JP7323342B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
該搬送手段が待機位置に配置されている場合に、該搬送手段の該保持面が、鉛直方向に平行であって、洗浄処理された気体の鉛直方向に沿って下方に向かう気流に平行な向きで、該気流内に配置されている。
本加工装置は、前記洗浄処理された気体の気流を生成する気流生成部をさらに備えてもよい。
また、搬送手段の保持面に付着したゴミを洗浄する洗浄手段を配設する必要もない。
ロボット155は、保持面156に保持された加工後のウェーハWを、第2のカセット152aに搬入する。また、ロボット155は、第1のカセットから加工前のウェーハWを保持面156によって取り出して、仮置きテーブル61に載置する。
ここで、ロボット155を含む搬送手段の待機位置とは、たとえば、予め設定されている、ウェーハWの搬送に関する動作を実施していないときにおける搬送手段の位置(姿勢を含む)である。
搬入機構31の保持面32は、ウェーハWの裏面Wbを吸引保持する。搬入機構31は、仮置きテーブル61に仮置きされたウェーハWを保持面32によって吸引保持して、チャックテーブル30に搬送し、そのテーブル面300に載置する。
なお、図1では、待機位置に配置されている搬入機構31を示している。たとえば、搬入機構31は、待機位置に配置されている場合には、その下向きの保持面32を、第2の装置ベース12の上方の所定位置に配置するように構成されている。
搬出機構36の保持面37は、ウェーハWの裏面Wbを吸引保持する。搬出機構36は、チャックテーブル30に載置されている研削処理後のウェーハWの裏面Wbを保持面37によって吸引保持し、チャックテーブル30から搬出して、枚葉式のスピンナ洗浄ユニット26のスピンナテーブル27に搬送する。
これら第1の気流生成部53および第2の気流生成部56は、洗浄処理された気体の気流を生成する。
また、ロボット155の保持面156および搬入機構31の保持面32に付着したゴミを洗浄する洗浄手段を配設する必要もない。
30:チャックテーブル、300:テーブル面、
31:搬入機構、32:保持面、
36:搬出機構、37:保持面、
155:ロボット、156:保持面、
53:第1の気流生成部、54:第1のフィルタ、55:第1のファン、
56:第2の気流生成部、57:第2のフィルタ、58:第2のファン、
S1,S2:気流、
W:ウェーハ
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を収容するためのカセットが載置されるカセットステージと、被加工物を保持する保持面を有し、該保持面に保持された被加工物を、該カセットステージに載置された該カセットに対して搬入または搬出する搬送手段と、を備える加工装置であって、
該搬送手段が待機位置に配置されている場合に、該搬送手段の該保持面が、鉛直方向に平行であって、洗浄処理された気体の鉛直方向に沿って下方に向かう気流に平行な向きで、該気流内に配置されている、加工装置。 - 前記洗浄処理された気体の気流を生成する気流生成部をさらに備える、
請求項1記載の加工装置。
Priority Applications (1)
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JP2019111918A JP7323342B2 (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 加工装置 |
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JP2020203338A JP2020203338A (ja) | 2020-12-24 |
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ID=73836801
Family Applications (1)
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002016124A (ja) | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Sony Corp | ウェーハ搬送アーム機構 |
JP2003092335A (ja) | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Toshiba Corp | 基板搬送装置、これを用いた基板処理装置および基板処理方法 |
JP2015065195A (ja) | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社ディスコ | ウエーハ加工装置 |
JP2017108112A (ja) | 2015-10-12 | 2017-06-15 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 水平スロットの実装および/または移動シャワーヘッドを含む、ウエハー搬送マイクロクライメイト技法および装置 |
CN211760334U (zh) | 2020-02-14 | 2020-10-27 | 肇庆悦能科技有限公司 | 一种便于排屑的五金板板材打磨装置 |
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- 2019-06-17 JP JP2019111918A patent/JP7323342B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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