JP6847525B2 - 切削装置 - Google Patents
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Images
Landscapes
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Description
3 フレーム
5 粘着テープ
7 被加工物
2 切削装置
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
14b ポーラス部材
14c 枠体
14d,52d 吸引路
14e,52c 吸引源
16 上面側ウォーターノズル
18 上面側エアーノズル
20 エアーノズル
22a,22b 切削ユニット
24 支持構造
26 切削ユニット移動機構
28 Y軸ガイドレール
30 Y軸移動プレート
32 Y軸ボールネジ
34 Y軸パルスモータ
36 Z軸ガイドレール
38 Z軸移動プレート
40 Z軸ボールネジ
42 Z軸パルスモータ
44 搬送ユニット
46 吸盤
48 撮像カメラ(撮像ユニット)
50 洗浄ユニット
52 洗浄テーブル
52a 洗浄保持面
54 洗浄ノズル
Claims (2)
- 環状のフレーム、該環状のフレームの開口に張られた粘着テープ及び該粘着テープの上面に支持された被加工物を有するフレームユニットを保持面上で吸引保持して、該保持面に垂直な軸の周りに回転できるチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの該被加工物に切削液を供給しながら該被加工物を切削加工する切削ユニットと、
該チャックテーブルを該保持面と平行な加工送り方向に移動させる加工送りユニットと、
該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの下面の該チャックテーブルからはみ出す第1の領域に対面する位置から該第1の領域に向かってエアーを噴出するエアーノズルを有し、該被加工物の切削加工後に該第1の領域に向けてエアーを噴出することで該第1の領域に付着した切削液を除去できる切削液除去ユニットと、
を備えることを特徴とする切削装置。 - 該切削ユニットで切削加工された該フレームユニットの該被加工物を洗浄する洗浄ユニットと、
該チャックテーブルと、該洗浄ユニットと、の間で該フレームユニットを搬送する搬送ユニットと、を更に備え、
該チャックテーブルの該保持面は、該フレームユニットに負圧を作用させるポーラス部材の上面と、該ポーラス部材を囲繞する枠体の上面と、により構成され、
該洗浄ユニットは、該フレームユニットを保持する洗浄保持面を有し、該洗浄保持面に垂直な軸の周りに回転できる洗浄テーブルと、該洗浄テーブルに保持された該フレームユニットの該被加工物に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、を備え、
該洗浄テーブルの洗浄保持面は、該チャックテーブルの該ポーラス部材の該上面に収まる大きさに形成され、
該洗浄ユニットは、該フレームユニットが該チャックテーブルに吸引保持された際に該フレームユニットの下面のうち該枠体により支持された第2の領域を該フレームユニットを該洗浄テーブルに保持した際に露出でき、該洗浄テーブルの回転による遠心力で該第2の領域に付着した該切削液を除去できることを特徴とする請求項1記載の切削装置。
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