JP7011165B2 - アクチュエータ及び光走査装置 - Google Patents
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Description
図1(A)は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の斜視図である。図1(B)は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の斜視図である。図2は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。本実施の形態に係る光走査部100は、セラミックパッケージとパッケージカバー等のパッケージ部材に収容して用いることができる。
光走査装置のミラーの変位をさせる垂直駆動波形として、階段波形を用いる場合、単純に階段波形を入力波形としてしまうとf0が強く励起されてしまいリンギングが発生する。また、水平駆動波形の鋸波の戻り時間よりも垂直駆動波形の階段部分の遷移時間が長いと、水平駆動において待機する期間が発生し、水平駆動おいてリンギングが発生するため、遷移時間は水平駆動の戻り区間の時間(例えば2ミリ秒程度)より短い必要がある。さらに、階段の段数は最大512段となるが、階段1段あたりの分解能は4段となる(1組の階段状波形に割り当て可能な階段状波形は4つまでである)ため、水平駆動波形の戻り区間のようななだらかな波形は作れない。それらの条件を満たしつつ、リンギングを抑えられるような波形を検討した。
110 ミラー
120 ミラー支持部
121A、121B 連結梁
130A、130B 水平駆動梁
131A、131B 水平駆動源
131A1、131A2、131A3、131A4 水平駆動源
131B1、131B2、131B3、131B4 水平駆動源
131X1、131X2、131X3、131X4 折り返し部
131Y1、131Y2、131Y3、131Y4 折り返し部
132 リブ
133X1、133X2、133X3,133X4 水平梁
133Y1、133Y2,133Y3、133Y4 水平梁
160 可動枠
170A、170B 垂直駆動梁
171A、171B 垂直駆動源
171A1、171A2 垂直駆動源
171B1、171B2 垂直駆動源
171X、171Y 折り返し部
172 リブ
173X1、173X2、173Y1、173Y2 垂直梁
180 固定枠
Claims (9)
- 駆動対象物を支持する梁と、
駆動信号が入力される駆動源と、を有し、
前記駆動信号は鋸波形状の駆動波形を含み、
前記鋸波形状の駆動波形の上り部分は、第1階段状波形と前記第1階段状波形に連続する第2階段状波形を有し、
前記第1階段状波形は、前記第2階段状波形において発生され得るリンギング波形を抑制する振動のリンギング抑制波形を発生させており、
前記駆動源の駆動により所定の軸の周りを回転する方向に前記駆動対象物を揺動駆動する
アクチュエータ。 - 前記梁は、複数が前記所定の軸に垂直な方向に延在しており、
隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結され全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有する
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記梁は、前記駆動源が表面に形成され前記駆動対象物を揺動する駆動梁である
請求項1又は2に記載のアクチュエータ。 - 前記第1階段状波形により発生するリンギングと前記第2階段状波形により発生するリンギングが互いに打ち消し合う
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記第1階段状波形の高さと前記第2階段状波形の高さが実質的に等しい
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記第1階段状波形の長さは、前記第1階段状波形により発生するリンギングのリンギング波長λrのn倍(nは正の整数)以外の長さである
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記第1階段状波形の長さは、0.5λrである
請求項6に記載のアクチュエータ。 - 前記鋸波形状の上り区間は、前記アクチュエータによる走査の主走査区間である
請求項1乃至7のいずれか1つに記載のアクチュエータ。 - 光反射面を有するミラーと、
前記ミラーを支持するミラー支持体と、
所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が折り返し部で連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、前記ミラー支持体を支持する駆動梁と、
前記梁の表面に形成され、駆動信号が入力される駆動源と、を有し、
前記駆動信号は鋸波形状の駆動波形を含み、
前記鋸波形状の駆動波形の上り部分は、第1階段状波形と前記第1階段状波形に連続する第2階段状波形を有し、
前記第1階段状波形は、前記第2階段状波形において発生され得るリンギング波形を抑制する振動のリンギング抑制波形を発生させており、
前記駆動源の駆動により前記所定の軸の周りを回転する方向に前記ミラー支持体を揺動駆動する
光走査装置。
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