JP7406947B2 - センサチップ - Google Patents
センサチップ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7406947B2 JP7406947B2 JP2019174118A JP2019174118A JP7406947B2 JP 7406947 B2 JP7406947 B2 JP 7406947B2 JP 2019174118 A JP2019174118 A JP 2019174118A JP 2019174118 A JP2019174118 A JP 2019174118A JP 7406947 B2 JP7406947 B2 JP 7406947B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- groove
- support
- groove portion
- sensor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
支持部30の上面が、「支持部の厚み方向の一端部」に対応する。支持部30の下面が、「支持部の厚み方向の他端部」に対応する。
Claims (3)
- 基部に固定される圧力検出用のセンサチップであって、
圧力が作用するダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部の外周端部に固定されて前記ダイヤフラム部を支持しており、前記ダイヤフラム部の厚みよりも厚く構成されている支持部と、
前記ダイヤフラム部に配置されている少なくとも1個のピエゾ抵抗部と、を備えており、
前記支持部は、前記ダイヤフラム部の前記外周端部の周りで厚み方向に延びている第1溝部と、前記第1溝部の周りで前記厚み方向に延びている第2溝部と、前記第2溝部よりも外側で前記基部に固定される固定部とを備えており、
前記基部は、前記支持部の厚み方向において前記ダイヤフラム部と対向する位置に開口部を備えており、
前記支持部の前記厚み方向と直交する方向に前記支持部を視たときに前記第1溝部と前記第2溝部とが重なる部分が存在し、
前記第1溝部は、前記支持部の前記厚み方向の一端部で開口しており、
前記第2溝部は、前記支持部の前記厚み方向の他端部で開口しており、
前記固定部は、前記支持部の前記厚み方向の他端部に設けられている、センサチップ。 - 前記第1溝部は、前記ダイヤフラム部の前記外周端部の周りで連続して一周している、請求項1に記載のセンサチップ。
- 前記第2溝部は、前記第1溝部の周りで連続して一周している、請求項1又は2に記載のセンサチップ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019174118A JP7406947B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | センサチップ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019174118A JP7406947B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | センサチップ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021051003A JP2021051003A (ja) | 2021-04-01 |
JP7406947B2 true JP7406947B2 (ja) | 2023-12-28 |
Family
ID=75157637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019174118A Active JP7406947B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | センサチップ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7406947B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005227283A (ja) | 2004-02-09 | 2005-08-25 | Robert Bosch Gmbh | 鋼ダイヤフラム上にシリコンチップを備えた圧力センサ |
JP2007132942A (ja) | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Robert Bosch Gmbh | センサ装置およびセンサ装置を製作するための方法 |
KR20080029555A (ko) | 2006-09-29 | 2008-04-03 | 주식회사 케이이씨 | 압력 센서 장치 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008032451A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Epson Toyocom Corp | 容量変化型圧力センサ |
-
2019
- 2019-09-25 JP JP2019174118A patent/JP7406947B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005227283A (ja) | 2004-02-09 | 2005-08-25 | Robert Bosch Gmbh | 鋼ダイヤフラム上にシリコンチップを備えた圧力センサ |
JP2007132942A (ja) | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Robert Bosch Gmbh | センサ装置およびセンサ装置を製作するための方法 |
KR20080029555A (ko) | 2006-09-29 | 2008-04-03 | 주식회사 케이이씨 | 압력 센서 장치 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021051003A (ja) | 2021-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9470593B2 (en) | Media isolated pressure sensor | |
JP4014006B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP5576331B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
KR101953454B1 (ko) | 압력 센서 칩 | |
KR20180095449A (ko) | 정전 용량형 압력 센서 | |
JP6654157B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2006220453A (ja) | 加速度センサ装置 | |
JP5889540B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP7406947B2 (ja) | センサチップ | |
JP6213527B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2005055313A (ja) | 半導体圧力センサ装置 | |
JP7343343B2 (ja) | センサチップ | |
JP2006250702A (ja) | 加速度センサ | |
JP7370819B2 (ja) | センサチップ | |
JP2009265012A (ja) | 半導体センサ | |
JP6156233B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2017072384A (ja) | 圧力センサ | |
JP5445384B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP6507596B2 (ja) | 半導体センサ装置 | |
JP7343344B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP5718140B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6554786B2 (ja) | 半導体センサ装置 | |
JP5949573B2 (ja) | 物理量センサの製造方法 | |
JP2022070068A (ja) | センサ装置 | |
JP2019045207A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230509 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230822 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7406947 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |