JP5949573B2 - 物理量センサの製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。図1に示されるように、本実施形態に係る流量センサは、モールド樹脂10と、センサチップ20と、チップ接着剤30と、ワイヤ40と、保護剤50と、を備えて構成されている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図4(a)に示す保護膜同時形成工程において、表面側保護膜23及び裏面側保護膜24として、低応力窒化膜を750℃以上900℃以下の温度で成膜する。窒化膜の組成比はSi3N4の組成比が通常であるが、低応力窒化膜の組成比はガス流量比に応じて多少異なっている。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図5に示されるように、センサチップ20は、基板21の裏面21bと裏面側保護膜24との間に裏面構造29を有している。裏面構造29は、溝部21cに対応する部分が開口していると共に、表面構造22と膜構成が同じ構造である。
本実施形態では、第3実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図6に示されるように、図5の構造に対して第2酸化膜28及び第4酸化膜29cが形成されていない構造である。
本実施形態では、第1〜第4実施形態と異なる部分について説明する。図7に示されるように、基板21の表面21aに表面構造22が形成され、この表面構造22の上に表面側保護膜23が形成されている。また、基板21の裏面21bに裏面構造29が形成され、この裏面構造29が形成されている。そして、表面構造22及び表面側保護膜23によって構成された表面構成膜の膜応力と、裏面構造29及び裏面側保護膜24によって構成された裏面構成膜の膜応力と、が同じになっている。
上記各実施形態で示された流量センサの構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、センシング部22bは流体の流量を検出するように構成されているが、圧力等の他の物理量を検出するように構成されていても良い。
21a 基板の表面
21b 基板の裏面
21c 溝部
22 表面構造
22b センシング部
23 表面側保護膜
24 裏面側保護膜
24a 開口部
27 抵抗体
Claims (1)
- 基板(21)の表面(21a)に抵抗体(27)を含んだ表面構造(22)が形成されており、前記抵抗体(27)のうち前記基板(21)に形成された溝部(21c)に対応する部分が物理量を検出するセンシング部(22b)として機能するように構成された物理量センサの製造方法であって、
前記基板(21)の表面(21a)に前記表面構造(22)が形成されたものを用意する準備工程と、
前記表面構造(22)の上の表面側保護膜(23)と、前記基板(21)の裏面(21b)の上の裏面側保護膜(24)と、を同時に形成する保護膜同時形成工程と、
前記保護膜同時形成工程の後、前記表面側保護膜(23)及び前記表面構造(22)の一部をエッチングして前記抵抗体(27)の一部を露出させ、前記抵抗体(27)の上にAlの金属膜を成膜するコンタクト形成工程と、
前記裏面側保護膜(24)のうち前記溝部(21c)に対応する部分に前記基板(21)の裏面(21b)が露出する開口部(24a)を形成する開口部形成工程と、
前記開口部(24a)が形成された裏面側保護膜(24)をマスクとして、前記基板(21)をエッチングすることにより前記基板(21)に前記溝部(21c)を形成するエッチング工程と、
を含んでおり、
前記保護膜同時形成工程では、前記表面側保護膜(23)及び前記裏面側保護膜(24)として、低応力窒化膜を750℃以上900℃以下の温度で成膜することを特徴とする物理量センサの製造方法。
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