JP7167022B2 - 表示システム、および表示システムの動作方法 - Google Patents

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Description

本発明の一態様は、表示システム、および表示システムの動作方法に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、照明装置、蓄電装置、記憶装置、撮像装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。トランジスタ、半導体回路は半導体装置の一態様である。また、記憶装置、表示装置、撮像装置、電子機器は、半導体装置を有する場合がある。
車両周辺の情報を撮像するための撮像装置、および撮像で得られた情報を表示するための表示装置を備えた車両が普及している(例えば特許文献1)。
特開2017-5678号公報
車両周辺の情報を撮像するための撮像装置では、明暗差が大きい被写体を撮像する必要がある。例えば、トンネルの出口付近では、トンネル内部の照度は低く、トンネル外部の照度は高いため、撮像装置が取得する撮像データは、明暗差の大きい撮像データとなる。したがって、車両周辺の情報を撮像するための撮像装置は、高ダイナミックレンジであることが求められる。ここで、撮像で得られた情報を表示するための表示装置のダイナミックレンジが、撮像装置のダイナミックレンジよりも低い場合は、撮像データの階調を、表示装置で表現可能な階調に変換することにより、ダイナミックレンジ圧縮を行う必要がある。しかし、ダイナミックレンジ圧縮により、表示される画像が不鮮明となり、場合によっては黒つぶれおよび白とびが発生する。
本発明の一態様は、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、黒つぶれおよび白とびの発生を抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、視認性の向上を図ることができる表示システムを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、高速に動作する表示システムを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、新規な表示システムを提供することを課題の一とする。
本発明の一態様は、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムの動作方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、黒つぶれおよび白とびの発生を抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムの動作方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、視認性の向上を図ることができる表示システムの動作方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、高速に動作する表示システムの動作方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、新規な表示システムの動作方法を提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項等の記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項等の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、撮像装置と、制御装置と、表示装置と、を有する表示システムであって、撮像装置は、マトリクス状に配置された第1の画素を有し、表示装置は、マトリクス状に配置された第2の画素を有し、撮像装置は、第1の画素に照射された光の照度を基にして、第1の画像データを生成する機能を有し、制御装置は、第1の画像データを基に、ヒストグラム作成する機能を有し、制御装置は、ヒストグラムを、二以上の照度域に分割する機能を有し、制御装置は、第1の画像データが情報として有する、第1の画素に照射された光の照度に対応する階調を変換することにより、第1の画像データに対してダイナミックレンジ圧縮を行った第2の画像データを生成する機能を有し、制御装置は、それぞれの照度域におけるヒストグラムの積分値を基に、ダイナミックレンジ圧縮における圧縮率を、照度域ごとに計算する機能を有する表示システムである。
または、上記態様において、積分値が大きい照度域における圧縮率は、積分値が小さい照度域における圧縮率より小さくてもよい。
または、上記態様において、制御装置は、ニューラルネットワークを有し、ニューラルネットワークは、第1の画像データを基にして、第1の画像データが取得されたフレーム期間より後のフレーム期間において撮像装置が取得する第3の画像データを予測する機能を有してもよい。
または、上記態様において、制御装置は、第3の画像データを基にして、圧縮率を更新するか否かを判定する機能を有してもよい。
または、本発明の一態様は、第1の画素がマトリクス状に配列された撮像装置と、制御装置と、第2の画素がマトリクス状に配列された表示装置と、を有する表示システムの動作方法であって、撮像装置が、第1の画素に照射された光の照度を基にして、第1の画像データを生成し、制御装置が、第1の画像データを基に、ヒストグラムを作成し、制御装置が、ヒストグラムを、二以上の照度域に分割し、制御装置が、第1の画像データが情報として有する、第1の画素に照射された光の照度に対応する階調を変換することにより、それぞれの照度域におけるヒストグラムの積分値を基に照度域ごとに計算した圧縮率で、第1の画像データに対してダイナミックレンジ圧縮を行った第2の画像データを生成する機能を有する表示システムの動作方法である。
または、上記態様において、積分値が大きい照度域における圧縮率が、積分値が小さい照度域における圧縮率より小さくなるように、第1の画像データに対してダイナミックレンジ圧縮を行ってもよい。
または、上記態様において、制御装置は、ニューラルネットワークを有し、ニューラルネットワークにより、第1の画像データを基にして、第1の画像データが取得されたフレーム期間より後のフレーム期間において撮像装置が取得する第3の画像データを予測し、第3の画像データを基に、圧縮率を更新するか否かを判定してもよい。
本発明の一態様により、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムを提供することができる。または、本発明の一態様により、黒つぶれおよび白とびの発生を抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムを提供することができる。または、本発明の一態様により、視認性の向上を図ることができる表示システムを提供することができる。または、本発明の一態様により、高速に動作する表示システムを提供することができる。または、本発明の一態様により、新規な表示システムを提供することができる。
本発明の一態様により、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムの動作方法を提供することができる。または、本発明の一態様により、黒つぶれおよび白とびの発生を抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる表示システムの動作方法を提供することができる。または、本発明の一態様により、視認性の向上を図ることができる表示システムの動作方法を提供することができる。または、本発明の一態様により、高速に動作する表示システムの動作方法を提供することができる。または、本発明の一態様により、新規な表示システムの動作方法を提供することができる。
なお、本発明の一態様はこれらの効果に限定されるものではない。例えば、本発明の一態様は、場合によっては、または、状況に応じて、これらの効果以外の効果を有する場合もある。または、例えば、本発明の一態様は、場合によっては、または、状況に応じて、これらの効果を有さない場合もある。
表示システムの構成例を説明するブロック図。 表示システムを説明する図。 表示システムを説明する図。 表示システムを説明する図。 表示システムの構成例を説明するブロック図。 表示システムの動作方法の一例を説明するフローチャート。 表示システムの動作方法の一例を説明するフローチャート。 画素回路の構成例を説明する図、および撮像の動作方法の一例を説明するタイミングチャート。 撮像装置の画素の構成例を説明する図。 撮像装置の画素の構成例を説明する図。 撮像装置の画素の構成例を説明する図。 撮像装置の画素の構成例を説明する図。 撮像装置の画素の構成例を説明する図。 撮像装置を収めたパッケージ、モジュールの斜視図。 表示装置の構成例を説明する回路図。 表示装置の構成例を説明する図。 表示装置の構成例を説明する図。 記憶回路の構成例を説明するブロック図。 記憶回路の構成例を説明する図。 ニューラルネットワークの構成例を示す図。 半導体装置の構成例を説明する図。 メモリセルの構成例を説明する図。 オフセット回路の構成例を説明する図。 半導体装置の動作方法の一例を説明するタイミングチャート。 移動体の一例を説明する図。
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
図面において、大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状または値等に限定されない。例えば、ノイズによる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、または、タイミングのずれによる信号、電圧、若しくは電流のばらつき等を含むことが可能である。
本明細書等において、「上に」、「下に」等の配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている場合がある。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
図面に記載したブロック図の各回路ブロックの配置は、説明のため位置関係を特定するものであり、異なる回路ブロックで別々の機能を実現するよう示していても、実際の回路ブロックにおいては同じ回路ブロック内で別々の機能を実現しうるように設けられている場合もある。また各回路ブロックの機能は、説明のため機能を特定するものであり、一つの回路ブロックとして示していても、実際の回路ブロックにおいては一つの回路ブロックで行う処理を、複数の回路ブロックで行うよう設けられている場合もある。
本明細書等において、半導体装置とは、半導体特性を利用した装置であり、半導体素子(トランジスタ、ダイオード等)を含む回路、同回路を有する装置等をいう。また、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般をいう。例えば、集積回路(IC:Integrated Circuit)、及びICを備えたチップは、半導体装置の一例である。また、記憶装置、表示装置、発光装置、照明装置、および電子機器等は、それ自体が半導体装置である場合があり、または半導体装置を有している場合がある。
また、本明細書等において、XとYとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものとする。X、Yは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、等)であるとする。
トランジスタは、ゲート、ソース、およびドレインと呼ばれる3つの端子を有する。ゲートは、トランジスタの導通状態を制御する制御ノードとして機能するノードである。ソースまたはドレインとして機能する2つの入出力ノードは、トランジスタの型および各端子に与えられる電位の高低によって、一方がソースとなり他方がドレインとなる。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
ノードは、回路構成やデバイス構造等に応じて、端子、配線、電極、導電層、導電体、不純物領域等と言い換えることが可能である。また、端子、配線等をノードと言い換えることが可能である。
電圧は、ある電位と、基準の電位(例えば接地電位(GND)またはソース電位)との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧を電位と言い換えることが可能である。なお、電位とは、相対的なものである。よって、接地電位と記載されていても、必ずしも、0Vを意味しない場合もある。
本明細書等において、「膜」という言葉と「層」という言葉とは、場合によっては、または、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を「導電膜」という用語に変更することが可能な場合がある。例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。
本明細書等において、“第1”、“第2”、“第3”という序数詞は構成要素の混同を避けるために付す場合があり、その場合は数的に限定するものではなく、また順序を限定するものでもない。
本明細書等において、人工ニューラルネットワーク(ANN、以後、ニューラルネットワークと呼称する。)とは、生物の神経回路網を模したモデル全般を指す。一般的には、ニューラルネットワークは、ニューロンを模したユニットが、シナプスを模したユニットを介して、互いに結合された構成となっている。
シナプスの結合(ニューロン同士の結合)の強度(重み係数ともいう。)は、ニューラルネットワークに既存の情報を与えることによって、変化することができる。このように、ニューラルネットワークに既存の情報を与えて、結合強度を決める処理を「学習」という場合がある。
また、「学習」を行った(結合強度を定めた)ニューラルネットワークに対して、何らかの情報を与えることにより、その結合強度に基づいて新たな情報を出力することができる。このように、ニューラルネットワークにおいて、与えられた情報と結合強度に基づいて新たな情報を出力する処理を「推論」または「認知」という場合がある。
ニューラルネットワークのモデルとしては、例えば、ホップフィールド型、階層型等が挙げられる。特に、多層構造としたニューラルネットワークを「ディープニューラルネットワーク」(DNN)と呼称し、ディープニューラルネットワークによる機械学習を「ディープラーニング」と呼称する。
本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い表現での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductorまたは単にOSともいう)等に分類される。例えば、トランジスタの活性層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整流作用、およびスイッチング作用の少なくとも1つを有するトランジスタのチャネル形成領域を構成し得る場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor)、略してOSということができる。また、OS FET(またはOSトランジスタ)と記載する場合においては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
また、本明細書等において、CAAC(c-axis aligned crystal)、およびCAC(Cloud-Aligned Composite)と記載する場合がある。なお、CAACは結晶構造の一例を表し、CACは機能、または材料の構成の一例を表す。
また、本明細書等において、CAC-OSまたはCAC-metal oxideとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC-OSまたはCAC-metal oxideを、トランジスタの活性層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC-OSまたはCAC-metal oxideに付与することができる。CAC-OSまたはCAC-metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
また、本明細書等において、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、導電性領域、および絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC-OSまたはCAC-metal oxideをトランジスタのチャネル領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、および高い電界効果移動度を得ることができる。
すなわち、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様である表示システムについて、図面を参照して説明する。
本発明の一態様は、撮像装置と、制御装置と、表示装置と、を有する表示システム、およびその動作方法に関する。撮像装置および表示装置には、画素がマトリクス状に配置される。また、撮像装置にはA/D変換回路が設けられ、表示装置にはD/A変換回路が設けられる。
撮像装置が有する画素によりアナログの撮像データが取得され、撮像装置に設けられたA/D変換回路により当該撮像データがデジタルの画像データに変換される。当該画像データは、制御装置によりダイナミックレンジ圧縮が行われる。ダイナミックレンジ圧縮後の画像データは、表示装置が有するD/A変換回路によりアナログの表示データに変換される。これにより、表示装置のダイナミックレンジが撮像装置のダイナミックレンジより低い場合においても、表示装置が撮像データに対応する画像を表示することができる。
本明細書等において、ダイナミックレンジ圧縮前の画像データを、第1の画像データと言う場合がある。また、ダイナミックレンジ圧縮後の画像データを、第2の画像データと言う場合がある。
本発明の一態様では、第1の画像データのダイナミックレンジ圧縮率を、照度域ごとに異ならせる。具体的には、撮像装置が有する画素に照射された光のうち、多数の画素に照射された照度域においては、ダイナミックレンジ圧縮率を低くし、少数の画素にしか照射されていない照度域においては、ダイナミックレンジ圧縮率を高くする。これにより、ダイナミックレンジ圧縮を行った場合でも、表示装置により表示される画像が不鮮明となることを抑制することができる。また、黒つぶれおよび白とびが発生することを抑制することができる。以上により、表示装置により表示される画像の視認性を高めることができる。
また、制御装置は、ニューラルネットワークを有してもよい。ニューラルネットワークは、第1の画像データを基にして、後のフレームにおける第1の画像データを予測することができる。制御装置は、予測結果に応じて、例えばダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を決定することができる。例えば、第1の画像データの照度変化が小さいと予測された場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を低くし、第1の画像データの照度変化が大きいと予測された場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を高くすることができる。または、黒つぶれまたは白とびが発生すると予想された場合に、ダイナミックレンジ圧縮率を更新することができる。以上により、ダイナミックレンジ圧縮率を例えば毎フレーム期間ごとに更新する必要がなくなり、表示システムの動作を高速化することができる。また、適切なタイミングでダイナミックレンジ圧縮率を更新することができるので、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を低下させつつ、表示装置により表示される画像の視認性低下を抑制することができる。
撮像装置を自動車等の移動体に搭載する場合、当該撮像装置は高ダイナミックレンジであることが求められる。したがって、本発明の一態様の表示システムは、自動車等の移動体へ適用することが特に好ましい。
<表示システムの構成例1>
図1は、本発明の一態様の表示システムである表示システム10の構成例を示すブロック図である。表示システム10は、撮像装置20、制御装置30、および表示装置40を有する。
撮像装置20は、マトリクス状に配列された画素21を有する画素アレイ22と、ロードライバ23と、A/D変換回路25と、カラムドライバ26と、を有する。なお、CDS回路等を設けてもよい。
撮像装置20には、画素アレイ22の行ごとに配線178が設けられ、1本の配線178は、1行分の画素21の他、ロードライバ23と電気的に接続されている。また、撮像装置20には、画素アレイ22の列ごとに配線174が設けられ、1本の配線174は、1列分の画素21の他、A/D変換回路25およびカラムドライバ26と電気的に接続されている。
撮像装置20は、画素21に照射された光の照度に応じた、アナログの撮像データを取得する機能を有する。また、図1に示す構成の撮像装置20において、ロードライバ23は、画素アレイ22の行を選択する機能を有する。カラムドライバ26は、画素アレイ22の列を選択する機能を有する。A/D変換回路25は、撮像データをデジタルの画像データIMG1に変換し、カラムドライバ26により選択された列に対応する画像データIMG1を、制御装置30に出力する機能を有する。画像データIMG1では、画素21に照射された光の照度を階調として表現している。
撮像装置20は、具体的には、例えば自動車等の移動体に取り付けられるカメラモジュールである。このため、撮像装置20は、高ダイナミックレンジの撮像素子を有することが好ましい。例えば、セレンを有する撮像素子を画素21に設けることで、明暗差の大きい被写体を撮像する際に、撮像データの不鮮明な部分を減らすことができる。
制御装置30は、解析回路31および階調決定回路32を有する。制御装置30は、画像データIMG1が情報として有する、画素21に照射された光の照度に対応する階調を、表示装置40が有する画素41によって表現可能な階調に変換する機能を有する。ここで、制御装置30により階調が変換された後の画像データを、画像データIMG2とする。画像データIMG1を画像データIMG2に変換することにより、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる。
図1に示す構成の制御装置30において、解析回路31は、画像データIMG1を基にして、照射された光の照度ごとに画素21の個数をカウントし、ヒストグラムを作成する機能を有する。
階調決定回路32は、ヒストグラムを基にして、画像データIMG1のダイナミックレンジ圧縮率を決定する機能を有する。詳細は後述するが、例えばヒストグラムを二以上の照度域に分割し、照度域ごとにダイナミックレンジ圧縮率を異ならせる。具体的には、多数の画素21に照射された照度域については、ダイナミックレンジ圧縮率を低くし、少数の画素21にしか照射されていない照度域については、ダイナミックレンジ圧縮率を高くする。
階調決定回路32は、画像データIMG1のダイナミックレンジ圧縮率を決定後、決定したダイナミックレンジ圧縮率に従って画像データIMG1の階調を変換することにより、画像データIMG2を生成する機能を有する。
表示装置40は、マトリクス状に配列された画素41を有する画素アレイ42と、ロードライバ43と、カラムドライバ46と、を有する。ここで、カラムドライバ46にはD/A変換回路が設けられる。
表示装置40には、画素アレイ42の行ごとに配線3178が設けられ、1本の配線3178は、1行分の画素41の他、ロードライバ43と電気的に接続されている。また、表示装置40には、画素アレイ42の列ごとに配線3174が設けられ、1本の配線3174は、1列分の画素41の他、カラムドライバ46と電気的に接続されている。
表示装置40は、画素41から射出される光の照度を制御することで、画像を表示する機能を有する。また、図1に示す構成の表示装置40において、ロードライバ43は、画素アレイ42の行を選択する機能を有する。カラムドライバ46は、デジタルの画像データIMG2に対してD/A変換を行うことにより、アナログの表示データを生成する機能を有する。また、カラムドライバ46は、生成した表示データを画素41に書き込む機能を有する。これにより、表示装置40は、表示データに対応する画像を表示することができる。
表示システム10では、撮像装置20が生成した画像データIMG1に対して、制御装置30がダイナミックレンジ圧縮を行うことにより、表示装置40が有する画素41から射出される光の照度を階調として表現した画像データIMG2を生成する。表示装置40は、画像データIMG2に対応する画像を表示する。前述のように、撮像装置20は高ダイナミックレンジであることが好ましい。したがって、ダイナミックレンジ圧縮を行うことにより、表示装置40のダイナミックレンジが撮像装置20のダイナミックレンジより低い場合であっても、表示装置40が画像を表示することができる。
制御装置30の機能について、図2乃至図4を用いて詳細に説明する。図2は、画像データIMG1から画像データIMG2への変換を説明する図である。図2では、画像データIMG2により表現可能な照度範囲が、画像データIMG1により表現可能な照度より範囲より狭い、つまり表示装置40のダイナミックレンジが、撮像装置20のダイナミックレンジより狭い場合を示す。また、図2では、一例として、画像データIMG1が32階調を表現可能で、画像データIMG2が8階調を表現可能である場合を示す。なお、画像データIMG2が表現可能な階調を、照度が低い側から順に、階調47[1]乃至階調47[8]とする。
本明細書等において、高照度を表現する階調は、低照度を表現する階調より階調値が大きいと言う。例えば、図2に示す階調47[1]乃至階調47[8]の中では、階調47[1]が最も階調値が小さく、階調47[8]が最も階調値が大きい。
図2に示すように、例えば画像データIMG1における6階調分を、階調47[1]としている。つまり、6階調分のダイナミックレンジを1階調に圧縮するということができる。一方、階調47[2]は、画像データIMG1における2階調分としている。つまり、2階調分のダイナミックレンジを1階調に圧縮している。ここで、ダイナミックレンジ圧縮率は、“画像データIMG2の階調数/画像データIMG1の階調数”で表すことができ、この値が小さいほど、ダイナミックレンジ圧縮率が高いということができる。図2に示す場合では、画像データIMG1の階調を階調47[1]に変換する際のダイナミックレンジ圧縮率は1/6であり、画像データIMG2の階調を階調47[2]に変換する際のダイナミックレンジ圧縮率は1/2である。よって、撮像データの階調を階調47[1]に変換する際のダイナミックレンジ圧縮率は、撮像データの階調を階調47[2]に変換する際のダイナミックレンジ圧縮率より高いと言うことができる。
本発明の一態様では、ダイナミックレンジ圧縮を行うために画像データIMG1を画像データIMG2に変換する際に、図2に示すように照度域ごとにダイナミックレンジ圧縮率を変えることができる。
なお、図2では、画像データIMG2により表現可能な照度の下限が、画像データIMG1により表現可能な照度の下限より高く、画像データIMG2により表現可能な照度の上限が、画像データIMG1により表現可能な照度の上限より低い場合を示しているが、本発明の一態様はこれに限らない。例えば、画像データIMG2により表現可能な照度の下限が、画像データIMG1により表現可能な照度の下限以下であってもよい。または、画像データIMG2により表現可能な照度の上限が、画像データIMG1により表現可能な照度の上限以上であってもよい。
また、図2では、画像データIMG2により表現可能な階調数が、画像データIMG1により表現可能な階調数より少ない場合を示しているが、本発明の一態様はこれに限らない。例えば、画像データIMG2により表現可能な階調数と、画像データIMG1により表現可能な階調数とが同数であってもよい。
図3上段は、解析回路31により取得されるヒストグラムであり、縦軸は画素21の個数を、横軸は画素21に照射された光の照度を示す。図3下段は、表示装置40が表示する画像に対応する画像データIMG2が表現する階調と、撮像装置20が有する画素21に照射された光の照度との関係を示すグラフである。つまり、図3下段のグラフの縦軸は、表示装置40が有する画素41から射出される光の照度を表しており、上に行くほど照度が高いことを意味する。
また、図3下段において、実線で示すグラフは、階調決定回路32が、図3上段に示すヒストグラムを用いてダイナミックレンジ圧縮率を決定した場合を示し、破線で示すグラフは、画素21に照射された光の照度によらず、ダイナミックレンジ圧縮率を一定とした場合を示している。
図3では、画素21に照射された光の照度を、照度域50[1]乃至照度域50[8]に分割している。なお、図3上段に示すヒストグラムと図3下段に示すグラフにおいて、横軸は同一であり、横軸左端は、画素21が検出することができる光の照度の下限を、横軸右端は上限をそれぞれ示す。
図3下段の実線のグラフで示すように、照度域50[1]乃至照度域50[8]のうち、少数の画素21にしか照射されていない照度域50、つまり図3上段に示すヒストグラムにおいて積分値が小さい照度域50においては、画素21に照射される光の照度が増加しても、画像データIMG2により表現される階調値の増加幅が小さい。つまり、図2に示す階調47[1]への変換と同様に、画像データIMG1から画像データIMG2へ変換する際のダイナミックレンジ圧縮率が高いといえる。一方、多数の画素21に照射された照度域50、つまり図3上段に示すヒストグラムにおいて積分値が大きい照度域50においては、画素21に照射される光の照度が増加すると、表示データの階調値が大きく増加する。つまり、図2に示す階調47[2]への変換と同様に、画像データIMG1から画像データIMG2へ変換する際のダイナミックレンジ圧縮率が低いといえる。以上より、図3下段に示すグラフにおいて、画像データIMG1から画像データIMG2へ変換する際のダイナミックレンジ圧縮率は傾きで表され、傾きが急であるほど撮像データから表示データへ変換する際のダイナミックレンジ圧縮率が低いということができる。
階調決定回路32は、画像データIMG1に対して、照度域50ごとに図3下段に示される圧縮率でダイナミックレンジ圧縮を行うことにより、画像データIMG2を生成することができる。
ダイナミックレンジ圧縮率の算出方法の一例を、図3を用いて説明する。なお、表示装置40が有する画素41は、100階調分の階調を表現可能とする。
まず、すべての画素21に対する、照度域50[1]乃至照度域50[8]に対応する照度の光が照射された画素21の割合を、照度域50[1]乃至照度域50[8]のそれぞれについて算出する。次に、算出した割合に応じて、照度域50[1]乃至照度域50[8]のそれぞれに割り当てる、画像データIMG2の階調数を決定する。例えば、2%の画素21に、照度域50[1]に対応する照度の光が照射された場合は、画像データIMG2の階調を、照度域50[1]に対して2階調分割り当てる。例えば、24%の画素21に、照度域50[2]に対応する照度の光が照射された場合は、画像データIMG2の階調を、照度域50[2]に対して24階調分割り当てる。以上を照度域50[1]乃至照度域50[8]の全てについて行うことで、照度域50[1]乃至照度域50[8]のそれぞれについて、ダイナミックレンジ圧縮率を算出することができる。
図4(A1)は、図3下段の破線のグラフで示すように、撮像装置20が有する画素21に照射された光の照度によらず、ダイナミックレンジ圧縮率を一定とした場合に、表示装置40により表示される画像を示している。図4(A2)は、表示装置40が図4(A1)に示す画像を表示する場合におけるヒストグラムであり、縦軸は表示装置40が有する画素41の個数を、横軸は画素41から射出される光の照度を示す。
図4(B1)は、図3下段の実線のグラフで示すように、ダイナミックレンジ圧縮率を図3上段に示すようなヒストグラムを用いて照度域ごとに決定した場合に、表示装置40により表示される画像を示している。図4(B2)は、表示装置40が図4(B1)に示す画像を表示する場合におけるヒストグラムである。
なお、図4(A2)、(B2)において、横軸左端は、画素41が射出することができる光の照度の下限を、横軸右端は上限をそれぞれ示す。
図4(A1)、(A2)に示す場合では、下限付近の照度の光を射出する画素41の個数と、上限付近の照度の光を射出する画素41の個数が多い。これにより、黒つぶれおよび白とびが発生し、表示装置40により表示される画像が不鮮明となる。一方、図4(B1)、(B2)に示す場合では、図4(A1)、(A2)に示す場合と比べて、照度域ごとの画素41の個数が平準化されている。したがって、図4(A1)、(A2)に示す場合と比べて、黒つぶれおよび白とびが発生せず、表示装置40により表示される画像を鮮明なものとすることができるため、画像の視認性を高めることができる。
<表示システムの構成例2>
図5は、図1に示す表示システム10の変形例を示すブロック図である。図5に示す構成の表示システム10は、解析回路31および階調決定回路32の他、記憶回路33および予測回路34を有する点が、図4に示す構成の表示システム10と異なる。
記憶回路33は、撮像装置20により生成された画像データIMG1、解析回路31により作成されたヒストグラム、階調決定回路32により計算されたダイナミックレンジ圧縮率等を保持する機能を有する。予測回路34は、受信した画像データIMG1の、次以降のフレームの画像データIMG1を予測する機能を有する。例えば、受信した画像データIMG1の、1フレーム後の画像データIMG1、または2フレーム以上後の画像データIMG1を予測する機能を有する。
予測回路34は、例えば記憶回路33に保持された画像データIMG1、ヒストグラム、およびダイナミックレンジ圧縮率、サーバ52に保存された情報、ならびに機器53により取得された情報等を基にして、画像データIMG1を予測する機能を有する。なお、サーバ52は、ネットワーク51を介して予測回路34と接続されている。
予測回路34は、例えば記憶回路33に保持された画像データIMG1について画像認識を行い、先行車および対向車、ならびに歩行者等の位置、太陽光、街灯、およびヘッドライト等の照度、その他の外部環境に関するデータを取得する機能を有する。また、予測回路34は、例えばサーバ52から現在時刻等に関する情報を取得する機能を有する。また、機器53は、例えばGPS(Global Positioning System)とすることができ、撮像装置20が搭載されている移動体の位置および方向等に関する情報を取得し、当該情報を予測回路34に出力する機能を有する。以上示した情報等を基に、予測回路34は、画像データIMG1を予測することができる。なお、機器53は、二以上の機器から構成されていてもよい。
予測回路34は、上記予測結果に応じて、ダイナミックレンジ圧縮率の更新タイミング、頻度等を決定することができる。例えば、黒つぶれまたは白とびが発生すると予想された場合に、ダイナミックレンジ圧縮率を更新することができる。または、画像データIMG1の照度変化が小さいと予測された場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を低くし、画像データIMG1の照度変化が大きいと予測された場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を高くすることができる。以上により、ダイナミックレンジ圧縮率を例えば毎フレーム期間ごとに更新する必要がなくなり、表示システム10の動作を高速化することができる。また、適切なタイミングでダイナミックレンジ圧縮率を更新することができるので、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を低下させつつ、表示装置40により表示される画像の視認性低下を抑制することができる。
ここで、予測回路34は、ニューラルネットワークを有する回路とすることができる。予測回路34を当該構成とすることにより、画像データIMG1を高精度で予測することができる。
ニューラルネットワークは、学習を行うことにより、上記機能を有するようになる。学習の際は、まず、ニューラルネットワークに画像データIMG1、ならびにサーバ52および機器53から取得した情報等を入力する。その後、入力した画像データIMG1の1フレーム後の画像データIMG1、または2フレーム以上後の画像データIMG1を教師データとして、ニューラルネットワークに学習を行わせる。具体的には、例えばニューラルネットワークの重み係数を更新する。当該動作を繰り返すことにより、ニューラルネットワークは画像データIMG1を高精度で予測することができるようになる。
<表示システムの動作方法例>
次に、図5に示す構成の表示システム10の動作方法の一例について、図6および図7を用いて説明する。図6は、当該動作方法の一例を示すフローチャートである。
まず、撮像装置20が、画素21に照射された光の照度に応じた、アナログの撮像データを取得する(ステップS01)。次に、撮像装置20に設けられたA/D変換回路25が、ステップS01で取得した撮像データをデジタルの画像データIMG1に変換する(ステップS02)。その後、画像データIMG1を制御装置30が有する各回路、具体的には解析回路31、階調決定回路32、および記憶回路33等に送信する。
次に、解析回路31が、A/D変換回路25から受信した画像データIMG1を基にして、照射された光の照度ごとに画素21の個数をカウントし、図3上段に示すようなヒストグラムを作成する(ステップS03)。作成されたヒストグラムは、階調決定回路32および記憶回路33等に送信される。
その後、階調決定回路32が、解析回路31から受信したヒストグラムを基にして、画像データIMG1のダイナミックレンジ圧縮率を決定する。具体的には、図3上段に示すように、ヒストグラムを二以上の照度域に分割し、照度域ごとにダイナミックレンジ圧縮率を異ならせる(ステップS04)。図3下段のグラフに示すように、多数の画素21に照射された照度域、つまりヒストグラムにおいて積分値が大きい照度域については、ダイナミックレンジ圧縮率を低くする。一方、少数の画素21にしか照射されていない照度域、つまりヒストグラムにおいて積分値が小さい照度域については、ダイナミックレンジ圧縮率を高くする。
次に、階調決定回路32が、決定したダイナミックレンジ圧縮率に従って、画像データIMG1の階調を図2に示すように変換することにより、ダイナミックレンジを圧縮した画像データIMG2を生成する(ステップS05)。
次に、表示装置40が有するカラムドライバ46に設けられたD/A変換回路が、デジタルの画像データIMG2をアナログの表示データに変換する(ステップS06)。その後、カラムドライバ46が画素41に表示データを書き込むことにより、表示装置40が表示データに対応する画像を表示する(ステップS07)。
次に、予測回路34が、記憶回路33に保持された画像データIMG1、ヒストグラム、およびダイナミックレンジ圧縮率等のうち、必要な情報を読み出す。また、サーバ52から必要な情報を、ネットワーク51を介して取得する。さらに、機器53が必要な情報を取得し、取得した情報を予測回路34に送信する。以上取得した情報により、予測回路34が、記憶回路33から読み出した画像データIMG1の次以降のフレームの画像データIMG1を予測する(ステップS08)。例えば、記憶回路33から読み出した画像データIMG1より、1フレーム後の画像データIMG1、または2フレーム以上後の画像データIMG1を予測する。
次に、予測回路34による予測結果に応じて、ダイナミックレンジ圧縮率の更新が必要か否かを判定する(ステップS09)。例えば、予測された画像データIMG1と、予測回路34が読み出したダイナミックレンジ圧縮率と、を基にして、当該予測された画像データIMG1を画像データIMG2に変換した場合に、黒つぶれまたは白とびが発生するか否かを予測回路34が予測する。黒つぶれまたは白とびが発生すると予測された場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新が必要と判断し、ステップS01に戻る。黒つぶれまたは白とびが発生しないと予測された場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新は必要でないと判断する。この場合、ステップS01と同様に撮像装置20が撮像データを取得した後(ステップS10)、ステップS02と同様にA/D変換回路25が、ステップS10で取得した撮像データを画像データIMG1に変換し(ステップS11)、画像データIMG1を制御装置30が有する各回路に送信する。その後、ステップS03およびステップS04を省略し、ステップS05に戻る。以上が図5に示す構成の表示システム10の動作方法の一例である。
ここで、ステップS09でダイナミックレンジ圧縮率の更新は必要でないと判断された場合は、ステップS05において、記憶回路33に保持されたダイナミックレンジ圧縮率を読み出し、読み出したダイナミックレンジ圧縮率を用いて画像データIMG1の階調を変換する。
なお、ステップS09による判定結果に関する情報は、予測回路34から、例えば解析回路31および階調決定回路32に伝達する。例えば、ダイナミックレンジ圧縮率の更新が必要であると判定された場合は高電位となり、ダイナミックレンジ圧縮率の更新が必要でないと判定された場合は低電位となる信号を、解析回路31および階調決定回路32等に送信することにより、判定結果に関する情報を伝達することができる。上記信号の論理は逆でもよい。
図7は、図6に示す動作方法の変形例であり、階調決定回路32がダイナミックレンジ圧縮率を決定した後、nフレーム期間経過後(nは1以上の整数)にダイナミックレンジ圧縮率を更新する場合の動作方法の一例である。
図7において、ステップS01乃至ステップS08は、図6に示す場合と同様である。ステップS08の後、予測した画像データIMG1等を基にして、nの値を予測回路34が決定する(ステップS21)。例えば、画像データIMG1の照度変化が小さいと予測された場合はnを大きくし、画像データIMG2の照度変化が大きいと予測された場合はnを小さくする。
次に、ステップS01からnフレーム期間が経過したか否かを判定する(ステップS22)。nフレーム期間経過した場合は、ダイナミックレンジ圧縮率の更新が必要と判断し、ステップS01に戻る。
nフレーム期間が経過していない場合は、まず、ステップS01と同様に撮像装置20が撮像データを取得する(ステップS23)。次に、ステップS02と同様にA/D変換回路25が、ステップS23で取得した撮像データを画像データIMG1に変換する(ステップS24)。その後、画像データIMG1を制御装置30が有する各回路に送信する。
次に、階調決定回路32が、ステップS04で決定したダイナミックレンジ圧縮率を記憶回路33から読み出し、当該ダイナミックレンジ圧縮率に従って画像データIMG1の階調を変換する。これにより、画像データIMG2を生成する(ステップS25)。
次に、ステップS06と同様に、表示装置40が有するカラムドライバ46に設けられたD/A変換回路が、デジタルの画像データIMG2をアナログの表示データに変換する(ステップS26)。その後、ステップS07と同様に、カラムドライバ46が画素41に表示データを書き込むことにより、表示装置40が表示データに対応する画像を表示する(ステップS27)。
次に、ステップS22に戻り、ステップS01からnフレーム期間が経過したか否かを再び判定する。以上が図5に示す構成の表示システム10の動作方法の一例である。
なお、ステップS22による判定結果に関する情報は、予測回路34から、例えば解析回路31および階調決定回路32に伝達する。例えば、nの値を表す信号を、解析回路31および階調決定回路32等に送信することにより、判定結果に関する情報を伝達することができる。当該信号は、2ビット以上の信号とすることができる。
図6または図7に示す方法で表示システム10を動作させることにより、ダイナミックレンジ圧縮率を例えば毎フレーム期間ごとに更新する必要がなくなり、表示システム10の動作を高速化することができる。また、適切なタイミングでダイナミックレンジ圧縮率を更新することができるので、ダイナミックレンジ圧縮率の更新頻度を低下させつつ、表示装置40により表示される画像の視認性低下を抑制することができる。
なお、図6および図7に示すように、ダイナミックレンジ圧縮率の更新を行わない場合、ステップS03を行わない。このため、解析回路31をスタンバイ状態とすることにより解析回路31の消費電力を低減することができる。また、ステップS04を行わないので、ダイナミックレンジ圧縮率の計算を行わない。よって、階調決定回路32の動作負荷を軽減することができ、階調決定回路32の消費電力を低減することができる。
<撮像装置の構成例>
次に、撮像装置20の詳細な構成例について、図8乃至図14を用いて詳細に説明する。
[画素回路の構成および動作方法の一例]
図8(A)は、画素21の回路構成例を説明する図である。つまり、図8(A)は、撮像装置20が有する画素回路の構成例を説明する図である。図8(A)に示す構成の画素21は、光電変換素子150と、トランジスタ151と、トランジスタ152と、トランジスタ153と、トランジスタ154と、容量素子155と、を有する。
光電変換素子150の一方の電極は、トランジスタ151のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタ151のソースまたはドレイン一方は、トランジスタ152のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタ151のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ153のゲートと電気的に接続される。トランジスタ153のゲートは、容量素子155の一方の電極と電気的に接続される。トランジスタ153のソースまたはドレインの一方は、トランジスタ154のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。なお、容量素子155が設けられない構成であってもよい。
光電変換素子150の他方の電極は、配線171と電気的に接続される。トランジスタ151のゲートは、配線176と電気的に接続される。トランジスタ152のゲートは、配線177と電気的に接続される。トランジスタ152のソースまたはドレインの他方は、配線172と電気的に接続される。トランジスタ153のソースまたはドレインの他方は、配線173に電気的に接続される。トランジスタ154のソースまたはドレインの他方は、配線174と電気的に接続される。トランジスタ154のゲートは、配線178と電気的に接続される。容量素子155の他方の電極は、配線175と電気的に接続される。
配線171、配線172、配線173、および配線175は、電源線としての機能を有する。例えば、配線171および配線173は高電位電源線、配線172および配線175は低電位電源線とすることができる。配線176、配線177、および配線178は、各トランジスタの導通を制御する信号線としての機能を有する。また、配線174は、画素21から信号を出力する出力線としての機能を有する。
なお、光電変換素子150の一方の電極、トランジスタ151のソースまたはドレインの一方、およびトランジスタ152のソースまたはドレインの一方が接続される配線を電荷蓄積部NRとする。また、トランジスタ151のソースまたはドレインの他方、トランジスタ153のゲート、および容量素子155の一方の電極が接続される配線を電荷検出部NDとする。
トランジスタ151は、光電変換素子150の動作に応じて変化する電荷蓄積部NRの電位を電荷検出部NDに転送する機能を有する。トランジスタ152は、電荷蓄積部NRおよび電荷検出部NDの電位を初期化する機能を有する。トランジスタ153は、電荷検出部NDの電位に応じた信号を出力する機能を有する。トランジスタ154は、信号を読み出す画素21を選択する機能を有する。
光電変換素子150には、光検出感度を高めるためアバランシェフォトダイオードを用いてもよい。アバランシェフォトダイオードを用いる場合は、比較的高い電位を配線171に供給する必要がある。
このとき、光電変換素子150と接続されるトランジスタには、高電圧を印加できる高耐圧のトランジスタを用いることが好ましい。当該トランジスタには、例えば、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタであるOSトランジスタ等を用いることができる。具体的には、トランジスタ151およびトランジスタ152にOSトランジスタを適用することが好ましい。
また、トランジスタ151およびトランジスタ152をOSトランジスタとすることで、その低いオフ電流特性によって、電荷検出部NDおよび電荷蓄積部NRで電荷を保持できる期間を極めて長くすることができる。そのため、回路構成や動作方法を複雑にすることなく、全画素で同時に電荷の蓄積動作を行い、順次読み出し動作を行うグローバルシャッタ方式を適用することができる。
一方、トランジスタ153は増幅特性が優れていることが望まれるため、オン電流が高いトランジスタであることが好ましい。したがって、トランジスタ153およびトランジスタ154には、シリコンをチャネル形成領域に用いたトランジスタ(以下、Siトランジスタ)を適用することが好ましい。
光電変換素子150にアバランシェフォトダイオードを用い、トランジスタ151乃至トランジスタ154を上述した構成とすることで、低照度における光の検出感度が高く、ノイズの少ない信号を出力することのできる撮像装置を作製することができる。また、光の検出感度が高いため、光の取り込み時間を短くすることができ、撮像を高速に行うことができる。
なお、上記構成に限らず、光電変換素子150はアバランシェ増倍が生じない素子であってもよい。また、アバランシェフォトダイオードにアバランシェ増倍が生じない電位を印加して使用してもよい。
また、トランジスタ153およびトランジスタ154にOSトランジスタを適用してもよい。または、トランジスタ151およびトランジスタ152にSiトランジスタを適用してもよい。いずれの場合においても画素21を動作させることができる。
次に、図8(B)のタイミングチャートを用いて、画素21の動作方法の一例を説明する。なお、以下に説明する一例の動作において、各配線に供給される電位は下記の通りとする。配線176、配線177、および配線178には、高電位としてVDD、低電位としてGNDの電位が供給される。配線171および配線173には、VDDの電位が供給される。配線172および配線175には、GNDの電位が供給される。なお、配線171にVDDより高い電位HVDDを供給する等、各配線に上記以外の電位を供給してもよい。
時刻T1に配線176を高電位、配線177を高電位とし、電荷蓄積部NRおよび電荷検出部NDの電位をリセット電位(GND)に設定する(リセット動作)。
時刻T2に配線176を低電位、配線177を低電位とすることで、電荷蓄積部NRの電位が変化し始める(蓄積動作)。電荷蓄積部NRの電位は、光電変換素子150に入射した光の強度に応じて、GND近傍からVDD近傍まで変化する。
時刻T3に配線176を高電位、配線177を低電位とし、電荷蓄積部NRの電荷を電荷検出部NDに転送する(転送動作)。
時刻T4に配線176を低電位、配線177を低電位とし、転送動作を終了させる。この時点で電荷検出部NDの電位が確定する。
時刻T5乃至T6の期間に配線176を低電位、配線177を低電位、配線178を高電位とし、電荷検出部NDの電位に応じた信号を配線174に出力する。すなわち、蓄積動作を行う期間において光電変換素子150に入射した光の強度に応じた出力信号を得ることができる。
[画素の構成例]
図9(A)に、上述した画素回路を有する画素21の構成例を示す。図9(A)に示す画素は、層161および層162の積層構成を有する例である。
層161は、光電変換素子150を有する。光電変換素子150は、図9(C)に示すように層165aと、層165bと、層165cとの積層とすることができる。
図9(C)に示す光電変換素子150はpn接合型フォトダイオードであり、例えば、層165aにp型半導体、層165bにn型半導体、層165cにn型半導体を用いることができる。または、層165aにn型半導体、層165bにp型半導体、層165cにp型半導体を用いてもよい。または、層165bをi型半導体としたpin接合型フォトダイオードであってもよい。
上記pn接合型フォトダイオードまたはpin接合型フォトダイオードは、単結晶シリコンを用いて形成することができる。また、pin接合型フォトダイオードとしては、非晶質シリコン、微結晶シリコン、多結晶シリコン等の薄膜を用いて形成することもできる。
また、層161が有する光電変換素子150は、図9(D)に示すように、層166aと、層166bと、層166cと、層166dとの積層としてもよい。図9(D)に示す光電変換素子150はアバランシェフォトダイオードの一例であり、層166aおよび層166dは電極に相当し、層166bおよび層166cは光電変換部に相当する。
層166aは、低抵抗の金属層等とすることが好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、タングステン、タンタル、銀、またはそれらの積層を用いることができる。
層166dは、可視光に対して高い透光性を有する導電層を用いることが好ましい。例えば、インジウム酸化物、錫酸化物、亜鉛酸化物、インジウム-錫酸化物、ガリウム-亜鉛酸化物、インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物、またはグラフェン等を用いることができる。なお、層166dを省く構成とすることもできる。
光電変換部の層166bおよび層166cは、例えばセレン系材料を光電変換層としたpn接合型フォトダイオードの構成とすることができる。層166bとしてはp型半導体であるセレン系材料を用い、層166cとしてはn型半導体であるガリウム酸化物等を用いることが好ましい。
セレン系材料を用いた光電変換素子は、可視光に対する外部量子効率が高いという特性を有する。当該光電変換素子では、アバランシェ増倍を利用することにより、入射される光量に対するキャリアの増幅を大きくすることができる。また、セレン系材料は光吸収係数が高いため、光電変換層を薄膜で作製できる等の生産上の利点を有する。セレン系材料の薄膜は、真空蒸着法またはスパッタ法等を用いて形成することができる。
セレン系材料としては、単結晶セレンや多結晶セレン等の結晶性セレン、非晶質セレン、銅、インジウム、セレンの化合物(CIS)、または、銅、インジウム、ガリウム、セレンの化合物(CIGS)等を用いることができる。
n型半導体は、バンドギャップが広く、可視光に対して透光性を有する材料で形成することが好ましい。例えば、亜鉛酸化物、ガリウム酸化物、インジウム酸化物、錫酸化物、またはそれらが混在した酸化物等を用いることができる。また、これらの材料は正孔注入阻止層としての機能も有し、暗電流を小さくすることもできる。
図9(A)に示す層162としては、例えばシリコン基板を用いることができる。当該シリコン基板には、Siトランジスタ等が設けられ、前述した画素回路の他、当該画素回路を駆動する回路、画像信号の読み出し向路、画像処理回路等を設けることができる。
また、画素は、図9(B)に示すように層161、層163、および層162の積層構成を有していてもよい。
層163は、OSトランジスタ(例えば、画素回路のトランジスタ151およびトランジスタ152)を有することができる。このとき、層162は、Siトランジスタ(例えば、画素回路のトランジスタ153およびトランジスタ154)を有することが好ましい。
当該構成とすることで、画素回路を構成する要素を複数の層に分散させ、かつ当該要素を重ねて設けることができるため、撮像装置の面積を小さくすることができる。なお、図9(B)の構成において、層162を支持基板とし、層161および層163に画素回路を設けてもよい。
図10(A)は、図9(A)に示す画素の断面の一例を説明する図である。層161は光電変換素子150として、シリコンを光電変換層とするpn接合型フォトダイオードを有する。層162は、画素回路を構成するSiトランジスタ等を有する。
光電変換素子150において、層165aはp型領域、層165bはn型領域、層165cはn型領域とすることができる。また、層165bには、電源線と層165cとを接続するための領域136が設けられる。例えば、領域136はp型領域とすることができる。
図10(A)において、Siトランジスタはシリコン基板140にチャネル形成領域を有するプレーナー型の構成を示しているが、図12(A)、(B)に示すように、シリコン基板140にフィン型の半導体層を有する構成であってもよい。図12(A)はチャネル長方向の断面、図12(B)はチャネル幅方向の断面に相当する。
または、図12(C)に示すように、シリコン薄膜の半導体層145を有するトランジスタであってもよい。半導体層145は、例えば、シリコン基板140上の絶縁層146上に形成された単結晶シリコン(SOI(Silicon on Insulator))とすることができる。
ここで、図10(A)では、層161が有する要素と層162が有する要素との電気的な接続を貼り合わせ技術で得る構成例を示している。
層161には、絶縁層142、導電層133および導電層134が設けられる。導電層133および導電層134は、絶縁層142に埋設された領域を有する。導電層133は、層165aと電気的に接続される。導電層134は、領域136と電気的に接続される。また、絶縁層142、導電層133および導電層134の表面は、それぞれ高さが一致するように平坦化されている。
層162には、絶縁層141、導電層131および導電層132が設けられる。導電層131および導電層132は、絶縁層141に埋設された領域を有する。導電層132は、電源線と電気的に接続される。導電層131は、トランジスタ151のソースまたはドレインと電気的に接続される。また、絶縁層141、導電層131および導電層132の表面は、それぞれ高さが一致するように平坦化されている。
ここで、導電層131および導電層133は、主成分が同一の金属元素であることが好ましい。導電層132および導電層134は、主成分が同一の金属元素であることが好ましい。また、絶縁層141および絶縁層142は、同一の成分で構成されていることが好ましい。
例えば、導電層131、導電層132、導電層133、および導電層134には、Cu、Al、Sn、Zn、W、Ag、Pt、またはAu等を用いることができる。接合のしやすさから、好ましくはCu、Al、W、またはAuを用いる。また、絶縁層141および絶縁層142には、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、窒化チタン等を用いることができる。
つまり、導電層131および導電層133の組み合わせと、導電層132および導電層134の組み合わせのそれぞれに、上記に示す同一の金属材料を用いることが好ましい。また、絶縁層141および絶縁層142のそれぞれに、上記に示す同一の絶縁材料を用いることが好ましい。当該構成とすることで、層161と層162の境を接合位置とする、貼り合わせを行うことができる。
当該貼り合わせによって、導電層131および導電層133の組み合わせと、導電層132および導電層134の組み合わせのそれぞれの電気的な接続を得ることができる。また、絶縁層141および絶縁層142の機械的な強度を有する接続を得ることができる。
金属層同士の接合には、表面の酸化膜および不純物の吸着層等をスパッタリング処理等で除去し、清浄化および活性化した表面同士を接触させて接合する表面活性化接合法を用いることができる。または、温度と圧力を併用して表面同士を接合する拡散接合法等を用いることができる。どちらも原子レベルでの結合が起こるため、電気的だけでなく機械的にも優れた接合を得ることができる。
また、絶縁層同士の接合には、研磨等によって高い平坦性を得たのち、酸素プラズマ等で親水性処理をした表面同士を接触させて仮接合し、熱処理による脱水で本接合を行う親水性接合法等を用いることができる。親水性接合法も原子レベルでの結合が起こるため、機械的に優れた接合を得ることができる。
層161と、層162を貼り合わせる場合、それぞれの接合面には絶縁層と金属層が混在するため、例えば、表面活性化接合法および親水性接合法を組み合わせて行えばよい。
例えば、研磨後に表面を清浄化し、金属層の表面に酸化防止処理を行ったのちに親水性処理を行って接合する方法等を用いることができる。また、金属層の表面をAu等の難酸化性金属とし、親水性処理を行ってもよい。なお、上述した方法以外の接合方法を用いてもよい。
図10(B)は、図9(A)に示す画素の層161にセレン系材料を光電変換層とするpn接合型フォトダイオードを用いた場合の断面図である。一方の電極として層166aと、光電変換層として層166bおよび層166cと、他方の電極として層166dを有する。
この場合、層161は、層162上に直接形成することができる。層166aは、トランジスタ151のソースまたはドレインと電気的に接続される。層166dは、導電層137を介して電源線と電気的に接続される。
図11(A)は、図9(B)に示す画素の断面の一例を説明する図である。層161は光電変換素子150として、シリコンを光電変換層とするpn接合型フォトダイオードを有する。層162はSiトランジスタ等を有する。層163はOSトランジスタ等を有する。層161と層163とは、貼り合わせで電気的な接続を得る構成例を示している。
図11(A)において、OSトランジスタはセルフアライン型の構成を示しているが、図12(D)に示すように、ノンセルフアライン型のトップゲート型トランジスタであってもよい。
トランジスタ151はバックゲート135を有する構成を示しているが、バックゲートを有さない形態であってもよい。バックゲート135は、図12(E)に示すように、対向して設けられるトランジスタのフロントゲートと電気的に接続する場合がある。または、バックゲート135にフロントゲートとは異なる固定電位を供給することができる構成であってもよい。
OSトランジスタが形成される領域とSiトランジスタが形成される領域との間には、水素の拡散を防止する機能を有する絶縁層143が設けられる。トランジスタ153およびトランジスタ154のチャネル形成領域近傍に設けられる絶縁層中の水素は、シリコンのダングリングボンドを終端する。一方、トランジスタ151のチャネル形成領域の近傍に設けられる絶縁層中の水素は、酸化物半導体層中にキャリアを生成する要因の一つとなる。
絶縁層143により、一方の層に水素を閉じ込めることでトランジスタ153およびトランジスタ154の信頼性を向上させることができる。また、一方の層から他方の層への水素の拡散が抑制されることでトランジスタ151の信頼性も向上させることができる。
絶縁層143としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)等を用いることができる。
図11(B)は、図9(B)に示す画素の層161にセレン系材料を光電変換層とするpn接合型フォトダイオードを用いた場合の断面図である。層161は、層163上に直接形成することができる。層161、層162、および層163の詳細は、前述の説明を参照できる。
[その他の画素の構成要素]
図13(A)は、本発明の一態様の撮像装置の画素にカラーフィルタ等を付加した例を示す斜視図である。当該斜視図では、複数の画素の断面もあわせて図示している。光電変換素子150が形成される層161上には、絶縁層180が形成される。絶縁層180は可視光に対して透光性の高い酸化シリコン膜等を用いることができる。また、パッシベーション層として窒化シリコン膜を積層してもよい。また、反射防止層として、酸化ハフニウム等の誘電体膜を積層してもよい。
絶縁層180上には、遮光層181が形成されてもよい。遮光層181は、上部のカラーフィルタを通る光の混色を防止する機能を有する。遮光層181には、アルミニウム、タングステン等の金属膜を用いることができる。また、当該金属膜と反射防止層としての機能を有する誘電体膜を積層してもよい。
絶縁層180および遮光層181上には、平坦化膜として有機樹脂層182を設けることができる。また、画素別にカラーフィルタ183(カラーフィルタ183a、カラーフィルタ183b、およびカラーフィルタ183c)が形成される。例えば、カラーフィルタ183a、カラーフィルタ183b、カラーフィルタ183cに、R(赤)、G(緑)、B(青)、Y(黄)、C(シアン)、M(マゼンタ)等の色を割り当てることにより、カラー画像を得ることができる。
カラーフィルタ183上には、可視光に対して透光性を有する絶縁層186等を設けることができる。
また、図13(B)に示すように、カラーフィルタ183の代わりに光学変換層185を用いてもよい。このような構成とすることで、様々な波長領域における画像が得られる撮像装置とすることができる。
例えば、光学変換層185に可視光線の波長以下の光を遮るフィルタを用いれば、赤外線撮像装置とすることができる。また、光学変換層185に近赤外線の波長以下の光を遮るフィルタを用いれば、遠赤外線撮像装置とすることができる。また、光学変換層185に可視光線の波長以上の光を遮るフィルタを用いれば、紫外線撮像装置とすることができる。可視光のカラーフィルタと赤外線若しくは紫外線のフィルタを組み合わせてもよい。
また、光学変換層185にシンチレータを用いれば、X線撮像装置等に用いる放射線の強弱を可視化した画像を得る撮像装置とすることができる。被写体を透過したX線等の放射線がシンチレータに入射されると、フォトルミネッセンス現象により可視光線や紫外光線等の光(蛍光)に変換される。そして、当該光を光電変換素子150で検知することにより画像データを取得する。また、放射線検出器等に当該構成の撮像装置を用いてもよい。
シンチレータは、X線やガンマ線等の放射線が照射されると、そのエネルギーを吸収して可視光や紫外光を発する物質を含む。例えば、GdS:Tb、GdS:Pr、GdS:Eu、BaFCl:Eu、NaI、CsI、CaF、BaF、CeF、LiF、LiI、ZnO等を樹脂やセラミクスに分散させたものを用いることができる。
なお、セレン系材料を用いた光電変換素子150においては、X線等の放射線を電荷に直接変換することができるため、シンチレータを不要とする構成とすることもできる。
また、図13(C)に示すように、カラーフィルタ183上にマイクロレンズアレイ184を設けてもよい。マイクロレンズアレイ184が有する個々のレンズを通る光が直下のカラーフィルタ183を通り、光電変換素子150に照射されるようになる。また、図13(B)に示す光学変換層185上にマイクロレンズアレイ184を設けてもよい。
[パッケージ、モジュールの構成例]
以下では、イメージセンサチップを収めたパッケージおよびカメラモジュールの一例について説明する。当該イメージセンサチップには、上記撮像装置の構成を用いることができる。
図14(A1)は、イメージセンサチップを収めたパッケージの上面側の外観斜視図である。当該パッケージは、イメージセンサチップ450を固定するパッケージ基板410、カバーガラス420および両者を接着する接着剤430等を有する。
図14(A2)は、当該パッケージの下面側の外観斜視図である。パッケージの下面には、半田ボールをバンプ440としたBGA(Ball grid array)を有する。なお、BGAに限らず、LGA(Land grid array)やPGA(Pin Grid Array)等を有していてもよい。
図14(A3)は、カバーガラス420および接着剤430の一部を省いて図示したパッケージの斜視図である。パッケージ基板410上には電極パッド460が形成され、電極パッド460およびバンプ440はスルーホールを介して電気的に接続されている。電極パッド460は、イメージセンサチップ450とワイヤ470によって電気的に接続されている。
また、図14(B1)は、イメージセンサチップをレンズ一体型のパッケージに収めたカメラモジュールの上面側の外観斜視図である。当該カメラモジュールは、イメージセンサチップ451を固定するパッケージ基板411、レンズカバー421、およびレンズ435等を有する。また、パッケージ基板411およびイメージセンサチップ451の間には撮像装置の駆動回路および信号変換回路等の機能を有するICチップ490も設けられており、SiP(System in package)としての構成を有している。
図14(B2)は、当該カメラモジュールの下面側の外観斜視図である。パッケージ基板411の下面および側面には、実装用のランド441が設けられたQFN(Quad flat no-lead package)の構成を有する。なお、当該構成は一例であり、QFP(Quad flat package)や前述したBGAが設けられていてもよい。
図14(B3)は、レンズカバー421およびレンズ435の一部を省いて図示したモジュールの斜視図である。ランド441は電極パッド461と電気的に接続され、電極パッド461はイメージセンサチップ451またはICチップ490とワイヤ471によって電気的に接続されている。
イメージセンサチップを上述したような形態のパッケージに収めることでプリント基板等への実装が容易になり、イメージセンサチップを様々な半導体装置、電子機器に組み込むことができる。
<表示装置の構成例>
次に、表示装置40の詳細な構成例について、図15乃至図17を用いて説明する。
[画素回路の構成例]
図15(A)は、画素41の回路構成例を説明する図である。つまり、図15(A)は、表示装置40が有する画素回路の構成例を説明する図である。図15(A)に示す構成の画素41は、トランジスタ3431と、容量素子3233と、液晶素子3432と、を有する。
トランジスタ3431のソースまたはドレインの一方は、配線3174と電気的に接続される。トランジスタ3431のゲートは、配線3178と電気的に接続される。
容量素子3233の一方の電極は、容量線CLと電気的に接続される。容量素子3233の他方の電極は、トランジスタ3431のソースまたはドレインの他方と電気的に接続される。容量線CLには、例えば定電位を印加することができる。
液晶素子3432の一方の電極には、共通の電位(コモン電位)が印加される。液晶素子3432の他方の電極は、トランジスタ3431のソースまたはドレインの他方と電気的に接続される。
なお、トランジスタ3431のソースまたはドレインの他方、容量素子3233の他方の電極、および液晶素子3432の他方の電極が接続されるノードをノード3436とする。
トランジスタ3431は、ノード3436へのデータ信号の書き込みを制御する機能を有する。容量素子3233は、ノード3436に書き込まれたデータを保持する機能を有する。また、液晶素子3432に含まれる液晶は、ノード3436に書き込まれる電位により配向状態が決定される。
ここで、液晶素子3432のモードとしては、例えば、TNモード、STNモード、VAモード、ASM(Axially Symmetric Aligned Micro-cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、MVAモード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、IPSモード、FFSモード、またはTBA(Transverse Bend Alignment)モード等を用いてもよい。また、他の例として、ECB(Electrically Controlled Birefringence)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード、PNLC(Polymer Network Liquid Crystal)モード、ゲストホストモード等がある。ただし、これに限定されず、様々なモードを用いることができる。
図15(B)は、図15(A)に示す画素回路とは別の構成の画素41の回路構成例を説明する図である。図15(B)に示す構成の画素41は、トランジスタ3431と、トランジスタ3232と、容量素子3233と、発光素子3125と、を有する。
トランジスタ3431のソースまたはドレインの一方は、配線3174と電気的に接続される。トランジスタ3431のソースまたはドレインの他方は、容量素子3233の一方の電極、およびトランジスタ3232のゲートと電気的に接続される。トランジスタ3431のゲートは、配線3178と電気的に接続される。
トランジスタ3232のソースまたはドレインの一方は、配線VL_aと電気的に接続される。
発光素子3125の一方の電極は、配線VL_bと電気的に接続される。発光素子3125の他方の電極は、トランジスタ3232のソースまたはドレインの他方、および容量素子3233の他方の電極と電気的に接続される。
配線VL_aは、高電位電源線とすることができる。配線VL_bは、低電位電源線とすることができる。なお、配線VL_bを高電位電源線、配線VL_aを低電位電源線としてもよい。
なお、トランジスタ3431のソースまたはドレインの他方、トランジスタ3232のゲート、および容量素子3233の一方の電極が接続されるノードをノード3435とする。また、トランジスタ3232のソースまたはドレインの他方、容量素子3233の他方の電極、および発光素子3125の他方の電極が接続されるノードをノード3437とする。
トランジスタ3431は、データ信号のノード3435への書き込みを制御する機能を有する。トランジスタ3232は、発光素子3125に流れる電流を制御する機能を有する。
容量素子3233はノード3435に書き込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。
発光素子3125としては、例えば有機EL素子等を用いることができる。ただし、これに限定されず、例えば無機材料からなる無機EL素子を用いても良い。
[画素の構成例]
図16(A)および図17(A)に、図15(A)に示す画素回路を有する画素41の構成例を示す。図16(B)および図17(B)に、図15(B)に示す画素回路を有する画素41の構成例を示す。
図16(A)、(B)に示す表示装置40は導電層4015を有しており、導電層4015はFPC4018が有する端子と異方性導電層4019を介して、電気的に接続されている。また、導電層4015は、絶縁層4112、絶縁層4111、および絶縁層4110に形成された開口において配線4014と電気的に接続されている。導電層4015は、導電層4030と同じ導電層から形成されている。
また基板4001上に設けられた画素41は、トランジスタを有しており、図16(A)では、画素41に含まれるトランジスタ3431を例示し、図16(B)では、画素41に含まれるトランジスタ3232を例示している。基板4001として、例えばシリコン基板を用いることができる。
また、トランジスタ3431およびトランジスタ3232は、絶縁層4102上に設けられている。また、トランジスタ3431およびトランジスタ3232は、絶縁層4102上に形成された導電層517を有し、導電層517上に絶縁層4103が形成されている。絶縁層4103上に半導体層512が形成されている。半導体層512上に導電層510および導電層511が形成され、導電層510および導電層511上に絶縁層4110および絶縁層4111が形成され、絶縁層4110および絶縁層4111上に導電層516が形成されている。導電層510および導電層511は、配線4014と同じ導電層で形成されている。
トランジスタ3431およびトランジスタ3232において、導電層517はゲートとしての機能を有し、導電層510はソースまたはドレインの一方としての機能を有し、導電層511はソースまたはドレインの他方としての機能を有し、導電層516はバックゲートとしての機能を有する。
トランジスタ3431およびトランジスタ3232はボトムゲート構造であり、且つバックゲートを有することで、オン電流を増大させることができる。また、トランジスタのしきい値電圧を制御することができる。なお、導電層516は、製造工程を簡略化するため、場合によっては省略してもよい。
トランジスタ3431およびトランジスタ3232において、半導体層512はチャネル形成領域としての機能を有する。半導体層512として、結晶シリコン、多結晶シリコン、非晶質シリコン、金属酸化物、有機半導体等を用いればよい。また、必要に応じて、半導体層512の導電率を高めるため、または、トランジスタのしきい値電圧を制御するために、半導体層512に不純物を導入してもよい。
半導体層512として金属酸化物を用いた場合、半導体層512はインジウム(In)を含むことが好ましい。半導体層512がインジウムを含む金属酸化物の場合、半導体層512はキャリア移動度(電子移動度)が高くなる。また、半導体層512は、元素Mを含む金属酸化物であると好ましい。元素Mは、好ましくは、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、またはスズ(Sn)等とする。そのほかの元素Mに適用可能な元素としては、ホウ素(B)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、ゲルマニウム(Ge)、イットリウム(Y)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)等がある。ただし、元素Mとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。元素Mは、例えば、酸素との結合エネルギーが高い元素である。例えば、酸素との結合エネルギーがインジウムよりも高い元素である。また、半導体層512は、亜鉛(Zn)を含む金属酸化物であると好ましい。亜鉛を含む金属酸化物は結晶化しやすくなる場合がある。
半導体層512は、インジウムを含む金属酸化物に限定されない。半導体層512は、例えば、亜鉛スズ酸化物、ガリウムスズ酸化物等の、インジウムを含まず、亜鉛を含む金属酸化物、ガリウムを含む金属酸化物、スズを含む金属酸化物等であっても構わない。
または、半導体層512として結晶シリコン、多結晶シリコン、非晶質シリコン等、シリコンを有する材料を用いた場合、半導体層512の導電率を高めることができる。これにより、トランジスタ3431およびトランジスタ3232のオン電流を高めることができ、画素41の動作を高速化することができる。
また、図16(A)、(B)に示す表示装置40は、容量素子3233を有する。容量素子3233は、導電層511と導電層4021が絶縁層4103を介して重なる領域を有する。導電層4021は、導電層517と同じ導電層で形成されている。
図16(A)は、表示素子として液晶素子を用いた液晶表示装置の一例である。図16(A)において、表示素子である液晶素子3432は、導電層4030、導電層4031、および液晶層4008を含む。なお、液晶層4008を挟持するように配向膜として機能する絶縁層4032、絶縁層4033が設けられている。導電層4031は基板4006側に設けられ、導電層4030と導電層4031は液晶層4008を介して重畳する。なお、基板4006として、基板4001と同様に例えばシリコン基板を用いることができる。
またスペーサ4035は絶縁層を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサであり、導電層4030と導電層4031との間隔(セルギャップ)を制御するために設けられている。なお球状のスペーサを用いていても良い。
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
また、液晶材料の固有抵抗は、1×10Ω・cm以上であり、好ましくは1×1011Ω・cm以上であり、さらに好ましくは1×1012Ω・cm以上である。なお、本明細書等における固有抵抗の値は、20℃で測定した値とする。
トランジスタ3431にOSトランジスタを用いた場合、トランジスタ3431は、オフ電流値を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果を奏する。
また、表示装置において、ブラックマトリクス(遮光層)、偏光部材、位相差部材、反射防止部材等の光学部材(光学基板)等を適宜設けてもよい。例えば、偏光基板および位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライト等を用いてもよい。
図16(B)は、表示素子としてEL素子等の発光素子を用いた表示装置の一例である。EL素子は有機EL素子と無機EL素子に区別される。
有機EL素子は、電圧を印加することにより、一方の電極から電子、他方の電極から正孔がそれぞれEL層に注入される。なお、一方の電極は、導電層4030または導電層4031の一方であり、他方の電極は、導電層4030または導電層4031の他方である。そして、それらキャリア(電子および正孔)が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このような発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。なお、EL層は、発光性の化合物以外に、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性および正孔輸送性が高い物質)等を有していてもよい。EL層は、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
無機EL素子は、その素子構成により、分散型無機EL素子と薄膜型無機EL素子とに分類される。分散型無機EL素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー-アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機EL素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。
図16(B)は、発光素子3125として有機EL素子を用いた例を説明する。
図16(B)において、発光素子3125は、画素41に設けられたトランジスタ3232と電気的に接続される。なお発光素子3125の構成は、導電層4030、発光層4511、導電層4031の積層構造であるが、この構成に限定されない。発光素子3125から取り出す光の方向等に合わせて、発光素子3125の構成は適宜変えることができる。
隔壁4510は、有機絶縁材料、または無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、導電層4030上に開口部を形成し、その開口部の側面が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
発光層4511は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成されていてもどちらでも良い。
発光素子3125に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、導電層4031および隔壁4510上に保護層を形成してもよい。保護層としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、DLC(Diamond Like Carbon)等を用いることができる。また、基板4001、基板4006、およびシール材4005によって封止された空間には充填材4514が設けられ密封されている。このように、外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム(貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等)やカバー材でパッケージング(封入)することが好ましい。
充填材4514としては窒素やアルゴン等の不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポリビニルクロライド)、アクリル樹脂、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテート)等を用いることができる。また、充填材4514に乾燥剤が含まれていてもよい。
シール材4005には、ガラスフリット等のガラス材料や、二液混合型の樹脂等の常温で硬化する硬化樹脂、光硬化性の樹脂、熱硬化性の樹脂等の樹脂材料を用いることができる。また、シール材4005に乾燥剤が含まれていてもよい。
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、または円偏光板(楕円偏光板を含む)、位相差板(λ/4板、λ/2板)、カラーフィルタ等の光学フィルムを適宜設けてもよい。また、偏光板または円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
また、発光素子をマイクロキャビティ構造とすることで、色純度の高い光を取り出すことができる。また、マイクロキャビティ構造とカラーフィルタを組み合わせることで、映り込みが低減し、表示画像の視認性を高めることができる。
導電層4030、導電層4031は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、インジウム錫酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物等の透光性を有する導電性材料を用いることができる。
また、導電層4030、導電層4031はタングステン(W)、モリブデン(Mo)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)等の金属、またはその合金、もしくはその金属窒化物から一種以上を用いて形成することができる。
また、導電層4030、導電層4031として、導電性高分子(導電性ポリマーともいう)を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子を用いることができる。例えば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンまたはその誘導体、もしくは、アニリン、ピロールおよびチオフェンの2種以上からなる共重合体またはその誘導体等が挙げられる。
発光素子3125から光を外部に取り出すため、少なくとも導電層4030または導電層4031の一方が透明であればよい。表示装置は、光の取り出し方によって、上面射出(トップエミッション)構造と、下面射出(ボトムエミッション)構造と、両面射出(デュアルエミッション)構造に分類される。上面射出構造は、基板4006から光を取り出す場合をいう。下面射出構造は、基板4001から光を取り出す場合をいう。両面射出構造は、基板4006と基板4001の両方から光を取り出す場合をいう。例えば、上面射出構造の場合、導電層4031を透明にすればよい。例えば、下面射出構造の場合、導電層4030を透明にすればよい。例えば、両面射出構造の場合、導電層4030および導電層4031を透明にすればよい。
図17(A)は、図16(A)に示すトランジスタ3431に、トップゲート型のトランジスタを設けた場合の断面図を示している。同様に、図17(B)は、図16(B)に示すトランジスタ3232に、トップゲート型のトランジスタを設けた場合の断面図を示している。
図17(A)、(B)のトランジスタ3431およびトランジスタ3232において、導電層517はゲートとしての機能を有し、導電層510はソースまたはドレインの一方としての機能を有し、導電層511はソースまたはドレインの他方としての機能を有する。
<記憶回路の構成例>
次に、図5に示す記憶回路33の詳細な構成例について、図18および図19を用いて説明する。図18は、記憶回路33の構成例を説明するブロック図である。図18に示すように、記憶回路33は、コントローラ1405、行回路1410、列回路1415、メモリセルおよびセンスアンプアレイ1420(以下、「MC-SAアレイ1420」と呼ぶ。)を有する。
行回路1410はデコーダ1411、ワード線ドライバ回路1412、列セレクタ1413、センスアンプドライバ回路1414を有する。列回路1415はグローバルセンスアンプアレイ1416、入出力回路1417を有する。グローバルセンスアンプアレイ1416は複数のグローバルセンスアンプ1447を有する。MC-SAアレイ1420はメモリセルアレイ1422、センスアンプアレイ1423、グローバルビット線GBLL、GBLRを有する。
[MC-SAアレイ1420]
MC-SAアレイ1420は、メモリセルアレイ1422をセンスアンプアレイ1423上に積層した積層構造をもつ。グローバルビット線GBLL、GBLRはメモリセルアレイ1422上に積層されている。記憶回路33では、ビット線の構造に、ローカルビット線とグローバルビット線とで階層化された階層ビット線構造が採用されている。
メモリセルアレイ1422は、N個(Nは2以上の整数)のローカルメモリセルアレイ1425<0>―1425<N-1>を有する。また、メモリセルアレイ1423は、N個のローカルメモリセルアレイ1426<0>―1426<N-1>を有する。図19(A)にローカルメモリセルアレイ1425の構成例を示す。ローカルメモリセルアレイ1425は、複数のメモリセル1445、複数のワード線WL、複数のビット線BLL、および複数のビット線BLRを有する。図19(A)の例では、ローカルメモリセルアレイ1425の構造はオープンビット線型であるが、フォールデッドビット線型であってもよい。
図19(B)に共通のビット線BLL(BLR)に接続される、ペア状の一組のメモリセル1445aおよびメモリセル1445bの回路構成例を示す。メモリセル1445aはトランジスタMW1a、容量素子CS1a、端子B1a、および端子B2aを有し、ワード線WLa、ビット線BLL(BLR)に接続される。また、メモリセル1445bはトランジスタMW1b、容量素子CS1b、端子B1b、および端子B2bを有し、ワード線WLb、ビット線BLL(BLR)に接続される。なお、以下において、メモリセル1445aおよびメモリセル1445bのいずれかを特に限定しない場合は、メモリセル1445およびそれに付属する構成にaまたはbの符号を付さない場合がある。
トランジスタMW1aは容量素子CS1aの充放電を制御する機能を有し、トランジスタMW1bは容量素子CS1bの充放電を制御する機能を有する。トランジスタMW1aのゲートはワード線WLaに電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方はビット線BLL(BLR)に電気的に接続され、ソースまたはドレインの他方は容量素子CS1aの一方の電極に電気的に接続されている。また、トランジスタMW1bのゲートはワード線WLbに電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方はビット線BLL(BLR)に電気的に接続され、ソースまたはドレインの他方は容量素子CS1bの一方の電極に電気的に接続されている。このように、ビット線BLL(BLR)がトランジスタMW1aのソースまたはドレインの一方とトランジスタMW1bのソースまたはドレインの一方に共通で用いられる。
トランジスタMW1は容量素子CS1の充放電を制御する機能をもつ。容量素子CS1の他方の電極は端子B2に電気的に接続されている。端子B2には、定電位(例えば、低電源電位)が入力される。
トランジスタMW1aおよびトランジスタMW1bとして、OSトランジスタを用いることが好ましい。前述のように、OSトランジスタはオフ電流が低い。このため、容量素子CS1aおよび容量素子CS1bに電荷を長時間保持することができるため、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができる。これにより、表示システム10の消費電力を低減することができる。なお、トランジスタMW1aおよびトランジスタMW1bとして、Siトランジスタ等、OSトランジスタ以外のトランジスタを用いてもよい。
トランジスタMW1はバックゲートを備えており、バックゲートは端子B1に電気的に接続されている。そのため、端子B1の電位によって、トランジスタMW1のしきい値電圧を変更することができる。例えば、端子B1の電位は固定電位(例えば、負の定電位)であってもよいし、記憶回路33の動作に応じて、端子B1の電位を変化させてもよい。
トランジスタMW1のバックゲートをトランジスタMW1のゲート、ソース、またはドレインに電気的に接続してもよい。あるいは、トランジスタMW1にバックゲートを設けなくてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したニューラルネットワークに用いることが可能な半導体装置の構成例について説明する。
図20(A)に示すように、ニューラルネットワークNNは入力層IL、出力層OL、中間層(隠れ層)HLによって構成することができる。入力層IL、出力層OL、中間層HLはそれぞれ、1または複数のニューロン(ユニット)を有する。なお、中間層HLは1層であってもよいし2層以上であってもよい。2層以上の中間層HLを有するニューラルネットワークはDNN(ディープニューラルネットワーク)と呼ぶこともでき、ディープニューラルネットワークを用いた学習は深層学習と呼ぶこともできる。
入力層ILの各ニューロンには入力データが入力され、中間層HLの各ニューロンには前層または後層のニューロンの出力信号が入力され、出力層OLの各ニューロンには前層のニューロンの出力信号が入力される。なお、各ニューロンは、前後の層の全てのニューロンと結合されていてもよいし(全結合)、一部のニューロンと結合されていてもよい。
図20(B)に、ニューロンによる演算の例を示す。ここでは、ニューロンNと、ニューロンNに信号を出力する前層の2つのニューロンを示している。ニューロンNには、前層のニューロンの出力xと、前層のニューロンの出力xが入力される。そして、ニューロンNにおいて、出力xと重みwの乗算結果(x)と出力xと重みwの乗算結果(x)の総和x+xが計算された後、必要に応じてバイアスbが加算され、値a=x+x+bが得られる。そして、値aは活性化関数hによって変換され、ニューロンNから出力信号y=h(a)が出力される。
このように、ニューロンによる演算には、前層のニューロンの出力と重みの積を足し合わせる演算、すなわち積和演算が含まれる(上記のx+x)。この積和演算は、プログラムを用いてソフトウェア上で行ってもよいし、ハードウェアによって行われてもよい。積和演算をハードウェアによって行う場合は、積和演算回路を用いることができる。この積和演算回路としては、デジタル回路を用いてもよいし、アナログ回路を用いてもよい。積和演算回路にアナログ回路を用いる場合、積和演算回路の回路規模の縮小、または、メモリへのアクセス回数の減少による処理速度の向上および消費電力の低減を図ることができる。
積和演算回路は、Siトランジスタによって構成してもよいし、OSトランジスタによって構成してもよい。特に、OSトランジスタはオフ電流が極めて小さいため、積和演算回路のメモリを構成するトランジスタとして好適である。なお、SiトランジスタとOSトランジスタの両方を用いて積和演算回路を構成してもよい。以下、積和演算回路の機能を備えた半導体装置の構成例について説明する。
<半導体装置の構成例>
図21に、ニューラルネットワークの演算を行う機能を有する半導体装置MACの構成例を示す。半導体装置MACは、ニューロン間の結合強度(重み)に対応する第1のデータと、入力データに対応する第2のデータの積和演算を行う機能を有する。なお、第1のデータおよび第2のデータはそれぞれ、アナログデータまたは多値のデジタルデータ(離散的なデータ)とすることができる。また、半導体装置MACは、積和演算によって得られたデータを活性化関数によって変換する機能を有する。
半導体装置MACは、セルアレイCA、電流源回路CS、カレントミラー回路CM、回路WDD、回路WLD、回路CLD、オフセット回路OFST、および活性化関数回路ACTVを有する。
セルアレイCAは、複数のメモリセルMCおよび複数のメモリセルMCrefを有する。図21には、セルアレイCAがm行n列(m,nは1以上の整数)のメモリセルMC(MC[1,1]乃至[m,n])と、m個のメモリセルMCref(MCref[1]乃至[m])を有する構成例を示している。メモリセルMCは、第1のデータを格納する機能を有する。また、メモリセルMCrefは、積和演算に用いられる参照データを格納する機能を有する。なお、参照データはアナログデータまたは多値のデジタルデータとすることができる。
メモリセルMC[i,j](iは1以上m以下の整数、jは1以上n以下の整数)は、配線WL[i]、配線RW[i]、配線WD[j]、および配線BL[j]と接続されている。また、メモリセルMCref[i]は、配線WL[i]、配線RW[i]、配線WDref、配線BLrefと接続されている。ここで、メモリセルMC[i,j]と配線BL[j]間を流れる電流をIMC[i,j]と表記し、メモリセルMCref[i]と配線BLref間を流れる電流をIMCref[i]と表記する。
メモリセルMCおよびメモリセルMCrefの具体的な構成例を、図22に示す。図22には代表例としてメモリセルMC[1,1]、[2,1]およびメモリセルMCref[1]、[2]を示しているが、他のメモリセルMCおよびメモリセルMCrefにも同様の構成を用いることができる。メモリセルMCおよびメモリセルMCrefはそれぞれ、トランジスタTr11、トランジスタTr12、容量素子C11を有する。ここでは、トランジスタTr11およびトランジスタTr12がnチャネル型のトランジスタである場合について説明する。
メモリセルMCにおいて、トランジスタTr11のゲートは配線WLと接続され、ソースまたはドレインの一方はトランジスタTr12のゲート、および容量素子C11の第1の電極と接続され、ソースまたはドレインの他方は配線WDと接続されている。トランジスタTr12のソースまたはドレインの一方は配線BLと接続され、ソースまたはドレインの他方は配線VRと接続されている。容量素子C11の第2の電極は、配線RWと接続されている。配線VRは、所定の電位を供給する機能を有する配線である。ここでは一例として、配線VRから低電源電位(接地電位等)が供給される場合について説明する。
トランジスタTr11のソースまたはドレインの一方、トランジスタTr12のゲート、および容量素子C11の第1の電極と接続されたノードを、ノードNMとする。また、メモリセルMC[1,1]、[2,1]のノードNMを、それぞれノードNM[1,1]、[2,1]と表記する。
メモリセルMCrefも、メモリセルMCと同様の構成を有する。ただし、メモリセルMCrefは配線WDの代わりに配線WDrefと接続され、配線BLの代わりに配線BLrefと接続されている。また、メモリセルMCref[1]、[2]において、トランジスタTr11のソースまたはドレインの一方、トランジスタTr12のゲート、および容量素子C11の第1の電極と接続されたノードを、それぞれノードNMref[1]、[2]と表記する。
ノードNMとノードNMrefはそれぞれ、メモリセルMCとメモリセルMCrefの保持ノードとして機能する。ノードNMには第1のデータが保持され、ノードNMrefには参照データが保持される。また、配線BL[1]からメモリセルMC[1,1]、[2,1]のトランジスタTr12には、それぞれ電流IMC[1,1]、IMC[2,1]が流れる。また、配線BLrefからメモリセルMCref[1]、[2]のトランジスタTr12には、それぞれ電流IMCref[1]、IMCref[2]が流れる。
トランジスタTr11は、ノードNMまたはノードNMrefの電位を保持する機能を有するため、トランジスタTr11のオフ電流は小さいことが好ましい。そのため、トランジスタTr11としてオフ電流が極めて小さいOSトランジスタを用いることが好ましい。これにより、ノードNMまたはノードNMrefの電位の変動を抑えることができ、演算精度の向上を図ることができる。また、ノードNMまたはノードNMrefの電位をリフレッシュする動作の頻度を低く抑えることが可能となり、消費電力を削減することができる。
トランジスタTr12は特に限定されず、例えばSiトランジスタまたはOSトランジスタ等を用いることができる。トランジスタTr12にOSトランジスタを用いる場合、トランジスタTr11と同じ製造装置を用いて、トランジスタTr12を作製することが可能となり、製造コストを抑制することができる。なお、トランジスタTr12はnチャネル型であってもpチャネル型であってもよい。
電流源回路CSは、配線BL[1]乃至[n]および配線BLrefと接続されている。電流源回路CSは、配線BL[1]乃至[n]および配線BLrefに電流を供給する機能を有する。なお、配線BL[1]乃至[n]に供給される電流値と配線BLrefに供給される電流値は異なっていてもよい。ここでは、電流源回路CSから配線BL[1]乃至[n]に供給される電流をI、電流源回路CSから配線BLrefに供給される電流をICrefと表記する。
カレントミラー回路CMは、配線IL[1]乃至[n]および配線ILrefを有する。配線IL[1]乃至[n]はそれぞれ配線BL[1]乃至[n]と接続され、配線ILrefは、配線BLrefと接続されている。ここでは、配線IL[1]乃至[n]と配線BL[1]乃至[n]の接続箇所をノードNP[1]乃至[n]と表記する。また、配線ILrefと配線BLrefの接続箇所をノードNPrefと表記する。
カレントミラー回路CMは、ノードNPrefの電位に応じた電流ICMを配線ILrefに流す機能と、この電流ICMを配線IL[1]乃至[n]にも流す機能を有する。図21には、配線BLrefから配線ILrefに電流ICMが排出され、配線BL[1]乃至[n]から配線IL[1]乃至[n]に電流ICMが排出される例を示している。また、カレントミラー回路CMから配線BL[1]乃至[n]を介してセルアレイCAに流れる電流を、I[1]乃至[n]と表記する。また、カレントミラー回路CMから配線BLrefを介してセルアレイCAに流れる電流を、IBrefと表記する。
回路WDDは、配線WD[1]乃至[n]および配線WDrefと接続されている。回路WDDは、メモリセルMCに格納される第1のデータに対応する電位を、配線WD[1]乃至[n]に供給する機能を有する。また、回路WDDは、メモリセルMCrefに格納される参照データに対応する電位を、配線WDrefに供給する機能を有する。回路WLDは、配線WL[1]乃至[m]と接続されている。回路WLDは、データの書き込みを行うメモリセルMCまたはメモリセルMCrefを選択するための信号を、配線WL[1]乃至[m]に供給する機能を有する。回路CLDは、配線RW[1]乃至[m]と接続されている。回路CLDは、第2のデータに対応する電位を、配線RW[1]乃至[m]に供給する機能を有する。
オフセット回路OFSTは、配線BL[1]乃至[n]および配線OL[1]乃至[n]と接続されている。オフセット回路OFSTは、配線BL[1]乃至[n]からオフセット回路OFSTに流れる電流量、および/または、配線BL[1]乃至[n]からオフセット回路OFSTに流れる電流の変化量を検出する機能を有する。また、オフセット回路OFSTは、検出結果を配線OL[1]乃至[n]に出力する機能を有する。なお、オフセット回路OFSTは、検出結果に対応する電流を配線OLに出力してもよいし、検出結果に対応する電流を電圧に変換して配線OLに出力してもよい。セルアレイCAとオフセット回路OFSTの間を流れる電流を、Iα[1]乃至[n]と表記する。
オフセット回路OFSTの構成例を図23に示す。図23に示すオフセット回路OFSTは、回路OC[1]乃至[n]を有する。また、回路OC[1]乃至[n]はそれぞれ、トランジスタTr21、トランジスタTr22、トランジスタTr23、容量素子C21、および抵抗素子R1を有する。各素子の接続関係は図23に示す通りである。なお、容量素子C21の第1の電極および抵抗素子R1の第1の端子と接続されたノードを、ノードNaとする。また、容量素子C21の第2の電極、トランジスタTr21のソースまたはドレインの一方、およびトランジスタTr22のゲートと接続されたノードを、ノードNbとする。
配線VrefLは電位Vrefを供給する機能を有し、配線VaLは電位Vaを供給する機能を有し、配線VbLは電位Vbを供給する機能を有する。また、配線VDDLは電位VDDを供給する機能を有し、配線VSSLは電位VSSを供給する機能を有する。ここでは、電位VDDが高電源電位であり、電位VSSが低電源電位である場合について説明する。また、配線RSTは、トランジスタTr21の導通状態を制御するための電位を供給する機能を有する。トランジスタTr22、トランジスタTr23、配線VDDL、配線VSSL、および配線VbLによって、ソースフォロワ回路が構成される。
次に、回路OC[1]乃至[n]の動作例を説明する。なお、ここでは代表例として回路OC[1]の動作例を説明するが、回路OC[2]乃至[n]も同様に動作させることができる。まず、配線BL[1]に第1の電流が流れると、ノードNaの電位は、第1の電流と抵抗素子R1の抵抗値に応じた電位となる。また、このときトランジスタTr21はオン状態であり、ノードNbに電位Vaが供給される。その後、トランジスタTr21はオフ状態となる。
次に、配線BL[1]に第2の電流が流れると、ノードNaの電位は、第2の電流と抵抗素子R1の抵抗値に応じた電位に変化する。このときトランジスタTr21はオフ状態であり、ノードNbはフローティング状態となっているため、ノードNaの電位の変化に伴い、ノードNbの電位は容量結合により変化する。ここで、ノードNaの電位の変化をΔVNaとし、容量結合係数を1とすると、ノードNbの電位はVa+ΔVNaとなる。そして、トランジスタTr22のしきい値電圧をVthとすると、配線OL[1]から電位Va+ΔVNa-Vthが出力される。ここで、Va=Vthとすることにより、配線OL[1]から電位ΔVNaを出力することができる。
電位ΔVNaは、第1の電流から第2の電流への変化量、抵抗素子R1、および電位Vrefに応じて定まる。ここで、抵抗素子R1と電位Vrefは既知であるため、電位ΔVNaから配線BLに流れる電流の変化量を求めることができる。
上記のようにオフセット回路OFSTによって検出された電流量、および/または電流の変化量に対応する信号は、配線OL[1]乃至[n]を介して活性化関数回路ACTVに入力される。
活性化関数回路ACTVは、配線OL[1]乃至[n]、および、配線NIL[1]乃至[n]と接続されている。活性化関数回路ACTVは、オフセット回路OFSTから入力された信号を、あらかじめ定義された活性化関数に従って変換するための演算を行う機能を有する。活性化関数としては、例えば、シグモイド関数、tanh関数、softmax関数、ReLU関数、しきい値関数等を用いることができる。活性化関数回路ACTVによって変換された信号は、出力データとして配線NIL[1]乃至[n]に出力される。
<半導体装置の動作例>
上記の半導体装置MACを用いて、第1のデータと第2のデータの積和演算を行うことができる。以下、積和演算を行う際の半導体装置MACの動作例を説明する。
図24に半導体装置MACの動作例のタイミングチャートを示す。図24には、図22における配線WL[1]、配線WL[2]、配線WD[1]、配線WDref、ノードNM[1,1]、ノードNM[2,1]、ノードNMref[1]、ノードNMref[2]、配線RW[1]、および配線RW[2]の電位の推移と、電流I[1]-Iα[1]、および電流IBrefの値の推移を示している。電流I[1]-Iα[1]は、配線BL[1]からメモリセルMC[1,1]、[2,1]に流れる電流の総和に相当する。
なお、ここでは代表例として図22に示すメモリセルMC[1,1]、[2,1]およびメモリセルMCref[1]、[2]に着目して動作を説明するが、他のメモリセルMCおよびメモリセルMCrefも同様に動作させることができる。
[第1のデータの格納]
まず、時刻T01-T02において、配線WL[1]の電位がハイレベルとなり、配線WD[1]の電位が接地電位(GND)よりもVPR-VW[1,1]大きい電位となり、配線WDrefの電位が接地電位よりもVPR大きい電位となる。また、配線RW[1]、および配線RW[2]の電位が基準電位(REFP)となる。なお、電位VW[1,1]はメモリセルMC[1,1]に格納される第1のデータに対応する電位である。また、電位VPRは参照データに対応する電位である。これにより、メモリセルMC[1,1]およびメモリセルMCref[1]が有するトランジスタTr11がオン状態となり、ノードNM[1,1]の電位がVPR-VW[1,1]、ノードNMref[1]の電位がVPRとなる。
このとき、配線BL[1]からメモリセルMC[1,1]のトランジスタTr12に流れる電流IMC[1,1],0は、次の式で表すことができる。ここで、kはトランジスタTr12のチャネル長、チャネル幅、移動度、およびゲート絶縁膜の容量等で決まる定数である。また、VthはトランジスタTr12のしきい値電圧である。
Figure 0007167022000001
また、配線BLrefからメモリセルMCref[1]のトランジスタTr12に流れる電流IMCref[1],0は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000002
次に、時刻T02-T03において、配線WL[1]の電位がローレベルとなる。これにより、メモリセルMC[1,1]およびメモリセルMCref[1]が有するトランジスタTr11がオフ状態となり、ノードNM[1,1]およびノードNMref[1]の電位が保持される。
なお、前述の通り、トランジスタTr11としてOSトランジスタを用いることが好ましい。これにより、トランジスタTr11のリーク電流を抑えることができ、ノードNM[1,1]およびノードNMref[1]の電位を正確に保持することができる。
次に、時刻T03-T04において、配線WL[2]の電位がハイレベルとなり、配線WD[1]の電位が接地電位よりもVPR-VW[2,1]大きい電位となり、配線WDrefの電位が接地電位よりもVPR大きい電位となる。なお、電位VW[2,1]はメモリセルMC[2,1]に格納される第1のデータに対応する電位である。これにより、メモリセルMC[2,1]およびメモリセルMCref[2]が有するトランジスタTr11がオン状態となり、ノードNM[1,1]の電位がVPR-VW[2,1]、ノードNMref[1]の電位がVPRとなる。
このとき、配線BL[1]からメモリセルMC[2,1]のトランジスタTr12に流れる電流IMC[2,1],0は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000003
また、配線BLrefからメモリセルMCref[2]のトランジスタTr12に流れる電流IMCref[2],0は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000004
次に、時刻T04-T05において、配線WL[2]の電位がローレベルとなる。これにより、メモリセルMC[2,1]およびメモリセルMCref[2]が有するトランジスタTr11がオフ状態となり、ノードNM[2,1]およびノードNMref[2]の電位が保持される。
以上の動作により、メモリセルMC[1,1]、[2,1]に第1のデータが格納され、メモリセルMCref[1]、[2]に参照データが格納される。
ここで、時刻T04-T05において、配線BL[1]および配線BLrefに流れる電流を考える。配線BLrefには、電流源回路CSから電流が供給される。また、配線BLrefを流れる電流は、カレントミラー回路CM、メモリセルMCref[1]、[2]へ排出される。電流源回路CSから配線BLrefに供給される電流をICref、配線BLrefからカレントミラー回路CMへ排出される電流をICM,0とすると、次の式が成り立つ。
Figure 0007167022000005
配線BL[1]には、電流源回路CSからの電流が供給される。また、配線BL[1]を流れる電流は、カレントミラー回路CM、メモリセルMC[1,1]、[2,1]へ排出される。また、配線BL[1]からオフセット回路OFSTに電流が流れる。電流源回路CSから配線BL[1]に供給される電流をIC,0、配線BL[1]からオフセット回路OFSTに流れる電流をIα,0とすると、次の式が成り立つ。
Figure 0007167022000006
[第1のデータと第2のデータの積和演算]
次に、時刻T05-T06において、配線RW[1]の電位が基準電位よりもVX[1]大きい電位となる。このとき、メモリセルMC[1,1]、およびメモリセルMCref[1]のそれぞれの容量素子C11には電位VX[1]が供給され、容量結合によりトランジスタTr12のゲートの電位が上昇する。なお、電位Vx[1]はメモリセルMC[1,1]およびメモリセルMCref[1]に供給される第2のデータに対応する電位である。
トランジスタTr12のゲートの電位の変化量は、配線RWの電位の変化量に、メモリセルの構成によって決まる容量結合係数を乗じた値となる。容量結合係数は、容量素子C11の容量、トランジスタTr12のゲート容量、および寄生容量等によって算出される。以下では便宜上、配線RWの電位の変化量とトランジスタTr12のゲートの電位の変化量が同じ、すなわち容量結合係数が1であるとして説明する。実際には、容量結合係数を考慮して電位Vを決定すればよい。
メモリセルMC[1,1]およびメモリセルMCref[1]の容量素子C11に電位VX[1]が供給されると、ノードNM[1,1]およびノードNMref[1]の電位がそれぞれVX[1]上昇する。
ここで、時刻T05-T06において、配線BL[1]からメモリセルMC[1,1]のトランジスタTr12に流れる電流IMC[1,1],1は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000007
すなわち、配線RW[1]に電位VX[1]を供給することにより、配線BL[1]からメモリセルMC[1,1]のトランジスタTr12に流れる電流は、ΔIMC[1,1]=IMC[1,1],1-IMC[1,1],0増加する。
また、時刻T05-T06において、配線BLrefからメモリセルMCref[1]のトランジスタTr12に流れる電流IMCref[1],1は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000008
すなわち、配線RW[1]に電位VX[1]を供給することにより、配線BLrefからメモリセルMCref[1]のトランジスタTr12に流れる電流は、ΔIMCref[1]=IMCref[1],1-IMCref[1],0増加する。
また、配線BL[1]および配線BLrefに流れる電流について考える。配線BLrefには、電流源回路CSから電流ICrefが供給される。また、配線BLrefを流れる電流は、カレントミラー回路CM、メモリセルMCref[1]、[2]へ排出される。配線BLrefからカレントミラー回路CMへ排出される電流をICM,1とすると、次の式が成り立つ。
Figure 0007167022000009
配線BL[1]には、電流源回路CSから電流Iが供給される。また、配線BL[1]を流れる電流は、カレントミラー回路CM、メモリセルMC[1,1]、[2,1]へ排出される。さらに、配線BL[1]からオフセット回路OFSTにも電流が流れる。配線BL[1]からオフセット回路OFSTに流れる電流をIα,1とすると、次の式が成り立つ。
Figure 0007167022000010
そして、式(E1)乃至式(E10)から、電流Iα,0と電流Iα,1の差(差分電流ΔIα)は次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000011
このように、差分電流ΔIαは、電位VW[1,1]とVX[1]の積に応じた値となる。
その後、時刻T06-T07において、配線RW[1]の電位は接地電位となり、ノードNM[1,1]およびノードNMref[1]の電位は時刻T04-T05と同様になる。
次に、時刻T07-T08において、配線RW[1]の電位が基準電位よりもVX[1]大きい電位となり、配線RW[2]の電位が基準電位よりもVX[2]大きい電位が供給される。これにより、メモリセルMC[1,1]、およびメモリセルMCref[1]のそれぞれの容量素子C11に電位Vが供給され、容量結合によりノードNM[1,1]およびノードNMref[1]の電位がそれぞれVX[1]上昇する。また、メモリセルMC[2,1]、およびメモリセルMCref[2]のそれぞれの容量素子C11に電位VX[2]が供給され、容量結合によりノードNM[2,1]およびノードNMref[2]の電位がそれぞれVX[2]上昇する。
ここで、時刻T07-T08において、配線BL[1]からメモリセルMC[2,1]のトランジスタTr12に流れる電流IMC[2,1],1は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000012
すなわち、配線RW[2]に電位VX[2]を供給することにより、配線BL[1]からメモリセルMC[2,1]のトランジスタTr12に流れる電流は、ΔIMC[2,1]=IMC[2,1],1-IMC[2,1],0増加する。
また、時刻T05-T06において、配線BLrefからメモリセルMCref[2]のトランジスタTr12に流れる電流IMCref[2],1は、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000013
すなわち、配線RW[2]に電位VX[2]を供給することにより、配線BLrefからメモリセルMCref[2]のトランジスタTr12に流れる電流は、ΔIMCref[2]=IMCref[2],1-IMCref[2],0増加する。
また、配線BL[1]および配線BLrefに流れる電流について考える。配線BLrefには、電流源回路CSから電流ICrefが供給される。また、配線BLrefを流れる電流は、カレントミラー回路CM、メモリセルMCref[1]、[2]へ排出される。配線BLrefからカレントミラー回路CMへ排出される電流をICM,2とすると、次の式が成り立つ。
Figure 0007167022000014
配線BL[1]には、電流源回路CSから電流Iが供給される。また、配線BL[1]を流れる電流は、カレントミラー回路CM、メモリセルMC[1,1]、[2,1]へ排出される。さらに、配線BL[1]からオフセット回路OFSTにも電流が流れる。配線BL[1]からオフセット回路OFSTに流れる電流をIα,2とすると、次の式が成り立つ。
Figure 0007167022000015
そして、式(E1)乃至式(E8)、および、式(E12)乃至式(E15)から、電流Iα,0と電流Iα,2の差(差分電流ΔIα)は次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000016
このように、差分電流ΔIαは、電位VW[1,1]と電位VX[1]の積と、電位VW[2,1]と電位VX[2]の積と、を足し合わせた結果に応じた値となる。
その後、時刻T08-T09において、配線RW[1]、[2]の電位は接地電位となり、ノードNM[1,1]、[2,1]およびノードNMref[1]、[2]の電位は時刻T04-T05と同様になる。
式(E9)および式(E16)に示されるように、オフセット回路OFSTに入力される差分電流ΔIαは、第1のデータ(重み)に対応する電位Vと、第2のデータ(入力データ)に対応する電位Vの積を足し合わせた結果に応じた値となる。すなわち、差分電流ΔIαをオフセット回路OFSTで計測することにより、第1のデータと第2のデータの積和演算の結果を得ることができる。
なお、上記では特にメモリセルMC[1,1]、[2,1]およびメモリセルMCref[1]、[2]に着目したが、メモリセルMCおよびメモリセルMCrefの数は任意に設定することができる。メモリセルMCおよびメモリセルMCrefの行数mを任意の数とした場合の差分電流ΔIαは、次の式で表すことができる。
Figure 0007167022000017
また、メモリセルMCおよびメモリセルMCrefの列数nを増やすことにより、並列して実行される積和演算の数を増やすことができる。
以上のように、半導体装置MACを用いることにより、第1のデータと第2のデータの積和演算を行うことができる。なお、メモリセルMCおよびメモリセルMCrefとして図22に示す構成を用いることにより、少ないトランジスタ数で積和演算回路を構成することができる。そのため、半導体装置MACの回路規模の縮小を図ることができる。
半導体装置MACをニューラルネットワークにおける演算に用いる場合、メモリセルMCの行数mは一のニューロンに供給される入力データの数に対応させ、メモリセルMCの列数nはニューロンの数に対応させることができる。例えば、図20(A)に示す中間層HLにおいて半導体装置MACを用いた積和演算を行う場合を考える。このとき、メモリセルMCの行数mは、入力層ILから供給される入力データの数(入力層ILのニューロンの数)に設定し、メモリセルMCの列数nは、中間層HLのニューロンの数に設定することができる。
なお、半導体装置MACを適用するニューラルネットワークの構造は特に限定されない。例えば半導体装置MACは、畳み込みニューラルネットワーク(CNN)、再帰型ニューラルネットワーク(RNN)、オートエンコーダ、ボルツマンマシン(制限ボルツマンマシンを含む)等に用いることもできる。
以上のように、半導体装置MACを用いることにより、ニューラルネットワークの積和演算を行うことができる。さらに、セルアレイCAに図22に示すメモリセルMCおよびメモリセルMCrefを用いることにより、演算精度の向上、消費電力の削減、または回路規模の縮小を図ることが可能なICを提供することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC(Cloud-Aligned Composite)-OSの構成について説明する。
CAC-OSとは、例えば、酸化物半導体を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、酸化物半導体において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウム等から選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OS(CAC-OSの中でもIn-Ga-Zn酸化物を、特にCAC-IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とする。)等と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、およびZ4は0よりも大きい実数)とする。)等と、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC-OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合酸化物半導体である。なお、本明細書等において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、およびOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1-x0)(ZnO)m0(-1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa-b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC-OSは、酸化物半導体の材料構成に関する。CAC-OSとは、In、Ga、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC-OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC-OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウム等から選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC-OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC-OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC-OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、および窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC-OSは、X線回折(XRD:X-ray diffraction)測定法のひとつであるOut-of-plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa-b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
またCAC-OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC-OSの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano-crystal)構造を有することがわかる。
また例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC-OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC-OSは、GaOX3等が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3等が主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3等が主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3等が主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
従って、CAC-OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3等に起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC-OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC-OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示システムを適用可能な移動体の例について説明する。
図25(A)は自動車301である。本発明の一態様の表示システムは、自動車301に適用することができる。例えば、本発明の一態様の表示システムを構成する撮像装置を、自動車301に設けることにより、自動車301の外部の様子を撮像することができる。撮像装置により取得された撮像データが明暗差の大きい撮像データであり、表示装置のダイナミックレンジが撮像装置のダイナミックレンジより低い場合であっても、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる。
図25(B)はバス302である。本発明の一態様の表示システムは、バス302に適用することができる。例えば、本発明の一態様の表示システムを構成する撮像装置を、バス302に設けることにより、バス302の外部の様子を撮像することができる。撮像装置により取得された撮像データが明暗差の大きい撮像データであり、表示装置のダイナミックレンジが撮像装置のダイナミックレンジより低い場合であっても、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる。
図25(C)は列車303である。本発明の一態様の表示システムは、列車303に適用することができる。例えば、本発明の一態様の表示システムを構成する撮像装置を、列車303に設けることにより、列車303の外部の様子を撮像することができる。撮像装置により取得された撮像データが明暗差の大きい撮像データであり、表示装置のダイナミックレンジが撮像装置のダイナミックレンジより低い場合であっても、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる。
図25(D)は飛行機304である。本発明の一態様の表示システムは、飛行機304に適用することができる。例えば、本発明の一態様の表示システムを構成する撮像装置を、飛行機304に設けることにより、飛行機304の外部の様子を撮像することができる。撮像装置により取得された撮像データが明暗差の大きい撮像データであり、表示装置のダイナミックレンジが撮像装置のダイナミックレンジより低い場合であっても、表示される画像が不鮮明となることを抑制しつつ、ダイナミックレンジ圧縮を行うことができる。
本実施の形態は、他の実施の形態の記載と適宜組み合わせることができる。
10:表示システム、20:撮像装置、21:画素、22:画素アレイ、23:ロードライバ、25:A/D変換回路、26:カラムドライバ、30:制御装置、31:解析回路、32:階調決定回路、33:記憶回路、34:予測回路、40:表示装置、41:画素、42:画素アレイ、43:ロードライバ、46:カラムドライバ、47:階調、50:照度域、51:ネットワーク、52:サーバ、53:機器、131:導電層、132:導電層、133:導電層、134:導電層、135:バックゲート、136:領域、137:導電層、140:シリコン基板、141:絶縁層、142:絶縁層、143:絶縁層、145:半導体層、146:絶縁層、150:光電変換素子、151:トランジスタ、152:トランジスタ、153:トランジスタ、154:トランジスタ、155:容量素子、161:層、162:層、163:層、165a:層、165b:層、165c:層、166a:層、166b:層、166c:層、166d:層、171:配線、172:配線、173:配線、174:配線、175:配線、176:配線、177:配線、178:配線、180:絶縁層、181:遮光層、182:有機樹脂層、183:カラーフィルタ、183a:カラーフィルタ、183b:カラーフィルタ、183c:カラーフィルタ、184:マイクロレンズアレイ、185:光学変換層、186:絶縁層、301:自動車、302:バス、303:列車、304:飛行機、410:パッケージ基板、411:パッケージ基板、420:カバーガラス、421:レンズカバー、430:接着剤、435:レンズ、440:バンプ、441:ランド、450:イメージセンサチップ、451:イメージセンサチップ、460:電極パッド、461:電極パッド、470:ワイヤ、471:ワイヤ、490:ICチップ、510:導電層、511:導電層、512:半導体層、516:導電層、517:導電層、1405:コントローラ、1410:行回路、1411:デコーダ、1412:ワード線ドライバ回路、1413:列セレクタ、1414:センスアンプドライバ回路、1415:列回路、1416:グローバルセンスアンプアレイ、1417:入出力回路、1420:センスアンプアレイ、1422:メモリセルアレイ、1423:センスアンプアレイ、1425:ローカルメモリセルアレイ、1426:ローカルメモリセルアレイ、1445:メモリセル、1445a:メモリセル、1445b:メモリセル、1447:グローバルセンスアンプ、3125:発光素子、3174:配線、3178:配線、3232:トランジスタ、3233:容量素子、3431:トランジスタ、3432:液晶素子、3435:ノード、3436:ノード、3437:ノード、4001:基板、4005:シール材、4006:基板、4008:液晶層、4014:配線、4015:導電層、4018:FPC、4019:異方性導電層、4021:導電層、4030:導電層、4031:導電層、4032:絶縁層、4033:絶縁層、4035:スペーサ、4102:絶縁層、4103:絶縁層、4110:絶縁層、4111:絶縁層、4112:絶縁層、4510:隔壁、4511:発光層、4514:充填材

Claims (5)

  1. 撮像装置と、制御装置と、表示装置と、を有する表示システムであって、
    前記撮像装置は、マトリクス状に配置された第1の画素を有し、
    前記表示装置は、マトリクス状に配置された第2の画素を有し、
    前記撮像装置は、前記第1の画素に照射された光の照度を基にして、第1の画像データを生成する機能を有し、
    前記制御装置は、前記第1の画像データを基に、ヒストグラム作成する機能を有し、
    前記制御装置は、前記ヒストグラムを、二以上の照度域に分割する機能を有し、
    前記制御装置は、前記第1の画像データが情報として有する、前記第1の画素に照射された光の照度に対応する階調を変換することにより、前記第1の画像データに対してダイナミックレンジ圧縮を行った第2の画像データを生成する機能を有し、
    前記制御装置は、それぞれの前記照度域における前記ヒストグラムの積分値を基に、前記ダイナミックレンジ圧縮における圧縮率を、前記照度域ごとに計算する機能を有し、
    前記制御装置は、ニューラルネットワークを有し、
    前記ニューラルネットワークは、前記第1の画像データを基にして、前記第1の画像データが取得されたフレーム期間より後のフレーム期間において前記撮像装置が取得する第3の画像データを予測する機能を有する表示システム。
  2. 請求項1において、
    前記積分値が大きい前記照度域における前記圧縮率は、前記積分値が小さい前記照度域における前記圧縮率より小さい表示システム。
  3. 請求項1または2において、
    前記制御装置は、前記第3の画像データを基にして、前記圧縮率を更新するか否かを判定する機能を有する表示システム。
  4. 第1の画素がマトリクス状に配列された撮像装置と、制御装置と、第2の画素がマトリクス状に配列された表示装置と、を有する表示システムの動作方法であって、
    前記撮像装置が、前記第1の画素に照射された光の照度を基にして、第1の画像データを生成し、
    前記制御装置が、前記第1の画像データを基に、ヒストグラムを作成し、
    前記制御装置が、前記ヒストグラムを、二以上の照度域に分割し、
    前記制御装置が、前記第1の画像データが情報として有する、前記第1の画素に照射された光の照度に対応する階調を変換することにより、それぞれの前記照度域における前記ヒストグラムの積分値を基に前記照度域ごとに計算した圧縮率で、前記第1の画像データに対してダイナミックレンジ圧縮を行った第2の画像データを生成する機能を有し、
    前記制御装置は、ニューラルネットワークを有し、
    前記ニューラルネットワークにより、前記第1の画像データを基にして、前記第1の画像データが取得されたフレーム期間より後のフレーム期間において前記撮像装置が取得する第3の画像データを予測し、
    前記第3の画像データを基に、前記圧縮率を更新するか否かを判定する表示システムの動作方法。
  5. 請求項において、
    前記積分値が大きい前記照度域における前記圧縮率が、前記積分値が小さい前記照度域における前記圧縮率より小さくなるように、前記第1の画像データに対して前記ダイナミックレンジ圧縮を行う表示システムの動作方法。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108766349B (zh) * 2018-06-19 2021-03-23 京东方科技集团股份有限公司 像素电路及其驱动方法、阵列基板、显示面板
JPWO2021064511A1 (ja) * 2019-10-04 2021-04-08
CN116472575A (zh) * 2021-11-18 2023-07-21 瑞仪光电(苏州)有限公司 显示装置、电流校正值的建立方法与电流校正***
CN114220371A (zh) * 2021-12-10 2022-03-22 西安诺瓦星云科技股份有限公司 全灰阶逐点校正方法及相关装置
JP2023110325A (ja) * 2022-01-28 2023-08-09 キヤノン株式会社 カメラシステム、移動体、カメラシステムの制御方法、及びコンピュータプログラム
WO2023172679A1 (en) * 2022-03-11 2023-09-14 Applied Materials, Inc. Display pixels made from stacked micro-led structures and photoluminescent materials

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003299107A (ja) 2002-03-29 2003-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 撮像装置
JP2008172566A (ja) 2007-01-12 2008-07-24 Mitsubishi Electric Corp 撮像装置及び撮像方法
US20090263037A1 (en) 2008-04-18 2009-10-22 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Method and Apparatus for Enhancing the Dynamic Range of an Image
JP2014531821A (ja) 2011-09-27 2014-11-27 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 画像のダイナミックレンジ変換のための装置及び方法
JP2015115789A (ja) 2013-12-12 2015-06-22 ソニー株式会社 撮像装置、撮像信号処理回路、及び、撮像信号処理方法、並びに、表示装置、画像信号処理回路、及び、画像信号処理方法
JP2016511871A (ja) 2013-01-25 2016-04-21 ドルビー ラボラトリーズ ライセンシング コーポレイション グローバルなディスプレイ管理ベースの光変調
US20160284095A1 (en) 2015-03-27 2016-09-29 Edmond Chalom Machine learning of real-time image capture parameters

Family Cites Families (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5305012A (en) 1992-04-15 1994-04-19 Reveo, Inc. Intelligent electro-optical system and method for automatic glare reduction
JPH064795A (ja) * 1992-06-17 1994-01-14 Hitachi Ltd 交通状況監視方法と装置および交通流監視制御システム
JP3501252B2 (ja) 1995-06-16 2004-03-02 三菱電機株式会社 階調補正装置
US6760484B1 (en) 2000-01-26 2004-07-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method for improved contrast mapping of digital images
JP4556319B2 (ja) 2000-10-27 2010-10-06 ソニー株式会社 画像処理装置および方法、並びに記録媒体
AU2003214595A1 (en) 2002-03-07 2003-09-16 Yechezkal Evan Spero Enhanced vision for driving
JP4261290B2 (ja) * 2003-08-25 2009-04-30 富士フイルム株式会社 画像処理装置および方法並びにプログラム
DE10350779A1 (de) 2003-10-30 2005-06-02 Robert Bosch Gmbh Spurhaltesystem für ein Kraftfahrzeug und Betriebsverfahren
JP4533762B2 (ja) 2005-01-19 2010-09-01 日立オートモティブシステムズ株式会社 可変透過率ウィンドウシステム
US7134707B2 (en) 2005-02-10 2006-11-14 Motorola, Inc. Selective light attenuation system
JP2007060511A (ja) * 2005-08-26 2007-03-08 Fujitsu Ten Ltd 物体判別装置、物体判別方法および物体判別プログラム
EP2061233B1 (en) 2006-09-14 2013-06-26 Mitsubishi Electric Corporation Image processing device and image processing method
JP4337911B2 (ja) 2007-05-24 2009-09-30 ソニー株式会社 撮像装置、撮像回路、および撮像方法
US8143563B2 (en) 2007-09-05 2012-03-27 Craig Broude Enhanced glare reduction
US8140219B2 (en) 2008-02-13 2012-03-20 Cernasov Nathalie Grace Automatic glare reduction system for vehicles
WO2012004709A1 (en) 2010-07-06 2012-01-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Generation of high dynamic range images from low dynamic range images
US8519397B2 (en) * 2010-12-10 2013-08-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Photoelectric conversion element, photoelectric conversion circuit, and display device
EP3588940B1 (en) 2013-07-04 2023-03-22 Nikon Corporation Electronic apparatus, method for controlling electronic apparatus, and control program
FR3010964B1 (fr) 2013-09-26 2017-01-06 Valeo Vision Dispositif d'aide a la conduite, procede et programme d'ordinateur, enregistrable dans une memoire d'un terminal mobile, pour la mise en œuvre dudit dispositif
CN105075234B (zh) 2013-09-30 2019-08-13 株式会社尼康 电子设备、电子设备的控制方法以及控制程序
JPWO2015050118A1 (ja) 2013-10-01 2017-03-09 株式会社ニコン 電子機器
JP6184877B2 (ja) 2014-01-09 2017-08-23 クラリオン株式会社 車両用外界認識装置
TWI656631B (zh) 2014-03-28 2019-04-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 攝像裝置
CN103971340A (zh) 2014-05-15 2014-08-06 中国科学院光电技术研究所 一种高位宽数字图像动态范围压缩和细节增强方法
CN110992914B (zh) 2014-10-06 2022-07-01 三星电子株式会社 显示设备及控制该显示设备的方法
KR102308507B1 (ko) 2014-10-06 2021-10-06 삼성전자주식회사 디스플레이 장치 및 그 제어 방법
JP6744108B2 (ja) * 2015-03-02 2020-08-19 株式会社半導体エネルギー研究所 トランジスタ、トランジスタの作製方法、半導体装置および電子機器
US9716852B2 (en) * 2015-04-03 2017-07-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Broadcast system
KR101683509B1 (ko) 2015-05-20 2016-12-07 현대자동차 주식회사 헤드램프 눈부심 방지 장치 및 이를 이용한 눈부심 방지 방법
JP6657925B2 (ja) 2015-06-04 2020-03-04 ソニー株式会社 車載カメラ・システム並びに画像処理装置
EP3310058B1 (en) * 2015-06-12 2023-02-22 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Image coding method, image decoding method, image coding device and image decoding device
WO2017037568A1 (en) * 2015-08-31 2017-03-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device or electronic device including the semiconductor device
US10896923B2 (en) 2015-09-18 2021-01-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of operating an imaging device with global shutter system
US10096720B2 (en) * 2016-03-25 2018-10-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Transistor, semiconductor device, and electronic device
WO2017168295A1 (ja) 2016-04-01 2017-10-05 株式会社半導体エネルギー研究所 移動体および移動体用システム
US10106018B2 (en) 2016-10-26 2018-10-23 International Business Machines Corporation Automated windshield glare elimination assistant
TW201824870A (zh) * 2016-12-08 2018-07-01 日商半導體能源研究所股份有限公司 電子裝置及包含該電子裝置的系統
US10377212B2 (en) 2017-08-11 2019-08-13 The Boeing Company Dynamic anti-glare system for a windshield of a vehicle
US10929987B2 (en) * 2017-08-16 2021-02-23 Nvidia Corporation Learning rigidity of dynamic scenes for three-dimensional scene flow estimation

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003299107A (ja) 2002-03-29 2003-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 撮像装置
JP2008172566A (ja) 2007-01-12 2008-07-24 Mitsubishi Electric Corp 撮像装置及び撮像方法
US20090263037A1 (en) 2008-04-18 2009-10-22 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Method and Apparatus for Enhancing the Dynamic Range of an Image
JP2014531821A (ja) 2011-09-27 2014-11-27 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 画像のダイナミックレンジ変換のための装置及び方法
JP2016511871A (ja) 2013-01-25 2016-04-21 ドルビー ラボラトリーズ ライセンシング コーポレイション グローバルなディスプレイ管理ベースの光変調
JP2015115789A (ja) 2013-12-12 2015-06-22 ソニー株式会社 撮像装置、撮像信号処理回路、及び、撮像信号処理方法、並びに、表示装置、画像信号処理回路、及び、画像信号処理方法
US20160284095A1 (en) 2015-03-27 2016-09-29 Edmond Chalom Machine learning of real-time image capture parameters

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