JP7465093B2 - 硬化体及びその製造方法、樹脂シート及び樹脂組成物 - Google Patents
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Description
近年、電子機器の軽薄短小化が進められている。それに伴い、折り曲げて電子機器に収納可能であるフレキシブル配線板が求められている。また、配線板の更なる薄型化を可能とするために、埋め込み型の配線層を備える配線板が求められている(例えば、特許文献1参照)。
通常、研磨面に再配線層を形成する場合には、研磨面にフォトレジストとして感光性樹脂を塗布して薄膜層を形成する。そして、その薄膜層の一部(具体的には、配線層又は端子に対応する部分)を除去した後で、再配線層を形成する。再配線層は、薄膜層が除かれた部分では研磨面上に直接に形成されるが、薄膜層が残った部分ではその薄膜層を介して研磨面上に形成される。
研磨面の塗布均一性が劣っていると、薄膜層が不均一となり、抜けが生じることがある。ここで「抜け」とは、薄膜層が形成されていなかったり、薄膜層の表面が局所的に凹んでいたりすることで、薄膜層の表面の高さが周囲よりも低くなっている箇所のことをいう。このような抜けは、通常、微小なものである。しかし、微細な再配線層を形成しようとする場合、その抜けの箇所においては、意図したとおりの再配線層を形成することが難しい。
すなわち、本発明は、以下のものを含む。
前記研磨面に存在する凹みの最大深さが、10μm未満である、硬化体。
〔2〕 (B)成分が、フェノール系硬化剤又は酸無水物系硬化剤である、〔1〕に記載の硬化体。
〔3〕 (C)成分の平均粒径が、0.5μm~20μmである、〔1〕又は〔2〕に記載の硬化体。
〔4〕 (C)成分が、アミノシラン化合物又はエポキシシラン化合物で処理されている、〔1〕~〔3〕のいずれか一項に記載の硬化体。
〔5〕 前記研磨面が、前記(C)成分が研磨されて形成された充填材面部分を含み、
前記充填材面部分に、深さ10μm未満の凹みが形成されている、〔1〕~〔4〕のいずれか一項に記載の硬化体。
〔6〕 (C)成分が、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含み、
(C)成分に含まれる前記中空充填材粒子の中空部の長径が最大でも5μm未満である、〔1〕~〔5〕のいずれか一項に記載の硬化体。
〔7〕 前記硬化体が、前記研磨面に再配線層を形成されるためのものである、〔1〕~〔6〕のいずれか一項に記載の硬化体。
〔8〕 前記硬化体が、前記研磨面と面一な表面部分を有する接続端子部と組み合わせて構造体に含まれ、前記研磨面に再配線層を形成されるためのものである、〔1〕~〔7〕のいずれか一項に記載の硬化体。
〔9〕 前記硬化体が、前記研磨面に薄膜層を形成された後に再配線層を形成されるためのものである、〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の硬化体。
〔10〕 前記樹脂組成物によって樹脂組成物層を形成する工程と、
前記樹脂組成物を硬化させて、硬化体を得る工程と、
前記硬化体を研磨する工程と、を含む、〔1〕~〔9〕のいずれか一項に記載の硬化体の製造方法。
〔11〕 支持体と、該支持体上に設けられた樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を備え、
前記樹脂組成物が、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含み、
前記樹脂組成物を180℃1時間で硬化し、研磨して、算術平均粗さ500nm以下の研磨面を形成した場合、前記研磨面に存在する凹みの最大深さが、10μm未満である、樹脂シート。
〔12〕 (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含む、液状の樹脂組成物であって、
前記樹脂組成物を180℃1時間で硬化し、研磨して、算術平均粗さ500nm以下の研磨面を形成した場合、前記研磨面に存在する凹みの最大深さが、10μm未満である、樹脂組成物。
〔13〕 再配線層を形成される研磨面を有する硬化体を得るための樹脂組成物であって、
前記樹脂組成物が、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含み、
(C)成分の平均粒径が、0.5μm~20μmであり、
(C)成分が、アミノシラン化合物又はエポキシシラン化合物で処理されており、
(C)成分が、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含み、
(C)成分に含まれる前記中空充填材粒子の中空部の長径が最大でも5μm未満である、樹脂組成物。
図1は、本発明の一実施形態としての硬化体100を模式的に示す断面図である。
図1に示す本発明の一実施形態としての硬化体100は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含む樹脂組成物を硬化した硬化材料で形成されている。通常、硬化体100は、図1に示すように層状に形成されるが、硬化体100の形状は、層状には限定されない。
硬化体100の研磨面100Uに垂直な断面が現れるように、FIB(集束イオンビーム)によって、硬化体100を削る。現れた断面を透過型電子顕微鏡(SEM)を用いて撮影して、断面SEM画像(観察幅60μm、観察倍率2,000倍)を取得する。この断面観察を、無作為に選んだ50箇所で行なう。ただし、測定箇所は、凹み110を撮影できる50箇所を選択する。その後、得られた断面SEM画像から、凹み110の深さの最大値を求める。この最大値を、凹み110の最大深さDとして得る。
(C)無機充填材の粒子の研磨面100Uからの脱離を抑制できるように、樹脂組成物の組成を調整すること、
(C)無機充填材の粒子が研磨面100Uから脱離しても、その脱離跡が浅くなるように粒子径を調整すること、及び、
(C)無機充填材に含まれる中空充填材粒子の内部に形成された中空部を小さくすること、
が挙げられる。
樹脂組成物は、上述した通り、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含む。また、樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材以外に、任意の成分を含んでいてもよい。
樹脂組成物は、(A)成分として、エポキシ樹脂を含む。(A)エポキシ樹脂としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
樹脂組成物は、(B)成分として、硬化剤を含む。(B)硬化剤は、通常、(A)エポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させる機能を有する。(B)硬化剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
樹脂組成物は、(C)成分として、無機充填材を含む。(C)無機充填材を用いることにより、樹脂組成物を硬化した硬化材料の線熱膨張係数を小さくでき、また、反りを抑制することができる。(C)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
(C)無機充填材は、通常、図2に示すように、内部に中空部210を形成された中空充填材粒子200を含む。樹脂組成物を硬化して研磨する時に中空充填材粒子200が研磨されると、内部の中空部210が研磨面に開口し、凹みを形成することがある。よって、中空充填材粒子200は、(C)無機充填材から排除することが好ましい。しかし、中空充填材粒子200は、一般に、(C)無機充填材の製造時に不可避的に生じるものであり、(C)無機充填材から完全に排除することは、難しい。
中空充填材粒子200を含む樹脂組成物の硬化体を用意し、FIB(集束イオンビーム)によって、中空充填材粒子200が切断されるように削る。現れた断面をSEMで観察して、中空部210の長径Lを測定できる。
樹脂組成物は、任意の成分として、上述した成分以外に(D)硬化促進剤を含んでいてもよい。(D)硬化促進剤を用いることにより、樹脂組成物を硬化させる際に硬化を促進できる。
樹脂組成物は、任意の成分として、上述した成分以外に(E)有機充填材を含んでいてもよい。(E)有機充填材を用いることにより、樹脂組成物を硬化した硬化材料の引張弾性率等の機械的特性を好適な範囲に容易に調整できる。
樹脂組成物は、任意の成分として、上述した成分以外に(F)着色剤を含んでいてもよい。(F)着色剤を用いることにより、樹脂組成物及びその硬化材料を、(F)着色剤の色に呈色させることができる。
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に任意の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物;熱可塑性樹脂;増粘剤;消泡剤;レベリング剤;密着性付与剤;難燃剤;等の樹脂添加剤が挙げられる。これらの添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
樹脂組成物は、液状であってもよく、固体状であってもよい。
例えば、常温(例えば、20℃)において液状の樹脂組成物は、特段の温度調整を行うことなく、常温で成形できる。よって、このような樹脂組成物は、常温で、ラミネート法及び圧縮成型法等の成形方法を用いた硬化体の製造に用いることができる。また、このような樹脂組成物を、適切な温度に加熱して成形を行ってもよい。
例えば、常温において固体状の樹脂組成物は、通常、その温度をより高い温度(例えば、130℃)に調整することによって、液状になれる。よって、このような樹脂組成物は、加熱等の適切な温度調整を行うことにより、ラミネート法及び圧縮成型法等の成形方法を用いた硬化体の製造に用いることができる。
樹脂組成物は、当該樹脂組成物を硬化させて得られる硬化材料を研磨した場合に、凹みの最大深さが小さい研磨面を得ることができる。具体的には、樹脂組成物を180℃1時間で硬化して得られる評価用硬化体を研磨して、算術平均粗さRaが500nm以下の評価用研磨面を形成する評価試験を行った場合に、この評価用研磨面に存在する凹みの最大深さDを、上述した所定の範囲に収めることができる。ここで、「評価用硬化体」及びその「評価用研磨面」とは、樹脂組成物の評価のために用いる硬化体及びその研磨面を、評価用途以外に用いる硬化体及び研磨面から区別して示すために用いる用語である。よって、この樹脂組成物を用いることにより、凹みの最大深さDが小さい研磨面を有する硬化体を形成できる。したがって、樹脂組成物を用いることにより、樹脂の塗布均一性に優れた研磨面を有する硬化体を得ることができる。
図3に示すように、研磨面300Uの凹み310は、硬化体300に含まれる(C)無機充填材の粒子320が脱離して形成されることがある。このようなタイプの凹み310は、粒子320の粒径が小さければ、その深さを小さくできる。また、複数の粒子320が凝集して二次粒子(図示せず)を形成し、その二次粒子が脱離することも考えられるが、粒子320の粒径を適切に調整すれば、凝集の抑制は可能である。よって、(C)無機充填材の粒子320の脱離により形成される凹み310は、(C)無機充填材の平均粒径を適切に設定することで、その深さを10μm未満と小さくすることができる。さらには、樹脂組成物に含まれる樹脂成分を適切に調整したり、(C)無機充填材の表面処理を行ったりすることで、粒子320の脱離自体を抑制することができる。これにより、研磨面300Uの凹み310の最大深さDを上述した所定の範囲に収めることができる。ここで「樹脂成分」とは、樹脂組成物に含まれる不揮発成分のうち、(C)無機充填材以外の成分をいう。
図4に示すように、研磨面400Uの凹み410は、(C)無機充填材に含まれる粒子としての中空充填材粒子420が硬化体400の研磨時に研磨されることで、その中空充填材粒子420の中空部430が研磨面400Uに開口して形成されることがある。この凹み410が形成された研磨面400Uは、通常、中空充填材粒子420等の(C)無機充填材が研磨されて形成された充填材面部分420Uを含む。そして、この充填材面部分420Uに、凹み410が形成されている。このようなタイプの凹み410は、(C)無機充填材に含まれる中空充填材粒子420の中空部430が小さければ、その深さを小さくできる。中空部430の形状は一般に一様ではないが、中空部430の長径が十分に小さければ、その中空部430が研磨面400Uに開口しても、凹み410の深さは小さくできる。よって、(C)無機充填材の中空充填材粒子420の研磨により形成される凹み410は、中空充填材粒子420の中空部の長径を小さくすることで、その深さを10μm未満と小さくすることができる。これにより、研磨面400Uの凹み410の最大深さDを上述した所定の範囲に収めることができる。前記のように凹み410が形成された充填材面部分420Uを有する硬化体400は、通常、当該硬化体400内に中空充填材粒子420を含む。よって、硬化体400を切って断面観察をした場合には、通常、硬化体400内の研磨面400U以外の位置に中空充填材粒子420を観察することができる。
例えば、実施例に記載の方法によって、樹脂組成物を硬化して硬化材料を製造する。この硬化材料について実施例に記載の測定方法で測定される誘電正接は、好ましくは0.010以下、より好ましくは0.008以下である。誘電正接の値の下限は、低いほど好ましく、例えば0.001以上でありうる。
硬化体は、上述した樹脂組成物を硬化させた硬化材料で形成されている。この硬化体は、少なくとも一つの研磨面を有する。通常、研磨面は、前記の凹みを除いて面一(ツライチ)な平面となっている。ここで、ある面が「面一」であるとは、当該面が同一平面にあることをいう。
研磨面の算術表面粗さRaは、後述する実施例に記載の方法によって測定できる。
硬化体は、通常、樹脂組成物を硬化した後に、研磨して製造できる。また、特に、層状の硬化体は、例えば、下記の工程(1)~工程(3)を含む製造方法によって、製造できる。
(1)樹脂組成物によって樹脂組成物層を形成する工程。
(2)樹脂組成物を硬化させて、硬化体を得る工程。
(3)硬化体を研磨する工程。
硬化体は、上述した利点を活用して、封止層及び絶縁層として用いることができる。硬化体は、例えば、半導体チップパッケージの絶縁層、プリント配線板等の回路基板の絶縁層として用いることができる。また、硬化体は、例えば、半導体チップの封止層として用いることができる。組成を調整することにより溶剤を含まなくても上述した樹脂組成物が適切な温度において液状になれることを利用して、硬化体を封止層に適用する場合には、樹脂組成物を液状封止材として用いてもよい。さらに、硬化体は、例えば、半導体チップを基板に接続した後に用いるMUF(Molding Under Filling)の材料として用いてもよい。また、硬化体は、例えば、ソルダーレジスト、ダイボンディング材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等として用いてもよい。
硬化体は、再配線層に接続されるための接続端子部と組み合わせて構造体に含まれてもよい。構造体は、通常、硬化体の研磨面上に、接続端子部と接続されるための再配線層を形成される。
図5は、構造体の第一実施形態としての配線板500を模式的に示す断面図である。また、図6~図8は、それぞれ、構造体の第一実施形態としての配線板500の製造過程を模式的に示す断面図である。図5~図8では、同様の部位は、同様の符号で示す。
(A1)基材530と、この基材530に設けられた配線層520とを有する配線層付基材540を用意する工程(図6参照)、
(A2)配線層520が樹脂組成物層(図示せず)に埋め込まれるように、配線層付基材540上に樹脂組成物層を形成する工程、
(A3)樹脂組成物を硬化させて、硬化層510を形成する工程(図7参照)、
(A4)硬化層510を研磨する工程(図8参照)、及び、
(A5)基材を除去する工程(図5参照)、
を含む製造方法により、製造できる。
図9は、構造体の第二実施形態としての部品内蔵回路基板600を模式的に示す断面図である。また、図10~図13は、それぞれ、構造体の第二実施形態としての部品内蔵回路基板600の製造過程を模式的に示す断面図である。図9~図13では、同様の部位は、同様の符号で示す。
(B1)基板610と、基板610の片側に設けられた仮付材650と、仮付材650に仮付されることで基板610のキャビティ610H内に収納された部品640とを備える部品仮付基材660を用意する工程(図10参照)、
(B2)部品640が樹脂組成物層(図示せず)に埋め込まれるように、部品仮付基材660上に樹脂組成物層を形成する工程、
(B3)樹脂組成物を硬化させて、硬化層620を形成する工程(図11参照)、
(B4)硬化層620を研磨する工程(図12参照)、
(B5)仮付材650を除去する工程(図13参照)、及び、
(B6)絶縁層630を形成する工程(図9参照)、
を含む製造方法により、製造できる。
上述した実施形態に係る構造体は、更に変更して実施してもよい。
例えば、前記の第一実施形態では、配線層520の厚みが均一な例を示したが、各配線層520の厚みは異なっていてもよい。また、硬化層510の研磨は、全ての配線層520を露出させる必要はなく、配線層520の一部を露出させるように行ってもよい。
硬化体は、硬化体研磨面に再配線層を形成するために用いることが好ましい。このような再配線層は、硬化体研磨面に薄膜層を形成した後で、この薄膜層を介して硬化体研磨面上に形成されることが好ましい。以下、再配線層を形成する方法の一実施形態を、図面を参照して説明する。ただし、再配線層の形成方法は、下記の実施形態に限定されない。
本発明の樹脂シートは、支持体と、この支持体上に設けられた樹脂組成物層と、を備える。樹脂組成物層は、前記の樹脂組成物を含む層であり、通常は、樹脂組成物で形成されている。このような樹脂シートを用いることにより、樹脂の塗布均一性に優れた硬化体研磨面を有する硬化体を得ることができる。
上述した硬化体は、任意の半導体装置に適用可能である。半導体装置としては、例えば、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、スマートフォン、タブレット型デバイス、ウェラブルデバイス、デジタルカメラ、医療機器、及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。
(無機充填材1)
無機充填材1は、球状シリカ1(平均粒径3μm、比表面積4m2/g)を、アミノシラン化合物(信越化学工業社製「KBM573」;N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)で表面処理したものである。前記の球状シリカ1は、分級処理により、粒径10μm以上の粒子が除かれている。また、前記の球状シリカ1は、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含むが、その中空部の長径は最大でも5μm未満であった。
無機充填材2は、球状アルミナ2(平均粒径3.6μm、比表面積1m2/g)を、アミノシラン化合物(信越化学工業社製「KBM573」;N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)で表面処理したものである。前記の球状アルミナ2は、分級処理により、粒径15μm以上の粒子が除かれている。また、前記の球状アルミナ2は、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含むが、その中空部の長径は最大でも5μm未満であった。
無機充填材3は、球状シリカ3(平均粒径3.5μm、比表面積3.9m2/g)を、アミノシラン化合物(信越化学工業社製「KBM573」;N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)で表面処理したものである。前記の球状シリカ3は、分級処理により、粒径10μm以上の粒子が除かれている。また、前記の球状シリカ3は、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含み、その中空部の長径が5μm以上の粒子が含まれていた。
無機充填材4は、球状シリカ4(平均粒径3μm、比表面積4m2/g)を、エポキシシラン化合物(信越化学工業社製「KBM-403」;3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)で表面処理したものである。前記の球状シリカ4は、分級処理により、粒径10μm以上の粒子が除かれている。また、前記の球状シリカ4は、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含むが、その中空部の長径は最大でも5μm未満であった。
液状エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ZX1059」、ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂との1:1混合品(質量比)、エポキシ当量:169g/eq.)2部、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP4032SS」、エポキシ当量151g/eq.)2部、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq.)4部、無機充填材1を115部、ナフタレン型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量約330g/eq.)2部、酸無水物硬化剤(新日本理化社製「HNA-100」、酸無水物当量179g/eq.)10部、カーボンブラック(DBP吸収量80cm3/100g、pH=6.5、平均粒径20nm)0.5部、ゴム粒子(ガンツ化成社製「スタフィロイド IM-401」)0.9質量部、及び、硬化促進剤(四国化成工業社製「1B2PZ」、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール)0.1部をミキサーを用いて均一に分散して、樹脂組成物を得た。
無機充填材1を115部用いる代わりに、無機充填材2を150部用いた。以上の事項以外は、実施例1と同じ操作により、樹脂組成物を得た。
無機充填材1の量を、115部から130部に変更した。また、樹脂組成物に、更に液状エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7984」、エポキシ当量540g/eq.)1部を加えた。以上の事項以外は、実施例1と同じ操作により、樹脂組成物を得た。
無機充填材1を115部用いる代わりに、無機充填材4を115部用いた。以上の事項以外は、実施例1と同じ操作により、樹脂組成物を得た。
無機充填材1を115部用いる代わりに、無機充填材3を115部用いた。以上の事項以外は、実施例1と同じ操作により、樹脂組成物を得た。
樹脂組成物を、真空ラミネーター乃至はコンプレッションモールドを用いて、8インチシリコンウエハ上に積層して、厚み150μmの樹脂組成物層を形成した。
この樹脂組成物層を、180℃1時間で熱硬化して、樹脂組成物の硬化材料で形成された硬化体(研磨前硬化体)としての硬化層を得た。
続いて、硬化層の表面を、グラインダー(ディスコ社製「DAG810」)を用いて研磨した。この研磨は、研磨後の硬化層の厚みが100μmとなるまで行った。研磨により、硬化層に、算術平均粗さRaが100nm以下の硬化体研磨面が形成された。これにより、シリコンウエハと、このシリコンウエハ上に形成された硬化体研磨面を有する硬化層とを備える試料部材を得た。
得られた50箇所の断面SEM画像から、硬化層の硬化体研磨面の凹みの深さを測定した。そして、得られた深さの測定値の最大値を、硬化体研磨面の凹みの最大深さとして採用した。
硬化体研磨面の凹みの最大深さが5μm未満を「○」、5μm以上10μm未満を「△」、10μm以上を「×」と判定した。
前記[研磨面の凹みの深さの測定]で製造した試料部材の硬化体研磨面の算術平均粗さRaを、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製「WYKO NT3300」)を用いて測定した。この測定は、VSIコンタクトモードで、50倍レンズを用いて、測定範囲を121μm×92μmとして行った。この算術平均粗さRaの測定を硬化体研磨面の10箇所で行い、その平均値を採用した。
前記[研磨面の凹みの深さの測定]で製造した試料部材を、直径4インチの円板状に加工した。その後、硬化層の硬化体研磨面に、感光性ポリイミド樹脂(粘度6Pa・s)を、スピンコーター(ミカサ社製「MS-A150」)を用いて、回転数2000rpmの条件でスピンコートした。塗布された感光性ポリイミド樹脂を、ホットプレート上で、120℃で5分間、プレベークした。これにより、厚さ4μmの薄膜層を、硬化体研磨面上に得た。
以上の操作を、試料部材10枚分実施した。
「○」:全ての試料部材において、薄膜層に抜けが無い。
「△」:1枚の試料部材において、薄膜層に抜けがある。
「×」:2枚以上の試料部材において、薄膜層に抜けがある。
表面に離型処理を施されたSUS板上に、樹脂組成物を、コンプレッションモールド装置(金型温度:130℃、圧力:6MPa、キュアタイム:10分)を用いて圧縮成型して、厚さ300μmの樹脂組成物層を形成した。SUS板を剥がし、樹脂組成物層を180℃90分の加熱により熱硬化させて、樹脂組成物の硬化材料からなる誘電正接測定用の評価サンプルに用いた。この評価サンプルについて、分析装置(キーサイト・テクノロジー社製「ベクトルネットワークアナライザN5227A」)を用いたファブリペロー法により、測定温度24℃、測定周波数60GHzで、硬化材料の誘電正接を測定した。
表面に離型処理を施されたSUS板上に、樹脂組成物を、コンプレッションモールド装置(金型温度:130℃、圧力:6MPa、キュアタイム:10分)を用いて圧縮成型して、厚さ300μmの樹脂組成物層を形成した。SUS板を剥がし、樹脂組成物層を180℃90分の加熱により熱硬化させて、樹脂組成物の硬化材料からなる硬化膜を得た。この硬化膜を、ダンベル状1号形に切り出し、試験片を得た。該試験片を、オリエンテック社製引張試験機「RTC-1250A」を用いて引張強度測定を行い、25℃における弾性率を求めた。測定は、JIS K7127に準拠して実施した。この弾性率の測定を3回行い、その平均値を硬化材料の引張弾性率として採用した。
実施例及び比較例の結果を、下記の表に示す。
硬化体研磨面の凹みの深さの測定のために撮影した硬化層の断面SEM画像から、いずれの実施例及び比較例でも、硬化体研磨面に凹みがあることを確認された。
硬化体研磨面にある凹みには、無機充填材の粒子が研磨されることで硬化体研磨面に現れた充填材面部分に形成された凹みが含まれていた。この凹みは、無機充填材に含まれる中空充填材粒子が研磨されることにより、その中空部が開口して形成されたものと考えられる。
また、硬化体研磨面にある別の凹みには、周囲を樹脂成分(無機充填材以外の成分)に囲まれた凹みが含まれていた。この凹みは、硬化層の研磨の際に、無機充填材の粒子が外れることで、その外れた粒子の跡として形成されたものと考えられる。
100U 研磨面
110 凹み
200 中空充填材粒子
210 中空部
300 硬化体
300U 研磨面
310 凹み
320 無機充填材の粒子
400 硬化体
400U 研磨面
410 凹み
420 中空充填材粒子
420U 充填材面部分
430 中空部
500 配線板
500U 構造体研磨面
510 硬化層
510U 硬化体研磨面
520 配線層
520U 端子研磨面
530 基材
531 基板
532 第一金属層
533 第二金属層
540 配線層付基材
600 部品内蔵回路基板
600U 構造体研磨面
610 基板
610H キャビティ
611 配線層
620 硬化層
620U 硬化体研磨面
630 絶縁層
640 部品
641 端子
641U 端子研磨面
650 仮付材
660 部品仮付基材
700 配線板
700U 構造体研磨面
730 チップ
731 ピラー部
731U 端子研磨面
800 部品内蔵回路基板
800U 構造体研磨面
811U 端子研磨面
840 部品
841 端子
900 構造体
900U 構造体研磨面
910 硬化層
910U 硬化体研磨面
920 接続端子部
920U 端子研磨面
930 薄膜層
930H ビアホール
940 再配線層
Claims (13)
- (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含む樹脂組成物を硬化した硬化材料で形成され、(C)無機充填材が研磨されて形成された充填材面部分を含む研磨面を有する硬化体であって、
(C)無機充填材の平均粒径が、0.5μm以上であり、
(C)無機充填材の最大粒子径が、15μm未満であり、
前記研磨面に存在する凹みの最大深さが、10μm未満であり、
前記硬化材料の25℃における引張弾性率が、5GPa以上20GPa以下である、硬化体。 - (B)成分が、フェノール系硬化剤又は酸無水物系硬化剤である、請求項1に記載の硬化体。
- (C)成分の平均粒径が、2.0μm以上である、請求項1又は2に記載の硬化体。
- (C)成分が、アミノシラン化合物又はエポキシシラン化合物で処理されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の硬化体。
- 前記充填材面部分に、深さ10μm未満の凹みが形成されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の硬化体。
- (C)成分が、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含み、
(C)成分に含まれる前記中空充填材粒子の中空部の長径が最大でも5μm未満である、請求項1~5のいずれか一項に記載の硬化体。 - 前記硬化体が、前記研磨面に再配線層を形成されるためのものである、請求項1~6のいずれか一項に記載の硬化体。
- 前記硬化体が、前記研磨面と面一な表面部分を有する接続端子部と組み合わせて構造体に含まれ、前記研磨面に再配線層を形成されるためのものである、請求項1~7のいずれか一項に記載の硬化体。
- 前記硬化体が、前記研磨面に薄膜層を形成された後に再配線層を形成されるためのものである、請求項1~8のいずれか一項に記載の硬化体。
- 前記樹脂組成物によって樹脂組成物層を形成する工程と、
前記樹脂組成物を硬化させて、硬化体を得る工程と、
前記硬化体を研磨する工程と、を含む、請求項1~9のいずれか一項に記載の硬化体の製造方法。 - 支持体と、該支持体上に設けられた樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を備え、
前記樹脂組成物が、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含み、
(C)無機充填材の平均粒径が、0.5μm以上であり、
(C)無機充填材の最大粒子径が、15μm未満であり、
前記樹脂組成物を180℃1時間で硬化して硬化体を得て、(C)無機充填材を研磨しうるように前記硬化体を研磨して、算術平均粗さ500nm以下の研磨面を形成した場合、前記研磨面に存在する凹みの最大深さが、10μm未満であり、
前記樹脂組成物を180℃90分で硬化した硬化材料の25℃における引張弾性率が、5GPa以上20GPa以下である、樹脂シート。 - (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含み、
(C)無機充填材の平均粒径が、0.5μm以上であり、
(C)無機充填材の最大粒子径が、15μm未満である、液状の樹脂組成物であって、
前記樹脂組成物を180℃1時間で硬化して硬化体を得て、(C)無機充填材を研磨しうるように前記硬化体を研磨して、算術平均粗さ500nm以下の研磨面を形成した場合、前記研磨面に存在する凹みの最大深さが、10μm未満であり、
前記樹脂組成物を180℃90分で硬化した硬化材料の25℃における引張弾性率が、5GPa以上20GPa以下である、樹脂組成物。 - 再配線層を形成される研磨面を有する硬化体を得るための樹脂組成物であって、
前記樹脂組成物が、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤及び(C)無機充填材を含み、
前記研磨面が、(C)成分が研磨されて形成された充填材面部分を含み、
(C)成分の平均粒径が、0.5μm以上であり、
(C)成分が、アミノシラン化合物又はエポキシシラン化合物で処理されており、
(C)成分が、内部に中空部を形成された中空充填材粒子を含み、
(C)成分に含まれる前記中空充填材粒子の中空部の長径が最大でも5μm未満であり、
(C)成分の最大粒子径が15μm未満であり、
前記樹脂組成物を180℃90分で硬化した硬化材料の25℃における引張弾性率が、5GPa以上20GPa以下である、樹脂組成物。
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