CN113518913B - 分析装置 - Google Patents

Abstract

带电粒子束照射装置构成为向试样照射带电粒子束并检测从试样释放的信号。第一处理部(10)构成为能够与第一输入设备(11)进行通信，根据来自第一输入设备(11)的信号，并基于带电粒子束照射装置的检测信号对试样进行分析。第二处理部(20)构成为能够与第二输入设备(21)及第一处理部(10)进行通信，根据带电粒子束照射装置的检测信号来生成试样的观察图像，并且根据来自第二输入设备(21)的信号控制带电粒子束照射装置。第二输入设备(21)包括指示设备。第二处理部(20)将针对指示设备的操作输入转换为对带电粒子束照射装置的控制信号。

Description

分析装置

技术领域

本发明涉及一种分析装置。

背景技术

电子探针显微分析仪(EPMA：Electron Probe Micro Analyzer)和扫描电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)等分析装置构成为：向试样照射电子束和离子束等带电粒子束，并检测通过该照射而从试样产生的信号(二次电子射线、反射电子射线以及特性X射线等)，由此能够进行试样的观察和分析。

在日本特开2015-17971号公报(专利文献1)中公开了一种使用分光显微镜观察试样的分光测定装置。专利文献1中记载的分光测定装置具有使由分光显微镜获取到的分光数据显示于显示部的图像处理装置。图像处理装置构成为按照来自鼠标等指示设备的指示来变更显示图像。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-17971号公报

发明内容

发明要解决的问题

在分析装置中，近年来提出了一种能够利用指示设备进行用于试样的观察和分析的所有操作的结构。根据该结构，分析者通过利用指示设备操作显示在显示器上的图标等，能够进行试样的像观察(二次电子像、反射电子像以及X射线像)、基于观察图像的试样的分析位置搜索以及分析位置处所包含的元素的定性及定量分析。

例如，在利用EPMA进行试样的分析位置搜索的情况下，在显示器显示观察图像，并且显示用于调整试样台的位置、电子束的焦点和倍率等的图标。当分析者一边看观察图像一边利用指示设备操作图标时，通过根据该操作控制电子束照射装置，能够将视野设定在试样上的期望的分析位置。

此外，由于每当变更试样时就进行试样的分析位置搜索，因此与其它操作相比，执行频率相对高。然而，在上述结构中，根据分析者的不同而操作性有时未必高，但由于需要与其它操作并用指示设备，因此难以使指示设备专门用于对电子束照射装置的控制。

另一方面，作为分析装置的其它结构，存在一种使专门用于对电子束照射装置的控制的专用操作设备附属于电子束照射装置的结构。例如，与电子束照射装置一体地设置面板状的操作设备，在该操作设备中设置用于调整试样台的位置、电子束的焦点和倍率等的操作开关(按钮、拨盘以及开关等)。分析者能够通过一边看观察图像一边手动地操作操作开关，来控制电子束照射装置。但是，即使是像这样专门用于对电子束照射装置的控制的操作设备，也因分析者不同而使用便利性不同，因此存在难以提供对于所有分析者来说操作性良好的操作设备的问题。

另外，由于在专用的操作设备与电子束照射装置的控制器之间的通信中使用电子束照射装置所固有的通信，因此装置生产商需要按每个装置进行设计，存在制造成本高的问题。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，在分析装置中以简单的结构提高分析者的作业效率。

用于解决问题的方案

根据本发明的第一方式，分析装置具备带电粒子束照射装置、第一处理部、第二处理部以及显示器。带电粒子束照射装置构成为向试样照射带电粒子束，并检测从试样释放的信号。第一处理部构成为能够与第一输入设备进行通信，并且构成为按照利用第一输入设备指定的分析条件，并基于带电粒子束照射装置的检测信号对试样进行分析。第二处理部构成为能够与第二输入设备及第一处理部进行通信，并且构成为根据带电粒子束照射装置的检测信号生成试样的观察图像，并且根据来自第二输入设备的信号控制带电粒子束照射装置。显示器构成为能够与第一处理部及第二处理部进行通信，并且构成为显示分析条件和由第二处理部生成的观察图像。第二输入设备包括指示设备。第二处理部将针对指示设备的操作输入转换为对带电粒子束照射装置的控制信号。

发明的效果

根据本发明，在分析装置中，能够以简单的结构提高分析者的作业效率。

附图说明

图1是说明本发明的实施方式所涉及的分析装置的结构例的概要图。

图2是概要地示出图1所示的电子束照射装置的结构例的图。

图3是概要地示出第一计算机和第二计算机的结构的图。

图4是示出第一显示器及第二显示器的显示例以及第一PD及第二PD的结构例的图。

图5是例示与第二PD的各操作对应的对电子束照射装置的控制内容的图。

具体实施方式

下面，参照附图来详细地说明本发明的实施方式。此外，对图中的相同或相当部分标注同一附图标记，不重复其说明。

图1是说明本发明的实施方式所涉及的分析装置的结构例的概要图。本实施方式所涉及的分析装置100构成为向试样照射带电粒子束，检测从试样产生的信号来进行试样的观察和分析。分析装置100例如是电子探针显微分析仪(EPMA：Electron Probe MicroAnalyzer)。

参照图1，本实施方式所涉及的EPMA 100具备电子束照射装置50、第一计算机10、第二计算机20、第一显示器12、第二显示器22、第一指示设备(以下也称为“第一PD”)11以及第二指示设备(以下也称为“第二PD”)21。

电子束照射装置50构成为向试样表面照射电子束，并检测从试样表面释放的信号。在检测信号中包含具有试样表面含有的元素所特有的能量的特性X射线、二次电子以及反射电子等。在EPMA 100中，通过对检测到的特性X射线的能量和强度进行分析，能够对在试样表面的分析位置处存在的元素进行鉴定和定量。电子束照射装置50对应于“带电粒子束照射装置”的一个实施例。

另外，能够基于所检测到的二次电子和反射电子来观察试样表面的形状、组成像、凸凹形状。分析者能够一边观察二次电子像或反射电子像一边搜索试样表面上的分析位置。具体地说，分析者能够一边观察电子像，一边设定电子射线在试样表面上的照射位置(即，试样表面的测定位置)并且指定试样表面上的分析对象区域。

EPMA一般存在以下倾向：在与对电子束照射装置的控制有关的处理以及与由电子束照射装置检测到的特性X射线的分析有关的处理各处理中所要处理的信息量和运算量变多。因此，本实施方式所涉及的分析装置100构成为利用不同的处理部执行与对电子束照射装置50的控制有关的处理以及与特性X射线的分析有关的处理。

具体地说，第一计算机10是用于分析由电子束照射装置50检测到的特性X射线的分析用计算机。第一计算机10对应于“第一处理部”的一个实施例。第二计算机20是用于控制电子束照射装置50的控制用计算机。第二计算机20对应于“第二处理部”的一个实施例。

如图1所示，第一计算机10和第二计算机20以能够通信的方式进行连接。第二计算机20还与电子束照射装置50以能够通信的方式进行连接。第二计算机20生成用于控制电子束照射装置50的各部的动作的控制信号，并将所生成的控制信号输出到电子束照射装置50。另外，第二计算机20接收由电子束照射装置50检测到的信号(特性X射线、二次电子和/或反射电子)。第二计算机20从电子束照射装置50接收二次电子和/或反射电子，并生成分析位置的观察图像(二次电子像和/或反射电子像)。另外，第二计算机20根据试样表面的分析位置处的电子射线的位置扫描，来生成分析位置处的元素的分布图像(X射线像)。

第一计算机10从第二计算机20接收特性X射线，基于接收到的特性X射线进行试样表面的分析位置处所含有的元素的定性、定量分析。具体地说，第一计算机10制作与特性X射线的波长扫描相应的X射线谱，并进行基于该X射线谱的定性分析和定量分析。

EPMA 100具有显示器来作为用于向分析者提供所生成的观察图像和分析结果等各种信息的输出设备。如上所述，由于与对电子束照射装置50的控制有关的处理以及与特性X射线的分析有关的处理各自的信息量多，因此在本实施方式中使用2个显示器12、22。第一显示器12连接于第一计算机10且具有第一显示画面120。第一显示器12构成用于显示与特性X射线的分析有关的处理的信息的显示部。在第一显示画面120显示X射线谱以及基于该X射线谱的定性分析及定量分析的结果等。

第二显示器22连接于第二计算机20且具有第二显示画面220。第二显示器22构成用于显示与对电子束照射装置50的控制有关的处理的信息的显示部。在第二显示画面220显示在设定试样的分析位置时分析者要观察的图像(X射线像、二次电子像和/或反射电子像)。

如图1所示，为了分析者的操作性，第一显示器12和第二显示器22接近地配置。在图1的例子中，第一显示画面120配置在纸面左侧，第二显示画面220配置在纸面右侧。

第一PD 11连接于第一计算机10。第一PD 11构成为能够与第一计算机10及第二计算机20进行通信。第一PD 11构成用于向第一计算机10输入分析者的指令的“第一输入设备”。第一输入设备例如是指示设备(以下也称为PD)、键盘以及触摸面板等。在图1的例子中，第一操作部是指示设备。指示设备例如是鼠标、操纵杆或跟踪球。

分析者使用第一PD 11来用指针P1指定第一显示画面120上的位置，由此能够进行所指定的该位置的坐标的读出以及向该位置的输入操作。作为具体的例子，在第一显示画面120显示有表示定性分析或定量分析等的分析项目的图标。分析者使用第一PD 11来用指针P1指定与期望的分析项目对应的图标。第一计算机10将针对第一PD 11的操作输入转换为对在第一显示画面120显示的指针P1的操作。由此，分析者能够使用第一PD 11指定分析项目以及分析项目的详细设定等分析条件等。此外，图标只要是在第一显示画面和第二显示画面显示的用于在分析装置100的操作或由分析装置100进行的分析(例如物质的鉴定或定量)中使用的图像即可，没有特别地限定。

此外，与第一PD 11对应的指针P1构成为：通常在第一显示画面120上发挥作用，但如果指针P1如箭头A1所示那样越过第一显示画面120的端部(在图1中为第一显示画面120的右端)而移动到第二显示画面220的端部(在图1中为第二显示画面220的左端)，则在第二显示画面220上发挥作用。即，指针P1起到将第一显示画面120的右端与第二显示画面220的左端虚拟连接的作用。

由此，分析者通过使用第一PD 11来用指针P1指定第二显示画面200上的位置，能够进行所指示的该位置的坐标的读出以及向该位置的输入操作。具体地说，在第二显示画面220显示有表示对电子束照射装置50的控制项目的图标。分析者使用第一PD 11来用指针P1指定与期望的控制项目对应的图标。第一计算机10将针对第一PD 11的操作输入转换为对在第二显示画面220显示的指针P1的操作。由此，分析者能够使用第一PD 11指定期望的控制项目的条件等。

第二PD 21连接于第二计算机20。第二PD 21构成为能够与第二计算机20进行通信。第二PD 21构成用于向第二计算机20输入分析者的指令的“第二输入设备”。第二输入设备是指示设备。指示设备例如是鼠标、操纵杆或跟踪球。分析者能够使用第二PD 21向第二计算机20输入与对电子束照射装置50的控制有关的指令。但是，与第二PD 21对应的指针不显示在第一显示画面120和第二显示画面220上。在后面详细叙述第二PD 21。

图2是概要地示出图1所示的电子束照射装置50的结构例的图。

参照图2，电子束照射装置50具备电子枪1、偏转线圈2、物镜3、试样台4、试样台驱动部5、多个分光器6a、6b、偏转线圈控制部7以及电子检测器8。电子枪1、偏转线圈2、物镜3、试样台4、分光器6a、6b以及电子检测器8设置在未图示的测量室内。在X射线的测量中，测量室内被排气而成为接近真空的状态。

电子枪1是产生向试样台4上的试样S照射的电子射线E的激发源，能够通过控制会聚透镜(未图示)来调整电子射线E的束电流。偏转线圈2由于从偏转线圈控制部7供给的驱动电流而形成磁场。能够通过由偏转线圈2形成的磁场来使电子射线E偏转。

物镜3设置在偏转线圈2与载置在试样台4上的试样S之间，用于将通过了偏转线圈2的电子射线E缩小为微小直径。试样台4是用于载置试样S的台，构成为能够通过试样台驱动部5使试样台4在水平面内移动。

电子束照射装置50能够通过由试样台驱动部5对试样台4的驱动和/或由偏转线圈控制部7对偏转线圈2的驱动来二维地扫描电子射线E在试样S上的照射位置。偏转线圈2和/或试样台4构成使电子射线E在试样S上扫描的“扫描部”。通常，在扫描范围比较小时，通过偏转线圈2进行扫描，在扫描范围比较大时，通过试样台4的移动来进行扫描。

分光器6a、6b是用于检测从被照射了电子射线E的试样S释放的特性X射线的设备。此外，在图2中仅示出了2个分光器6a、6b，但实际上在电子束照射装置50中以包围试样S的方式总共设置有4个分光器。各分光器的结构除分光晶体以外是相同的，以下，有时将各分光器简称为“分光器6”。

分光器6a包括分光晶体61a、检测器63a以及狭缝64a。电子射线E在试样S上的照射位置、分光晶体61a以及检测器63a配置在未图示的罗兰圆上。通过未图示的驱动机构使分光晶体61a在直线62a上一边移动一边倾斜。通过未图示的驱动机构使检测器63a与分光晶体61a的移动相应地如图示那样转动，以使特性X射线相对于分光晶体61a的入射角和衍射X射线相对于分光晶体61a的出射角满足布拉格衍射条件。由此，能够进行从试样S释放的特性X射线的波长扫描。

分光器6b构成为包括分光晶体61b、检测器63b以及狭缝64b。分光器6b和未图示的分光器的结构除分光晶体以外，其余与分光器6a的结构相同，因此不重复说明。此外，各分光器的结构不限于如上所述的结构，能够采用以往已知的各种结构。

电子检测器8是用于检测从被照射了电子射线E的试样S释放的电子射线的设备。电子检测器8检测二次电子。电子检测器8的检测信号被发送到第二计算机20。

另外，利用未图示的电子检测器也检测反射电子。反射电子的检测信号也被发送到第二计算机20。

偏转线圈控制部7按照来自第二计算机20的指示来控制向偏转线圈2供给的驱动电流。通过按照预先决定的驱动电流模式(大小和变更速度)控制驱动电流，能够以期望的扫描速度在试样S上扫描电子射线E的照射位置。

第二计算机20按照内置的程序和表来执行与对电子束照射装置50的控制有关的各种处理。另外，第二计算机20与试样S上的分析对象区域内的电子射线E的位置扫描相应地生成分析对象区域内的观察图像。具体地说，第二计算机20基于由电子检测器8检测到的二次电子来生成试样S的分析对象区域的二次电子像。另外，第二计算机20基于由4个分光器6检测到的特性X射线，来生成试样S的分析对象区域内的分析对象元素的分布图像(X射线像)。

第一计算机10在从第二计算机20接收到作为分析对象的X射线的波长扫描时，基于接收到的波长扫描来制作X射线谱。第一计算机10进行基于X射线谱的定性分析和/或定量分析等。

图3是概要地示出第一计算机10和第二计算机20的结构的图。

参照图3，第一计算机10具备CPU 13、存储器14、输入接口(以下也称为输入I/F)15、显示控制器16以及通信接口(以下也称为通信I/F)17。

第一计算机10构成为按照存储在存储器14中的程序来进行动作。存储器14包括未图示的ROM(Read Only Memory：只读存储器)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)以及HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)。

ROM能够存储由CPU 13执行的程序。在程序中包含与对由电子束照射装置50检测到并经由第二计算机20接收到的特性X射线进行分析的处理有关的程序。RAM能够作为临时性的数据存储器而发挥功能，该临时性的数据存储器临时存储在由CPU 13执行程序的过程中所利用的数据，并且作为工作区来利用。HDD是非易失性的存储装置，能够存储从第二计算机20接收到的特性X射线以及特性X射线的分析结果等。也可以除HDD以外还采用闪存等半导体存储装置，或者，代替HDD而采用闪存等半导体存储装置。

CPU 13控制第一计算机10。CPU 13将存储在存储器14的ROM中的程序在RAM等中展开并执行该程序。

输入I/F 15连接于第一PD 11。输入I/F 15是用于第一计算机10与第一PD11进行通信的接口，用于从第一PD 11接收各种信号。

显示控制器16连接于第一显示器12。显示控制器16向第一显示器12输出用于指示第一显示画面120上的显示内容的信号。在第一显示器12是具备触摸面板的显示器的情况下，显示控制器16从第一显示器12接收表示分析者的触摸操作的信号。

通信I/F 17连接于第二计算机20的通信I/F 27。通信I/F 17是用于第一计算机10与第二计算机20进行通信的接口，用于与第二计算机20之间进行各种信号的输入输出。

第一计算机10通过在具有一般功能的计算机中安装与特性X射线的分析有关的软件并在存储器14中存储专用的程序和数据来实现。具体地说，在第一计算机10中，被称为操作***(OS)的基本软件程序始终运行。该基本软件程序负责向第一显示器12的显示、针对第一PD 11的操作输入的处理、向存储器14的访问等，能够并行地进行处理。

另一方面，在基本软件程序上执行与特性X射线的分析有关的软件程序。从外部向第一计算机10的存储器14提供与特性X射线的分析有关的软件程序，通过CPU 13读出并执行所提供的程序代码来实现与特性X射线的分析有关的软件程序。

第二计算机20具备CPU 23、存储器24、输入I/F 25、显示控制器26以及通信I/F27。第二计算机20构成为按照存储在存储器24中的程序进行动作。存储器24包括未图示的ROM、RAM以及HDD。

ROM能够存储由CPU 23执行的程序。在程序中包含与对电子束照射装置50的控制有关的处理的程序。RAM能够作为临时性的数据存储器而发挥功能，该临时性的数据存储器能够临时存储在CPU 23执行程序的过程中所利用的数据，并作为工作区来利用。HDD是非易失性的存储装置，能够存储由电子束照射装置50产生的检测信号和由第二计算机20生成的信息。也可以除了HDD以外还采用闪存等半导体存储装置，或者代替HDD而采用闪存等半导体存储装置。

CPU 23控制电子束照射装置50和分析装置100的整体。CPU 23将存储在存储器24的ROM中的程序在RAM等中展开并执行该程序。

输入I/F 25连接于第二PD 21。输入I/F 25是用于第二计算机20与第二PD21进行通信的接口，从第二PD 21接收各种信号。

显示控制器26连接于第二显示器22。显示控制器26向第二显示器22输出用于指示第二显示画面220的显示内容的信号。在第二显示器22是具备触摸面板的显示器的情况下，显示控制器26从第二显示器22接收表示分析者对第二显示画面220的触摸操作的信号。

通信I/F 27与电子束照射装置50及第一计算机10的通信I/F 17连接。通信I/F 27是用于第二计算机20与电子束照射装置50及第一计算机10进行通信的接口，在与电子束照射装置50及第一计算机10之间进行各种信号的输入输出。

第二PD 21是专门用于控制电子束照射装置50的PD。后面详细叙述第二PD 21。

第二计算机20能够通过在具有一般功能的计算机中安装与对电子束照射装置50的控制有关的软件并在存储器24中存储专用的程序和数据来实现。具体地说，在第二计算机20中，被称为OS的基本软件程序始终运行。该基本软件程序负责向第二显示器22的显示、针对第二PD 21的操作输入的处理以及向存储器24的访问等，能够并行地进行处理。

另一方面，在基本软件程序上执行与对电子束照射装置50的控制有关的软件程序。从外部向第二计算机20的存储器24提供与对电子束照射装置50的控制有关的软件程序，通过CPU 23读出并执行所提供的该程序代码来实现与对电子束照射装置50的控制有关的软件程序。

图4是示出第一显示器及第二显示器的显示例以及第一PD及第二PD的结构例的图。

参照图4，第二显示器22显示与对电子束照射装置50的控制有关的信息。分析者能够基于该显示来向第二计算机20提供用于控制电子束照射装置50的各种指示。例如，在第二显示器22的第二显示画面220能够显示表示电子束照射装置50的观察条件的数值以及观察图像(二次电子像和/或反射电子像以及X射线像)。在图4的例子中，在第二显示画面220显示有基于从电子束照射装置50发送到第二计算机20的特性X射线而生成的观察图像即X射线像I1以及表示X射线像I1的观察条件的数值M1～M4。分析者能够一边观察X射线像I1一边调整数值M1～M4各数值。后面叙述图标221～224。

另一方面，在第一显示器12的第一显示画面120显示用于对从第二计算机20传送到第一计算机10的特性X射线进行处理和分析的图标121～123、表示分析结果的窗口W1以及对在第二显示器22显示的X射线像I1进行图像处理而得到的图像I2。分析者能够使用第一PD 11选择作为分析对象的观察图像，在图标121～123等中选择分析内容，并通过窗口W1以及图像I2等确认分析以及处理的结果。此外，在图4的图像I2中示出了进行用于提高X射线像I1的对比度的处理来提高了分析者的可视性的例子。

如上所述，在分析装置的试样观察中，在变更作为观察对象的试样S的情况下，进行试样S的位置对准、电子束的焦点和倍率的变更等来对电子束照射装置50的各部进行控制。来自电子束照射装置50的信息被发送到控制电子束照射装置50的控制计算机，并显示在用于显示与控制有关的信息的第二显示器22上。分析者基于在第二显示器22显示的信息，对第二计算机20提供与对电子束照射装置50的各部的控制有关的指示。第二计算机20将分析者的指示反映到对电子束照射装置50的控制中。

在此，由于每当变更试样S时就会被提供由该分析者进行的与对电子束照射装置50的控制有关的各种指示，因此，与其它操作相比，提供各种指示的频率高。因而，优选使用分析者能够容易地访问的输入设备来进行各种指示。作为使用这种输入设备进行各种指示的第一典型的方法，存在以下方法：使用鼠标、键盘或具备上述的触摸面板的显示器等，对在第二显示器22的第二显示画面220显示的表示各种控制的图标进行操作。

以下，例示使用鼠标进行各种指示的方法。首先，对控制计算机以及与控制计算机进行通信的计算机(例如分析计算机)中的至少一方连接鼠标。接着，分析者通过基于在第二显示器22显示的信息操作鼠标来操作与鼠标的操作联动的指针，由此能够向控制计算机输出指令。例如，通过右键点击第二显示画面220上的规定的图标，能够发出用于使试样台上下移动的指令。控制计算机基于该指令来控制电子束照射装置50。

此外，与上述的利用鼠标进行的各种指令的输入同样地，也能够利用键盘进行各种指令的输入。其中，分析者通过在键盘上用手指按压键来向控制计算机发送信号等，由此实现向控制计算机发出指令。例如，通过同时按压规定的键和向下箭头，能够输出用于使试样台下降的指令。

或者，分析者用手指对显示器上显示的图标等进行触摸或轻轻按压等操作，控制计算机将该操作转换为规定的指令，由此实现利用具备触摸面板的显示器进行的各种指令的输入。例如，通过触摸显示画面上的规定的按钮，能够输出用于使试样台上下移动的指令。

作为具体例，在图4中示出了将分析用PD即第一PD 11作为控制用PD来并用的结构。在图4的第二显示器22的第二显示画面220显示有用于进行X射线像I1的观察条件的输入及变更的图标221～224。分析者通过使用第一PD 11操作图标221～224，能够向电子束照射装置50输出用于进行期望的控制的指令。此外，由分析者发出指令的方式不限于上述例子，例如也可以通过使用第一PD 11和未图示的键盘中的至少一方直接变更数值M1～M4来实现。或者，也可以设为取代数值M1～M4而操作滑动条的结构。也可以设为以下结构：将第二显示器22设为具备分析者能够操作的触摸面板的显示器，分析者通过触摸来向电子束照射装置50输出指令。数值M1～M4(或滑动条)以及图标221～224对应于“图标”的一个实施例。

但是，在像这样使用鼠标、键盘或触摸面板等输入设备来操作显示画面上的图标的方法中，这些输入设备需要与在显示画面上实现的其它许多操作并用。例如在计算机的基本设定的变更以及文件制作等除对电子束照射装置50的控制以外的软件的使用中也使用输入设备。因此，难以将输入设备构成为在与其它许多操作并用的同时实现专门用于频率高的对电子束照射装置50的控制的直观的操作。

接着，作为使用输入设备进行的与对电子束照射装置50的控制有关的各种指示的第二典型的方法，存在使用专用的输入设备的方法，该专用的输入设备是为了支持对电子束照射装置50的控制而开发出的设备。具体地说，能够在电子束照射装置50的侧面设置操作面板，在操作面板上配置与各种控制对应的按钮和开关等。分析者通过操作该按钮和开关等，能够实现针对电子束照射装置50的期望的控制。或者，作为专用的输入设备，也能够使用构成为能够通过有线等与电子束照射装置50进行通信的附属于该装置的操纵杆等。

但是，在像这样使用附属于电子束照射装置50的专用的输入设备的方法中，由于操作性的好坏易于根据分析者的不同而变化，因此作业效率有可能降低。

因而，在本实施方式所涉及的分析装置100中，能够以简单的结构使用符合分析者的喜好的输入设备输入用于控制电子束照射装置50的指令，由此提高分析者的作业效率。

参照图4，第二PD 21是专门用于对第二计算机20提供与对电子束照射装置50的控制有关的各种指示这一目的的PD。与第一PD 11不同，第二PD 21不在显示器上显示与指示设备对应的指针。针对第二PD 21的操作输入是在第二计算机20中转换为用于控制电子束照射装置50的控制信号。即，第二PD21与第一PD 11的不同点在于，第二PD 21不具有作为原来的PD的功能。此外，与用于向第一计算机10和第二计算机20输入指令的第一PD 11不同，第二PD21用于仅向第二计算机20输入指令。第二计算机20基于从第二PD 21提供的指令来控制电子束照射装置50。

在此，作为第二PD 21，能够使用鼠标、操纵杆或跟踪球等普通的PD。鼠标、操纵杆以及跟踪球等PD的操作性通常互不相同。分析者能够选择自己感觉操作性良好的PD，来用作第二PD 21。这些普通的PD对于分析者来说是容易得到的，因此具有不耗费分析者多余的成本和工夫的优点。

在图4中，作为第二PD 21，例示了搭载有跟踪球215、滚轮216、L按钮213、R按钮214、按钮211以及按钮212的鼠标。在本实施方式中，第二PD 21的上述各部的规定的操作分别与用于驱动电子束照射装置50的扫描部(偏转线圈2和/或试样台4)的控制建立对应。

图5是例示与第二PD 21的各操作对应的对电子束照射装置50的控制内容的图。参照图5，例如当跟踪球215移动时，在使跟踪球215移动的方向上试样台4(参照图2)沿水平(XY)方向移动。

另一方面，当使滚轮216转动时，试样台4沿铅垂(Z)方向移动。

在图5中还示出了以下例子：通过操作第二PD 21的各部(在图5的表中为跟踪球215、滚轮216、L按钮213、R按钮214)来进行焦点变更、像散校正以及倍率变更之类的控制。

当由分析者操作第二PD 21时，第二计算机20构成为按照图5所示的第二PD 21的操作与对电子束照射装置50的控制之间的关系来将来自第二PD 21的信号转换为对电子束照射装置50的控制信号。此外，记载有图5所示的关系的程序预先存储在内置于第二计算机20的ROM中。

图4和图5示出的方法能够将分析者的手的动作直接转换为电子束照射装置50的动作，因此与使用第一PD 11操作图标221～224的方法以及使用第一PD 11和/或键盘等变更数值M1～M4的方法相比，具有能够直观地操作的优点。

另一方面，考虑以下情况：根据分析者的不同，图4示出的利用鼠标进行的操作直观上不合适。在该情况下，分析者能够将第二PD 21变更为自己感觉操作性更好的其它PD(例如操纵杆等)。在该情况下，分析者能够对存储在第二计算机20的ROM中的程序进行定制，使得将符合自己的喜好的PD的各操作与对电子束照射装置50的控制建立对应。

如上所述，由于分析者能够使用感觉操作性良好的输入设备来控制电子束照射装置，因此能够提高分析者的操作性。另外，由于不需要制作与每个输入设备对应的程序，因此实现起来也简便。

此外，第二计算机20构成为能够在与来自第二PD 21的信号相应的对电子束照射装置50的控制以及与经由第一计算机10传送的来自第一PD 11的信号相应的对电子束照射装置50的控制之间进行切换。具体地说，在使用第一PD 11操作了图标221～224的情况下，第二计算机20按照该操作输入来控制电子束照射装置50。另一方面，在如图5所例示那样操作了第二PD 21的情况下，第二计算机20按照该操作输入来控制电子束照射装置50。由此，分析者能够选择性地使用2个输入设备，因此能够扩大操作性的范围。

另外，在图1中示出了第一PD 11及第二PD 21分别与第一计算机10及第二计算机20以能够通信的方式进行连接的结构例。但是，第一PD 11及第二PD 21与计算机连接的连接方式不限定于此，只要第一PD 11能够以有线或无线方式向第一计算机10和第二计算机20发送信号、第二PD 21能够以有线或无线方式向第二计算机20发送信号即可。例如，也可以设为以下结构：将第一PD 11和第二PD 21均连接于第一计算机10，将第二PD 21的信号经由第一计算机10发送到第二计算机20。

同样地，示出了以下结构例：第一显示器12及第二显示器22分别与第一计算机10及第二计算机20以能够通信的方式进行连接，但第一显示器12及第二显示器22与计算机连接的连接方式不限定于此。第一显示器12只要能够以有线或无线方式从第一计算机10接收信号即可，第二显示器22只要能够以有线或无线方式从第二计算机20接收信号即可。

另外，在图1中，将电子束照射装置50的控制用的第二计算机20和分析用的第一计算机10设为独立的2个计算机来示出。但是，第二计算机20和第一计算机10的结构和台数不限定于此，只要具有负责与计算机的控制有关的处理的处理部(第二处理部)以及负责与分析有关的处理的处理部(第一处理部)即可。例如，第二计算机20和第一计算机10也可以由负责与1个计算机内的控制有关的处理的处理部(第二处理部)以及负责与分析有关的处理的处理部(第一处理部)构成。在该情况下，第一处理部和第二处理部的一部分构成要素和功能可以重叠。另外，也可以将第一处理部和第二处理部分别设为虚拟驱动器。在该情况下，能够设为以下结构：第一PD 11和第二PD 21双方以有线或无线方式与负责控制和分析这两方面的计算机连接。

同样地，控制用的第二显示器22和分析用的第一显示器12只要是显示控制用的信息的部分和显示分析用的信息的部分即可。例如，控制用的第二显示器22和分析用的第一显示器12也可以是一体化的单个显示器。同样地，第一显示画面120和第二显示画面220也不限定于2个画面，也可以是1个显示器的2个显示区域。第一显示画面120和第二显示画面220分别对应于“第一显示区域”和“第二显示区域”。另外，第一显示器12和第二显示器22对应于“显示器”。

另外，上述实施方式是一例，能够按照本发明的宗旨适当地变更。具体地说，在上述实施方式中，作为分析装置，例示了EPMA，但也能够代替电子射线而将离子束用作激发源。另外，在上述实施方式中设为以下结构：检测二次电子和反射电子并制作二次电子像和反射电子像，检测特性X射线并生成特定的元素的二维分布像(X射线像)，但作为用于生成观察图像的信号，也能够检测其它信号(例如荧光)，在各种扫描型带电粒子显微镜中能够使用本发明的结构。

应该认为此次公开的实施方式在所有方面均为例示而非限制性的。本发明的范围并非通过上述说明来示出，而是通过权利要求书来示出，且包含与权利要求书等同的含义和范围内的所有变更。

附图标记说明

1：电子枪；2：偏转线圈；3：物镜；4：试样台；5：试样台驱动部；6、6a、6b：分光器；7：偏转线圈控制部；8：电子检测器；10：第一计算机(第一处理部)；12：第一显示器；14、24：存储器；15、25：输入接口(输入I/F)；16、26：显示控制器；17、27：通信接口(通信I/F)；20：第二计算机(第二处理部)；22：第二显示器；50：电子束照射装置；61a、61b：分光晶体；63a、62b：检测器；64a、64b：狭缝；100：分析装置；120：第一显示画面；121～123、221～224：图标；221～214：按钮；215：跟踪球；216：滚轮；220：第二显示画面；E：电子射线；I1：X射线像；I2：图像；P1：指针；S：试样；W1：窗口。

Claims (6)

1.一种分析装置，具备：

带电粒子束照射装置，其构成为向试样照射带电粒子束，并检测从所述试样释放的信号；

第一处理部，其构成为能够与第一输入设备进行通信，并且构成为按照利用所述第一输入设备指定的分析条件，并基于所述带电粒子束照射装置的检测信号对所述试样进行分析；

第二处理部，其构成为能够与第二输入设备及所述第一处理部进行通信，并且构成为根据所述带电粒子束照射装置的检测信号生成所述试样的观察图像，并且根据来自所述第二输入设备的信号控制所述带电粒子束照射装置；

第一显示器，其构成为能够与所述第一处理部进行通信，用于显示用于表示所述分析条件的图标；以及

第二显示器，其构成为能够与所述第二处理部进行通信，用于显示由所述第二处理部生成的所述观察图像、以及用于控制所述带电粒子束照射装置的图标，

其中，所述第一输入设备构成为能够接受用于操作在所述第一显示器显示的图标和在所述第二显示器显示的图标的操作输入，

所述第二输入设备包括专门用于对所述带电粒子束照射装置的控制的控制用指示设备，

所述第二处理部将针对所述控制用指示设备的操作输入转换为对所述带电粒子束照射装置的控制信号。

2.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

所述带电粒子束照射装置包括扫描部，所述扫描部构成为使所述带电粒子束在所述试样上的分析对象区域内扫描，

所述控制用指示设备构成为能够接受多个操作输入，

所述第二处理部构成为将所述多个操作输入转换为对所述扫描部的控制信号。

3.根据权利要求2所述的分析装置，其特征在于，

所述多个操作输入是通过被施加于所述控制用指示设备的、用于控制所述扫描部的多个动作中的各个动作进行的输入，

所述第二处理部在所述第一显示器和所述第二显示器都不显示与所述控制用指示设备对应的指针的状态下，将所述多个操作输入转换为对所述扫描部的控制信号。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的分析装置，其特征在于，

所述第一输入设备包括用于操作在所述第一显示器和所述第二显示器显示的图标的操作用指示设备，

与所述操作用指示设备对应的指针能够显示于所述第一显示器和所述第二显示器，

在与所述操作用指示设备对应的指针显示于所述第一显示器时，所述第一处理部将针对所述操作用指示设备的操作输入转换为对在所述第一显示器显示的指针的操作，将对在所述第一显示器显示的指针的操作转换为对在所述第一显示器显示的图标的操作，

当与所述操作用指示设备对应的指针越过所述第一显示器的端部而移动到所述第二显示器时，所述第一处理部将针对所述操作用指示设备的操作输入转换为对在所述第二显示器显示的指针的操作，将对在所述第二显示器显示的指针的操作转换为对在所述第二显示器显示的图标的操作。

5.根据权利要求2所述的分析装置，其特征在于，

所述第二处理部能够变更所述多个操作输入中的各个操作输入与对所述扫描部的控制信号之间的对应。

6.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

所述第二处理部构成为：能够在与来自所述第二输入设备的信号相应的对所述带电粒子束照射装置的控制以及与经由所述第一处理部传送的来自所述第一输入设备的信号相应的对所述带电粒子束照射装置的控制之间进行切换。