JP7044975B2 - アクチュエータとその製造方法、及び、光走査装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
図1(A)は、第1の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の斜視図である。図1(B)は、第1の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の斜視図である。図2は、第1の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。本実施の形態に係る光走査部100は、セラミックパッケージとパッケージカバー等のパッケージ部材に収容して用いることができる。
図10は、第2の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の斜視図である。水平駆動梁130A、130Bを構成する複数の水平梁として、リブが設けられた水平梁とリブは設けられていない水平梁を有しており、リブが設けられていない水平梁の隣にリブが設けられた水平梁が配置されている。この点を除いて、第1の実施の形態と同様である。具体的には、本実施の形態の光走査装置のアクチュエータにおいては、水平駆動梁130A、130Bを構成する水平梁のうち、外側から奇数番目の水平梁にのみ、リブ132Bが形成されている。偶数番目の水平梁にのみリブ132Bが形成されていても同様である。リブが形成されていない水平梁が2本連続して配置されると、ダイシングテープに固定されたときに梁が変形しやすくなるため、リブが形成されていない水平梁が2本連続しない配置とすることが好ましい。
図11は、第3の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の斜視図である。水平駆動梁130A、130Bを構成する複数の水平梁として、水平回転軸AXHからみて一方の側における水平梁の端部近傍にリブ132Cが設けられている第1梁と、第1梁の隣に配置され、水平回転軸AXHからみて一方の側の反対側における水平梁の端部近傍にリブ132Cが設けられている第2梁とを有する。図11に示される構成では、水平回転軸AXHからみて一方の側における水平梁の端部近傍にリブ132Cが設けられている第1梁と、他方の端部近傍にリブ132Cが形成されている第2梁が交互に設けられている。
次に、図1及び図2に示される光走査部100の固定枠180に形成されたアライメントマークについて説明する。図12は、アライメントマークの詳細を説明する図である。
光走査部100に傾きが生じると、レーザ光240の経路だけでなく、反射光241の経路にも影響を及ぼしてしまう。さらに、光走査部100が回転方向に位置ずれすると、ミラー110の回転軸が傾くことにより、レーザ光240の走査領域が全体的に傾いてしまう。
11 埋め込み(BOX)層
12 活性層
14 ダイシングテープ
15 ダイシング溝
100 光走査部
110 ミラー
120 ミラー支持部
121A、121B 連結梁
130A、130B 水平駆動梁
131A、131B 水平駆動源
131A1、131A2、131A3、131A4 水平駆動源
131B1、131B2、131B3、131B4 水平駆動源
131X1、131X2、131X3、131X4 折り返し部
131Y1、131Y2、131Y3、131Y4 折り返し部
132、132B、132C リブ
160 可動枠
161 ミラー支持体
170A、170B 垂直駆動梁
171A、171B 垂直駆動源
171A1、171A2 垂直駆動源
171B1、171B2 垂直駆動源
171X、171Y 折り返し部
172 リブ
180 固定枠
Claims (18)
- 所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、駆動対象物に接続された駆動梁と、
前記駆動梁に接続された固定枠と、
前記梁の一方の面上に形成された駆動源と、
前記梁の他方の面において前記折り返し部より前記所定の軸側に形成されたリブと、を有し、
前記リブは前記固定枠と同じ高さであり、
前記駆動源の駆動により前記駆動対象物を前記所定の軸の周りに揺動駆動する
アクチュエータ。 - 前記リブは前記梁の長手方向に短く、短手方向に長い形状である
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記所定の軸の方向における前記梁の幅W1に対する前記所定の軸に直交する方向における前記リブの幅W2が50%以下である
請求項1または2に記載のアクチュエータ。 - 前記所定の軸の方向における前記梁の幅W1に対する前記所定の軸の方向における前記リブの長さLが30%以上である
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記複数の梁の全てに前記リブが設けられている
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記複数の梁として前記リブが設けられた梁とリブは設けられていない梁を有しており、
前記リブが設けられていない梁の隣に前記リブが設けられた梁が配置されている
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記リブが前記所定の軸上に形成されている
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記複数の梁として、前記所定の軸からみて一方の側における前記梁の端部近傍に前記リブが設けられている第1梁と、前記第1梁の隣に配置され、前記所定の軸からみて一方の側の反対側における前記梁の端部近傍に前記リブが設けられている第2梁とを有する
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記固定枠は、支持層、BOX層、及び活性層から形成されている
請求項1乃至8のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 第2の所定の軸に垂直な方向に延在する複数の第2の梁を有し、隣接する前記第2の梁の端部同士が第2の折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、前記駆動対象物に接続された可動枠に接続された第2の駆動梁と、
前記第2の梁の一方の面上に形成された第2の駆動源と、をさらに有し、
前記駆動源の駆動により前記駆動対象物を前記所定の軸の周りに揺動駆動し、前記第2の駆動源の駆動により前記駆動対象物を前記第2の所定の軸の周りに揺動駆動する
請求項1乃至9のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記可動枠は、支持層、BOX層、及び活性層から形成されている
請求項10に記載のアクチュエータ。 - SOI基板に所定のパターン加工を行い、所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、駆動対象物に接続された駆動梁と、前記駆動梁に接続された固定枠と、前記梁の一方の面上に形成された駆動源と、前記梁の他方の面において前記折り返し部より前記所定の軸側に形成されたリブとを有し、前記リブは前記固定枠と同じ高さであり、前記駆動源の駆動により前記駆動対象物を前記所定の軸の周りに揺動駆動するアクチュエータが、複数個集積してなる集積基板を形成する工程と、
前記集積基板を前記リブの形成面側からダイシングテープに貼付する工程と、
前記集積基板をダイシングして個片化されたアクチュエータとする工程と、
前記個片化されたアクチュエータを前記ダイシングテープから剥離する工程と
を有するアクチュエータの製造方法。 - 前記固定枠は、支持層、BOX層、及び活性層から形成されている
請求項12に記載のアクチュエータの製造方法。 - 光反射面を有するミラーと、
前記ミラーを支持するミラー支持体と、
所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、前記ミラー支持体に接続された駆動梁と、
前記駆動梁に接続された固定枠と、
前記梁の一方の面上に形成された駆動源と、
前記梁の他方の面において前記折り返し部より前記所定の軸側に形成されたリブと、を有し、
前記リブは前記固定枠と同じ高さであり、
前記駆動源の駆動により前記ミラー支持体を前記所定の軸の周りに揺動駆動する
光走査装置。 - 前記固定枠に、前記ミラーの中心点を示すマークが形成されている
請求項14に記載の光走査装置。 - 前記固定枠は、支持層、BOX層、及び活性層から形成されている
請求項14または15に記載の光走査装置。 - SOI基板に所定のパターン加工を行い、光反射面を有するミラーと、前記ミラーを支持するミラー支持体と、所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、前記ミラー支持体に接続された駆動梁と、前記駆動梁に接続された固定枠と、前記梁の一方の面上に形成された駆動源と、前記梁の他方の面において前記折り返し部より前記所定の軸側に形成されたリブと、を有し、前記リブは前記固定枠と同じ高さであり、前記駆動源の駆動により前記ミラー支持体を前記所定の軸の周りに揺動駆動する光走査部となるアクチュエータが、複数個集積してなる集積基板を形成する工程と、
前記集積基板を前記リブの形成面側からダイシングテープに貼付する工程と、
前記集積基板をダイシングして個片化されたアクチュエータとする工程と、
前記個片化されたアクチュエータを前記ダイシングテープから剥離する工程と
を有する光走査装置の製造方法。 - 前記固定枠は、支持層、BOX層、及び活性層から形成されている
請求項17に記載の光走査装置の製造方法。
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