JP7289612B2 - 紫外線透過ガラス及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、紫外線透過ガラス及びその製造方法に関する。

現在、深紫外域（例えば、波長域２００～３５０ｎｍ）において高い出力を有する光源が開発されており、紫外線ランプや磁気記録媒体への書き込み装置等に用いられている。このような光源やこれを用いた装置では、深紫外線の透過率の良い紫外線透過ガラス（例えば、特許文献１）が用いられている。

国際公開２０１７／０５７３７５号公報

紫外線透過ガラスの深紫外域の透過率が高い程、上述のような深紫外域において高い出力を有する光源やこれを用いた装置の性能を向上し得る。例えば、殺菌用途の紫外線ランプでは、より透過率の高い紫外線透過ガラスを外筒として用いることによって、より高い殺菌力を得られる。しかし、従来の紫外線透過ガラスには、その透過率、特に、波長２００～２５０ｎｍの深波長域の透過率が未だ不十分であり、改良の余地が残されていた。

本発明の紫外線透過ガラスは、厚み０．５ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２００とした場合、Ｔ_２００≧７５であることを特徴とする。ここで、「波長２００ｎｍにおける透過率」は、市販の分光光度計（例えば、日立製作所製ＵＶ―３１００）で測定可能である。

本発明の紫外線透過ガラスは、厚み０．５ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２５０とした場合、 Ｔ_２００／Ｔ_２５０≧０．７５以上であることが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスは、厚み０．５ｍｍ、波長２２０ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２２０とした場合、Ｔ_２２０≧８０であることが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスは、厚みが０．１～３．０ｍｍの板状または管状であることが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ_２ ５５～７５％、Ａｌ_２Ｏ_３ １～１０％、Ｂ_２Ｏ_３ １０～３０％、ＣａＯ ０～５ ％、 ＢａＯ ０～５％、Ｌｉ_２Ｏ＋Ｎａ_２Ｏ＋Ｋ_２Ｏ １．０～１５％、ＴｉＯ_２ ０～０．００１％、Ｆｅ_２Ｏ_３ ０～０．００１％、を含有することが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、上記何れかに記載の紫外線透過ガラスの製造方法であって、ガラス原料の少なくとも一部として合成シリカを用いることを特徴とする。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、合成シリカが気相反応法または液相反応法により精製された粒体シリカであることが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、前記合成シリカの平均粒径が１００μｍ以下であり、前記ガラス原料の全シリカ源に占める前記合成シリカの割合が９０～１００質量％であることが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスおよびその製造方法によれば、深紫外波長域において従来品よりも高い透過率を有するガラスを得ることができる。

厚み０．５ｍｍの試料Ｎｏ.１～３の透過率を示すグラフである。

本発明の紫外線透過ガラスにおいて、厚み０．５ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２００とした場合、Ｔ_２００≧７５、好ましくはＴ_２００≧８０、Ｔ_２００≧８３である。厚み０．５ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率が低過ぎると、紫外光が透過し難くなり、搭載される光源やデバイスの性能が低下し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスにおいて、厚み０．５ｍｍ、波長２２０ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２２０とした場合、好ましくはＴ_２２０≧８０であり、より好ましくはＴ_２２０≧８５、Ｔ_２２０≧８７である。厚み０．５ｍｍ、波長２２０ｎｍにおける透過率が低過ぎると、紫外光が透過し難くなり、搭載される光源やデバイスの性能が低下し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスにおいて、厚み０．５ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２５０とした場合、好ましくはＴ_２５０≧８８であり、より好ましくはＴ_２５０≧８９、Ｔ_２５０≧８９．５である。厚み０．５ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率が低過ぎると、紫外光が透過し難くなり、搭載される光源やデバイスの性能が低下し易くなる。

また、Ｔ_２００／Ｔ_２５０の値は、好ましくは０．７５以上、０．８０以上、０．８５以上、０．９０以上、０．９２以上である。Ｔ_２００／Ｔ_２５０の値が小さ過ぎると、紫外光が透過し難くなり、搭載される光源やデバイスの性能が低下し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスの歪点は、好ましくは４００℃以上、４１０℃以上、４１５℃以上である。紫外線透過ガラスの歪点が低過ぎる場合、例えば、表面に機能性膜を成膜する際に、高温の成膜工程においてガラスに意図しない変形が生じ易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスの軟化点は、好ましくは８５０℃以下、８００℃以下、７５０℃以下、特に７００℃以下である。軟化点が高過ぎると、ガラス溶融窯への負荷が大きくなり、ガラスの製造コストが高騰し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスの粘度１０^２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、１５４０℃以下、１５２０℃以下、１５００℃以下、特に１４８０℃以下である。１０^２．５ｄＰａ・ｓにおける温度が高過ぎると、溶融性が低下して、ガラスの製造コストが高騰し易くなる。ここで、「１０^２．５ｄＰａ・ｓにおける温度」は、白金球引き上げ法で測定可能である。

本発明の紫外線透過ガラスの３０～３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数は、好ましくは３０×１０^－７／℃以上、特に３５×１０^－７／℃以上であり、また９５×１０^－７／℃以下、特に８０×１０^－７／℃以下である。平均線熱膨張係数が低過ぎると、各種部材、特にガラスフリットの熱膨張係数に整合させ難くなる。結果として、ガラスフリットの低融点化が困難になるため、デバイスの工程温度の上昇を招き、デバイスの性能が劣化し易くなる。一方、平均線熱膨張係数が高過ぎると、熱衝撃により、ガラスが破損し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスの液相温度は、好ましくは１１２０℃以下、１１００℃以下、１０８０℃以下、１０５０℃以下、１０００℃以下、９５０℃以下、９００℃以下、特に８５０℃以下である。液相温度における粘度は、好ましくは１０^４．０ｄＰａ・ｓ以上、１０^４．３ｄＰａ・ｓ以上、１０^４．５ｄＰａ・ｓ以上、１０^４．８ｄＰａ・ｓ以上、１０^５．１ｄＰａ・ｓ以上、１０^５．３ｄＰａ・ｓ以上、特に１０^５．５ｄＰａ・ｓ以上である。このようにすれば、耐失透性が向上し、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法で成形し易くなるため、所望の形状のガラスを作製し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスのヤング率は、好ましくは４０ＧＰａ以上、特に４５ＧＰａ以上である。ヤング率が低過ぎると、デバイスの製造工程における搬送ラインでガラスが剛性を維持し難くなり、ガラスの変形、反り、破損が発生し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ_２ ５５～７５％、Ａｌ_２Ｏ_３ １～１０％、Ｂ_２Ｏ_３ １０～３０％、ＣａＯ ０～５ ％、 ＢａＯ ０～５％、Ｌｉ_２Ｏ＋Ｎａ_２Ｏ＋Ｋ_２Ｏ １．０～１５％、ＴｉＯ_２ ０～０．００１％、Ｆｅ_２Ｏ_３ ０～０．００１％、Ｆ ０．５～２．０％を含有することが好ましい。

上記のように各成分の含有量を限定した理由を以下に示す。なお、各成分の含有量の説明において、％表示は、特に断りがある場合を除き、質量％を表す。

ＳｉＯ_２は、ガラスの骨格を形成する主成分である。ＳｉＯ_２の含有量は、好ましくは５０～８０％、５５～７５％、５８～７０％、特に６５～６９％である。ＳｉＯ_２の含有量が少な過ぎると、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。一方、ＳｉＯ_２の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性が低下し易くなることに加えて、クリストバライト等の失透結晶が析出し易くなって、液相温度が上昇し易くなる。

Ａｌ_２Ｏ_３とＢ_２Ｏ_３は、耐失透性を高める成分である。Ａｌ_２Ｏ_３＋Ｂ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは２～４０％、５～３５％、１０～３０％、特に２０～２８％である。Ａｌ_２Ｏ_３＋Ｂ_２Ｏ_３の含有量が少な過ぎると、ガラスが失透し易くなる。一方、Ａｌ_２Ｏ_３＋Ｂ_２Ｏ_３の含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、逆にガラスが失透し易くなる。

Ａｌ_２Ｏ_３は、ヤング率を高める成分であると共に、分相、失透を抑制する成分である。Ａｌ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは１～２０％、２～１５％、特に３～１０％である。Ａｌ_２Ｏ_３の含有量が少な過ぎると、ヤング率が低下し易くなり、またガラスが分相、失透し易くなる。一方、Ａｌ_２Ｏ_３の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性が低下し易くなる。

Ｂ_２Ｏ_３は、溶融性、耐失透性を高める成分であり、また傷の付き易さを改善して、強度を高める成分である。Ｂ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは１０～２５％、１３～２８％、１５～２５％、である。Ｂ_２Ｏ_３の含有量が少な過ぎると、溶融性、耐失透性が低下し易くなり、またフッ酸系の薬液に対する耐性が低下し易くなる。一方、Ｂ_２Ｏ_３の含有量が多過ぎると、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。

Ｌｉ_２Ｏ、Ｎａ_２Ｏ及びＫ_２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与するアルカリ金属酸化物成分である。Ｌｉ_２Ｏ＋Ｎａ_２Ｏ＋Ｋ_２Ｏの含有量は、好ましくは１．５～１５％、２～１０％、特に３～６％である。Ｌｉ_２Ｏ＋Ｎａ_２Ｏ＋Ｋ_２Ｏの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなる。一方、アルカリ金属酸化物の含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。

Ｌｉ_２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。Ｌｉ_２Ｏの含有量は、好ましくは０～５％、０～３％、特に０～１．２％、である。Ｌｉ_２Ｏの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなることに加えて、熱膨張係数が不当に低くなる虞がある。一方、Ｌｉ_２Ｏの含有量が多過ぎると、ガラスが分相し易くなる。

Ｎａ_２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。また熱膨張係数を調整するための成分である。Ｎａ_２Ｏの含有量は、好ましくは０～１０％、０～８％、１～５％、特に１～３％である。Ｎａ_２Ｏの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなることに加えて、熱膨張係数が不当に低くなる虞がある。一方、Ｎａ_２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。

Ｋ_２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。また熱膨張係数を調整するための成分である。Ｋ_２Ｏの含有量は、好ましくは０．１～１０％、０．５～５％、特に１～３％である。Ｋ_２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。

ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯは、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分である。ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量は、好ましくは０～８％、０．１～５％である。ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。

ＣａＯは、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分である。またアルカリ土類金属酸化物の中では、導入原料が比較的安価であるため、原料コストを低廉化する成分である。ＣａＯの含有量は、好ましくは０～８％、０～５％、０．０１～１％、０．１～０．８％である。ＣａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。なお、ＣａＯの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。

ＳｒＯは、耐失透性を高める成分である。ＳｒＯの含有量は、好ましくは０～７％、０～５％、０～３％、特に０～１％である。ＳｒＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。

ＢａＯは、耐失透性を高める成分である。ＢａＯの含有量は、好ましくは０～７％、０.1～５％、０．５～３％、１～１．５％である。ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。

上記成分以外にも、２５０ｎｍ以下の波長帯における透過率を低下させない範囲において、任意の他の成分を導入してもよい。なお、上記成分以外の他の成分の含有量は、本発明の効果を的確に享受する観点から、合量で１０％以下、５％以下、特に３％以下が好ましい。

ＺｒＯ_２は、耐酸性を高める成分であるが、ガラス組成中に多量に含有させると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＺｒＯ_２の含有量は、好ましくは０．１％以下、より好ましくは０．００１～０．０２％、特に０．０００１～０．０１％である。

Ｆｅ_２Ｏ_３とＴｉＯ_２は、深紫外域での透過率を低下させる成分である。Ｆｅ_２Ｏ_３＋ＴｉＯ_２の含有量は、好ましくは０．００１０％（１０ｐｐｍ）以下、０．００００１～０．０００７％（０．１～７ｐｐｍ）である。Ｆｅ_２Ｏ_３＋ＴｉＯ_２の含有量が多過ぎると、ガラスが着色して、深紫外域での透過率が低下し易くなる。

Ｆｅ_２Ｏ_３は、深紫外域での透過率を低下させる成分である。Ｆｅ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは０．００１０％（１０ｐｐｍ）以下、０．００００１～０．０００９％（０．１～９ｐｐｍ）、０．００００１～０．０００７％（０．１～７ｐｐｍ）である。Ｆｅ_２Ｏ_３の含有量が多過ぎると、ガラスが着色して、深紫外域での透過率が低下し易くなる。

酸化鉄中のＦｅイオンは、Ｆｅ^２＋又はＦｅ^３＋の状態で存在する。Ｆｅ^２＋の割合が少な過ぎると、深紫外線での透過率が低下し易くなる。よって、本発明の紫外線透過ガラスに含まれる酸化鉄中のＦｅ^２＋／（Ｆｅ^２＋＋Ｆｅ^３＋）の質量割合は、好ましくは０．１以上、０．２以上、０．３以上、０．４以上、特に０．５以上である。

ＴｉＯ_２は、深紫外域での透過率を低下させる成分である。ＴｉＯ_２の含有量は、好ましくは０．００１０％（１０ｐｐｍ）以下、０．０００３０％（３ｐｐｍ）以下、０．００００１～０．０００１５％（０．１～１．５ｐｐｍ）である。ＴｉＯ_２の含有量が多過ぎると、ガラスが着色して、深紫外域での透過率が低下し易くなる。

Ｆは、粘性を下げて溶融性を高める成分である。Ｆの含有量は、好ましくは０～２％、０．１～１．５％、０．５～１．５％であることが好ましい。

清澄剤としては、他にもＣｌを２０００ｐｐｍ以下、好ましくは１０００ｐｐｍ添加して良い。

本発明の紫外線透過ガラスの形状は任意に設定可能である。本発明の紫外線透過ガラスの形状は、例えば、平板状、曲板状、直管状、曲管状、棒状、球状、容器状、ブロック状とすることができる。

本発明の紫外線透過ガラスを平板状とする場合、例えば、主平面寸法は１００ｍｍ×１００ｍｍ以上、２００ｍｍ×２００ｍｍ以上、４００ｍｍ×４００ｍｍ以上、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上、特に２０００ｍｍ×２０００ｍｍ以上とすることが好ましい。

また、本発明の紫外線透過ガラスの厚みは、例えば、０．１～３．０ｍｍが好ましい。このような厚みであれば、紫外線ランプや磁気記録媒体への書き込み装置等に好適に用いることができる
特に、精密機器用途においては、本発明の紫外線透過ガラスの厚みは０．２～１．０ｍｍ、０．３～０．６ｍｍとすることがより好ましい。一方、大型装置の用途においては、本発明の紫外線透過ガラスの厚みを０．５ｍｍ以上、より好ましくは０．５～２．０ｍｍとすることが強度剛性を担保する観点から好ましい。なお、一般的に紫外線透過率はガラスの厚みが厚いほど低下するが、本発明の紫外線透過ガラスは２５０ｎｍ以下の波長領域において高い透過率を有するために、従来品に比べ厚みを増加させても同波長域において高い透過率を維持可能である。

本発明の紫外線透過ガラスの表面の表面粗さＲａは好ましくは１０ｎｍ以下、９ｎｍ以下、８ｎｍ以下、７ｎｍ以下、６ｎｍ以下、５ｎｍ以下、４ｎｍ以下、３ｎｍ以下、２ｎｍ以下、特に１ｎｍ以下である。表面の表面粗さＲａが大き過ぎると、深紫外線での透過率が減少する傾向がある。

本発明の紫外線透過ガラスは、例えば、各種ガラス原料を調合して、ガラスバッチを得た上で、このガラスバッチを溶融し、得られた溶融ガラスを清澄、均質化し、所定形状に成形することで作製することができる。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法では、ガラス原料の少なくとも一部として合成シリカを用いることを特徴とする。特に、気相反応法または液相反応法により生成された粒状合成シリカを用いることが好ましい。また、合成シリカの平均粒径は、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは５～９０μｍである。合成シリカは、例えば、不定形シリカや、球形シリカ、或いはこれらの混合である。また、ガラス原料の全シリカ源に占める上記合成シリカの割合は９０～１００質量％であることが好ましい。このような原料を用いることにより、ガラスの紫外線透過率を向上できる。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、ガラス原料の一部として、還元剤を用いることが好ましい。このようにすれば、ガラス中に含まれるＦｅ^３＋が還元されて、深紫外線での透過率が向上する。還元剤として、木粉、カーボン粉末、金属アルミニウム、金属シリコン、フッ化アルミニウム等の材料が使用可能であるが、その中でも金属シリコン、フッ化アルミニウムが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、ガラス原料の一部として、金属シリコンを用いることが好ましく、その添加量は、ガラスバッチの全質量に対して０．００１～３質量％、０．００５～２質量％、０．０１～１質量％、特に０．０３～０．１質量％が好ましい。金属シリコンの添加量が少な過ぎると、ガラス中に含まれるＦｅ^３＋が還元されず、深紫外線での透過率が低下し易くなる。一方、金属シリコンの添加量が多過ぎると、ガラスが茶色に着色する傾向がある。

ガラス原料の一部として、フッ化アルミニウム（ＡｌＦ_３）を用いることも好ましく、その添加量は、ガラスバッチの全質量に対して、Ｆ換算で０．０１～２質量％、０．０５～１．５質量％、０．３～１．５質量％が好ましい。一方、フッ化アルミニウムの添加量が多過ぎると、Ｆガスがガラス中に泡として残存する虞がある。フッ化アルミニウムの添加量が少な過ぎると、ガラス中に含まれるＦｅ^３＋が還元されず、深紫外線での透過率が低下し易くなる。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、紫外線透過ガラスを平板形状に成形する場合は、ダウンドロー法や、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形することが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、耐熱性の樋状構造物の両側から溶融ガラスを溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下頂端で合流させながら、下方に延伸成形してガラス板を成形する方法である。オーバーフローダウンドロー法では、ガラス板の表面となるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形される。このため、薄型のガラス板を作製し易くなると共に、表面を研磨しなくても、板厚ばらつきを低減することができる。結果として、ガラス板の製造コストを低廉化することができる。なお、樋状構造物の構造や材質は、所望の寸法や表面精度を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行う際に、力を印加する方法も特に限定されない。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、紫外線透過ガラスを管状に成形する場合は、ダウンドロー法や、ベロー法、ダンナー法等を用いて成形することが好ましい。ダンナー法は、傾斜配置された耐熱性のスリーブ状構造物の上方端側に溶融ガラスを流下して巻き付け、下方端側へ流下した溶融ガラスを延伸成形してガラス管を成形する方法である。

成形方法として、上記以外にも、例えば、スロットダウン法、リドロー法、フロート法等を採択することもできる。

以下、本発明を実施例に基づいて説明する。なお、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。

表１は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１～２）と比較例（試料Ｎｏ．３～４）を示している。

まず、表中のガラス組成となるように、表に示すガラス原料を調合したガラスバッチを白金坩堝に入れ、１５５０℃で４時間溶融した。なお、合成シリカとしては気相反応法により生成された平均粒径３０μｍの合成シリカを用い、天然原料としてはガラス製造用途として一般的な精製済みの平均粒径１００～１２０μｍの天然シリカ原料を用いた。

得られた溶融ガラスについて、白金スターラーを用いて攪拌し、均質化を行った。次いで、溶融ガラスをカーボン板上に流し出し、平板形状に成形した後、徐冷点より２０℃程度高い温度から室温まで３℃／分の速度で徐冷した。

得られた各試料について透過率を測定した。透過率は、ダブルビーム型分光光度計を用いて、厚み方向の分光透過率を測定した値である。測定試料としては、表１に記載の厚みで両面を光学研磨面（鏡面）に研磨したものを使用した。なお、ＡＦＭにより、これらの測定試料の表面の表面粗さＲａを測定したところ、測定領域１０μｍ×１０μｍで０．５～１．０ｎｍであった。

図１は、波長２００～４００ｎｍにおける厚さ０．５ｍｍの試料Ｎｏ．１～３の透過率曲線である。表１および図１から明らかなように、実施例のガラスは２５０ｎｍ以下の波長域における紫外線透過率が比較例のガラスに比べて高かった。

なお、上記実施例では、溶融ガラスを流し出して平板形状に成形したが、工業的規模で生産する場合には、オーバーフローダウンドロー法等で平板形状に成形し、両表面が未研磨の状態で使用に供することが好ましい。また、管状に形成する場合は、ダウンドロー法やダンナー法等で管状に成形することが好ましい。

本発明の紫外線透過ガラスは、例えば、殺菌灯や、磁気記録媒体の読み書き装置、その他紫外線を用いた装置に備えられるガラス等として好適である。

Claims (7)

1. ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ_２ ５５～７５％、Ａｌ_２Ｏ_３ １～１０％、Ｂ_２Ｏ_３ １０～３０％、ＣａＯ ０．１～５％、ＢａＯ ０．１～５％、Ｎａ_２Ｏ １～１０％、Ｌｉ_２Ｏ＋Ｎａ_２Ｏ＋Ｋ_２Ｏ １．０～１５％、ＴｉＯ_２ ０～０．００１％、Ｆｅ_２Ｏ_３ ０～０．００１％を含有し、
   厚み０．５ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２００とした場合、Ｔ_２００≧７５であることを特徴とする紫外線透過ガラス。
2. 厚み０．５ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２５０とした場合、
   Ｔ_２００／Ｔ_２５０≧０．７５以上である、請求項１に記載の紫外線透過ガラス。
3. 厚み０．５ｍｍ、波長２２０ｎｍにおける透過率（％）をＴ_２２０とした場合、Ｔ_２２０≧８０である、請求項１または２に記載の紫外線透過ガラス。
4. 厚みが０．１～３．０ｍｍの板状または管状である、請求項１～３の何れかに記載の紫外線透過ガラス。
5. 請求項１～４の何れかに記載の紫外線透過ガラスの製造方法であって、ガラス原料の少なくとも一部として合成シリカを用いることを特徴とする、紫外線透過ガラスの製造方法。
6. 前記合成シリカが、気相反応法または液相反応法により生成された粒体シリカである、請求項５に記載の紫外線透過ガラスの製造方法。
7. 前記合成シリカの平均粒径が１００μｍ以下であり、
   前記ガラス原料の全シリカ源に占める前記合成シリカの割合が９０～１００質量％である、請求項５または６に記載の紫外線透過ガラスの製造方法。

Images