JP2020150132A - 拡張装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被加工物の拡張量の差を抑制することができる拡張装置を提供すること。【解決手段】拡張装置１は、被加工物が貼着されたエキスパンドシートを、被加工物の外周で保持する複数の保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４と、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４をエキスパンドシートの面方向に移動させ、エキスパンドシートを拡張する移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４と、被加工物の外周と保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の間で、エキスパンドシートを部分的に拡張させる部分拡張ユニット８０と、を有する。部分拡張ユニット８０は、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３より長さが短い接触部８１を、エキスパンドシートの鉛直方向に沿って下方に移動させつつエキスパンドシートを押圧し、エキスパンドシートを部分的に引き延ばす。【選択図】図１

Description

本発明は、エキスパンドシートを拡張して被加工物をチップに割段またはチップ間の間隔を広げる拡張装置に関する。

ウェーハなどの被加工物は、その表面の格子状の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されており、分割予定ラインに沿って分割することによって、デバイスを有する個々のチップに分割される。被加工物を個々のチップに分割する方法としては、被加工物に対して透過性を有する波長のレーザービームを照射して、被加工物の内部に改質層を形成した後、被加工物を研削・研磨することによって薄化し、この薄化工程において被加工物を分割する方法がある（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に示された方法によって分割された被加工物は、分割されたチップ間に隙間がなく互いに密着した状態であるため、被加工物のハンドリング時に隣接するチップ同士が接触して損傷するおそれがある。そのため、複数のチップに分割された被加工物をシートに貼着し、シートを拡張することで隣接するチップ間に間隔を形成している。

チップ間に間隔を形成するために、拡張装置が使用されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に示された拡張装置が放射状にシートを拡張すると、シートの拡張量はどの方向でもほぼ同量になる。そのため、特許文献２に示された拡張装置を用いると、例えば、チップサイズが縦横で異なる場合には、縦横で分割予定ラインの本数が大きく異なるため、チップ間に形成される間隔が縦横で異なり、一方向（例えば、チップの縦方向）では十分な間隔が形成されたとしても他方向（例えば、チップの横方向）では間隔が不十分でハンドリング時に隣接するチップ同士が接触してしまうおそれがある。そこで、本願出願人は、上記の問題に鑑み、シートの四辺を挟持してエキスパンドする拡張装置を提案している（例えば、特許文献３参照）。

特許第６１４７９８２号公報 特許第５４９５５１１号公報 特許第６１８０１２０号公報

しかしながら、特許文献３に示された拡張装置は、それぞれの辺で均一の拡張量となるために、円形のウェーハを拡張する際には多くの拡張を必要とする分割予定ラインの本数が多いウェーハで、中央部分のみを大きく拡張する、などいった拡張量を調整出来ないという課題があり、拡張量に差が生じる恐れがあった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物の拡張量の差を抑制することができる拡張装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張装置は、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物に貼着したシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、被加工物が貼着された該シートを、被加工物の外周で保持する複数の保持ユニットと、該保持ユニットを該シートの面方向に移動させ、該シートを拡張する移動ユニットと、該被加工物の外周と該保持ユニットの間で、該シートを部分的に拡張させる部分拡張ユニットと、を有し、該部分拡張ユニットは、該保持ユニットの保持部より長さが短い接触部を、該シートの面方向と交差する向きに移動させつつ該シートを押圧し、該シートを部分的に引き延ばすことを特徴とする。

前記拡張装置では、該部分拡張ユニットは、該シートの一方の面から該シートを押圧して該シートを引き延ばす接触部と、該接触部と該被加工物との間で該シートを他方の面から支持するシート支持部と、を備えても良い。

本発明は、被加工物の拡張量の差を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された拡張装置の加工対象の被加工物を示す斜視図である。 図３は、図２に示された被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。 図４は、図１に示された拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。 図５は、図１に示された拡張装置の部分拡張ユニットの構成例を示す斜視図である。 図６は、図１に示された拡張装置の保持ユニットが被加工物が貼着されたエキスパンドシートを保持した状態を模式的に示す側面図である。 図７は、図６に示された拡張装置の移動ユニットがエキスパンドシートを拡張した状態を模式的に示す側面図である。 図８は、図７に示された拡張装置の部分拡張ユニットがエキスパンドシートを部分的に拡張した状態を模式的に示す側面図である。 図９は、図８に示された拡張装置の切断ユニットが環状フレームが貼着されたエキスパンドシートを切断している状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１０は、実施形態２に係る拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。 図１１は、変形例に係る拡張装置の加工対象の被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された拡張装置の加工対象の被加工物を示す斜視図である。図３は、図２に示された被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。図４は、図１に示された拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。図５は、図１に示された拡張装置の部分拡張ユニットの構成例を示す斜視図である。

実施形態１に係る図１に示す拡張装置１は、図２に示す被加工物２００に貼着したシートであるエキスパンドシート２０１（図３に示す）を拡張して、被加工物２００を個々のチップ２２０に分割する装置である。実施形態１に係る拡張装置１の加工対象である被加工物２００は、図２に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板２０３とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。

実施形態１では、被加工物２００は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４の互いに交差する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成されている。被加工物２００は、分割予定ライン２０５に沿って基板２０３の内部に分割起点である改質層２０６（図２中に破線で示す）が形成されている。改質層２０６は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。実施形態１では、改質層２０６は、基板２０３の他の部分よりも機械的な強度が低い。

また、実施形態１において、被加工物２００は、図３に示すように、基板２０３の裏面２０７側にエキスパンドシート２０１に貼着されたＤＡＦ（Die Attach Film）２０８が貼着され、拡張装置１によりＤＡＦ２０８とともに改質層２０６に沿って個々のチップ２２０に分割される。チップ２２０は、基板２０３の一部分と、基板２０３の表面２０４に形成されたデバイス２０２とを備え、裏面２０７にＤＡＦ２０８の一部分が貼着される。ＤＡＦ２０８は、被加工物２００から個々に分割されたチップ２２０を基板などに固定するためのものである。実施形態１では、ＤＡＦ２０８は、被加工物２００よりも大径な円板状に形成されて、エキスパンドシート２０１に貼着されている。

エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有し、例えば、加熱された合成樹脂が第一の方向２１１に沿って移動されながら第一の方向２１１と該第一の方向２１１に対して直交する第二の方向２１２とに延伸されて成形される。エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有する合成樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ伸縮性と粘着性とを有する合成樹脂により構成された粘着層とを備える。実施形態１では、第一の方向２１１は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第二の方向２１２は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。

実施形態１に係る拡張装置１は、被加工物２００に貼着したエキスパンドシート２０１を第一の方向２１１と、第二の方向２１２とに拡張して、被加工物２００をＤＡＦ２０８とともに個々のチップ２２０に分割するとともに、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成する装置である。また、拡張装置１は、エキスパンドシート２０１を拡張して、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成した後、エキスパンドシート２０１に内径が被加工物２００及びＤＡＦ２０８よりも大径な環状フレーム２０９を貼着して、環状フレーム２０９の開口２１０内に被加工物２００を支持する。

拡張装置１は、図１に示すように、平板状の固定基台２と、固定基台２の中央に設けられた保持テーブル１０と、図示しない被加工物搬送ユニットと、エキスパンドシート固定ユニット５０と、図示しないフレーム搬送ユニットと、シート切断ユニット７０と、部分拡張ユニット８０と、制御ユニット１００とを備える。

保持テーブル１０は、円板状に形成され、ＤＡＦ２０８が貼着されたエキスパンドシート２０１が保持面１１に載置される。保持テーブル１０は、移動機構によって鉛直方向に移動自在に設けられている。保持面１１は、水平方向に沿って平坦に形成され、エキスパンドシート２０１を介して被加工物２００が載置可能な直径を有している。保持面１１は、エキスパンドシート２０１を介して、被加工物２００が載置される。

被加工物搬送ユニットは、エキスパンドシート固定ユニット５０の上方に配置され、かつ下面に被加工物２００を保持する。被加工物搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。被加工物搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した被加工物２００が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、保持テーブル１０と鉛直方向に対面する位置に被加工物２００を位置付ける。また、被加工物搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１に貼着されたＤＡＦ２０８に被加工物２００を貼着する。

エキスパンドシート固定ユニット５０は、ＤＡＦ２０８を介して被加工物２００が貼着されたエキスパンドシート２０１を保持するものである。エキスパンドシート固定ユニット５０は、第一保持ユニット５１−１と、第二保持ユニット５１−２と、第三保持ユニット５１−３と、第四保持ユニット５１−４とを備える。第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、被加工物２００が貼着されたエキスパンドシート２０１を被加工物２００の外周で保持する保持ユニットである。

第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、それぞれエキスパンドシート２０１の被加工物２００よりも外周側の位置を挟んで保持する。第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。

第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、固定基台２上に設けられた柱状の移動基台５２に鉛直方向に移動自在に設けられた一対の保持部である挟持部材５３と、一対の挟持部材５３を互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動する部材移動ユニット５４とを備える。一対の挟持部材５３は、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、部材移動ユニット５４により互いに近づけられて互いの間にエキスパンドシート２０１を挟んで保持する。

第一保持ユニット５１−１の一対の挟持部材５３と第二保持ユニット５１−２の一対の挟持部材５３とは、第一の方向２１１に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。第三保持ユニット５１−３の一対の挟持部材５３と第四保持ユニット５１−４の一対の挟持部材５３とは、第二の方向２１２に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。部材移動ユニット５４は、移動基台５２に設けられている。

部材移動ユニット５４は、一対の挟持部材５３を鉛直方向に移動自在とするモータ５５と、モータ５５により軸心回りに回転されるボールねじ５６と、ボールねじ５６に螺合しかつ挟持部材５３とアーム部材５７を介して連結したナット５８とを備える。部材移動ユニット５４は、モータ５５がボールねじ５６を軸心回りに回転させることで、ナット５８、アーム部材５７及び挟持部材５３を鉛直方向に移動させる。

また、部材移動ユニット５４は、モータ５５によりボールねじ５６を軸心回りに回転することで、一対の挟持部材５３を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。

また、第一保持ユニット５１−１の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第一移動ユニット５８−１により固定基台２に第一の方向２１１に移動自在に設けられている。第二保持ユニット５１−２の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第二移動ユニット５８−２により固定基台２に第一の方向２１１に移動自在に設けられている。第三保持ユニット５１−３の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第三移動ユニット５８−３により固定基台２に第二の方向２１２に移動自在に設けられている。第四保持ユニット５１−４の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第四移動ユニット５８−４により固定基台２に第二の方向２１２に移動自在に設けられている。

第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、それぞれ、第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４をエキスパンドシート２０１の面方向に移動させ、エキスパンドシート２０１を拡張する移動ユニットである。第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。

第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に移動可能とするモータ５９−１と、モータ５９−１により軸心回りに回転されて移動基台５２を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に移動させるボールねじ５９−２とを有する。

第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に互いに離間する方向に移動させることで、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４が保持したエキスパンドシート２０１を拡張する。

フレーム搬送ユニットは、エキスパンドシート固定ユニット５０の上方に配置され、下面に環状フレーム２０９を保持する。フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、図示しない水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。フレーム搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した環状フレーム２０９の開口２１０が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、環状フレーム２０９の開口２１０と保持テーブル１０に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着した被加工物２００とが鉛直方向に対面する位置に環状フレーム２０９を位置付ける。また、フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着する。

シート切断ユニット７０は、環状フレーム２０９に貼着されたエキスパンドシート２０１を環状フレーム２０９に沿って切断するものである。シート切断ユニット７０は、図１に示すように、エキスパンドシート２０１を切断するカッター７１を備える。シート切断ユニット７０は、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９が貼着された後に、カッター７１を裏面２０７側からエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間に切り込ませて、カッター７１を環状フレーム２０９に沿って回転させて、エキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を切断する。

制御ユニット１００は、拡張装置１の各構成要素を制御して、拡張装置１にエキスパンドシート２０１に対する被加工物２００の貼着動作、エキスパンドシートの拡張動作及びエキスパンドシート２０１に対する環状フレーム２０９の貼着動作等を実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、拡張装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して拡張装置１の各構成要素に出力する。

また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット１０２とが接続されている。入力ユニット１０２は、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

また、拡張装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０の上方に設けられ、かつ保持テーブル１０の保持面１１に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００の表面を撮像する撮像ユニット６０を備える。撮像ユニット６０は、エキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００を撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを備えている。ＣＣＤカメラは、エキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００を撮像して、撮像して得た画像を制御ユニット１００に出力する。

また、拡張装置１は、図１に示すように、部分拡張ユニット８０を備える。部分拡張ユニット８０は、被加工物２００の外周と各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４との間で、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張するものである。実施形態１では、部分拡張ユニット８０は、移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４により既に拡張済みのエキスパンドシート２０１を部分的に拡張するものである。

実施形態１において、部分拡張ユニット８０は、各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４と１対１で対応しており、図４に示すように、各対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３と保持テーブル１０との間に設けられている。なお、図１は、第一保持ユニット５１−１に対応する部分拡張ユニット８０のみを示し、他の部分拡張ユニット８０を省略している。また、図４は、被加工物２００のデバイス２０２を省略している。

部分拡張ユニット８０は、図１、図４及び図５に示すように、接触部８１と、シート支持部９０とを備える。接触部８１は、外観が円柱状に形成され、軸心が対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３が移動する移動方向２１１又は２１２と平行に配置されている。接触部８１の長さは、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３の全長よりも短い。又は、被加工物２００の長さより短い。接触部８１は、両端が支持部材８２に支持されて、図示しない昇降ユニットによりエキスパンドシート２０１の面方向に交差する向きである鉛直方向に沿って昇降自在に設けられかつ図示しない水平方向移動ユニットにより対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３に沿って移動自在に設けられている。

接触部８１は、昇降ユニットにより鉛直方向に沿って下降されて、エキスパンドシート２０１の一方の面である上面２０１−１から鉛直方向に沿って下方に押圧して、エキスパンドシート２０１を部分的に引き延ばす。また、接触部８１は、水平方向移動ユニットにより位置が変更されることで、エキスパンドシート２０１の部分的に引き延ばす位置が変更される。

シート支持部９０は、図５に示すように、互いに平行な一対の支持柱９１と、各支持柱９１の両端を支持する支持部材９２とを備える。支持柱９１は、外観が円柱状に形成され、軸心が対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３と平行に配置されている。支持柱９１の長さは、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３の全長と同等である。シート支持部９０は、図示しない昇降ユニットにより鉛直方向に沿って昇降自在に設けられている。

シート支持部９０は、昇降ユニットにより鉛直方向に沿って上昇されて、エキスパンドシート２０１を保持した保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の一対の挟持部材５３のうちの下側の挟持部材５３の上面と同一平面上に位置付けられて、特に保持テーブル１０寄りの支持柱９１が接触部８１と被加工物２００との間でエキスパンドシート２０１を他方の面である下面２０１−２から支持する。なお、エキスパンドシート２０１を下方に押圧する接触部８１は、シート支持部９０の一対の支持柱９１間に侵入する。

なお、本発明では、拡張装置１は、上述した構成に加え、ロールに巻かれたエキスパンドシート２０１を保持するシート保持ユニットと、シート保持ユニットからエキスパンドシート２０１を保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４に送り出す送り出しユニットと、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を切断する切断ユニットとを備えても良い。

次に、本明細書は、拡張装置１のエキスパンドシート２０１の拡張動作を説明する。図６は、図１に示された拡張装置の保持ユニットが被加工物が貼着されたエキスパンドシートを保持した状態を模式的に示す側面図である。図７は、図６に示された拡張装置の移動ユニットがエキスパンドシートを拡張した状態を模式的に示す側面図である。図８は、図７に示された拡張装置の部分拡張ユニットがエキスパンドシートを部分的に拡張した状態を模式的に示す側面図である。図９は、図８に示された拡張装置の切断ユニットが環状フレームが貼着されたエキスパンドシートを切断している状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

拡張装置１は、各部分拡張ユニット８０の接触部８１を上昇させかつシート支持部９０を下降させた状態で、中央にＤＡＦ２０８が貼着されたエキスパンドシート２０１を保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の一対の挟持部材５３で保持する。拡張装置は、被加工物搬送ユニットに保持した改質層２０６が形成された被加工物２００の裏面２０７をＤＡＦ２０８に対向させた後、被加工物搬送ユニットを下降させて、図６に示すように、ＤＡＦ２０８に被加工物２００の裏面２０７を貼着する。

なお、実施形態１では、拡張装置１は、エキスパンドシート２０１に貼着されたＤＡＦ２０８に被加工物２００の裏面２０７を貼着したが、本発明では、被加工物２００の裏面２０７にＤＡＦ２０８とエキスパンドシート２０１とを順に貼着しても良い。即ち、本発明は、あらかじめＤＡＦ２０８が裏面２０７に貼着された被加工物２００を被加工物搬送ユニットで保持し、挟持部材５３で保持したエキスパンドシート２０１に貼着してもよい。

実施形態１において、拡張装置１は、移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４に保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に離反する方向に移動させる。すると、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の移動とともにエキスパンドシート２０１が第一の方向２１１と第二の方向２１２との双方に拡張される。エキスパンドシート２０１の拡張の結果、エキスパンドシート２０１に第一の方向２１１と第二の方向２１２の引張力が作用する。

このように被加工物２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第一の方向２１１と第二の方向２１２の引張力が作用すると、被加工物２００は、図７に示すように、分割予定ライン２０５に沿って改質層２０６が形成されているので、改質層２０６を基点として分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２２０に分割されるとともに、ＤＡＦ２０８がチップ２２０毎に分割される。

拡張装置１は、撮像ユニット６０でチップ２２０毎に分割された被加工物２００全体又は所望の分割予定ライン２０５を撮像し、表示ユニット１０１に撮像ユニット６０が撮像した被加工物２００を表示する。拡張装置１のオペレータが表示ユニット１０１に表示された被加工物２００の画像を確認して、部分的に拡張する必要があるか否かを判断する。オペレータが、部分に拡張する必要があると判断すると、入力ユニット１０２を操作して、部分的に拡張する必要がある位置を拡張可能な位置に少なくとも一つの部分拡張ユニット８０の接触部８１を位置付ける。

拡張装置１は、図８に示すように、部分拡張ユニット８０のシート支持部９０を上昇させてシート支持部９０を下側の挟持部材５３の上面と同一平面上に位置付け、部分的に拡張する必要がある位置に向かって部分拡張ユニット８０の接触部８１を下降させる。拡張装置１は、下降させた接触部８１をシート支持部９０の一対の支持柱９１間に侵入させて、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張する。なお、図８は、第一の方向２１１の両端に位置する部分拡張ユニット８０の接触部８１をシート支持部９０の一対の支持柱９１間に侵入させて、エキスパンドシート２０１の任意の位置を第一の方向２１１に拡張している例を示しているが、部分拡張ユニット８０が部分的に拡張する位置は、図８に示された例に限定されずに、任意に設定しても良いことは勿論である。

オペレータが表示ユニット１０１に表示された被加工物２００の画像を確認して、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張する必要がなくなるまで、拡張装置１は、オペレータの操作により部分拡張ユニット８０によりエキスパンドシート２０１を部分的に拡張する。オペレータがエキスパンドシート２０１を部分的に拡張する必要がないと判断すると、拡張装置１は、フレーム搬送ユニットに保持した環状フレーム２０９の開口２１０とエキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００とが対面し、エキスパンドシート２０１と離れた位置に環状フレーム２０９を位置付ける。拡張装置１は、フレーム搬送ユニットを下降させて、フレーム搬送ユニットが保持した環状フレーム２０９をエキスパンドシート２０１に貼着させて、図９に示すように、シート切断ユニット７０のカッター７１にエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９内縁と外縁との間を環状フレーム２０９に沿って切断させる。拡張装置１は、エキスパンドシート２０１の拡張動作を終了する。

以上説明した実施形態１に係る拡張装置１は、部分拡張ユニット８０を備えるので、部分的な必要な部分だけを他の部分よりも多く拡張する、ということができ、矩形ではない被加工物２００で発生しやすい中央の分割予定ライン２０５が多く拡張するなど、被加工物２００の拡張量を調整することができる。その結果、拡張装置１は、全ての分割予定ライン２０５の拡張量の差を抑制できるという効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態２に係る拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る拡張装置１−２は、図１０に示すように、各部分拡張ユニット８０が接触部８１を複数備え、複数の接触部８１をシート支持部９０の支持柱９１の長手方向に等間隔に配置し、各部分拡張ユニット８０が複数の接触部８１を互いに独立して昇降自在に設けていること以外、実施形態１の拡張装置１と構成が同じである。なお、図１０は、被加工物２００のデバイス２０２を省略している。

実施形態２に係る拡張装置１−２は、移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４によりエキスパンドシート２０１を拡張した後、オペレータが表示ユニット１０１に表示された被加工物２００の画像を確認して、部分に拡張する必要があると判断すると、入力ユニット１０２を操作して、部分的に拡張する必要がある位置を拡張可能な少なくとも一つの部分拡張ユニット８０の少なくとも接触部８１を下降させて、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張する。

実施形態１に係る拡張装置１−２は、部分拡張ユニット８０を備えるので、部分的な必要な部分だけを他の部分よりも多く拡張でき、実施形態１と同様に、被加工物２００の拡張量を調整することができる。その結果、拡張装置１−２は、全ての分割予定ライン２０５の拡張量の差を抑制できるという効果を奏する。

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例を図面に基づいて説明する。図１１は、変形例に係る拡張装置の加工対象の被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。なお、図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例では、被加工物２００は、エキスパンドシート２０１に貼着される前に、基板２０３の内部に分割予定ライン２０５に沿った改質層２０６が形成され、表面２０４側に保護テープ２３０が貼着され、裏面２０７に研削加工が施されて、薄化されている。被加工物２００は、研削加工において、改質層２０６に沿って個々のチップ２２０に分割されている。変形例では、拡張装置１，１−２は、交差する複数の分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２２０に分割された被加工物２００をＤＡＦ２０８を介してエキスパンドシート２０１に貼着し、保護テープ２３０を剥がした後、エキスパンドシート２０１を拡張して、隣接するチップ２２０間に間隔を形成する。

変形例に係る拡張装置１，１−２は、部分拡張ユニット８０を備えるので、部分的な必要な部分だけを他の部分よりも多く拡張でき、実施形態１と同様に、被加工物２００の拡張量を調整することができる。その結果、拡張装置１，１−２は、全ての分割予定ライン２０５の拡張量の差を抑制できるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、前述した実施形態では、オペレータが表示ユニット１０１が表示した画像を確認するなどして、エキスパンドシート２０１の部分的な拡張が必要な位置を判断したが、本発明では、撮像ユニット６０が撮像して得た被加工物２００の画像から制御ユニット１００が隣接するチップ２２０間の間隔を検出して、エキスパンドシート２０１の部分的な拡張が必要な位置を抽出し、抽出した位置を部分的に拡張可能な部分拡張ユニット８０でエキスパンドシート２０１を部分的に拡張しても良い。

また、前述した実施形態では、部分拡張ユニット８０を各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４と１対１で対応して設けたが、本発明では、部分拡張ユニット８０を全ての保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４に対応させて設けなくても良い。また、本発明では、部分拡張ユニット８０を少なくとも一つ設け、部分拡張ユニット８０を各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３と平行となる位置間で移動自在としても良い。

また、前述した実施形態では、分割起点として改質層２０６を示しているが、本発明では、分割起点は、改質層２０６に限定されずに、例えば、分割予定ライン２０５に沿って表面２０４に切削ブレードを切り込ませて形成された切削溝や、分割予定ライン２０５に沿って表面２０４に被加工物２００に対して吸収性を有する波長のレーザービームを照射して形成されたレーザー加工溝でも良い。さらに、本発明では、改質層２０６の形成やレーザー加工溝の形成は、基板２０３の表面２０４と裏面２０７のうちどちらの面からレーザービームを入射してもよい。

本発明では、ＤＡＦ２０８は冷却することで破断しやすくなるため、拡張装置１，１−２がＤＡＦ２０８を冷却するために冷却空気を供給する冷気供給ユニットや保持テーブル１０を冷却するテーブル冷却ユニットを設けても良い。また、前述した実施形態では、保持テーブル１０がエキスパンドシート２０１の下方側に設置された例を示したが、本発明では、拡張装置１，１−２は、エキスパンドシート２０１の上方に保持テーブル１０があっても良い。

１，１−２ 拡張装置
５１−１ 第一保持ユニット（保持ユニット）
５１−２ 第二保持ユニット（保持ユニット）
５１−３ 第三保持ユニット（保持ユニット）
５１−４ 第四保持ユニット（保持ユニット）
５３ 挟持部材（保持部）
５８−１ 第一移動ユニット（移動ユニット）
５８−２ 第二移動ユニット（移動ユニット）
５８−３ 第三移動ユニット（移動ユニット）
５８−４ 第四移動ユニット（移動ユニット）
８０ 部分拡張ユニット
８１ 接触部
９０ シート支持部
２００ 被加工物
２０１ エキスパンドシート（シート）
２０１−１ 上面（一方の面）
２０１−２ 下面（他方の面）
２０５ 分割予定ライン
２０６ 改質層（分割起点）
２２０ チップ

Claims (2)

1. 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物に貼着したシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、
   被加工物が貼着された該シートを、被加工物の外周で保持する複数の保持ユニットと、
   該保持ユニットを該シートの面方向に移動させ、該シートを拡張する移動ユニットと、
   該被加工物の外周と該保持ユニットの間で、該シートを部分的に拡張させる部分拡張ユニットと、を有し、
   該部分拡張ユニットは、
   該保持ユニットの保持部より長さが短い接触部を、該シートの面方向と交差する向きに移動させつつ該シートを押圧し、該シートを部分的に引き延ばす拡張装置。
2. 該部分拡張ユニットは、該シートの一方の面から該シートを押圧して該シートを引き延ばす接触部と、該接触部と該被加工物との間で該シートを他方の面から支持するシート支持部と、を備える請求項１に記載の拡張装置。

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