JP7341017B2 - 熱反射部材及び熱反射層付きガラス部材の製造方法 - Google Patents
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Description
前記複数のシリカ質焼結粉体層それぞれが、相互に異なる粒径分布の粉体から構成されていても良い。
本発明の熱反射部材10Aは、シリカ質焼結粉体層12の上面及び下面に石英ガラス層18が形成されてなる積層構造を有する熱反射部材であり、前記熱反射部材の端部の前記シリカ質焼結粉体層12部分に、少なくとも該シリカ質焼結粉体層12の1/2の厚みより厚い、気体又は液体を浸透しない非透過層16と、該非透過層16と該シリカ質焼結粉体層12の間に、非透過層16から焼結粉体12層に向かって密度が変化する緩衝層14と、を有するものである。
熱線は、一般に赤外の範囲が想定されるが、熱処理空間からのエネルギー漏洩を抑制するには、できるだけ可視域から赤外までの広範囲に高い反射能を有するほうが有利である。本発明の反射部材は、波長1000nm~2000nmにおける反射率が60%以上であることが好適である。また、特定波長に対する反射率の部材の面内分布が±5%以下であることが好適である。
反射される波長は、粒塊の粒径等に依存するので、粒子の径も重要な要素となる。粒塊の50%が0.1~5μmの範囲に分布していることが好適である。
なお、シリカ質でなくても同様な効果は得られるが、高温で使用するには、それ自身が不純物とならず、かつ、熱膨張率が小さく、耐熱性も高いシリカが最も適している。
前記非透過層16としては、気体又は液体が浸透するような空隙がない層が好適である。
シリカ質焼結粉体層12には多くの空隙を含むため、端部を非透過層16で覆った場合、粉体層12の空隙に残留する気体の膨張や、粉体表面に吸着した成分の気化により、石英ガラス層18と非透過層16で囲まれたシリカ質焼結粉体層12の内圧が上がる可能性がある。そうなると端部の非透過層16とシリカ質焼結粉体層12、および石英ガラス層18の接合部に、応力が集中し、クラッキングや破損を発生するリスクとなる。
この方法によって、積層された、異なる密度の石英ガラス層とシリカ質焼結粉体層の端部に、強固で気密性の高い非透過層と緩衝層を有する、熱反射部材が容易に製造できる。
前述のシリカ粉体層の上面及び下面に石英ガラス部材が形成されてなる積層構造を有する中間積層体の製造方法としては、例えば、図5に示した如く、シリカガラス粒子26及び水28を含むスラリー30を、第一の石英ガラス部材32aの表面に塗布し[図5(a)]、塗布膜34を形成する工程と[図5(b)]、該塗布膜34を乾燥させ、シリカ粉体層36とする工程と、前記第一の石英ガラス部材32a上のシリカ粉体層36に、第二の石英ガラス部材32bを載せ[図5(c)]、中間積層体を形成する工程と、を含むことが好適である。該中間積層体を加熱することにより、前記シリカ粉体層36をシリカ質焼結粉体層12とすると共に前記中間積層体を一体化し、中間ガラス積層体38を形成することができる[図5(d)]。図5において、符号39は、スラリー30を含む容器である。
また、石英ガラス部材の形状等も特に制限はないが、例えば、板状、円板状、半球状、円筒形状等の厚みが均一な部材が好適である。
また、シリカ粉体層と接する石英ガラス部材の表面は、平面度0.1mm以下であることが好適である。平面度は、平坦な定盤の上に測定する材料を載せ、レーザー変位計で測定することができる。
前記塗布膜の乾燥方法は特に制限はないが、例えば、乾燥用の加熱炉内で行ってもよい。乾燥温度はシリカ粉体層のシリカガラス粒子が固定される温度より低いのが望ましく、具体的には、乾燥温度は常温(5~35℃)~100℃程度が好ましい。
前記シリカ質焼結粉体層の厚さは0.1mm以上が好ましく、200μm~1000μmがより好ましい。シリカ質焼結粉体層が厚過ぎると、加熱により、シリカ粉体層の粒子が固定されたシリカ質焼結粉体層とし、同時にシリカ粉体層と石英ガラス部材を一体化する工程において、シリカ粉体層の焼結時の収縮量が、石英ガラス部材に対して大きくなり、一体化できず、剥がれたり、シリカ質焼結粉体層にクラック(ひび割れ)が発生し易くなる。また、シリカ質焼結粉体層の膜厚の分布が±0.05mm以下であることが好ましい。
シリカ質焼結粉体層を複数層含む熱反射部材の製造方法としては、例えば、前述の中間積層体を形成する工程において、前記第二の石英ガラス部材として、乾燥したシリカ粉体層が形成された石英ガラス部材を用い、第一の石英ガラス部材上のシリカ粉体層と、前記第二の石英ガラス部材上のシリカ粉体層を合わせる形で中間積層体を形成する方法や、乾燥したシリカ粉体層が形成された第一の石英ガラス部材を複数用い、且つ前記第二の石英ガラス部材として、乾燥したシリカ粉体層を有しない石英ガラス部材を用い、前記複数の第一の石英ガラス部材をシリカ粉体層同士が接しない形で積層し、且つ最上部の前記第一の石英ガラス部材の前記シリカ粉体層上に、前記第二の石英ガラス部材を配置して、中間積層体を形成する方法、第二の石英ガラス部材の上部にさらに乾燥したシリカ粉体層が形成された石英ガラス部材をシリカ粉体層が第二の石英ガラス部材に接するように積層し、中間積層体を形成する方法等が挙げられる。シリカ質焼結粉体層を複数層含む場合、それぞれのシリカ質焼結粉体層は同一でもよく、異なっていても良い。例えば、シリカガラス粒子の粒径分布が異なる複数のシリカ質焼結粉体層を含んでいても良い。
さらにシリカ粉体層を形成した石英ガラス部材同士を、粉体層同士で合わせる形で張り合わせることも有用である。
図4は、本発明の熱反射部材の使用方法の一例を示す概略説明図である。図4(a)によく示される如く、チャンバ20内に本発明の熱反射部材10(円板形状や円筒形状等)を設置することにより、チャンバ20に設置されるヒータ22の熱を反射し、熱効率を高めることができる。また。図4(b)によく示される如く、円筒チャンバの円筒体部分を本発明の熱反射部材10(円筒形状)とし、チャンバ内からの放熱をこの熱反射部材10により抑制し、効率的にウェハ24を加熱する加熱治具として用いることが好適である。
図5に示す方法により、中間ガラス積層体を製造した後、レーザー加工を行い、図1に示されるような円板状の熱反射層付き石英ガラス板状部材(本発明の熱反射部材)を製造した。
<1.浸漬試験>
得られた板状部材10Aを水に1時間浸漬し、水の浸漬状況を目視にて確認した。
実施例1で得られた石英ガラス板状部材10Aは、非透過層12により水が浸透せず、シリカ質焼結粉体層12への液浸は確認されなかった。
得られた板状部材10A中のシリカ質焼結粉体層12の厚さt、非透過層の幅W1及び緩衝層の幅W2の測定点を図6に示す。図6に示した如く、測定点は、円板中心(S1)1点と、レーザー加工を行った外周部の90°毎の4点(S2)、及び中心と外周の中間点の90°毎の4点(S3)の計9点で行った。測定用サンプルを幅5mmで切出し、断面を顕微鏡又はマイクロスコープで拡大観察して膜厚計測し、平均値を算出した。また、外周部の測定用サンプルの断面を、マイクロスコープを用いて観察し、非透過層の幅W1及び緩衝層の幅W2を測定し、平均値を算出した。
実施例1で得られた板状部材10Aのシリカ質焼結粉体層の厚さtは、平均400μm(最小値375μm、最大値420μm)であった。また、レーザー加工を行った外周部に、液体や気体が浸透しない非透過層:平均291μmと、非透過層から焼結粉体層に向かって徐々に密度が変化する緩衝層:平均約60μmが確認された。実施例1で得られた熱反射部材の外周部の断面写真を図7(a)に示し、その模式図を図7(b)に示す。
得られた板状部材に対して、1,100℃に加熱し1時間保持した後、室温(23℃)まで冷却した。これを10回繰り返す耐久試験を行った所、破損や剥がれ、クラックは発生しなかった。
得られた板状部材に対し、反射率測定用サンプルを切出し、反射率を測定した。
反射率の測定は、得られた板状部材に対し、前記シリカ質焼結粉体層の厚さ測定の測定点と同じ位置からサンプリングして反射率測定用サンプルを切り出した。測定器LAMBDA950(パーキンエルマー社製)に積分球を取り付けて反射率を測定した。反射率測定にはスペクトラロン反射材(ラブスフェア社製)を標準反射材として使用し、相対反射率を測定した。以下の反射率測定も同様の方法で行っている。
その結果、波長2000nmでの反射率は78~83%であり、波長1000~2000nmにおける反射率は78%を下回らなかった。
実施例1と同様の方法により、中間ガラス積層体を形成した。
得られた中間ガラス積層体に対して、レーザー加工を行う前に、レーザー加工を行う外径250mmの位置を、酸水素バーナーの火炎にて、予備的に加熱を行った。予備加熱は、シリカ質焼結粉体層が若干透明化する程度の加熱であった。その板状部材に対して、レーザー加工機で、出力500(W)、送り速度140(mm/分)の条件で切断加工を行い、外径250mm、板厚4.9mmのシリカ粉体焼結層を有した熱反射層付き石英ガラス板状部材(本発明の熱反射部材)を形成した。
浸漬試験では、シリカ質焼結粉体層への浸透は確認されなかった。
各層の厚さ測定では、シリカ質焼結粉体層の厚さは平均400μm、レーザー加工を行った外周部に、液体や気体が浸透しない非透過層:平均310μm、非透過層から焼結層に向かって徐々に密度が変化する緩衝層:平均約80μmが確認された。
高温環境での耐久試験では、破損や剥がれ、クラックは発生しなかった。
反射率測定では、波長1000~2000nmにおける反射率は、78%を下回らなかった。
実施例1と同様の方法により、中間ガラス積層体を形成した。
得られた中間ガラス積層体に対して、レーザー加工を行う前に、レーザー加工を行おうとする位置を、レーザー出力50(W)、送り速度300(mm/分)にて走行し、レーザー出力による予備的加熱を行った。
次いで、その板状部材の外周部に対して、レーザー加工機にて、出力500(W)、送り速度140(mm/分)にて切断加工を行い、外径250mm、板厚4.9mmのシリカ粉体焼結層を有した熱反射層付き石英ガラス板状部材(本発明の熱反射部材)を形成した。
浸漬試験では、シリカ質焼結粉体層への浸透は確認されなかった。
各層の厚さ測定では、シリカ質焼結粉体層の厚さは平均400μm、レーザー加工を行った外周部に、液体や気体が浸透しない非透過層:平均360μm、非透過層から焼結層に向かって徐々に密度が変化する緩衝層:平均約90μmが確認された。
高温環境での耐久試験では、破損や剥がれ、クラックは発生しなかった。
反射率測定では、波長1000~2000nmにおける反射率は、78%を下回らなかった。
実施例1と同様の方法により、中間ガラス積層体を形成した。
得られた中間ガラス積層体の外周部に対して、レーザー加工機にて、出力500(W)より出力の大きい800(W)、1000(W)、送り速度140(mm/分)、100(mm/分)、50(mm/分)と、それぞれレーザー切断加工を行い、外径250mm、板厚4.9mmのシリカ質粉体焼結層を有した熱反射層付き石英ガラス板状部材(本発明の熱反射部材)を形成した。
浸漬試験では、シリカ質焼結粉体層への液浸は確認されなかった。
各層の厚さ測定では、シリカ質焼結粉体層の厚さは平均400μm、レーザー加工を行った外周部に、液体や気体が浸透しない非透過層と、非透過層から焼結層に向かって徐々に密度が変化する緩衝層が確認された。各レーザー加工条件における非透過層の幅(平均値)の結果を表1及び図8に示す。
外径300mm、板厚3mmの第一の透明石英ガラス円板と、外径280mm、板厚1.5mmの第二の透明石英ガラス円板と、外径270mm、板厚1.5mmの第三の透明石英ガラス円板を準備した。平均粒径1.5μmの合成シリカガラス粒子60%、メチルセルロース1%となるように純水中で混合したシリカスラリーを作成した。
同様の方法で、シリカスラリーを、前述の外径280mm、板厚1.5mmの第二の透明石英ガラス円板の片面に平坦に塗布し、室温で5時間以上乾燥し、シリカ粉体層を0.2mmの膜厚で形成した。
前述の外径300mmの第一の透明石英ガラス円板のシリカ粉体層に、前述の外径280mmの第二の透明石英ガラス円板のシリカ粉体層の無い面を重ね合せ、さらに該第二の透明石英ガラス円板のシリカ粉体層に、前述の外径270mmの第三の透明石英ガラス円板を重ね合せ、5g/cm2の荷重を掛けながら、大気雰囲気炉にて、1100℃×3時間で加熱し、シリカ質焼結粉体層(平均0.2mm厚)を2層有した板状部材(中間ガラス積層体)を形成する。
浸漬試験では、シリカ質焼結粉体層への浸透は確認されなかった。
各層の厚さ測定では、シリカ質焼結粉体層の1層の厚さはそれぞれ平均200μm、レーザー加工を行った外周部の2層あるシリカ質焼結粉体層の各外周に、それぞれ、液体や気体が浸透しない非透過層:平均290μm、非透過層から焼結層に向かって徐々に密度が変化する緩衝層:平均約60μmが確認された。
高温環境での耐久試験では、破損や剥がれ、クラックは発生しなかった。
反射率測定では、波長2000nmにおける赤外線反射率は、シリカ質焼結粉体層0.4mm厚1層(実施例1)に比べ、5%大きかった
外径300mm、板厚3mmの第一の透明石英ガラス円板と、外径280mm、板厚1.5mmの第二の透明石英ガラス円板と、外径270mm、板厚1.5mmの第三の透明石英ガラス円板を準備した。
平均粒径1.5μmの合成シリカガラス粒子60%、メチルセルロース1%となるように純水中で混合した第一のシリカスラリーを作成した。また、平均粒径1.0μmの合成シリカガラス粒子60%、メチルセルロース1%となるように純水中で混合した第二のシリカスラリーを作成した。
同様の方法で、第二のシリカスラリーを、外径280mm、板厚1.5mmの第二の透明石英ガラス円板の片面に平坦に塗布し、室温で5時間以上乾燥し、シリカ粉体層を0.2mmの膜厚で形成した。
外径300mmの第一の透明石英ガラス円板のシリカ粉体層に、外径280mmの第二の透明シリカガラス円板のシリカ粉体層の無い面を重ね合せ、さらに、該第二の透明石英ガラス円板のシリカ粉体層に、外径270mmの第三の透明石英ガラス円板を重ね合せ、5g/cm2の荷重を掛けながら、大気雰囲気炉にて、1100℃×3時間で加熱し、シリカ質焼結粉体層(平均0.2mm厚)を2層有した板状部材(中間ガラス積層体)を形成する。
浸漬試験では、シリカ質焼結粉体層への浸透は確認されなかった。
各層の厚さ測定では、シリカ質焼結粉体層の1層の厚さはそれぞれ平均200μm、レーザー加工を行った外周部の2層あるシリカ質焼結粉体層の各外周に、それぞれ、液体や気体が浸透しない非透過層:平均290μm、非透過層から焼結層に向かって徐々に密度が変化する緩衝層:平均約60μmが確認された。
高温環境での耐久試験では、破損や剥がれ、クラックは発生しなかった。
反射率測定では、波長2000nmにおける赤外線反射率はシリカ質焼結粉体薄膜層0.4mm厚1層(実施例1)に比べ、8%大きかった。
図9に示す方法により、シリカ質焼結粉体層を有する石英ガラス板状部材の製造を試みた。外径250mm、板厚3mmの透明石英ガラス円板(40a,40b)を2枚準備した。図9(a)に示す如く、1枚目の透明石英ガラス円板40aの片面に、直径240mm×深さ0.4mmのザグリ加工と、周囲径方向4.5mm、高さ方向2mmの面取りを施し、面取り部42を形成した。図9(b)に示す如く、2枚目の透明石英ガラス円板40bの片面に、周囲径方向4.5mm、高さ方向2mmの面取りを施し、面取り部42を形成した。
前記シリカ粉体層を片面に形成した透明石英ガラス円板40aを、大気雰囲気炉にて、1100℃×3時間で加熱し、ガラス円板の片面にシリカ質焼結粉体層44(平均0.4mm厚)を有した板状部材を形成した。
さらに、3例目で得られた石英ガラス板状部材に対し、実施例1と同様の耐久試験を行った所、部材の破損が確認された。耐久試験で破損した部材の破損しなかった部分を歪検査器で観察したところ、アンダーカット部48に歪みが確認され、応力集中が認められた。
実施例1と同様の方法により、中間ガラス積層体を形成した。
得られた中間ガラス積層体に対して、レーザー加工によって形成される非透過層の幅を更に大きくする事を目的として、その中間ガラス積層体の外周部を酸水素バーナの火炎により加熱加工を行った。
加熱加工による歪みの影響により、3/4周程度焼いたところで破損した。
実施例1と同様の方法により、中間ガラス積層体を形成した。
得られた中間ガラス積層体に対して、レーザー加工によって形成される非透過層の幅を更に大きくする事を目的として、その外周側面を「ガラスの肉盛り溶接」する事を試みたが、溶接加工中1/2周したところで破損した。
Claims (6)
- シリカ質焼結粉体層の上面及び下面に石英ガラス層が形成されてなる積層構造を有する熱反射部材であり、
前記熱反射部材の端部の前記シリカ質焼結粉体層部分に、少なくとも該シリカ質焼結粉体層の1/2の厚みより厚い、気体又は液体を浸透しない非透過層と、
該非透過層と該シリカ質焼結粉体層の間に、非透過層から焼結体粉体層に向かって密度が変化する緩衝層と、を有することを特徴とする熱反射部材。 - 前記シリカ質焼結粉体層を複数含み、前記シリカ質焼結粉体層及び前記石英ガラス層が交互に積層されてなり、
前記複数のシリカ質焼結粉体層の端部にはそれぞれ前記緩衝層と前記非透過層が形成され、前記シリカ質焼結粉体層が外部に露出しない構造であることを特徴とする請求項1記載の熱反射部材。 - 前記複数のシリカ質焼結粉体層それぞれが、相互に異なる粒径分布の粉体から構成されることを特徴とする請求項2記載の熱反射部材。
- 前記石英ガラス層の形状が平面、曲面又は円筒形状であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項記載の熱反射部材。
- シリカ質焼結粉体層の上面及び下面に石英ガラス層が形成されてなる積層構造を有する中間ガラス積層体を製造する工程と、
前記中間ガラス積層体を、レーザーで所定の形状に切り抜くと同時に切り抜き端部の焼結粉体層に非透過層と緩衝層を同時に生成し、熱反射層付きガラス部材を製造する工程と、
を含むことを特徴とする熱反射層付きガラス部材の製作方法。 - シリカ質焼結粉体層の上面及び下面に石英ガラス層が形成されてなる積層構造を有する中間ガラス積層体を製造する工程と、
前記中間ガラス積層体を所定の形状に切り抜く部位に沿って、切断しない程度のパワーのレーザー又はバーナー火炎にて外表面の石英ガラス層側から前記焼結粉体層を加熱し焼締めることにより緩衝層からなる又は緩衝層と非透過層からなる焼締め部位を形成せしめる工程と、
前記焼締め部位の形成位置をさらにレーザーにて切り抜くことにより、より強固な緩衝層と非透過層からなる端部構造を形成せしめ、熱反射層付きガラス部材を製造する工程と、
を含むことを特徴とする熱反射層付きガラス部材の製作方法。
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010531799A (ja) | 2007-06-30 | 2010-09-30 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 不透明石英ガラスの基体と緻密封止層から複合体を製造する方法 |
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DE19962449C2 (de) * | 1999-12-22 | 2003-09-25 | Heraeus Quarzglas | Quarzglastiegel und Verfahren für seine Herstellung |
JP4447738B2 (ja) * | 2000-05-31 | 2010-04-07 | 信越石英株式会社 | 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 |
US7118789B2 (en) * | 2001-07-16 | 2006-10-10 | Heraeus Shin-Etsu America | Silica glass crucible |
US6641663B2 (en) * | 2001-12-12 | 2003-11-04 | Heracus Shin-Estu America | Silica crucible with inner layer crystallizer and method |
JP2004091314A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-03-25 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 多層石英ガラス板及び石英ガラス製治具 |
JP4201544B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2008-12-24 | 信越石英株式会社 | 多層石英ガラス板の製造装置及び方法 |
DE102004054392A1 (de) * | 2004-08-28 | 2006-03-02 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff, sowie aus derartigen Bauteilen zusammengefügter Bauteil-Verbund |
JP5165221B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2013-03-21 | 東ソー・クォーツ株式会社 | 透明石英ガラスリングの製造方法及び透明石英ガラスリング |
JP5143520B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2013-02-13 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボとその製造方法および引き上げ方法 |
WO2010137221A1 (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-02 | 信越石英株式会社 | シリカ容器及びその製造方法 |
US9003832B2 (en) * | 2009-11-20 | 2015-04-14 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Method of making a silica crucible in a controlled atmosphere |
JP5500689B2 (ja) * | 2010-12-03 | 2014-05-21 | 株式会社Sumco | シリカガラスルツボ |
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WO2015119302A1 (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-13 | 日本碍子株式会社 | 多孔質板状フィラー集合体及びその製造方法、並びに多孔質板状フィラー集合体を含む断熱膜 |
EP3135737B1 (en) * | 2014-04-23 | 2019-12-04 | NGK Insulators, Ltd. | Porous plate-shaped filler, method for producing same, and heat insulation film |
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---|---|---|---|---|
JP2010531799A (ja) | 2007-06-30 | 2010-09-30 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 不透明石英ガラスの基体と緻密封止層から複合体を製造する方法 |
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