JP7140959B2 - アクチュエータ及び光走査装置 - Google Patents
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Description
図1(A)は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の斜視図である。図1(B)は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の斜視図である。図2は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。本実施の形態に係る光走査部100は、セラミックパッケージとパッケージカバー等のパッケージ部材に収容して用いることができる。
図6は変形例に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。図6に示される光走査装置の光走査部では、水平駆動梁130A、130Bを構成する複数の水平梁133A1、133A2、133A3、133A4、133B1、133B2、133B3、133B4のそれぞれにセンサ梁134A1、134A2、134A3、134A4、134B1、134B2、134B3,134B4が形成されている。また、複数のセンサ梁134A1、134A2、134A3、134A4、134B1、134B2、134B3,134B4のそれぞれにセンサ用圧電素子135A1、135A2,135A3、135A4、135B1、135B2、135B3、135B4が形成されている。上記のように、破線で示される領域MA1、MA2における水平梁のそれぞれに、センサ梁とセンサ用圧電素子が設けられた構成である。
図7(A)は従来例3に係る光走査装置の光走査部の上面側の平面図である。駆動梁1133A上に駆動用圧電素子1131Aが形成されており、駆動用圧電素子1131Aの一部に切り欠きが設けられて、センサ用圧電素子1135Aが配置されている。
上記の実施例に係る光走査装置のセンサ梁長さに対するセンサ感度(センサ出力)をシミュレーションにより算出した。図10は実施例に係る光走査装置のセンサ梁長さに対するセンサ感度(センサ出力)を説明する図である。図10の横軸はセンサ梁長さ/センサ長さであり、センサ長さに対するセンサ梁長さで示している。図10の縦軸はセンサ感度(センサ出力)であり、水平回転軸の周りを回転する方向の1°あたりの出力電圧値である。センサ梁の長さはセンサ(センサ用圧電素子)の長さの1.5~2倍であることが好ましい。これにより、センサの感度を高めることができる。センサ梁の長さはセンサ(センサ用圧電素子)の長さの1.5倍未満では、センサ梁長さが短くなるほど感度が低下する。また、センサ梁の長さはセンサ(センサ用圧電素子)の長さの2倍を超えると、センサ梁長さを長くしても感度への影響が小さく、センサ梁は必要最小限の長さで十分であるので、2倍以下が好ましい。
110 ミラー
112 リブ
120 ミラー支持部
121A、121B 連結梁
130A、130B 水平駆動梁
131A、131B 水平駆動源
131A1、131A2、131A3、131A4 水平駆動源
131B1、131B2、131B3、131B4 水平駆動源
131X1、131X2、131X3、131X4 折り返し部
131Y1、131Y2、131Y3、131Y4 折り返し部
132 リブ
133A1、133A2、133A3、133A4、133B1、133B2、133B3、133B4 水平梁
134A、134B、134A1、134A2、134A3、134A4、134B1、134B2、134B3、134B4 センサ梁
135A、135B、135A1、135A2、135A3、135A4、135B1、135B2、135B3、135B4 センサ用圧電素子
160 可動枠
170A、170B 垂直駆動梁
171A、171B 垂直駆動源
171A1、171A2 垂直駆動源
171B1、171B2 垂直駆動源
171X、171Y 折り返し部
172 リブ
180 固定枠
195、196 センサ用圧電素子
Claims (7)
- 所定の軸に垂直な方向に延在する梁を有し、駆動対象物を支持する駆動梁と、
前記梁の一方の面上に形成された駆動源と、
前記梁と同じ方向に延在し、一端が前記梁の短手方向の側部に接続されたセンサ梁と、
前記センサ梁の前記一方の面と同じ側の面上に形成されたセンサと、
前記駆動梁が接続された枠部と、
を有し、
前記センサ梁の他端は前記枠部に接続され、
前記駆動源の駆動により前記所定の軸を回転する方向に前記駆動対象物を揺動駆動する
アクチュエータ。 - 前記センサは前記センサ梁が接続された前記梁の変位を検知する
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記センサは前記センサ梁の上の前記枠部の側に位置する
請求項1又は2に記載のアクチュエータ。 - 前記梁の長手方向における前記センサ梁の長さは、前記梁の前記長手方向における前記センサの長さの1.5~2倍である
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動梁は、前記所定の軸に垂直な方向に延在する複数の前記梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有する
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動梁を構成する複数の前記梁のそれぞれに前記センサ梁が形成されており、
複数の前記センサ梁のそれぞれに前記センサが形成されている、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - レーザ光を反射するミラーが形成されたミラー支持部と、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアクチュエータと、
を有し、
前記ミラー支持部は、前記駆動対象物である
光走査装置。
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