JP7320425B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
また、第1の洗浄装置は、該ロボットハンドの該吸着面を撮像する第2カメラをさらに備えてもよい。この場合、制御手段は、該第2カメラによって該ロボットハンドの該吸着面を撮像した画像から、該ロボットハンドの該吸着面の形状を取得してもよい。
一方、スピンナテーブル27の保持面27aは、図1に示したような大径の保持面、あるいは、図3に示すような小径の保持面である。すなわち、スピンナテーブル27の保持面27aのサイズには、大径と小径とがある。
一方、上取りは、スピンナテーブル27に保持されたウェーハWの上面を、ロボットハンド156の吸着面156aによって吸引保持することを意味する。
これに代えて、研削装置1は、図4に示すように、1台のロボットカメラ43を備えてもよい。
30:チャックテーブル、300:テーブル面、
26:スピンナ洗浄ユニット、27:スピンナテーブル、27a:保持面、
28:透明カバー、29:回転機構、
41:第1カメラ、42:第2カメラ、43:ロボットカメラ、
31:搬入機構、36:搬出機構、
40:タッチパネル、
70:制御手段、71:記憶部、73:設定部、
155:ロボット、156:ロボットハンド、156a:吸着面、
157:駆動部、158:上下移動手段、159:水平移動手段、
T:対応表、
W:ウェーハ
Claims (3)
- 被洗浄物を保持するための保持面を有するスピンナテーブル、および、該スピンナテーブルを高速回転させる回転機構を備えるスピンナ洗浄手段と、該スピンナ洗浄手段によって洗浄された被洗浄物を吸引保持し、該スピンナテーブルから搬出するロボットとを備えた洗浄装置であって、
該ロボットは、被洗浄物を保持する吸着面を有するロボットハンド、該ロボットハンドを上下方向に移動させる上下移動手段、および、該ロボットハンドを水平方向に移動させる水平移動手段を備え、
少なくとも該スピンナテーブルの該保持面を撮像する第1カメラと、
作業者に情報を通知する通知部と、
制御手段と、をさらに備え、
該制御手段は、該スピンナテーブルの該保持面のサイズと該ロボットハンドの該吸着面の形状とに応じて、該スピンナテーブルの該保持面に保持された被洗浄物を該ロボットハンドに保持させる保持方法を定めた対応表と、該ロボットハンドによる被洗浄物の保持方法が設定されている設定部と、を有し、
該制御手段は、
該第1カメラによって該スピンナテーブルを撮像した画像から、該スピンナテーブルの該保持面のサイズを取得するとともに、該第1カメラの直下に位置づけた該ロボットハンドの該吸着面を撮像した画像から、該ロボットハンドの該吸着面の形状を取得し、取得した該スピンナテーブルの該保持面のサイズおよび該ロボットハンドの該吸着面の形状に対応する保持方法を、該対応表から選択し、
選択された保持方法と該設定部に設定されている保持方法とが一致しない場合には、該通知部を介して、一致しない旨を作業者に通知し、
選択された保持方法と該設定部に設定されている保持方法とが一致した場合には、該設定部に設定されている保持方法を用いて、該ロボットハンドによって、該スピンナテーブルの該保持面に保持されている被洗浄物を保持するように構成されている、
洗浄装置。 - 該ロボットハンドの該吸着面を撮像する第2カメラをさらに備え、
制御手段は、該第2カメラによって該ロボットハンドの該吸着面を撮像した画像から、該ロボットハンドの該吸着面の形状を取得する、
請求項1記載の洗浄装置。 - 被洗浄物を保持するための保持面を有するスピンナテーブル、および、該スピンナテーブルを高速回転させる回転機構を備えるスピンナ洗浄手段と、該スピンナ洗浄手段によって洗浄された被洗浄物を吸引保持し、該スピンナテーブルから搬出するロボットとを備えた洗浄装置であって、
該ロボットは、被洗浄物を保持する吸着面を有するロボットハンド、該ロボットハンドを上下方向に移動させる上下移動手段、該ロボットハンドを水平方向に移動させる水平移動手段、および、該スピンナテーブルの該保持面および該ロボットハンドの該吸着面を撮像するカメラを備え、
作業者に情報を通知する通知部と、
制御手段と、をさらに備え、
該制御手段は、該スピンナテーブルの該保持面のサイズと該ロボットハンドの該吸着面の形状とに応じて、該スピンナテーブルの該保持面に保持された被洗浄物を該ロボットハンドに保持させる保持方法を定めた対応表と、該ロボットハンドによる被洗浄物の保持方法が設定されている設定部と、を有し、
該制御手段は、
該カメラによって撮像された画像から、該スピンナテーブルの該保持面のサイズを取得するとともに、該カメラによって撮像された画像から、該ロボットハンドの該吸着面の形状を取得し、取得した該スピンナテーブルの該保持面のサイズおよび該ロボットハンドの該吸着面の形状に対応する保持方法を、該対応表から選択し、
選択された保持方法と該設定部に設定されている保持方法とが一致しない場合には、該通知部を介して、一致しない旨を作業者に通知し、
選択された保持方法と該設定部に設定されている保持方法とが一致した場合には、該設定部に設定されている保持方法を用いて、該ロボットハンドによって、該スピンナテーブルの該保持面に保持されている被洗浄物を保持するように構成されている、
洗浄装置。
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JP2021065966A JP2021065966A (ja) | 2021-04-30 |
JP7320425B2 true JP7320425B2 (ja) | 2023-08-03 |
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Citations (5)
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JP2006222132A (ja) | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置,被加工物保持部のサイズ判別方法 |
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JP2015170689A (ja) | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2018140450A (ja) | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
-
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