JP7273568B2

JP7273568B2 - 加工装置

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Publication number: JP7273568B2
Application number: JP2019051282A
Authority: JP
Inventors: 大輔川越; 秀年万波; 聖吾戎
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Priority date: 2019-03-19
Filing date: 2019-03-19
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Description

本発明は、少なくとも２種類のサイズの被加工物を加工可能な加工装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置等によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、カセット載置部に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、搬出手段によって搬出された被加工物が仮置きされる仮置き手段と、仮置き手段に仮置きされた被加工物をチャックテーブルまで搬送する搬送手段と、から概ね構成されていてウエーハを所望の厚みに加工することができる。

また、ウエーハは、直径が５インチ、６インチ、８インチと異なったサイズが存在し、デバイスの種類、大きさ等によって適宜サイズが選択される。

そして、研削装置は、ウエーハのサイズに応じて、チャックテーブル、搬出手段、搬送手段等の構成要素が交換され、ウエーハの各サイズに対応できるように構成されている（たとえば特許文献１参照）。

特開２００５－１５３０９０号公報

しかし、交換すべき全ての構成要素をウエーハのサイズに対応してミスにより交換できていない場合があり、このような場合には、カセットからのウエーハの搬出や研削装置内におけるウエーハの搬送ができなかったり、ウエーハを破損させたりするといった問題が生じる。上記した問題は、研削装置に限らず、ウエーハのサイズに対応して構成要素を交換できるダイシング装置、レーザー加工装置等を含む様々な加工装置において起こり得る。

上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、被加工物のカセットからの搬出や加工装置内における被加工物の搬送ができなかったり、被加工物を破損させたりするといった問題が生じることがない加工装置を提供することである。

上記課題を解決するために本発明が提供するのは以下の加工装置である。すなわち、少なくとも２種類のサイズの被加工物を選択的に保持できるチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、該カセット載置部に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出された被加工物が仮置きされる仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた被加工物を該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を構成要素として少なくとも備えた加工装置であって、複数の構成要素を撮像するカメラと、被加工物のサイズを選定するサイズ選定部と、該サイズ選定部によって選定された被加工物のサイズに応じた複数の構成要素の画像を記憶する画像記憶部と、を少なくとも備えた制御手段と、を備え、該制御手段は、該カメラが撮像した複数の構成要素の画像と該画像記憶部に記憶された複数の構成要素の画像とを比較し、該カメラが撮像した複数の構成要素が、該サイズ選定部によって選定された被加工物のサイズに応じた複数の構成要素であるか否かを判断する判断部を備えている加工装置である。

好ましくは、該判断部は、被加工物のサイズに応じていない構成要素を指摘して交換を指示する。該加工手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削砥石で研削する研削手段または該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨パッドで研磨する研磨手段であるのが好適である。

本発明が提供する加工装置は、少なくとも２種類のサイズの被加工物を選択的に保持できるチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、該カセット載置部に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出された被加工物が仮置きされる仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた被加工物を該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を構成要素として少なくとも備え、複数の構成要素を撮像するカメラと、被加工物のサイズを選定するサイズ選定部と、該サイズ選定部によって選定された被加工物のサイズに応じた複数の構成要素の画像を記憶する画像記憶部と、を少なくとも備えた制御手段と、を備え、該制御手段は、該カメラが撮像した複数の構成要素の画像と該画像記憶部に記憶された複数の構成要素の画像とを比較し、該カメラが撮像した複数の構成要素が、該サイズ選定部によって選定された被加工物のサイズに応じた複数の構成要素であるか否かを判断する判断部を備えているので、被加工物のカセットからの搬出や加工装置内における被加工物の搬送ができなかったり、被加工物を破損させたりするといった問題が生じることがない。

本発明に従って構成された加工装置の斜視図。図１に示すチャックテーブルの斜視図。図１に示す画像記憶部に記憶されている、被加工物の各サイズに応じた構成要素の画像の模式図。

以下、本発明に従って構成された加工装置の好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。

図１には、本発明に従って構成された加工装置の一例として、少なくとも２種類のサイズの被加工物を研削可能な研削装置２が示されている。なお、本発明の加工装置の他の例としては、たとえば、被加工物に切削加工を施す切削ブレードを回転可能に備えたダイシング装置や、被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工装置等が挙げられる。

研削装置２は、少なくとも２種類のサイズの被加工物を選択的に保持できるチャックテーブル４と、チャックテーブル４に保持された被加工物に加工を施す加工手段６と、複数の被加工物を収容するカセット８が載置されるカセット載置部１０と、カセット載置部１０に載置されたカセット８から被加工物を搬出する搬出手段１２と、搬出手段１２によって搬出された被加工物が仮置きされる仮置き手段１４と、仮置き手段１４に仮置きされた被加工物をチャックテーブル４まで搬送する搬送手段１６と、を構成要素として少なくとも備える。なお、図示の実施形態ではカセット８も研削装置２の構成要素に含まれる。

図１に示すとおり、研削装置２は直方体状の基台１８を備えており、基台１８の上面には、円形のターンテーブル２０が回転自在に設けられている。ターンテーブル２０は、基台１８に内蔵されたターンテーブル用モータ（図示していない。）で、上方から見て反時計回りに回転されるようになっている。ターンテーブル２０の上面周縁側には、周方向に等間隔をおいて３個のチャックテーブル４が回転自在に搭載されており、チャックテーブル４は、ターンテーブル２０の下面に装着されたチャックテーブル用モータ（図示していない。）で上下方向に延びる軸線を中心として回転される。また、各チャックテーブル４は、図１において、符号Ａで示す着脱位置と、符号Ｂで示す荒研削位置と、符号Ｃで示す仕上げ研削位置とにターンテーブル２０の回転によって順次位置づけられるようになっている。

図２を参照して説明すると、チャックテーブル４の上端部分には、多孔質の円形状の第一の吸着チャック２２と、第一の吸着チャック２２と同心状に配置された多孔質の環状の第二の吸着チャック２４とが設けられている。第一の吸着チャック２２および第二の吸着チャック２４は共に吸引手段（図示していない。）に接続されており、第二の吸着チャック２４と吸引手段とを接続する流路にはバルブ（図示していない。）が設けられている。また、図示の実施形態では、第一の吸着チャック２２の直径は、２種類のサイズの被加工物のうちサイズの小さい被加工物（たとえば直径６インチのウエーハ）の直径に対応し、第二の吸着チャック２４の外径は、２種類のサイズの被加工物のうちサイズの大きい被加工物（たとえば直径８インチのウエーハ）の直径に対応している。

そして、チャックテーブル４においては、上記バルブを閉めた状態で第一の吸着チャック２２の上面に吸引手段で吸引力を生成することにより、第一の吸着チャック２２でサイズの小さい被加工物を吸引保持し、かつ、上記バルブを開けた状態で第一の吸着チャック２２および第二の吸着チャック２４の上面に吸引手段で吸引力を生成することにより、第一の吸着チャック２２および第二の吸着チャック２４でサイズの大きい被加工物を吸引保持するようになっている。

このように、図示の実施形態のチャックテーブル４は、２種類のサイズの被加工物を選択的に吸引保持できるようになっている。なお、チャックテーブル４は、第一の吸着チャック２２と同心状に複数の環状の吸着チャックが上端部分に配置されていることにより、３種類以上のサイズの被加工物を選択的に吸引保持できるようになっていてもよい。

図１を参照して説明すると、加工手段６は、基台１８の端部（図１における奥側端部）から上方に延びる装着壁２６と、いずれも装着壁２６の片面に昇降自在に装着された第一の昇降板２８および第二の昇降板３０と、第一の昇降板２８を昇降させる第一の昇降手段３２と、第二の昇降板３０を昇降させる第二の昇降手段３４とを含む。

第一の昇降手段３２は、装着壁２６の片面に沿って上下方向に延びるボールねじ３６と、ボールねじ３６を回転させるモータ３８とを有する。ボールねじ３６のナット部（図示していない。）は第一の昇降板２８に連結されている。そして、第一の昇降手段３２においては、ボールねじ３６によりモータ３８の回転運動を直線運動に変換して第一の昇降板２８に伝達し、装着壁２６の片面に付設された案内レール２６ａに沿って第一の昇降板２８を昇降させるようになっている。なお、第二の昇降手段３４については、第一の昇降手段３２と同一の構成でよいので第一の昇降手段３２の構成と同一の符号を付し、説明を省略する。

また、加工手段６は、第一の昇降板２８の片面に装着された荒研削ユニット４０と、第二の昇降板３０の片面に装着された仕上げ研削ユニット４２とを含む。荒研削ユニット４０は、第一の昇降板２８の片面から突出する支持壁４４と、上下方向に延びる軸線を中心として回転自在に支持壁４４に支持されたスピンドル４６と、支持壁４４の上面に搭載されスピンドル４６を回転させるモータ４８とを有する。スピンドル４６の下端には円板状のホイールマウント５０が固定され、ホイールマウント５０の下面には荒研削用の研削砥石５２が固定されている。なお、仕上げ研削ユニット４２については、荒研削用の研削砥石５２の砥粒よりも粒度が小さい砥粒から形成された仕上げ研削用の研削砥石５４がホイールマウント５０の下面に固定されているほかは、荒研削ユニット４０と同一の構成でよいので荒研削ユニット４０の構成と同一の符号を付し、説明を省略する。

そして、加工手段６においては、荒研削位置Ｂに位置づけられたチャックテーブル４に保持された被加工物に対して荒研削ユニット４０の研削砥石５２で荒研削加工を施すと共に、仕上げ研削位置Ｃに位置づけられたチャックテーブル４に保持された被加工物に対して仕上げ研削ユニット４２の研削砥石５４で仕上げ研削加工を施すようになっている。

このように図示の実施形態の加工手段６は、チャックテーブル４に保持された被加工物を研削砥石５２、５４で研削する研削手段として構成されているが、ホイールマウント５０の下面に研磨パッドが固定され、チャックテーブル４に保持された被加工物を研磨パッドで研磨する研磨手段から加工手段６が構成されていてもよい。また、一方のホイールマウント５０に研削砥石が固定され、他方のホイールマウント５０に研磨パッドが固定され、研削手段および研磨手段の双方から加工手段６が構成されていてもよい。

また、基台１８の上面には、着脱位置Ａに隣接して、洗浄水を噴射する洗浄水ノズル５６が設けられている。そして、荒研削加工および仕上げ研削加工が施された後に着脱位置Ａに位置づけられた被加工物の上面（研削面）に向かって洗浄水ノズル５６から洗浄水が噴射されることにより、被加工物の上面が洗浄される。

図示の実施形態のカセット載置部１０は、研削加工前の複数の円板状の被加工物（たとえば、直径６インチや直径８インチのウエーハＷ）を収容した第一のカセット８ａが載置される第一のカセット載置部１０ａと、研削加工後の複数の被加工物を収容する第二のカセット８ｂが載置される第二のカセット載置部１０ｂとを有する。図１に示すとおり、第一のカセット載置部１０ａおよび第二のカセット載置部１０ｂは、基台１８の上面端部（図１における手前側端部）に互いに間隔をおいて設けられている。

また、第一のカセット載置部１０ａおよび第二のカセット載置部１０ｂのそれぞれは、少なくとも２種類のサイズのカセット８が選択的に載置可能なスペースを有している。少なくとも２種類のサイズのカセット８としては、たとえば、図３に示すとおり、直径６インチのウエーハを収容する６インチ用カセット８’や、直径８インチのウエーハを収容する８インチ用カセット８”である。

図１に示すとおり、搬出手段１２は、第一のカセット載置部１０ａと第二のカセット載置部１０ｂとの間に配置されている。搬出手段１２は、基台１８に支持された多関節アーム５８と、多関節アーム５８を作動させる電動またはエアー駆動のアクチュエータ（図示していない。）と、多関節アーム５８の先端に着脱自在に装着された保持片６０とを含む。片面に複数の吸引孔（図示していない。）が形成されている保持片６０は吸引手段（図示していない。）に接続されている。

そして、搬出手段１２においては、吸引手段で保持片６０の片面に吸引力を生成することにより保持片６０の片面で被加工物を吸引保持し、また、アクチュエータで多関節アーム５８を作動させることにより、保持片６０の片面で吸引保持した研削加工前の被加工物を第一のカセット８ａから仮置き手段１４に搬出し、かつ、保持片６０の片面で吸引保持した研削加工後の被加工物を後述の洗浄手段７４から第二のカセット８ｂに搬入するようになっている。

また、搬出手段１２においては、少なくとも２種類のサイズの保持片６０が選択的に多関節アーム５８の先端に装着されることにより、少なくとも２種類のサイズの被加工物を吸引保持できるようになっている。少なくとも２種類のサイズの保持片６０としては、たとえば、図３に示すとおり、直径６インチのウエーハを吸引保持するためのＵ字状の６インチ用保持片６０’や、直径８インチのウエーハを吸引保持するためのＣ字状の８インチ用保持片６０”である。

図１に示すとおり、仮置き手段１４は、第一のカセット載置部１０ａに隣接して配置されている。仮置き手段１４は、基台１８の上面に搭載された基板６２と、基板６２の上面中央部分に配置され被加工物の直径よりも小さい円形の仮置きテーブル６４とを含む。基板６２には、仮置きテーブル６４の径方向に沿って延びる複数の長穴６２ａが仮置きテーブル６４の周囲に間隔をおいて形成されている。また、基台１８には、各長穴６２ａを通って上方に延びる複数のピン６６が長穴６２ａに沿って移動自在に装着されていると共に、複数のピン６６を長穴６２ａに沿って同期して移動させるピン移動手段（図示していない。）が装着されている。

そして、仮置き手段１４においては、ピン移動手段によって複数のピン６６を同期して移動させ、仮置きテーブル６４に仮置きされた被加工物の周縁に複数のピン６６を突き当てることにより、被加工物の中心を仮置きテーブル６４の中心に合わせるようになっている。

また、仮置き手段１４においては、ピン６６の初期位置を変更することにより、少なくとも２種類のサイズの被加工物の中心合わせを行うことができるようになっている。たとえば、図３に示すとおり、直径６インチのウエーハの中心合わせを行う際は、ピン６６の初期位置が長穴６２ａの中間部に設定され、直径８インチのウエーハの中心合わせを行う際は、ピン６６の初期位置が長穴６２ａの端部（仮置きテーブル６４の径方向外側端部）に設定される。このように、中心合わせを行う被加工物の直径よりも若干大きい円周上にピン６６の初期位置が設定されることで、ピン６６が被加工物の周縁に突き当てるまでのピン６６の移動距離が短くなり、工程時間の短縮を図ることができる。

図１に示すとおり、搬送手段１６は、仮置き手段１４とターンテーブル２０との間に配置されている。搬送手段１６は、基台１８に回転自在かつ昇降自在に装着され基台１８の上面から上方に延びる回転軸６８と、回転軸６８の上端から実質上水平に延びるアーム７０と、アーム７０の先端下面に着脱自在に装着された円板状の吸着片７２と、回転軸６８を回転させる回転軸用モータ（図示していない。）と、回転軸６８を昇降させる電動シリンダ等の昇降手段（図示していない。）とを含む。下面に複数の吸引孔（図示していない。）が形成されている吸着片７２は吸引手段（図示していない。）に接続されている。

そして、搬送手段１６においては、吸引手段で吸着片７２の下面に吸引力を生成することにより、仮置きテーブル６４に仮置きされた被加工物を吸着片７２の下面で吸引保持し、また、昇降手段および回転軸用モータで回転軸６８を昇降および回転させることにより、吸着片７２の下面で吸引保持した被加工物を仮置き手段１４から、着脱位置Ａに位置づけられたチャックテーブル４まで搬送するようになっている。

また、搬送手段１６においては、少なくとも２種類のサイズの吸着片７２が選択的にアーム７０の先端下面に装着されることにより、少なくとも２種類のサイズの被加工物を吸引保持できるようになっている。少なくとも２種類のサイズの吸着片７２としては、たとえば、図３に示すとおり、直径６インチのウエーハを吸引保持するための６インチ用吸着片７２’や、直径８インチのウエーハを吸引保持するための８インチ用吸着片７２”であり、８インチ用吸着片７２”の直径は６インチ用吸着片７２’の直径よりも大きい。

図示の実施形態では図１に示すとおり、研削装置２は、研削済みの被加工物を洗浄する洗浄手段７４と、研削済みの被加工物をチャックテーブル４から洗浄手段７４に搬送する第二の搬送手段７６とを構成要素として更に備える。

第二のカセット載置部１０ｂに隣接して配置されている洗浄手段７４は、回転自在に基台１８に装着された円形状のスピンナーテーブル７８と、スピンナーテーブル７８を回転させるスピンナーテーブル用モータ（図示していない。）と、スピンナーテーブル７８に保持された被加工物に洗浄水を噴射する洗浄水ノズル（図示していない。）と、スピンナーテーブル７８に保持された被加工物に乾燥エアーを噴射するエアーノズル（図示していない。）とを含む。スピンナーテーブル７８の上端部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の円形の吸着チャック８０が配置されている。

そして、洗浄手段７４においては、吸引手段で吸着チャック８０の上面に吸引力を生成することによりスピンナーテーブル７８の上面に載せられた被加工物を吸引保持し、かつ、被加工物を吸引保持したスピンナーテーブル７８を回転させつつ、洗浄水ノズルから洗浄水を噴射して被加工物を洗浄すると共にエアーノズルから乾燥エアーを噴射して被加工物を乾燥させるようになっている。

また、スピンナーテーブル７８の直径は、少なくとも２種類のサイズの被加工物のうち一番小さい被加工物の直径よりも小さく形成されており、洗浄手段７４においては、少なくとも２種類のサイズの被加工物をスピンナーテーブル７８で吸引保持して洗浄・乾燥ができるようになっている。

洗浄手段７４とターンテーブル２０との間に配置されている第二の搬送手段７６は、基台１８に回転自在かつ昇降自在に装着され基台１８の上面から上方に延びる回転軸８２と、回転軸８２の上端から実質上水平に延びるアーム８４と、アーム８４の先端下面に装着された円形のプレート８６と、回転軸８２を回転させる回転軸用モータ（図示していない。）と、回転軸８２を昇降させる電動シリンダ等の昇降手段（図示していない。）とを含む。プレート８６の下面の中央部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の吸引パッド（図示していない。）が配置されている。

そして、第二の搬送手段７６においては、吸引手段で吸引パッドの下面に吸引力を生成することにより、着脱位置Ａに位置づけられたチャックテーブル４に保持されている研削済みの被加工物をプレート８６の下面で吸引保持し、また、昇降手段および回転軸用モータで回転軸８２を昇降および回転させることにより、プレート８６の下面で吸引保持した被加工物をチャックテーブル４から洗浄手段７４のスピンナーテーブル７８まで搬送するようになっている。

また、プレート８６の直径は、少なくとも２種類のサイズの被加工物のうち一番大きい被加工物の直径よりも大きく形成されており、第二の搬送手段７６においては、少なくとも２種類のサイズの被加工物をプレート８６で吸引保持することができるようになっている。

図１に示すとおり、研削装置２は、更に、上述した複数の構成要素を撮像するカメラ８８と、カメラ８８に電気的に接続された制御手段９０とを備える。カメラ８８は、研削装置２の上部に配置され、研削装置２の各構成要素の画像を撮像するようになっている。また、カメラ８８が撮像した画像のデータは制御手段９０に送られる。なお、図１には、単一のカメラ８８が示されているが、研削装置２は複数のカメラ８８を備えていてもよい。

制御手段９０は、コンピュータから構成されており、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を格納する読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）とを含む（いずれも図示していない。）。この制御手段９０には、いずれも基台１８の上面端部（図１における手前側端部）に配置された操作パネル９２およびモニタ９４が電気的に接続されている。操作パネル９２は、キーボードやタッチパネルから構成され得る。なお、操作パネル９２としてのタッチパネルはモニタ９４に表示されるようになっていてもよい。

制御手段９０のリードオンリメモリには、被加工物のサイズを選定するサイズ選定部９６が制御プログラムとして格納されていると共に、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズに応じた構成要素の画像を記憶する画像記憶部９８が設定されている。

サイズ選定部９６には、研削装置２で研削加工を施すことができる少なくとも２種類の被加工物のサイズ（たとえば、直径６インチ、直径８インチ）があらかじめ記憶されている。そして、サイズ選定部９６においては、あらかじめ記憶している少なくとも２種類の被加工物のサイズの中から、作業者による操作パネル９２の操作に基づいて被加工物のサイズを選定するようになっている。

画像記憶部９８には、研削装置２で研削加工を施すことができる少なくとも２種類の被加工物のサイズに応じた構成要素の画像があらかじめ記憶されている。たとえば、図３に示すとおり、直径６インチのウエーハに応じた構成要素の画像として、６インチ用カセット８’と、搬出手段１２の６インチ用保持片６０’と、直径６インチよりも若干大きい円周上にピン６６の初期位置が設定された仮置き手段１４と、搬送手段１６の６インチ用吸着片７２’とのそれぞれの画像が画像記憶部９８に記憶されている。

図３に示す例においては、直径８インチのウエーハに応じた構成要素の画像として、８インチ用カセット８”と、搬出手段１２の８インチ用保持片６０”と、直径８インチよりも若干大きい円周上にピン６６の初期位置が設定された仮置き手段１４と、搬送手段１６の８インチ用吸着片７２”とのそれぞれの画像が画像記憶部９８に記憶されている。図３に示す各画像は、研削装置２のカメラ８８で撮像したものでもよく、あるいは、カメラ８８以外の他のカメラで撮像したものであってもよい。

また、制御手段９０のリードオンリメモリには、研削装置２において研削加工を開始する際にカメラ８８が撮像した構成要素の画像と、画像記憶部９８に記憶された構成要素の画像とを比較し、カメラ８８が撮像した構成要素が、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズに応じた構成要素であるか否かを判断する判断部１００（図１参照）が制御プログラムとして格納されている。

上述したとおりの研削装置２を用いて被加工物としてウエーハを研削する際は、まず、複数のウエーハを収容した第一のカセット８ａを第一のカセット載置部１０ａに載置すると共に、研削加工後の複数のウエーハを収容する空の第二のカセット８ｂを第二のカセット載置部１０ｂに載置する。

次いで、操作パネル９２を操作して、研削加工を施す被加工物のサイズを入力すると共に、研削装置２の稼働開始指示を入力する。ここでは、仮に、被加工物のサイズとして直径６インチが入力されたものとして説明する。そうすると、制御手段９０のサイズ選定部９６は、研削装置２で研削加工が可能な複数の被加工物のサイズの中から、直径６インチを被加工物のサイズとして選定する。また、研削装置２に装着されている構成要素がカメラ８８によって撮像される。カメラ８８によって撮像される構成要素としては、たとえば、第一・第二のカセット８ａ、８ｂと、搬出手段１２の保持片６０と、仮置き手段１４と、搬送手段１６の吸着片７２とが挙げられる。

そうすると、制御手段９０の判断部１００は、直前にカメラ８８が撮像した構成要素の画像と、あらかじめ画像記憶部９８に記憶されている構成要素の画像とを比較して、直前にカメラ８８が撮像した構成要素が、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズ（直径６インチ）に応じた構成要素であるか否かを判断する。判断部１００においては、たとえば、第一・第二のカセット８ａ、８ｂ、搬出手段１２の保持片６０、仮置き手段１４および搬送手段１６の吸着片７２のそれぞれの画像（直前にカメラ８８で撮像した画像）と、６インチ用カセット８’、搬出手段１２の６インチ用保持片６０’、直径６インチよりも若干大きい円周上にピン６６の初期位置が設定された仮置き手段１４および搬送手段１６の６インチ用吸着片７２’のそれぞれの画像（あらかじめ画像記憶部９８に記憶されている画像）とを比較する。

そして、両者の画像を比較した結果、直前にカメラ８８が撮像した構成要素が、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズに応じた構成要素であると判断部１００が判断した場合には、第一のカセット８ａに収容されている複数のウエーハが順次搬出され、次いでウエーハに対して研削加工が施された後、研削済みのウエーハが第二のカセット８ｂに搬入される一連の工程が開始される。

具体的には、搬出手段１２で第一のカセット８ａからウエーハを搬出して仮置き手段１４に仮置きする仮置き工程と、仮置き手段１４に仮置きされたウエーハを搬送手段１６で着脱位置Ａのチャックテーブル４に搬送する第一の搬送工程と、チャックテーブル４に保持されたウエーハの上面に加工手段６で荒研削加工および仕上げ研削加工を施す研削工程と、研削済みのウエーハの上面に洗浄水ノズル５６から洗浄水を噴射する洗浄水噴射工程と、研削済みのウエーハを第二の搬送手段７６でチャックテーブル４から洗浄手段７４に搬送する第二の搬送工程と、研削済みのウエーハを洗浄手段７４で洗浄すると共に乾燥させる洗浄・乾燥工程と、洗浄済みのウエーハを搬出手段１２で洗浄手段７４から搬出して第二のカセット８ｂに搬入するカセット搬入工程とを含む一連の工程が順次実施される。

なお、両者の画像を比較した結果、直前にカメラ８８が撮像した構成要素が、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズに応じた構成要素であると判断部１００が判断した場合には、その旨をモニタ９４に表示するようにしてもよい。

一方、両者の画像を比較した結果、直前にカメラ８８が撮像した構成要素のうち１個以上の構成要素が、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズに応じた構成要素でないと判断部１００が判断した場合には、上記一連の工程は開始されない。また、このような場合に判断部１００は、被加工物のサイズに応じていない構成要素をモニタ９４に表示すること等により、被加工物のサイズに応じていない構成要素を指摘して作業者に対して交換を指示するようにしてもよい。

以上のとおりであり、図示の実施形態の研削装置２においては、カメラ８８が撮像した構成要素が、サイズ選定部９６によって選定された被加工物のサイズに応じた構成要素でないと判断部１００が判断した場合には、被加工物を研削するための一連の工程は開始されないので、第一のカセット８ａからの被加工物の搬出や研削装置２内における被加工物の搬送ができなかったり、被加工物を破損させたりするといった問題が生じることがない。

２：研削装置（加工装置）
４：チャックテーブル
６：加工手段
８：カセット
８ａ：第一のカセット
８ｂ：第二のカセット
８’：６インチ用カセット
８”：８インチ用カセット
１０：カセット載置部
１０ａ：第一のカセット載置部
１０ｂ：第二のカセット載置部
１２：搬出手段
１４：仮置き手段
１６：搬送手段
６０：搬出手段の保持片
６０’：６インチ用保持片
６０”：８インチ用保持片
７２：搬送手段の吸着片
７２’：６インチ用吸着片
７２”：８インチ用吸着片
８８：カメラ
９０：制御手段
９６：サイズ選定部
９８：画像記憶部
１００：判断部

Claims

少なくとも２種類のサイズの被加工物を選択的に保持できるチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、該カセット載置部に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出された被加工物が仮置きされる仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた被加工物を該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を構成要素として少なくとも備えた加工装置であって、
複数の構成要素を撮像するカメラと、
被加工物のサイズを選定するサイズ選定部と、該サイズ選定部によって選定された被加工物のサイズに応じた複数の構成要素の画像を記憶する画像記憶部と、を少なくとも備えた制御手段と、を備え、
該制御手段は、該カメラが撮像した複数の構成要素の画像と該画像記憶部に記憶された複数の構成要素の画像とを比較し、該カメラが撮像した複数の構成要素が、該サイズ選定部によって選定された被加工物のサイズに応じた複数の構成要素であるか否かを判断する判断部を備えている加工装置。
該判断部は、被加工物のサイズに応じていない構成要素を指摘して交換を指示する請求項１記載の加工装置。
該加工手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削砥石で研削する研削手段または該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨パッドで研磨する研磨手段である請求項１記載の加工装置。