JP2019113605A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、第1の実施の形態に係る光走査装置について説明する。図1及び図2は、第1の実施の形態に係る光走査装置の一例を示す斜視図であり、図1はパッケージカバーを取り外した状態の光走査装置を示し、図2はパッケージカバーを取り付けた状態の光走査装置を示している。
第2の実施の形態に係る光走査装置について説明する。図11は、第2の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。図12は、第2の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の平面図である。
図15(A)は、第3の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。図15(B)は、第3の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の平面図である。本実施の形態に係る光走査部100Dは、第1の実施の形態と同様に、セラミックパッケージとパッケージカバー等のパッケージ部材に収容して用いることができ、光走査部以外の構成は第1の実施の形態と同様である。光走査部100Dは、ミラー110を揺動させて光源から照射されるレーザ入射光を走査する部分である。光走査部100は、例えば圧電素子によりミラー110を駆動させるMEMSミラー等である。光走査部100Dに設けられたミラー110にレーザ入射光を入射して、ミラー110から出射される光を2次元に走査する。
110 ミラー
120 ミラー支持部
122 スリット
130A、130B 梁
140A、140B、140C、140D 連結梁
150A、150B、150C、150D 水平駆動梁
151A、151B、151C、151D 水平駆動源
160 可動枠
161 ミラー支持体
170A、170B、170C、170D 垂直駆動梁
171A、171B、171C、171D 垂直駆動源
172A、172B 連結梁
180 固定枠
190A、190B 端子群
191、192、195、196 圧電センサ
200 セラミックパッケージ
300 パッケージカバー
300A 開口部
1000 光走査装置
Claims (17)
- 光反射面を有するミラーと、
前記ミラーを支持するミラー支持体と、
前記ミラー支持体の両側に配置されて前記ミラー支持体に接続される一対の駆動梁と、
前記駆動梁に設けられ、前記光反射面の中心を通る所定の軸の周りに前記ミラーを揺動させる駆動源と、
前記駆動梁を支持する固定枠と、を有し、
前記ミラーと前記ミラー支持体の重心は前記所定の軸上に位置する
光走査装置。 - 前記駆動梁は、前記所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の形状である
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記ミラー支持体は、
前記ミラーを支持するミラー支持部と、
前記ミラー支持部の両側に配置されて前記ミラー支持部に接続される一対の第2の駆動梁と、
前記駆動梁と前記第2の駆動梁を接続する可動枠と、
前記第2の駆動梁に設けられ、前記所定の軸と略直交し、前記光反射面の中心を通る第2の所定の軸の周りに前記ミラーを揺動させる第2の駆動源と、を有する
請求項1乃至2のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー支持体と前記駆動梁とが接続される一対のミラー支持体接続部は、前記所定の軸に対して一方の側に配置されており、
前記ミラー支持体は、前記所定の軸に対して前記一方の側よりも前記一方の側の反対側の方が重く形成されている
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記固定枠と前記駆動梁とが接続される一対の固定枠接続部は、前記所定の軸に対して一方の側に配置され、
前記ミラー支持体は、前記所定の軸に対して前記一方の側よりも前記一方の側の反対側の方が重く形成されている
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記固定枠と前記駆動梁とが接続される一対の固定枠接続部は、前記所定の軸に対して前記一方の側に配置されている
請求項4に記載の光走査装置。 - 前記ミラー支持体と前記駆動梁とが接続される一対のミラー支持体接続部は、前記所定の軸に対して前記一方の側の反対側に配置されている
ている
請求項5に記載の光走査装置。 - 前記可動枠と前記駆動梁とが接続される一対のミラー支持体接続部は、前記所定の軸に対して一方の側に配置されており、
前記可動枠は、前記所定の軸に対して前記一方の側よりも前記一方の側の反対側の方が重く形成されている
請求項3に記載の光走査装置。 - 前記固定枠と前記駆動梁とが接続される一対の固定枠接続部は、前記所定の軸に対して一方の側に配置され、
前記可動枠は、前記所定の軸に対して前記一方の側よりも前記一方の側の反対側の方が重く形成されている
請求項3に記載の光走査装置。 - 前記固定枠と前記駆動梁とが接続される一対の固定枠接続部は、前記所定の軸に対して前記一方の側に配置されている
請求項8に記載の光走査装置。 - 前記ミラー支持体と前記駆動梁とが接続される一対のミラー支持体接続部は、前記所定の軸に対して前記一方の側の反対側に配置されている
ている
請求項9に記載の光走査装置。 - 前記可動枠は、前記所定の軸に対して前記一方の側よりも前記一方の側の反対側の方において幅が広く形成されている
請求項8乃至11のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー及び前記ミラー支持部の重心は、前記所定の軸と前記第2の所定の軸の交点に位置する
請求項8乃至12のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記第2の駆動梁と前記ミラー支持部は、前記第2の所定の軸の周りに前記ミラーを揺動可能にする捻れ梁によって接続されている
請求項8乃至13のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記第2の駆動梁は、前記第2の所定の軸に垂直な方向に延在する複数の第2の梁を有し、隣接する前記第2の梁の端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の形状である
請求項8乃至14のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー支持部と前記第2の駆動梁とが接続される一対のミラー支持部接続部は、前記第2の所定の軸に対して第2の一方の側に配置されており、
前記ミラー支持部は、前記第2の所定の軸に対して前記第2の一方の側よりも前記第2の一方の側の反対側の方が重く形成されている
請求項15に記載の光走査装置。 - 前記可動枠と前記第2の駆動梁とが接続される一対の可動枠接続部は、前記第2の所定の軸に対して第2の一方の側に配置されており、
前記ミラー支持部は、前記第2の所定の軸に対して前記第2の一方の側よりも前記第2の一方の側の反対側の方が重く形成されている
請求項15に記載の光走査装置。
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