JP5554661B2 - ダイシング加工装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施の形態に係るダイシング加工装置1の全体を示す斜視図である。なお、以下においては、説明の便宜上、図1に示す右下方側(図1に示すX軸方向側)を「前方側」と呼び、左上方側(図1に示す−X軸方向側)を「後方側」と呼ぶものとする。また、図1に示す左方側(図1に示すY軸方向側)を「左方側」と呼び、右方側(図1に示す−Y軸方向側)を「右方側」と呼ぶものとする。さらに、図1に示す上方側(図1に示すZ軸方向側)を「上方側」と呼び、下方側(図1に示す−Z軸方向側)を「下方側」と呼ぶものとする。
2 フレームに貼付されたワーク
3 カセット
4 基台
5 キャビネット
5a 左方側側面
5b 前面
6 操作表示盤
7 チャックテーブル
8 ベーステーブル
9 カセットステージ
10 スピンナ洗浄手段
101 スピンナテーブル
102 クランプ
11 仮置部
11a,11b ガイドレール
12,13 搬送アーム
121,131 リニアガイド
122,132 アーム
123 クランプ部
124,133 吸着パッド
14 イオンブロー手段
141a,141b 支柱部
142 回動部
143 噴出口
144 調整部
15 制御部
20 切削加工手段
21 切削ブレード
22a,22b ブレードユニット
23 柱部
24a,24b ブレードユニット移動機構
W ワーク
F 環状フレーム
T 拡張テープ
Claims (2)
- ワークを保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された前記ワークを加工する加工手段と、
複数の前記ワークを収容したカセットを載置するカセットステージと、
前記カセットに前記ワークを収容する直前に前記ワークを仮置する仮置部と、
前記加工手段で加工された前記ワークをスピン洗浄するスピンナ洗浄手段と、
前記ワークにイオン化されたエアを吹きつけて前記ワークの帯電を緩和するイオンブロー手段と、
前記保持手段と前記仮置部と前記スピンナ洗浄手段との間において前記ワークを搬送する搬送手段と、を有するダイシング加工装置であって、
前記イオンブロー手段は、
前記イオン化されたエアを噴出する噴出口と、
前記噴出口の向きを調整することによって前記イオン化されたエアの吹きつけ位置を調整する調整部と、
前記調整部を動作させる制御部と、を有し、
前記制御部は、前記スピンナ洗浄手段によって前記ワークが洗浄された後に、前記スピンナ洗浄手段の保持テーブルからワークが搬出される際には、前記噴出口を前記保持テーブル上の前記ワークへ向けて前記イオン化されたエアを吹き付けるよう前記調整部を動作させ、前記ワークを前記カセットに収容する直前に、前記仮置部に前記ワークが載置される際には、前記噴出口を前記仮置部上の前記ワークへ向けて前記イオン化されたエアを吹き付けるよう前記調整部を動作させることを特徴とするダイシング加工装置。 - 前記制御部は、前記搬送手段が前記スピンナ洗浄手段の保持テーブルから前記仮置部まで前記ワークを搬送している間は、前記噴出口を前記搬送手段に保持された前記ワークへ向けてイオン化されたエアを吹き付けるよう前記調整部を動作させる請求項1記載のダイシング加工装置。
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