JP4447738B2 - 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 - Google Patents
多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4447738B2 JP4447738B2 JP2000163645A JP2000163645A JP4447738B2 JP 4447738 B2 JP4447738 B2 JP 4447738B2 JP 2000163645 A JP2000163645 A JP 2000163645A JP 2000163645 A JP2000163645 A JP 2000163645A JP 4447738 B2 JP4447738 B2 JP 4447738B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- layer
- crucible
- outer layer
- intermediate layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
- C03B19/095—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould by centrifuging, e.g. arc discharge in rotating mould
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B35/002—Crucibles or containers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1016—Apparatus with means for treating single-crystal [e.g., heat treating]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
- Y10T428/131—Glass, ceramic, or sintered, fused, fired, or calcined metal oxide or metal carbide containing [e.g., porcelain, brick, cement, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
- Y10T428/131—Glass, ceramic, or sintered, fused, fired, or calcined metal oxide or metal carbide containing [e.g., porcelain, brick, cement, etc.]
- Y10T428/1317—Multilayer [continuous layer]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造用のシリコン単結晶の引上げに好適に使用される多層構造の石英ガラスルツボの製造方法に関する。
【０００２】
【関連技術】
従来、チョクラルスキー法（ＣＺ法）によるシリコン単結晶の製造には、シリコン融液を収容する容器として、通常、石英ガラスルツボが使用される。この石英ガラスルツボは、天然（結晶質）石英を粉砕し精製した石英粉体を原料として、モールド内で成型し、次いでアーク加熱により溶融することによって製造するのが一般的である。この方法により製造される石英ガラスルツボは、回転するモールド内に供給した石英原料粉を遠心力を利用してモールドの内壁に沿って堆積させルツボ形状の成型体を形成した後、その成型体を内側からアーク放電によって加熱溶融して得られるものであり、内表面は平滑で、全体が半透明の外観を呈するものであった。
【０００３】
この半透明石英ガラスルツボは、内部に微細な気泡を高密度で数多く含有していることから、シリコン単結晶の引上げ時に外部加熱源からルツボ内部への熱伝達を均一にするという機能をそなえており、そのため、シリコン融液に接する内表面が平滑であることと同様に、多気泡であることは石英ガラスルツボに不可欠な要素とされてきた。
【０００４】
本出願人らは、石英ガラスルツボの性能向上について鋭意研究を重ねた結果、ルツボ内表面が平滑であるのはもちろんのこと、この平滑な内表面から所定の厚さ（約０．５〜２ｍｍ）を実質的に無気泡の透明層とし、外側の部分を前記多気泡の半透明層とすることによって二層構造の石英ガラスルツボとし、これがシリコン単結晶の引上げ用に極めて優れていることを確認して、そのルツボの構造ならびに製造方法を既に提案した（特公平４−２２８６１号公報、特公平７−２９８７１号公報、特公平７−４２１９３号公報等）。
【０００５】
この石英ガラスルツボの製造方法は、回転するモールド内に二酸化珪素粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の成型体に成型した後、石英粉を加熱溶融して半透明石英ガラス製ルツボ外層（基体）を形成する外層（基体）形成工程、及びこのルツボ外層（基体）の形成中もしくは形成後に、該ルツボ外層（基体）内の加熱雰囲気内に新たに二酸化珪素粉を供給し、該ルツボ外層の内面側に透明石英ガラス製ルツボ内層を形成する内層形成工程、から構成されるものである。
【０００６】
更に、近年のシリコン単結晶の大口径化、低欠陥化に伴い、石英ガラスルツボに更なる高純度化が要求されるようになったため、本出願人らは、透明な内層と半透明の外層とからなる前記二層構造の石英ガラスルツボの内層を、合成石英粉を原料として形成することを提案した（特許第２８１１２９０号、特許第２９３３４０４号等）。
【０００７】
前記合成石英ガラスからなる内層を持つ石英ガラスルツボは、不純物の含有量が極めて少なく、シリコン単結晶引上げに伴うルツボ内表面の肌荒れやクリストバライト斑点の発生が非常に少ないため、内層が天然石英ガラスからなるルツボと比較して、より長時間の操業が可能となるという利点を持つ。
【０００８】
しかしながら、前記内層が合成石英ガラスからなるルツボは、内層が天然石英ガラスからなるルツボに比べ、ポリシリコンを溶融した後、その融液表面が振動するという現象が発生し易いことが知られている。融液表面が振動すると種結晶を融液に浸ける際の作業が困難となり、いわゆる「種付け」作業に時間を要し結果的に生産性を低下させたり、引上げの途中で単結晶インゴットに乱れが生じたりする等の問題が発生するおそれがあった。
【０００９】
この融液表面の振動の発生機構のひとつとして、石英ガラスルツボ内面すなわち石英ガラス表面とシリコン融液表面の接触部分での反応が何らかの影響で活性化された場合、ＳｉＯガスの発生が増大し、融液が石英ガラス表面からはじかれ易くなるために、融液表面の振動が発生するのではないかと考えられている。
【００１０】
この考えに基づき本出願人は、石英ガラスルツボの赤外線（ＩＲ）透過率に着目し、ＩＲ透過率の高いルツボを既に提案している（特願平１１−２２８８３号）。この特許出願には、ＩＲ透過率を向上させることにより石英ガラスルツボ内面が低温となるため、上記反応が抑制され、融液表面の振動を相対的に減少させることが可能となる旨が述べられている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
こうした現状に鑑み、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、石英ガラスルツボ内面が低温であることに加え、石英ガラスルツボ内表面の位置による温度差を少なくすることによってシリコン融液内部の熱対流を抑制することができ、シリコン融液と石英ガラスルツボ表面との接触部分の反応を更に抑制できることを見出し本発明を完成した。
【００１２】
すなわち、本発明は、シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボの構成を、天然石英ガラスからなり気泡を多数含む半透明の外層と、合成石英ガラスからなり実質的に無気泡の透明な内層の間に、合成石英ガラスからなり気泡を多数含む半透明の中間層を設けて少なくとも三層構造とすることにより、シリコン融液内の熱対流を抑制し、融液表面に振動の発生しないようにした多層構造の石英ガラスルツボの製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本多層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層、合成石英ガラスからなる半透明の中間層、及び合成石英ガラスからなる透明の内層、の少なくとも三層を有することを特徴とする。
【００１４】
本石英ガラスルツボにおける半透明層とは、気泡を多数含み半透明の外観を呈している石英ガラス層をいい、また、透明層とは実質的に気泡を含まない透明な石英ガラス層をいう。
【００１５】
上記合成石英ガラス製半透明層は、天然石英ガラス製半透明層に比べ、相対的にＩＲ透過率が低く、外部熱源からの温度分布をより緩和する能力を持つという面がある。したがって、天然石英ガラス製半透明外層と、合成石英ガラス製透明内層の間に、合成石英ガラス製半透明の中間層を設けることによって、石英ガラスルツボ内面の位置による温度差が少なくなり、シリコン融液の熱対流を抑制することができる。その結果、石英ガラスルツボ表面とシリコン融液との接触部分の反応が低減され、融液表面の振動が抑制されると考えられる。
【００１６】
なお、本明細書において「天然石英ガラス」とは、天然シリカを原料として得られた石英ガラスのことをいい、同様に「合成石英ガラス」とは、高純度シラン等の珪素化合物より製造された石英ガラスのことをいう。
【００１７】
前記熱対流の抑制のみに着目すると石英ガラスルツボの半透明層全体を合成石英ガラスから構成すればよいと考えられるが、この場合は石英ガラスルツボの内表面が高温となるため、結果的に石英ガラスルツボ表面とシリコン融液との接触部分の反応を活性化させることになり、融液表面の振動を促すことになってしまい、なお且つ合成石英ガラスは天然石英ガラスに比べ高温粘度が低いことから石英ガラスルツボ自体の熱耐性を低下させるという悪影響もあり、好ましくない。また、半透明層全体を全て合成石英ガラスにしようとすると、高価な合成原料粉の使用量が増えることになるためコスト的にも不利である。
【００１８】
これらの理由により、本多層構造の石英ガラスルツボにおいては、天然石英ガラスからなる多気泡の半透明外層、合成石英ガラスからなる多気泡の半透明中間層、合成石英ガラスからなる実質的に無気泡の透明内層、の三層を少なくともそなえることが必要となる。この三層に加えて、例えば第２又は第３の中間層として特開平９−２５５４７６号公報に開示されるごとく不純物移動防止層を設けることや、さらには特開平１１−１７１６８４号公報に開示されるごとく結晶化促進剤含有層を設ける等、特定の作用等を具える他の層を設けることにより、四層、五層、さらにはそれ以上の多層構造とすることも可能である。
【００１９】
本多層構造の石英ガラスルツボにおける合成石英ガラス製中間層の厚さは天然石英ガラス製外層の厚さ以下であることが望ましい。この中間層の厚さが外層の厚さを超えると、前述したように相対的に耐熱性が低下するため、高温におけるルツボ全体の強度が不足するおそれがあり、またコスト的に不利となるが、本多層構造の石英ガラスルツボの作用効果を達成する限り、中間層の厚さを上記した以上に厚くすることも可能である。
【００２０】
本多層構造の石英ガラスルツボにおける天然石英ガラス製外層の厚さは１ｍｍ以上で全厚の９０％以下、好ましくは２ｍｍ以上で全厚の８０％以下であることが望ましい。この外層の厚さが１ｍｍ未満である場合、石英ガラスルツボ全体に必要な肉厚を考慮しても強度不足となる場合があり、またこの外層を薄くして半透明の合成石英ガラス製中間層を厚くすれば、前述したように耐熱性（強度）の問題とコスト上の問題が生じるが、本多層構造の石英ガラスルツボの作用効果を達成する限り、外層の厚さを１ｍｍ未満とすることも可能である。
【００２１】
一方、本多層構造の石英ガラスルツボにおける天然石英ガラス製外層の厚さが石英ガラスルツボ全体の厚さの９０％を超えると、石英ガラスルツボ内表面の位置による温度差を小さくすることによりシリコン融液の熱対流を抑制して融液面振動を低減するという本発明の効果を十分に得ることができなくなってしまう場合があるが、本多層構造の石英ガラスルツボの作用効果を達成する限り外層の厚さが９０％を超える構成とすることも可能である。
【００２２】
上記合成石英ガラス製中間層の厚さは０．５ｍｍ以上で石英ガラスルツボ全体の厚さの５０％以下、好ましくは１ｍｍ以上で石英ガラスルツボ全体の厚さの４０％以下であることが望ましい。
【００２３】
上記合成石英ガラス製内層の厚さは０．５ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上で、石英ガラスルツボ全体の厚さの７０％以下であることが望ましい。また、この内層のうち内表面から深さ方向１ｍｍまでの平均ＯＨ濃度は１００〜４００ｐｐｍとすることが望ましい。
【００２４】
本発明の多層構造の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様は、回転するモールド内に天然原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の外層成型体を成型し、次いで合成原料粉を供給して、遠心力により該外層成型体の内面側にルツボ形状の中間層成型体を成型して２層成型体を成型した後、該２層成型体を加熱溶融して天然石英ガラス製半透明外層及び合成石英ガラス製半透明中間層を形成する外層及び中間層形成工程と、該外層及び中間層の形成中もしくは形成後に、該外層及び中間層内の加熱雰囲気内に新たに合成石英原料粉を供給し、該中間層の内面側に合成石英ガラス製透明内層を形成する内層形成工程、からなることを特徴とする。
【００２５】
本発明の多層構造の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様は、回転するモールド内に天然原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の外層成型体を成型した後、該外層成型体を溶融して天然石英ガラス製半透明外層を形成する外層形成工程と、該外層の形成後に、該外層の内面側に合成原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の中間層成型体を該外層の内面側に成型した後、該中間層成型体を溶融して該外層の内面側に合成石英ガラス製半透明中間層を形成する中間層形成工程と、該中間層の形成中もしくは形成後に、該中間層内の加熱雰囲気内に新たに合成石英原料粉を供給し、ルツボ中間層の内面側に合成石英ガラス製透明内層を形成する内層形成工程、からなることを特徴とする。
【００２６】
本発明方法における石英ガラスルツボの原料粉としては、（結晶質の）天然石英粉、（結晶質の）合成石英粉、天然石英ガラス粉、合成石英ガラス粉等の各種粉体を適宜選択することが可能である。例えば、天然の水晶や珪砂・珪石等を粉砕し純化して得られる天然石英粉は、コスト上の利点とともに（作成された石英ガラス自体が）耐熱性に優れるというメリットがあるため、本発明方法における石英ガラスルツボの外層の原料として好適である。
【００２７】
また、より高純度の粉体である合成石英ガラス粉はルツボ内層及び中間層の原料として好適であり、具体的には、シリコンアルコキシド、ハロゲン化珪素（四塩化珪素ほか）、珪酸ソーダその他の珪素化合物を出発材料として、ゾルゲル法、スート法、火炎燃焼法等で得られる合成石英ガラス粉を適宜選択することができ、それ以外にもフュームドシリカや沈降シリカ等も利用できる。
【００２８】
さらに、作成される石英ガラスルツボの所望の物性（気泡の状態、密度、表面状態その他）に応じて、ガラス化した天然石英ガラス粉、結晶化した合成石英粉、又は前記各種粉体を混合したもの、ならびに結晶化促進や不純物遮蔽等に寄与する元素を含有するもの（アルミニウム化合物その他）及びそれらを混合したもの等を、外層もしくは内層又は中間層の原料として用いることができる。
【００２９】
すなわち、本発明方法における多層構造の石英ガラスルツボの各層の原料粉には、次のような二酸化珪素粉等が使用される。外層の原料粉については、天然石英粉が好適であり、その他に、天然石英ガラス粉、特定の元素を含有する天然石英粉又は天然石英ガラス粉、これらの各種粉体を混合したもの、といった天然原料粉が用いられる。また、内層及び中間層の原料粉については、合成石英ガラス粉が好適であり、その他に、合成石英粉、特定の元素を含有する合成石英ガラス粉又は合成石英粉、これらの各種粉体を混合したもの、といった合成原料粉が用いられる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【００３１】
図１は本発明の石英ガラスルツボの製造方法に使用される装置の一例と該装置を使用する石英ガラスルツボの製造方法を示す概略断面説明図である。図２は本多層構造の石英ガラスルツボの一例の一部断面図である。図３は本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様の工程図である。図４は本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様の工程図である。
【００３２】
図１、図２及び図３によって、本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様による多層構造の石英ガラスルツボの製造について説明する。図１において、回転するモールド１は回転軸２を備え、モールド１にはキャビティ１ａが形成されている。
【００３３】
まず天然石英粉を回転するモールド１のキャビティ１ａ内に供給して遠心力により所望の厚みを持つルツボ形状の外層成型体３ａに成型し、引き続きこの天然石英粉の外層成型体３ａの内側に合成石英ガラス粉を供給して外層成型体３ａの内側に沿って合成石英ガラス粉体層からなる中間層成型体１３ａを所望の厚さに成型する。次いで、この二層構造成型体Ａをアーク放電により内側から加熱溶融し、溶融開始後またはほぼ同時に、二層構造成型体Ａ内部へと新たに合成石英ガラス粉６をノズル９ａから高温ガス雰囲気８内へと供給することにより、該二層構造成型体Ａが溶融ガラス化されて半透明石英ガラスルツボ外層３及び中間層１３が形成されるとともに、新たに供給された合成石英ガラス粉６が高温ガス雰囲気８内の熱により少なくとも一部が溶融されながら該中間層１３の内壁面に向けて飛散させられてその内壁面に付着し、該中間層１３の内側に実質的に無気泡の透明石英ガラス製内層４が形成される。
【００３４】
このようにして、天然石英粉を溶融することにより得られた天然石英ガラス製の多気泡の半透明外層３、合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製の無気泡の半透明中間層１３、及び合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製透明内層４、の三層を有する本石英ガラスルツボＢが本発明の製造方法の第１の態様によって製造される。
【００３５】
内面からの加熱のために、図１に示すように電源５３に接続されたカーボン電極５１，５２を備えるアーク放電装置５を使用することができる。アーク放電装置５の代わりにプラズマ放電装置を用いてもよい。この基体３の製造については、特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００３６】
図１に示す装置は、内層４を形成するために、モールド１の上方に合成石英ガラス粉６を収容する石英粉末供給槽を備える。この供給槽９には計量フィーダ９２が設けられた吐出パイプ９３に接続されている。供給槽９内には攪拌羽根９１が配置される。型の上方は、排気１０が行われる部分を残して蓋体７により覆われる。
【００３７】
基体３が形成された後、又は基体３の形成の途中において、アーク放電装置５のカーボン電極５１，５２からの放電による加熱を継続しながら、合成石英ガラス粉６供給のための計量フィーダ９２を調整した開度に開いて、供給パイプ９３から合成石英ガラス粉を基体３の内部に供給する。アーク放電装置５の作動により、基体３内には高温ガス雰囲気８が形成されている。したがって、合成石英ガラス粉６は、この高温ガス雰囲気８中に供給されることとなる。
【００３８】
なお、高温ガス雰囲気とは、カーボン電極５１，５２を用いたアーク放電によりその周囲に形成された雰囲気を指し、石英ガラスを溶かすに十分な温度、つまり２千数百度の高温になっている。
【００３９】
上記した外層（基体）３及び内層４の形成方法（中間層１３は除いて）は、前述した特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００４０】
次に、図１、図２及び図４によって、本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様による多層構造の石英ガラスルツボの製造について説明する。
【００４１】
まず天然石英粉を回転するモールド１のキャビティ１ａ内に供給して遠心力によりルツボ形状の外層成型体３ａとし、次いで内面から加熱溶融して天然石英ガラス製外層３を形成後、該外層３の内側に合成石英ガラス粉を供給して合成石英ガラス粉体層からなる中間層成型体１３ａを所望の厚さに成型し、その後、該中間層成型体１３ａをアーク放電により内側から加熱溶融し、溶融開始後またはほぼ同時に該中間層成型体１３ａ内部へと合成石英ガラス粉６をノズル９から高温ガス雰囲気８内へと供給することにより、該中間層成型体１３ａも溶融ガラス化されて天然石英ガラス半透明外層３の内側に合成石英ガラス製半透明中間層１３が形成されるとともに、新たに供給された合成石英ガラス粉６は、上述した第１の態様の場合と同様に、高温ガス雰囲気８内の熱により少なくとも一部が溶融されながら該中間層１３の内壁面に向けて飛散させられてその内壁面に付着し、該中間層１３の内側に実質的に無気泡の透明石英ガラス製内層４が形成される。
【００４２】
このようにして、天然石英粉を溶融することにより得られた天然石英ガラス製半透明外層３、合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製半透明中間層１３、及び合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製透明内層４、の三層を有する本石英ガラスルツボＢが本発明の製造方法の第２の態様によっても同様に製造される。
【００４３】
上記した本発明方法の第１の態様は外層３及び中間層１３の過熱溶融を同時に行うので、これを別々に行う第２の態様よりも作業効率が高い利点があり、第２の態様においては外層３及び中間層１３の加熱溶融条件を別々に設定して各層の性状を自在に調整できる有利さがある。
【００４４】
【実施例】
以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。
【００４５】
（実施例１）
図１の装置を用い、図３に示した方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ３０ｍｍの粉体層からなる外層成型体を成型し、引き続き合成石英ガラス粉を供給して、該外層成型体の内側に沿って合成石英ガラス粉を１．５ｍｍの厚さの中間層成型体を成型し、これにより二層構造の成型体を成型した。
【００４６】
次いで、この二層構造の成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に透明層の形成材料として新たに合成石英ガラス粉を１００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの三層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた三層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが８ｍｍ、合成石英ガラスからなる半透明の中間層の厚さが１ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが１ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボにポリシリコンを充填、溶融して単結晶の引上げを行ったところ、表１に示すようにシリコン融液表面の振動は発生せず、安定して引上げを行なうことができた。
【００４７】
（実施例２）
実施例１と同様の方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ２５ｍｍの粉体層からなる外層成型体を成型し、引き続き合成石英ガラス粉を供給して、該外層成型体の内側に沿って合成石英ガラス粉を５ｍｍの厚さの中間層成型体を成型し、これにより二層構造の成型体を成型した。
【００４８】
次いで、この二層構造の成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に新たに合成石英ガラス粉を１００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの三層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた三層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが５ｍｍ、合成石英ガラスからなる半透明の中間層の厚さが４ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが１ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボを用いて実施例１と同様の方法でシリコン単結晶の引上げを行ったところ、表１に示すようにシリコン融液表面の振動は発生せず、安定して引上げを行なうことができた。
【００４９】
（実施例３）
実施例１と同様の方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ２０ｍｍの粉体層からなる外層成型体を成型し、引き続き合成石英ガラス粉を供給して、該外層成型体の内側に沿って合成石英ガラス粉を１．５ｍｍの厚さの中間層成型体を成型し、これにより二層構造の成型体を成型した。
【００５０】
次いで、この二層構造の成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に新たに合成石英ガラス粉を３００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの三層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた三層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが２ｍｍ、合成石英ガラスからなる半透明の中間層の厚さが１ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが７ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボを用いて実施例１と同様の方法でシリコン単結晶の引上げを行ったところ、表１に示すようにシリコン融液表面の振動は発生せず、安定して引上げを行なうことができた。
【００５１】
（比較例１）
実施例１と同様の方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ３０ｍｍの天然石英粉のみからなる成型体を形成し、この成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に新たに合成石英ガラス粉を１００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの二層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた二層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが９ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが１ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボを用いて実施例１と同様の方法でシリコン単結晶の引上げを試みたが、表１に示すようにシリコン融液表面に激しい振動が発生し、引上げ工程を途中で中止した。
【００５２】
【表１】
【００５３】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本多層構造の石英ガラスルツボによれば、シリコン単結晶を引き上げる際のシリコン融液表面の振動を抑制することができ、高い歩留まりで安定してシリコン単結晶を引き上げることができるという効果を奏する。また、本発明の石英ガラスルツボの製造方法によれば、上記した多層構造の石英ガラスルツボを効率よく製造できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の石英ガラスルツボの製造方法に使用される装置の一例と該装置を使用する石英ガラスルツボの製造方法を示す概略断面説明図である。
【図２】 本多層構造の石英ガラスルツボの一例の一部断面図である。
【図３】 本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様の工程図である。
【図４】 本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様の工程図である。
【符号の説明】
１：モールド、１ａ：キャビティ、２：回転軸、３：半透明石英ガラス製外層、３ａ：外層成型体、４：透明石英ガラス製内層、５：アーク放電装置、６：合成石英ガラス粉、７：蓋体、８：高温ガス雰囲気、９：供給槽、９ａ：ノズル、１０：排気、１３：半透明石英ガラス製中間層、１３ａ：中間層成型体、５１，５２：カーボン電極、５３：電源、９１：攪拌羽根、９２：計量フィーダ、９３：供給パイプ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造用のシリコン単結晶の引上げに好適に使用される多層構造の石英ガラスルツボの製造方法に関する。
【０００２】
【関連技術】
従来、チョクラルスキー法（ＣＺ法）によるシリコン単結晶の製造には、シリコン融液を収容する容器として、通常、石英ガラスルツボが使用される。この石英ガラスルツボは、天然（結晶質）石英を粉砕し精製した石英粉体を原料として、モールド内で成型し、次いでアーク加熱により溶融することによって製造するのが一般的である。この方法により製造される石英ガラスルツボは、回転するモールド内に供給した石英原料粉を遠心力を利用してモールドの内壁に沿って堆積させルツボ形状の成型体を形成した後、その成型体を内側からアーク放電によって加熱溶融して得られるものであり、内表面は平滑で、全体が半透明の外観を呈するものであった。
【０００３】
この半透明石英ガラスルツボは、内部に微細な気泡を高密度で数多く含有していることから、シリコン単結晶の引上げ時に外部加熱源からルツボ内部への熱伝達を均一にするという機能をそなえており、そのため、シリコン融液に接する内表面が平滑であることと同様に、多気泡であることは石英ガラスルツボに不可欠な要素とされてきた。
【０００４】
本出願人らは、石英ガラスルツボの性能向上について鋭意研究を重ねた結果、ルツボ内表面が平滑であるのはもちろんのこと、この平滑な内表面から所定の厚さ（約０．５〜２ｍｍ）を実質的に無気泡の透明層とし、外側の部分を前記多気泡の半透明層とすることによって二層構造の石英ガラスルツボとし、これがシリコン単結晶の引上げ用に極めて優れていることを確認して、そのルツボの構造ならびに製造方法を既に提案した（特公平４−２２８６１号公報、特公平７−２９８７１号公報、特公平７−４２１９３号公報等）。
【０００５】
この石英ガラスルツボの製造方法は、回転するモールド内に二酸化珪素粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の成型体に成型した後、石英粉を加熱溶融して半透明石英ガラス製ルツボ外層（基体）を形成する外層（基体）形成工程、及びこのルツボ外層（基体）の形成中もしくは形成後に、該ルツボ外層（基体）内の加熱雰囲気内に新たに二酸化珪素粉を供給し、該ルツボ外層の内面側に透明石英ガラス製ルツボ内層を形成する内層形成工程、から構成されるものである。
【０００６】
更に、近年のシリコン単結晶の大口径化、低欠陥化に伴い、石英ガラスルツボに更なる高純度化が要求されるようになったため、本出願人らは、透明な内層と半透明の外層とからなる前記二層構造の石英ガラスルツボの内層を、合成石英粉を原料として形成することを提案した（特許第２８１１２９０号、特許第２９３３４０４号等）。
【０００７】
前記合成石英ガラスからなる内層を持つ石英ガラスルツボは、不純物の含有量が極めて少なく、シリコン単結晶引上げに伴うルツボ内表面の肌荒れやクリストバライト斑点の発生が非常に少ないため、内層が天然石英ガラスからなるルツボと比較して、より長時間の操業が可能となるという利点を持つ。
【０００８】
しかしながら、前記内層が合成石英ガラスからなるルツボは、内層が天然石英ガラスからなるルツボに比べ、ポリシリコンを溶融した後、その融液表面が振動するという現象が発生し易いことが知られている。融液表面が振動すると種結晶を融液に浸ける際の作業が困難となり、いわゆる「種付け」作業に時間を要し結果的に生産性を低下させたり、引上げの途中で単結晶インゴットに乱れが生じたりする等の問題が発生するおそれがあった。
【０００９】
この融液表面の振動の発生機構のひとつとして、石英ガラスルツボ内面すなわち石英ガラス表面とシリコン融液表面の接触部分での反応が何らかの影響で活性化された場合、ＳｉＯガスの発生が増大し、融液が石英ガラス表面からはじかれ易くなるために、融液表面の振動が発生するのではないかと考えられている。
【００１０】
この考えに基づき本出願人は、石英ガラスルツボの赤外線（ＩＲ）透過率に着目し、ＩＲ透過率の高いルツボを既に提案している（特願平１１−２２８８３号）。この特許出願には、ＩＲ透過率を向上させることにより石英ガラスルツボ内面が低温となるため、上記反応が抑制され、融液表面の振動を相対的に減少させることが可能となる旨が述べられている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
こうした現状に鑑み、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、石英ガラスルツボ内面が低温であることに加え、石英ガラスルツボ内表面の位置による温度差を少なくすることによってシリコン融液内部の熱対流を抑制することができ、シリコン融液と石英ガラスルツボ表面との接触部分の反応を更に抑制できることを見出し本発明を完成した。
【００１２】
すなわち、本発明は、シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボの構成を、天然石英ガラスからなり気泡を多数含む半透明の外層と、合成石英ガラスからなり実質的に無気泡の透明な内層の間に、合成石英ガラスからなり気泡を多数含む半透明の中間層を設けて少なくとも三層構造とすることにより、シリコン融液内の熱対流を抑制し、融液表面に振動の発生しないようにした多層構造の石英ガラスルツボの製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本多層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層、合成石英ガラスからなる半透明の中間層、及び合成石英ガラスからなる透明の内層、の少なくとも三層を有することを特徴とする。
【００１４】
本石英ガラスルツボにおける半透明層とは、気泡を多数含み半透明の外観を呈している石英ガラス層をいい、また、透明層とは実質的に気泡を含まない透明な石英ガラス層をいう。
【００１５】
上記合成石英ガラス製半透明層は、天然石英ガラス製半透明層に比べ、相対的にＩＲ透過率が低く、外部熱源からの温度分布をより緩和する能力を持つという面がある。したがって、天然石英ガラス製半透明外層と、合成石英ガラス製透明内層の間に、合成石英ガラス製半透明の中間層を設けることによって、石英ガラスルツボ内面の位置による温度差が少なくなり、シリコン融液の熱対流を抑制することができる。その結果、石英ガラスルツボ表面とシリコン融液との接触部分の反応が低減され、融液表面の振動が抑制されると考えられる。
【００１６】
なお、本明細書において「天然石英ガラス」とは、天然シリカを原料として得られた石英ガラスのことをいい、同様に「合成石英ガラス」とは、高純度シラン等の珪素化合物より製造された石英ガラスのことをいう。
【００１７】
前記熱対流の抑制のみに着目すると石英ガラスルツボの半透明層全体を合成石英ガラスから構成すればよいと考えられるが、この場合は石英ガラスルツボの内表面が高温となるため、結果的に石英ガラスルツボ表面とシリコン融液との接触部分の反応を活性化させることになり、融液表面の振動を促すことになってしまい、なお且つ合成石英ガラスは天然石英ガラスに比べ高温粘度が低いことから石英ガラスルツボ自体の熱耐性を低下させるという悪影響もあり、好ましくない。また、半透明層全体を全て合成石英ガラスにしようとすると、高価な合成原料粉の使用量が増えることになるためコスト的にも不利である。
【００１８】
これらの理由により、本多層構造の石英ガラスルツボにおいては、天然石英ガラスからなる多気泡の半透明外層、合成石英ガラスからなる多気泡の半透明中間層、合成石英ガラスからなる実質的に無気泡の透明内層、の三層を少なくともそなえることが必要となる。この三層に加えて、例えば第２又は第３の中間層として特開平９−２５５４７６号公報に開示されるごとく不純物移動防止層を設けることや、さらには特開平１１−１７１６８４号公報に開示されるごとく結晶化促進剤含有層を設ける等、特定の作用等を具える他の層を設けることにより、四層、五層、さらにはそれ以上の多層構造とすることも可能である。
【００１９】
本多層構造の石英ガラスルツボにおける合成石英ガラス製中間層の厚さは天然石英ガラス製外層の厚さ以下であることが望ましい。この中間層の厚さが外層の厚さを超えると、前述したように相対的に耐熱性が低下するため、高温におけるルツボ全体の強度が不足するおそれがあり、またコスト的に不利となるが、本多層構造の石英ガラスルツボの作用効果を達成する限り、中間層の厚さを上記した以上に厚くすることも可能である。
【００２０】
本多層構造の石英ガラスルツボにおける天然石英ガラス製外層の厚さは１ｍｍ以上で全厚の９０％以下、好ましくは２ｍｍ以上で全厚の８０％以下であることが望ましい。この外層の厚さが１ｍｍ未満である場合、石英ガラスルツボ全体に必要な肉厚を考慮しても強度不足となる場合があり、またこの外層を薄くして半透明の合成石英ガラス製中間層を厚くすれば、前述したように耐熱性（強度）の問題とコスト上の問題が生じるが、本多層構造の石英ガラスルツボの作用効果を達成する限り、外層の厚さを１ｍｍ未満とすることも可能である。
【００２１】
一方、本多層構造の石英ガラスルツボにおける天然石英ガラス製外層の厚さが石英ガラスルツボ全体の厚さの９０％を超えると、石英ガラスルツボ内表面の位置による温度差を小さくすることによりシリコン融液の熱対流を抑制して融液面振動を低減するという本発明の効果を十分に得ることができなくなってしまう場合があるが、本多層構造の石英ガラスルツボの作用効果を達成する限り外層の厚さが９０％を超える構成とすることも可能である。
【００２２】
上記合成石英ガラス製中間層の厚さは０．５ｍｍ以上で石英ガラスルツボ全体の厚さの５０％以下、好ましくは１ｍｍ以上で石英ガラスルツボ全体の厚さの４０％以下であることが望ましい。
【００２３】
上記合成石英ガラス製内層の厚さは０．５ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上で、石英ガラスルツボ全体の厚さの７０％以下であることが望ましい。また、この内層のうち内表面から深さ方向１ｍｍまでの平均ＯＨ濃度は１００〜４００ｐｐｍとすることが望ましい。
【００２４】
本発明の多層構造の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様は、回転するモールド内に天然原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の外層成型体を成型し、次いで合成原料粉を供給して、遠心力により該外層成型体の内面側にルツボ形状の中間層成型体を成型して２層成型体を成型した後、該２層成型体を加熱溶融して天然石英ガラス製半透明外層及び合成石英ガラス製半透明中間層を形成する外層及び中間層形成工程と、該外層及び中間層の形成中もしくは形成後に、該外層及び中間層内の加熱雰囲気内に新たに合成石英原料粉を供給し、該中間層の内面側に合成石英ガラス製透明内層を形成する内層形成工程、からなることを特徴とする。
【００２５】
本発明の多層構造の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様は、回転するモールド内に天然原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の外層成型体を成型した後、該外層成型体を溶融して天然石英ガラス製半透明外層を形成する外層形成工程と、該外層の形成後に、該外層の内面側に合成原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の中間層成型体を該外層の内面側に成型した後、該中間層成型体を溶融して該外層の内面側に合成石英ガラス製半透明中間層を形成する中間層形成工程と、該中間層の形成中もしくは形成後に、該中間層内の加熱雰囲気内に新たに合成石英原料粉を供給し、ルツボ中間層の内面側に合成石英ガラス製透明内層を形成する内層形成工程、からなることを特徴とする。
【００２６】
本発明方法における石英ガラスルツボの原料粉としては、（結晶質の）天然石英粉、（結晶質の）合成石英粉、天然石英ガラス粉、合成石英ガラス粉等の各種粉体を適宜選択することが可能である。例えば、天然の水晶や珪砂・珪石等を粉砕し純化して得られる天然石英粉は、コスト上の利点とともに（作成された石英ガラス自体が）耐熱性に優れるというメリットがあるため、本発明方法における石英ガラスルツボの外層の原料として好適である。
【００２７】
また、より高純度の粉体である合成石英ガラス粉はルツボ内層及び中間層の原料として好適であり、具体的には、シリコンアルコキシド、ハロゲン化珪素（四塩化珪素ほか）、珪酸ソーダその他の珪素化合物を出発材料として、ゾルゲル法、スート法、火炎燃焼法等で得られる合成石英ガラス粉を適宜選択することができ、それ以外にもフュームドシリカや沈降シリカ等も利用できる。
【００２８】
さらに、作成される石英ガラスルツボの所望の物性（気泡の状態、密度、表面状態その他）に応じて、ガラス化した天然石英ガラス粉、結晶化した合成石英粉、又は前記各種粉体を混合したもの、ならびに結晶化促進や不純物遮蔽等に寄与する元素を含有するもの（アルミニウム化合物その他）及びそれらを混合したもの等を、外層もしくは内層又は中間層の原料として用いることができる。
【００２９】
すなわち、本発明方法における多層構造の石英ガラスルツボの各層の原料粉には、次のような二酸化珪素粉等が使用される。外層の原料粉については、天然石英粉が好適であり、その他に、天然石英ガラス粉、特定の元素を含有する天然石英粉又は天然石英ガラス粉、これらの各種粉体を混合したもの、といった天然原料粉が用いられる。また、内層及び中間層の原料粉については、合成石英ガラス粉が好適であり、その他に、合成石英粉、特定の元素を含有する合成石英ガラス粉又は合成石英粉、これらの各種粉体を混合したもの、といった合成原料粉が用いられる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【００３１】
図１は本発明の石英ガラスルツボの製造方法に使用される装置の一例と該装置を使用する石英ガラスルツボの製造方法を示す概略断面説明図である。図２は本多層構造の石英ガラスルツボの一例の一部断面図である。図３は本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様の工程図である。図４は本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様の工程図である。
【００３２】
図１、図２及び図３によって、本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様による多層構造の石英ガラスルツボの製造について説明する。図１において、回転するモールド１は回転軸２を備え、モールド１にはキャビティ１ａが形成されている。
【００３３】
まず天然石英粉を回転するモールド１のキャビティ１ａ内に供給して遠心力により所望の厚みを持つルツボ形状の外層成型体３ａに成型し、引き続きこの天然石英粉の外層成型体３ａの内側に合成石英ガラス粉を供給して外層成型体３ａの内側に沿って合成石英ガラス粉体層からなる中間層成型体１３ａを所望の厚さに成型する。次いで、この二層構造成型体Ａをアーク放電により内側から加熱溶融し、溶融開始後またはほぼ同時に、二層構造成型体Ａ内部へと新たに合成石英ガラス粉６をノズル９ａから高温ガス雰囲気８内へと供給することにより、該二層構造成型体Ａが溶融ガラス化されて半透明石英ガラスルツボ外層３及び中間層１３が形成されるとともに、新たに供給された合成石英ガラス粉６が高温ガス雰囲気８内の熱により少なくとも一部が溶融されながら該中間層１３の内壁面に向けて飛散させられてその内壁面に付着し、該中間層１３の内側に実質的に無気泡の透明石英ガラス製内層４が形成される。
【００３４】
このようにして、天然石英粉を溶融することにより得られた天然石英ガラス製の多気泡の半透明外層３、合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製の無気泡の半透明中間層１３、及び合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製透明内層４、の三層を有する本石英ガラスルツボＢが本発明の製造方法の第１の態様によって製造される。
【００３５】
内面からの加熱のために、図１に示すように電源５３に接続されたカーボン電極５１，５２を備えるアーク放電装置５を使用することができる。アーク放電装置５の代わりにプラズマ放電装置を用いてもよい。この基体３の製造については、特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００３６】
図１に示す装置は、内層４を形成するために、モールド１の上方に合成石英ガラス粉６を収容する石英粉末供給槽を備える。この供給槽９には計量フィーダ９２が設けられた吐出パイプ９３に接続されている。供給槽９内には攪拌羽根９１が配置される。型の上方は、排気１０が行われる部分を残して蓋体７により覆われる。
【００３７】
基体３が形成された後、又は基体３の形成の途中において、アーク放電装置５のカーボン電極５１，５２からの放電による加熱を継続しながら、合成石英ガラス粉６供給のための計量フィーダ９２を調整した開度に開いて、供給パイプ９３から合成石英ガラス粉を基体３の内部に供給する。アーク放電装置５の作動により、基体３内には高温ガス雰囲気８が形成されている。したがって、合成石英ガラス粉６は、この高温ガス雰囲気８中に供給されることとなる。
【００３８】
なお、高温ガス雰囲気とは、カーボン電極５１，５２を用いたアーク放電によりその周囲に形成された雰囲気を指し、石英ガラスを溶かすに十分な温度、つまり２千数百度の高温になっている。
【００３９】
上記した外層（基体）３及び内層４の形成方法（中間層１３は除いて）は、前述した特公平４−２２８６１号公報に詳細な記載がある。
【００４０】
次に、図１、図２及び図４によって、本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様による多層構造の石英ガラスルツボの製造について説明する。
【００４１】
まず天然石英粉を回転するモールド１のキャビティ１ａ内に供給して遠心力によりルツボ形状の外層成型体３ａとし、次いで内面から加熱溶融して天然石英ガラス製外層３を形成後、該外層３の内側に合成石英ガラス粉を供給して合成石英ガラス粉体層からなる中間層成型体１３ａを所望の厚さに成型し、その後、該中間層成型体１３ａをアーク放電により内側から加熱溶融し、溶融開始後またはほぼ同時に該中間層成型体１３ａ内部へと合成石英ガラス粉６をノズル９から高温ガス雰囲気８内へと供給することにより、該中間層成型体１３ａも溶融ガラス化されて天然石英ガラス半透明外層３の内側に合成石英ガラス製半透明中間層１３が形成されるとともに、新たに供給された合成石英ガラス粉６は、上述した第１の態様の場合と同様に、高温ガス雰囲気８内の熱により少なくとも一部が溶融されながら該中間層１３の内壁面に向けて飛散させられてその内壁面に付着し、該中間層１３の内側に実質的に無気泡の透明石英ガラス製内層４が形成される。
【００４２】
このようにして、天然石英粉を溶融することにより得られた天然石英ガラス製半透明外層３、合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製半透明中間層１３、及び合成石英ガラス粉を溶融することにより得られた合成石英ガラス製透明内層４、の三層を有する本石英ガラスルツボＢが本発明の製造方法の第２の態様によっても同様に製造される。
【００４３】
上記した本発明方法の第１の態様は外層３及び中間層１３の過熱溶融を同時に行うので、これを別々に行う第２の態様よりも作業効率が高い利点があり、第２の態様においては外層３及び中間層１３の加熱溶融条件を別々に設定して各層の性状を自在に調整できる有利さがある。
【００４４】
【実施例】
以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。
【００４５】
（実施例１）
図１の装置を用い、図３に示した方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ３０ｍｍの粉体層からなる外層成型体を成型し、引き続き合成石英ガラス粉を供給して、該外層成型体の内側に沿って合成石英ガラス粉を１．５ｍｍの厚さの中間層成型体を成型し、これにより二層構造の成型体を成型した。
【００４６】
次いで、この二層構造の成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に透明層の形成材料として新たに合成石英ガラス粉を１００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの三層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた三層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが８ｍｍ、合成石英ガラスからなる半透明の中間層の厚さが１ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが１ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボにポリシリコンを充填、溶融して単結晶の引上げを行ったところ、表１に示すようにシリコン融液表面の振動は発生せず、安定して引上げを行なうことができた。
【００４７】
（実施例２）
実施例１と同様の方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ２５ｍｍの粉体層からなる外層成型体を成型し、引き続き合成石英ガラス粉を供給して、該外層成型体の内側に沿って合成石英ガラス粉を５ｍｍの厚さの中間層成型体を成型し、これにより二層構造の成型体を成型した。
【００４８】
次いで、この二層構造の成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に新たに合成石英ガラス粉を１００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの三層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた三層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが５ｍｍ、合成石英ガラスからなる半透明の中間層の厚さが４ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが１ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボを用いて実施例１と同様の方法でシリコン単結晶の引上げを行ったところ、表１に示すようにシリコン融液表面の振動は発生せず、安定して引上げを行なうことができた。
【００４９】
（実施例３）
実施例１と同様の方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ２０ｍｍの粉体層からなる外層成型体を成型し、引き続き合成石英ガラス粉を供給して、該外層成型体の内側に沿って合成石英ガラス粉を１．５ｍｍの厚さの中間層成型体を成型し、これにより二層構造の成型体を成型した。
【００５０】
次いで、この二層構造の成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に新たに合成石英ガラス粉を３００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの三層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた三層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが２ｍｍ、合成石英ガラスからなる半透明の中間層の厚さが１ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが７ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボを用いて実施例１と同様の方法でシリコン単結晶の引上げを行ったところ、表１に示すようにシリコン融液表面の振動は発生せず、安定して引上げを行なうことができた。
【００５１】
（比較例１）
実施例１と同様の方法により、天然石英粉を回転するモールド内に供給して厚さ３０ｍｍの天然石英粉のみからなる成型体を形成し、この成型体をアーク放電により内側から加熱溶融すると同時に、その高温ガス雰囲気中に新たに合成石英ガラス粉を１００ｇ／min.の割合で供給し、直径２２インチの二層構造の石英ガラスルツボを製造した。得られた二層構造の石英ガラスルツボは、天然石英ガラスからなる半透明の外層の厚さが９ｍｍ、合成石英ガラスからなる透明な内層の厚さが１ｍｍで構成されており、ルツボ全体の肉厚は１０ｍｍであった。この石英ガラスルツボを用いて実施例１と同様の方法でシリコン単結晶の引上げを試みたが、表１に示すようにシリコン融液表面に激しい振動が発生し、引上げ工程を途中で中止した。
【００５２】
【表１】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本多層構造の石英ガラスルツボによれば、シリコン単結晶を引き上げる際のシリコン融液表面の振動を抑制することができ、高い歩留まりで安定してシリコン単結晶を引き上げることができるという効果を奏する。また、本発明の石英ガラスルツボの製造方法によれば、上記した多層構造の石英ガラスルツボを効率よく製造できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の石英ガラスルツボの製造方法に使用される装置の一例と該装置を使用する石英ガラスルツボの製造方法を示す概略断面説明図である。
【図２】 本多層構造の石英ガラスルツボの一例の一部断面図である。
【図３】 本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第１の態様の工程図である。
【図４】 本発明の石英ガラスルツボの製造方法の第２の態様の工程図である。
【符号の説明】
１：モールド、１ａ：キャビティ、２：回転軸、３：半透明石英ガラス製外層、３ａ：外層成型体、４：透明石英ガラス製内層、５：アーク放電装置、６：合成石英ガラス粉、７：蓋体、８：高温ガス雰囲気、９：供給槽、９ａ：ノズル、１０：排気、１３：半透明石英ガラス製中間層、１３ａ：中間層成型体、５１，５２：カーボン電極、５３：電源、９１：攪拌羽根、９２：計量フィーダ、９３：供給パイプ。
Claims (2)
- 回転するモールド内に天然原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の外層成型体を成型し、次いで合成原料粉を供給して、遠心力により該外層成型体の内面側にルツボ形状の中間層成型体を成型して２層成型体を成型した後、該２層成型体を加熱溶融して天然石英ガラス製半透明外層及び合成石英ガラス製半透明中間層を形成する外層及び中間層形成工程と、該外層及び中間層の形成中もしくは形成後に、該外層及び中間層内の加熱雰囲気内に新たに合成原料粉を供給し、該中間層の内面側に合成石英ガラス製透明内層を形成する内層形成工程と、からなることを特徴とする多層構造の石英ガラスルツボの製造方法。
- 回転するモールド内に天然原料粉を供給して、遠心力によりルツボ形状の外層成型体を成型した後、該外層成型体を溶融して天然石英ガラス製半透明外層を形成する外層形成工程と、該外層の形成後に、該外層の内面側に合成石英粉原料を供給して、遠心力によりルツボ形状の中間層成型体を該外層の内面側に成型した後、該中間層成型体を溶融して該外層の内面側に合成石英ガラス製半透明中間層を形成する中間層形成工程と、該中間層の形成中もしくは形成後に、該中間層内の加熱雰囲気内に新たに合成原料粉を供給し、ルツボ中間層の内面側に合成石英ガラス製透明内層を形成する内層形成工程と、からなることを特徴とする多層構造の石英ガラスルツボの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000163645A JP4447738B2 (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 |
| US10/048,677 US6841210B2 (en) | 2000-05-31 | 2001-05-31 | Multilayer structured quartz glass crucible and method for producing the same |
| PCT/EP2001/006180 WO2001092609A2 (en) | 2000-05-31 | 2001-05-31 | Multilayered quartz glass crucible and method of its production |
| EP01943461A EP1290250B1 (en) | 2000-05-31 | 2001-05-31 | Multilayered quartz glass crucible and method of its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000163645A JP4447738B2 (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001348294A JP2001348294A (ja) | 2001-12-18 |
| JP4447738B2 true JP4447738B2 (ja) | 2010-04-07 |
Family
ID=18667374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000163645A Expired - Lifetime JP4447738B2 (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6841210B2 (ja) |
| EP (1) | EP1290250B1 (ja) |
| JP (1) | JP4447738B2 (ja) |
| WO (1) | WO2001092609A2 (ja) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4086283B2 (ja) | 2002-07-31 | 2008-05-14 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法 |
| JP4453954B2 (ja) | 2003-02-28 | 2010-04-21 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法および該製造方法で製造された石英ガラスルツボ |
| KR100774606B1 (ko) * | 2003-05-01 | 2007-11-09 | 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 | 실리콘 단결정 인상용 석영유리 도가니 및 그 제조방법 |
| PL1745164T3 (pl) * | 2004-04-29 | 2008-11-28 | Vesuvius Crucible Co | Tygiel do krystalizacji krzemu |
| JP4678667B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2011-04-27 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
| JP4803784B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2011-10-26 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法 |
| JP4789437B2 (ja) * | 2004-07-16 | 2011-10-12 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼおよびその製造方法 |
| JP4781020B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-09-28 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボの製造方法 |
| TW200730672A (en) * | 2005-11-29 | 2007-08-16 | Japan Super Quartz Corp | Quartz glass crucible, method of producing the same, and application thereof |
| US7837955B2 (en) * | 2006-03-08 | 2010-11-23 | Unimin Corporation | Continuous reactor system for anoxic purification |
| KR100847500B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2008-07-22 | 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니 |
| JP5245129B2 (ja) * | 2007-07-27 | 2013-07-24 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | 石英ガラスルツボの製造方法 |
| JP5143520B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2013-02-13 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボとその製造方法および引き上げ方法 |
| CN101970362A (zh) * | 2008-02-05 | 2011-02-09 | 日本超精石英株式会社 | 石英玻璃坩埚 |
| EP2264226A4 (en) * | 2008-03-31 | 2011-07-27 | Japan Super Quartz Corp | QUARTZ GLASS LEVER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| JP5069663B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-11-07 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 多層構造を有する石英ガラスルツボ |
| JP4987029B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2012-07-25 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ |
| JP5334315B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2013-11-06 | コバレントマテリアル株式会社 | シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ |
| US20110120365A1 (en) * | 2009-11-25 | 2011-05-26 | Hui She | Process for removal of contaminants from a melt of non-ferrous metals and apparatus for growing high purity silicon crystals |
| JP4951057B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2012-06-13 | 信越石英株式会社 | シリカ容器及びその製造方法 |
| JP5500684B2 (ja) | 2010-06-25 | 2014-05-21 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | シリカガラスルツボ及びその製造方法、シリコンインゴットの製造方法 |
| JP5741163B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-07-01 | 信越半導体株式会社 | 石英ガラスルツボ及びその製造方法、並びにシリコン単結晶の製造方法 |
| JP5488519B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2014-05-14 | 信越半導体株式会社 | 石英ガラスルツボ及びその製造方法、並びにシリコン単結晶の製造方法 |
| US20140041575A1 (en) * | 2012-03-23 | 2014-02-13 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Silica container for pulling single crystal silicon and method for producing the same |
| DE102012109181B4 (de) | 2012-09-27 | 2018-06-28 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Ziehen eines Halbleiter-Einkristalls nach dem Czochralski-Verfahren und dafür geeigneter Quarzglastiegel |
| DE102014107590B3 (de) * | 2014-05-28 | 2015-10-01 | Infineon Technologies Ag | Halbleitervorrichtung, Siliziumwafer und Verfahren zum Herstellen eines Siliziumwafers |
| KR102165896B1 (ko) * | 2016-09-13 | 2020-10-14 | 가부시키가이샤 사무코 | 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법 |
| CN106801252B (zh) * | 2016-12-30 | 2019-06-18 | 江西中材太阳能新材料有限公司 | 一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚及其制备方法 |
| JP7024700B2 (ja) | 2018-12-19 | 2022-02-24 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ |
| CN110498686B (zh) * | 2019-09-02 | 2021-08-20 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种夹层碳化硅微波热结构坩埚及其制备方法 |
| CN113510824B (zh) * | 2020-04-09 | 2022-07-05 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种复合石英坩埚的制备方法及复合石英坩埚 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2928089C3 (de) * | 1979-07-12 | 1982-03-04 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verbundtiegel für halbleitertechnologische Zwecke und Verfahren zur Herstellung |
| JPS5917242A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-28 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体製造用石英ガラス |
| US5306473A (en) * | 1992-01-31 | 1994-04-26 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Quartz glass crucible for pulling a single crystal |
| JP3533416B2 (ja) * | 1996-02-06 | 2004-05-31 | 三菱住友シリコン株式会社 | 単結晶引上装置 |
| JP3764776B2 (ja) * | 1996-03-18 | 2006-04-12 | 信越石英株式会社 | 単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
| DE19719133C2 (de) * | 1997-05-07 | 1999-09-02 | Heraeus Quarzglas | Glocke aus Quarzglas und Verfahren für ihre Herstellung |
| EP0911429A1 (en) * | 1997-09-30 | 1999-04-28 | Heraeus Quarzglas GmbH | Quartz glass crucible for producing silicon single crystal and method for producing the crucible |
| JPH11116374A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-27 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 石英ガラスルツボの製造方法 |
| DE69803643T3 (de) * | 1997-10-16 | 2006-11-30 | Tosoh Corp., Shinnanyo | Undurchsichtiger Silikatglasgegenstand mit durchsichtigem Bereich und Verfahren zu dessen Herstellung |
| US5913975A (en) * | 1998-02-03 | 1999-06-22 | Memc Electronic Materials, Inc. | Crucible and method of preparation thereof |
| JP2000016896A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼ |
| JP2000159593A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-13 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスるつぼの製造方法 |
| DE19917288C2 (de) * | 1999-04-16 | 2001-06-28 | Heraeus Quarzglas | Quarzglas-Tiegel |
-
2000
- 2000-05-31 JP JP2000163645A patent/JP4447738B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-05-31 US US10/048,677 patent/US6841210B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-31 WO PCT/EP2001/006180 patent/WO2001092609A2/en active Application Filing
- 2001-05-31 EP EP01943461A patent/EP1290250B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1290250B1 (en) | 2011-08-17 |
| WO2001092609A3 (en) | 2002-04-04 |
| US6841210B2 (en) | 2005-01-11 |
| WO2001092609A2 (en) | 2001-12-06 |
| JP2001348294A (ja) | 2001-12-18 |
| EP1290250A2 (en) | 2003-03-12 |
| US20020192409A1 (en) | 2002-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4447738B2 (ja) | 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 | |
| JP4086283B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法 | |
| EP1286925B1 (en) | Method for producing quartz glass crucible | |
| US7118789B2 (en) | Silica glass crucible | |
| JP4166241B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
| TW592945B (en) | Silica glass crucible | |
| EP2267192B1 (en) | Method of pulling single crystal silicon using a vitreous silica crucible and method for manufacturing quartz glass crucible | |
| WO2000059837A1 (en) | Method for manufacturing quartz glass crucible | |
| TW200426121A (en) | Quartz glass crucible for pulling up silicon single crystal | |
| JP4841764B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法及び装置 | |
| US20100000465A1 (en) | Method for producing vitreous silica crucible | |
| JP4678667B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
| JP2009084085A (ja) | シリカガラスルツボ | |
| JP4454059B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ | |
| JP2012006805A (ja) | シリカガラスルツボ及びその製造方法、シリコンインゴットの製造方法 | |
| JP3625636B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法 | |
| EP2141130B1 (en) | Method for producing vitreous silica crucible | |
| JP7280160B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
| JP4140868B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ及び その製造方法 | |
| JP4874888B2 (ja) | シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボおよびその製造方法 | |
| JPH11171684A (ja) | シリコン単結晶製造用石英ガラスるつぼおよび その製造方法 | |
| JP2005060152A (ja) | 石英ルツボの製造方法及び石英ルツボ並びにこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070502 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090918 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091007 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091008 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091202 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100119 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100121 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4447738 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140129 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |