップ２２２に分割されても良い。 In addition, in the first embodiment, the DAF 221 is attached to the back surface 207 of the wafer 220 and then attached to the expand sheet 201. However, in the present invention, the DAF 221 may be attached to the expand sheet 201 in advance, and in the clamping step 1001, the back surface 207 of the wafer 220 may be attached to the DAF 221 that is attached to the expand sheet 201 in advance. In this case, the wafer 220 may be divided into individual chips 222 together with the DAF 221 at the modified layer in the expand steps 1002 and 1004, without the division line 206 being formed along the planned division line 205, and a modified layer that is the division starting point along the planned division line 205 may be formed inside the substrate 203.

また、本発明では、ワーク２００は、基板２０３の内部に分割予定ライン２０５に沿った分割起点である改質層が形成され、裏面２０７上に金属膜が形成されたウェーハ２２０であっても良い。なお、改質層は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。改質層は、基板２０３の他の部分よりも機械的な強度が低い。 In the present invention, the workpiece 200 may be a wafer 220 in which a modified layer is formed inside the substrate 203 as a starting point for dividing along the planned dividing line 205, and a metal film is formed on the back surface 207. The modified layer refers to a region in which the density, refractive index, mechanical strength, and other physical properties are different from those of the surrounding area, and examples of such a modified layer include a melting process region, a crack region, an insulation breakdown region, a refractive index change region, and a region in which these regions are mixed. The modified layer has a lower mechanical strength than other parts of the substrate 203.

また、本発明では、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の各挟持部材３３，３４に噴出口５７を設けて、エキスパンドステップ１００２，１００４において、噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出してエキスパンドシート２０１をエキスパンドした。しかしながら、本発明では、各挟持部材３３，３４に噴出口５７を設けなくても良い。また、本発明では、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の各挟持部材３３，３４の構成は、実施形態１に示された構成に限定されない。 In addition, in the present invention, the clamping members 33 and 34 of the clamping units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 are provided with an outlet 57, and in the expansion steps 1002 and 1004, cooling air is sprayed from the outlet 57 onto the expanding sheet 201 to expand the expanding sheet 201. However, in the present invention, the clamping members 33 and 34 do not need to be provided with an outlet 57. In addition, in the present invention, the configuration of the clamping members 33 and 34 of the clamping units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 is not limited to the configuration shown in embodiment 1.

１ エキスパンド装置
３３ 上方挟持部材（第１挟持部材、第２挟持部材、第３挟持部材、第４挟持部材）
３４ 下方挟持部材（第１挟持部材、第２挟持部材、第３挟持部材、第４挟持部材）
４１ 第１移動ユニット
４２ 第２移動ユニット
１００ 制御ユニット（コントローラ）
２００ ワーク
２０１ エキスパンドシート（シート）
２１１ 第１方向
２１２ 第２方向
３００，３０２ 離反する方向
３０１，３０３ 近接する方向
１００２ 第１エキスパンドステップ
１００３ 第１戻しステップ
１００４ 第２エキスパンドステップ 1 Expanding device 33 Upper clamping member (first clamping member, second clamping member, third clamping member, fourth clamping member)
34 Lower clamping member (first clamping member, second clamping member, third clamping member, fourth clamping member)
41 First mobile unit 42 Second mobile unit 100 Control unit (controller)
200 Work 201 Expanded sheet (sheet)
211 First direction 212 Second direction 300, 302 Moving away direction 301, 303 Moving closer direction 1002 First expansion step 1003 First return step 1004 Second expansion step

Claims (2)

ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、
第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第１挟持部材と第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドする第１エキスパンドステップと、
該第１エキスパンドステップを実施した後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させ該シートの張力を緩和させる第１戻しステップと、
該第１戻しステップを実施した後、第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第３挟持部材と第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドする第２エキスパンドステップと、を備えた、エキスパンド方法。 An expanding method for expanding a sheet to which a workpiece is attached, comprising the steps of:
a first expanding step in which a first clamping member and a second clamping member, which face each other with a workpiece sandwiched therebetween in a first direction and each clamp the sheet, are moved in directions away from each other to expand the sheet in the first direction;
a first returning step of moving the first clamping member and the second clamping member in a direction toward each other to relieve tension in the sheet after the first expanding step is performed;
and after carrying out the first return step, a second expansion step of moving a third clamping member and a fourth clamping member, which face each other while sandwiching the workpiece in a second direction and each clamp the sheet, in directions away from each other to expand the sheet in the second direction. ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、
第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第１挟持部材と、第２挟持部材と、
該第１挟持部材と該第２挟持部材を該第１方向で近接離反可能に移動させる第１移動ユニットと、
第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第３挟持部材と、第４挟持部材と、
該第３挟持部材と該第４挟持部材を該第２方向で近接離反可能に移動させる第２移動ユニットと、
少なくとも該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドした後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させた状態で、該第３挟持部材と該第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドするよう該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御する、エキスパンド装置。 An expanding device that expands a sheet to which a workpiece is attached,
a first clamping member and a second clamping member that face each other with a workpiece sandwiched therebetween in a first direction and each clamp the sheet;
a first moving unit configured to move the first clamping member and the second clamping member toward and away from each other in the first direction;
a third clamping member and a fourth clamping member that face each other with the workpiece sandwiched therebetween in the second direction and each clamp the sheet;
a second moving unit configured to move the third clamping member and the fourth clamping member toward and away from each other in the second direction;
A controller for controlling at least the first mobile unit and the second mobile unit;
The controller controls the first moving unit and the second moving unit to expand the sheet in a first direction by moving the first clamping member and the second clamping member in a direction away from each other, and then, while moving the first clamping member and the second clamping member in a direction toward each other, to expand the sheet in a second direction by moving the third clamping member and the fourth clamping member in a direction away from each other.

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