JP7150913B2 - 2つの基板をボンディングするための装置および方法 - Google Patents
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Description
- 前記第1の基板の収容のための第1の基板チャック、
- 前記第2の基板の収容のための第2の基板チャック、
を有し、少なくとも前記第1の基板チャックは、第1の凹部と該凹部を少なくとも部分的に取り囲む突出部とを有し、前記第1の凹部は、前記第1の基板を該第1の凹部内に固定するための固定装置を備えている。
さらなる実施形態に挙げられる基板チャックは、それぞれ1つの本発明による装置を形成する。
・ 機械的固定具、特に
○ クランプ、
・ 真空固定具、特に
○ 個別に制御可能な真空導管、
○ 互いに接続された真空導管、
を備える真空固定具、
・ 電気的固定具、特に
○ 静電的固定具、
・ 磁気的固定具、
・ 接着的固定具、特に
○ ゲルパック固定具、
○ 接着性の、特に制御可能な基板表面を備える固定具、
が含まれる。
第1の基板チャックは、同様に変形手段を有するか、または第1の基板の事前の湾曲を行うことができるように構成されていてもよい。そのような事前の湾曲は、規定されるフュージョンボンディングに良い影響を及ぼし得る。そのような変形手段の厳密な記載は、刊行物の国際公開第2014191033号(WO2014191033A1)に見出される。
Claims (12)
- 第1の基板(2o)の第1の基板表面(2os)と第2の基板(2u)の第2の基板表面(2us)とをボンディングするための装置(10、10’)であって、
- 前記第1の基板(2o)の収容のための第1の基板チャック(6o、6o’)、
- 前記第2の基板(2u)の収容のための第2の基板チャック(6u、6u’)、
を有する、装置(10、10’)において、
少なくとも前記第1の基板チャック(6o、6o’)は、第1の凹部(7o)と該凹部(7o)を少なくとも部分的に取り囲む突出部(8o)とを有し、前記第1の凹部(7o)が、前記第1の基板(2o)を該第1の凹部(7o)内に固定するための固定装置(3)を備えており、
当該装置(10、10’)は、更に、前記第1の凹部(7o)と連通する少なくとも1つの穿孔(11)を備えており、前記少なくとも1つの穿孔(11)は、前記第1の基板(2o)と前記第2の基板(2u)とをボンディングする前および/またはボンディングする間および/またはボンディングした後に、当該装置(10、10’)の内側空間を排気および/または洗浄するために使用されるものであり、前記少なくとも1つの穿孔(11)は、前記内側空間に正圧を形成するために使用することができ、前記内側空間内の前記正圧は、前記少なくとも1つの穿孔(11)を介して送られたガスおよび/またはガス混合物によって生成されており、
前記第1の凹部(7o)および/または前記突出部(8o)は、前記第1の基板(2o)の形状に、前記第1の基板表面(2os)が、該第1の基板表面(2os)の連続的な拡張のための前記突出部(8o)の拡張表面(8os)とほぼ連続的な表面を形成し、かつ/または前記第1の基板表面(2os)が前記突出部(8o)へと移行するように、適合されている、ことを特徴とする装置(10、10’)。 - 前記ガスおよび/またはガス混合物は、負のジュール-トムソン係数(JTK)を有するガスおよび/またはガス混合物である、請求項1記載の装置(10、10’)。
- 負のジュール-トムソン係数(JTK)を有する前記ガスおよび/またはガス混合物は、ヘリウムまたは水素またはネオンである、請求項2記載の装置(10、10’)。
- 前記正圧は、1barよりも高い、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 前記第1の基板チャック(6o、6o’)は、外側部材(1o’)と該外側部材(1o’)内で可動の内側部材(5o)とを有し、前記少なくとも1つの穿孔(11)は前記第1の凹部(7o)を排気および/または洗浄するためのものであり、該穿孔(11)は、対称的に分布するように、前記第1の基板チャック(6o、6o’)の前記外側部材(1o’)に配置されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 前記突出部(8o)は、前記第1の凹部(7o)の周囲に環状に形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 前記第1の凹部(7o)および/または前記突出部(8o)は、前記第1の基板表面(2os)が前記拡張表面(8os)とほぼ連続的な表面を形成し、かつ/または前記第1の基板表面(2os)が前記突出部(8o)へと移行するように、手動により、かつ/または半自動的に、かつ/または自動的に適合可能である、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 前記第1の基板チャック(6o、6o’)は、外側部材(1o’)と該外側部材(1o’)内で可動の内側部材(5o)とを有し、ここで前記外側部材および/または内側部材(5o)は、並進的および/または回転的に可動であり、前記各部材(1o’、5o)は互いに固定可能である、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 前記第1の基板表面(2os)と前記拡張表面(8os)との間の垂直距離(vo、vu)は、調整可能である、請求項7記載の装置(10、10’)。
- 前記突出部(8o、8’、8’’)は、内側に向かって、かつ/または外側に向かって湾曲した拡張表面(8o、8s’、8s’’)を有する、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 前記突出部(8o、8’’’、8IV)は、内側に向かって、かつ/または外側に向かって所定の角度(a)で傾斜した拡張表面(8o、8s’’’、8sIV)を有する、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(10、10’)。
- 請求項1から11までのいずれか1項記載の装置(10、10’)によって、第1の基板(2o)の第1の基板表面(2os)と第2の基板(2u)の第2の基板表面(2us)とをボンディングするための方法であって、前記基板表面(2os、2us)の間にボンディング過程に際して配置されるガスが、前記基板(2o、2u)の中央から辺縁部(9、9o、9u)に向かって押し退けられる、方法において、
当該装置(10、10’)の内側空間は、前記第1の基板(2o)と前記第2の基板(2u)とをボンディングする前および/またはボンディングする間および/またはボンディングした後に、少なくとも1つの穿孔(11)を介して排気および/または洗浄され、前記内部空間内に、前記穿孔(11)を介して送られたガスおよび/またはガス混合物によって正圧が生成され、
当該装置(10、10’)において、前記第1の凹部(7o)および/または前記突出部(8o)は、前記第1の基板(2o)の形状に、前記第1の基板表面(2os)が、該第1の基板表面(2os)の連続的な拡張のための前記突出部(8o)の拡張表面(8os)とほぼ連続的な表面を形成し、かつ/または前記第1の基板表面(2os)が前記突出部(8o)へと移行するように、適合されている、
ことを特徴とする方法。
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