JP7045841B2 - 切削装置 - Google Patents

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Description

本発明は、切削装置に関する。
切削ブレードで半導体ウエーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板等を精密に切削加工する切削装置が知られている。切削装置は、切削ブレードをフランジ機構で支持してスピンドルに固定している。切削ブレードとしては、環状基台の外周に切り刃がついたハブブレードといわれるタイプの切削ブレードが、作業性が良い（持ち手があるため切り刃の破損が防げる）ために多く使用される。ハブブレードといわれるタイプの切削ブレードは、基台をフランジ機構でスピンドルに固定して切削装置に装着される（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に示された切削装置のフランジ機構は、スピンドルに装着したマウントフランジのボス部に環状基台を挿入し、押さえナットをボス部に螺合させて切削ブレードを固定する。
さらに、切削ブレードを押さえナットで受けフランジ側に固定するフランジ機構を改良し、押さえナットによる固定ではなく、バキュームによる固定が可能なフランジ機構も考案されている（例えば、特許文献２参照）。この特許文献２に示されたフランジ機構は、ブレード交換で押さえナットを締めたり緩めたりする必要が無く、非常に容易に切削ブレードを交換できる。
特開２０００－１９０１５５号公報 特開２００２－１５４０５４号公報
切削装置として、効率的な切削加工のために、２つのスピンドルを対面して配置した切削装置が普及している。この種の切削装置は、一度に２本の分割予定ラインを切削できるために切削加工が効率的である。２つのスピンドルを備える切削装置は、さらに作業効率を高めるために、切削ブレード同士の距離を縮めることが求められている。また、前述した切削装置は、同等な長さの分割予定ラインを常に２つのスピンドルで切削できれば、加工送り量が最低限となるため効率的な加工となるが、そのためには、切削ブレード同士の距離が自由に設定できる必要があり、その距離の制限を無くすため、極限まで切削ブレード同士の間隔を狭められるような装置構成が求められている。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、切削ブレード同士の距離を狭めることを可能とする切削装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルをＸ方向に加工送りする加工送りユニットと、該Ｘ方向と直交するＹ方向に設定された２つのスピンドルの回転軸心が一致し、中央に装着穴が形成された円板状の基台の一方の面側の外周縁に切り刃が固定されかつ各スピンドルに装着された切削ブレードが対峙する第１の切削ユニットと第２の切削ユニットと、を備える切削装置であって、該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットは、該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該基台の他方の面側を吸引し、該基台の一方の面側を該スピンドルの先端側で露出させた状態で該切削ブレードを該スピンドルに固定するフランジ機構と、該切削ブレードを覆って切削水を該切削ブレードに供給するとともに、他の切削ユニットに対向する外表面が該切削ブレードの切り刃と同一平面上又は略同一平面上に位置するブレードカバーと、を備え、該ブレードカバーは、該外表面に平板状のブレード側ノズル部材を取り付け、該ブレード側ノズル部材との間に該切り刃に切削水を供給するブレード側噴射口を形成し、該第１の切削ユニットと該第２の切削ユニットに固定されたそれぞれの該切削ブレードは、該外周縁に切り刃が固定された該一方の面が互いに対面することを特徴とする。
本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルをＸ方向に加工送りする加工送りユニットと、該Ｘ方向と直交するＹ方向に設定された２つのスピンドルの回転軸心が一致し、中央に装着穴が形成された円板状の基台の一方の面側の外周縁に切り刃が固定されかつ各スピンドルに装着された切削ブレードが対峙する第１の切削ユニットと第２の切削ユニットと、を備える切削装置であって、該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットは、該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該基台の他方の面側を吸引し、該基台の一方の面側を該スピンドルの先端側で露出させた状態で該切削ブレードを該スピンドルに固定するフランジ機構と、該フランジ機構の円筒部を内側に挿入した支持筒部を備え、該スピンドルを収容するスピンドルハウジング側の部材であるロータリジョイントと、該切削ブレードを該フランジ機構に吸引保持する吸引保持機構と、を備え、該吸引保持機構は、一端が該フランジ機構の該切削ブレードの該基台の該他方の面に対向する一方の表面に開口し、他端が該支持筒部内に挿入される該円筒部の外周面に開口したフランジ側吸引通路と、一端が該ロータリジョイントの該支持筒部の内周面に開口して該フランジ側吸引通路の他端と相対し、他端が吸引源に接続したジョイント側吸引通路とを備え、該第１の切削ユニットと該第２の切削ユニットに固定されたそれぞれの該切削ブレードは、該外周縁に切り刃が固定された該一方の面が互いに対面することを特徴とする。
前記切削装置において、該フランジ機構は、該切削ブレードの該装着穴に挿通するボス部と、該ボス部の後方で径方向に張り出し該切削ブレードの該基台の該他方の面を吸引保持するフランジ部と、を備え、該ボス部の先端は吸引保持した該切削ブレードの該基台から突出しないようにしても良い。
本願発明の切削装置は、切削ブレード同士の距離を狭めることを可能とすることができるという効果を奏する。
図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの要部を示す斜視図である。 図３は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの要部の断面図である。 図４は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの要部を分解して示す斜視図である。 図５は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの吸引保持機構を動作させた状態を示す断面図である。 図６は、図５に示す切削ユニットに切削ブレードを取り付けた状態を示す断面図である。 図７は、図６に示すように取り付けられた切削ブレードの基台の一方の外側面同士が対面する状態を示す断面図である。
本発明を実施するための形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態１〕
実施形態１に係る切削装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの要部を示す斜視図である。図３は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの要部の断面図である。図４は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの要部を分解して示す斜視図である。
実施形態１に係る切削装置１は、被加工物２０１を切削加工する装置である。実施形態１では、被加工物２０１は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物２０１は、表面２０２に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０３によって格子状に区画された領域にデバイス２０４が形成されている。本発明の被加工物２０１は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板等でも良い。被加工物２０１は、裏面２０５に保護部材である粘着テープ２０６が貼着され、粘着テープ２０６の外周に環状フレーム２０７が貼着されることによって、環状フレーム２０７と一体となっている。
切削装置１は、図１に示すように、被加工物２０１を吸引保持する保持面１１を備えたチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１をスピンドル２１に装着した切削ブレード３０で切削する切削ユニット２０と、制御ユニット１００とを備える。
また、切削装置１は、チャックテーブル１０を保持面１１と平行な加工送り方向であるＸ方向に加工送りする加工送りユニット５１と、切削ユニット２０を保持面１１と平行でかつＸ方向と直交する割り出し方向であるＹ方向に割り出し送りする割り出し送りユニット５２と、切削ユニット２０をＸ方向とＹ方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ方向に切り込み送りする切り込み送りユニット５３とを備える。また、切削装置１は、切削前後の被加工物２０１を収容するカセット６０が載置されかつカセット６０をＺ方向に移動させるカセットエレベータ６１と、切削後の被加工物２０１を洗浄する洗浄ユニット７０と、カセット６０に被加工物２０１を出し入れするとともに被加工物２０１を搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。
なお、切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備え、かつ各スピンドル２１に装着された切削ブレード３０同士が対峙する位置に配置された、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。また、２つの切削ユニット２０のスピンドル２１の回転軸心は、Ｙ方向に設定されて、一致している。
チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２０１を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、加工送りユニット５１により移動自在で図示しない回転駆動源によりＺ方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、切削ユニット２０の切削ブレード３０により切削加工される被加工物２０１を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図示しないエアーアクチュエータにより駆動して被加工物２０１の周囲の環状フレーム２０７を挟持するクランプ部１２が複数設けられている。
切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１に対して、割り出し送りユニット５２によりＹ方向に移動自在に設けられ、かつ、切り込み送りユニット５３によりＺ方向に移動自在に設けられている。一方の切削ユニット２０（以下、符号２０－１で示す）は、特許請求の範囲に記載された第１の切削ユニットであり、図１に示すように、割り出し送りユニット５２、切り込み送りユニット５３などを介して、装置本体２から立設した一方の柱部３－１に設けられている。他方の切削ユニット２０（以下、符号２０－２で示す）は、特許請求の範囲に記載された第２の切削ユニットであり、図１に示すように、割り出し送りユニット５２、切り込み送りユニット５３などを介して、装置本体２から立設した他方の柱部３－２に設けられている。なお、柱部３－１，３－２は、上端が水平梁３－３により連結されている。なお、本明細書は、２つの切削ユニット２０同士を区別する際には、符号２０－１，２０－２を記載し、２つの切削ユニット２０同士を区別しない際には、符号２０を記載する。
切削ユニット２０は、割り出し送りユニット５２及び切り込み送りユニット５３により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード３０を位置付け可能となっている。切削ユニット２０は、図２に示すように、スピンドルユニット２６と、ブレードカバー３７とを備える。スピンドルユニット２６は、図３及び図４に示すように、スピンドル２１と、スピンドルハウジング２２と、ロータリジョイント２３と、切削ブレード３０と、フランジ機構２４と、を備える。
スピンドル２１は、図示しないスピンドルモータによりＹ方向と平行な回転軸心回りに回転される。スピンドル２１の先端部には、図３に示すように、先端に向かうに従って徐々に小径となるテーパ部２１１が設けられかつテーパ部２１１の先端面にはねじ孔２１２が開口している。スピンドルハウジング２２は、筒状に形成され、割り出し送りユニット５２によりＹ方向に移動自在に設けられ、かつ切り込み送りユニット５３によりＺ方向に移動自在に設けられている。スピンドルハウジング２２は、テーパ部２１１を露出させた状態でスピンドル２１を収容している。スピンドルハウジング２２は、スピンドル２１を回転軸心回りに回転自在に支持している。
ロータリジョイント２３は、スピンドルハウジング２２側の部材である。なお、スピンドルハウジング２２側の部材とは、スピンドルハウジング２２自体又はスピンドルハウジング２２に取り付けられる部材であることを示す。実施形態１において、ロータリジョイント２３は、スピンドルハウジング２２の先端面２２１に図示しないねじなどにより取り付けられる。ロータリジョイント２３は、環状の取付け部２３１と、筒状の支持筒部２３２とを備える。
実施形態１において、取付け部２３１は、円環状に形成されているが、本発明では、内外縁の平面形状が多角形状に形成されても良い。支持筒部２３２は、取付け部２３１の内縁に連なっており、実施形態１において、円筒状に形成されているが、本発明では、角筒状に形成されても良い。取付け部２３１及び支持筒部２３２の内径は、スピンドル２１のテーパ部２１１の外径よりも十分に大きい。ロータリジョイント２３は、取付け部２３１と支持筒部２３２の内側にスピンドル２１のテーパ部２１１を通して、取付け部２３１がスピンドルハウジング２２の先端面２２１に重ねられる。ロータリジョイント２３は、図示しないねじにより取付け部２３１がスピンドルハウジング２２に固定される。
切削ブレード３０は、フランジ機構２４を介してスピンドル２１のテーパ部２１１に固定されて、スピンドル２１により回転されることで被加工物２０１を切削する。切削ブレード３０は、金属から構成されかつ中央に装着穴３１１が形成された円環状（円板状）の基台３１と、基台３１の外周縁に固定されかつ基台３１と同軸に配置された円環状の切り刃３２とを備えた、所謂ハブブレードである。装着穴３１１は、切削ブレード３０をフランジ機構２４に固定するための孔である。切り刃３２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。切り刃３２は、基台３１の平坦な一方の面である一方の外側面３１２側の外周縁に固定されている。また、実施形態１において、切削ブレード３０は、スピンドル２１の先端に固定されたフランジ機構２４に吸引保持される。
フランジ機構２４は、切削ブレード３０をスピンドル２１に固定するものである。フランジ機構２４は、スピンドル２１の先端に固定される。フランジ機構２４は、スピンドル２１のテーパ部２１１の外周に取り付けられる円筒状の円筒部２７と、円筒部２７の外周面から径方向外向きに張り出したフランジ部２８とを備える。円筒部２７は、内側にテーパ部２１１を挿入する挿入部２７１と、切削ブレード３０の基台３１の装着穴３１１ｍに挿通するボス部２７２とを一体に備えている。挿入部２７１の内径は、ボス部２７２に向かうにしたがって徐々に小径に形成されて、挿入部２７１の内周面がテーパ部２１１の外周面と密に重なる。ボス部２７２は、挿入部２７１よりも内外径が小さい。ボス部２７２は、内周側に挿入部２７１に近付くのにしたがって段階的に内径を小径とする段差面２７３を設けている。
フランジ部２８は、円筒部２７の挿入部２７１とボス部２７２との間からフランジ機構２４の径方向に張り出している。即ち、フランジ部２８は、ボス部２７２の先端からみてボス部２７２の後方に設けられている。フランジ部２８は、外周縁にボス部２７２側に突出した支持部２８１を全周に亘って形成されている。支持部２８１の表面２８２は、Ｘ方向とＺ方向との双方に沿って平坦に形成され、切削ブレード３０の基台３１の他方の面である他方の外側面３１３を支持する支持面である。ボス部２７２の先端である先端面２７４と支持部２８１の表面２８２との間の軸方向の距離３００は、切削ブレード３０の基台３１の厚み４００以下である。実施形態１では、距離３００は、厚み４００と等しいが、本発明では厚み４００よりも小さくても良い。
フランジ機構２４は、スピンドルハウジング２２に固定されたロータリジョイント２３の支持筒部２３２内に挿入された円筒部２７の挿入部２７１内にスピンドル２１のテーパ部２１１が嵌め込まれ、段差面２７３に重ねられたワッシャ２９１の内側に通されたボルト２９２がねじ孔２１２に螺合することにより、図３に示すように、スピンドル２１の先端に固定される。フランジ機構２４は、スピンドル２１に固定された状態でボス部２７２が切削ブレード３０の装着穴３１１内に挿入されて、フランジ部２８の支持部２８１の表面２８２上に基台３１の他方の外側面３１３が重ねられて切削ブレード３０を保持する。また、距離３００が厚み４００以下であるので、ボス部２７２の先端面２７４は、切削ブレード３０の基台３１の一方の外側面３１２と同一平面上又は基台３１の一方の外側面３１２よりも没して、基台３１の一方の外側面３１２から突出しない。
また、スピンドルユニット２６は、切削ブレード３０をフランジ機構２４に吸引保持する吸引保持機構３３を備える。吸引保持機構３３は、フランジ側吸引通路３４と、ジョイント側吸引通路３５と、吸引源３６とを備える。フランジ側吸引通路３４は、フランジ機構２４内に設けられ、溝部３４１と、貫通孔３４２とを備える。溝部３４１は、挿入部２７１の外周面から凹に形成され、挿入部２７１の外周面の全周に設けられている。貫通孔３４２は、フランジ部２８の切削ブレード３０の基台３１に対向する一方の表面２８３と溝部３４１の底とに亘ってフランジ機構２４を貫通している。即ち、フランジ側吸引通路３４の一端は、フランジ機構２４のフランジ部２８の切削ブレード３０の基台３１の他方の外側面３１３に対向する一方の表面２８３の支持部２８１の内側に開口し、フランジ側吸引通路３４の他端は、ロータリジョイント２３の支持筒部２３２内に挿入される円筒部２７の挿入部２７１の外周面に開口している。貫通孔３４２は、フランジ機構２４の周方向に間隔をあけて、等間隔に設けられ、実施形態１では、３つ設けられている。
ジョイント側吸引通路３５は、ロータリジョイント２３に設けられ、吸引用溝３５１と、連結用管部３５２とを備える。吸引用溝３５１は、ロータリジョイント２３の支持筒部２３２の内周面から凹に形成され、支持筒部２３２の内周面の全周に設けられている。吸引用溝３５１は、フランジ側吸引通路３４の溝部３４１と相対する位置に設けられている。
連結用管部３５２は、ロータリジョイント２３の支持筒部２３２の外周面に連なっているとともに、吸引用溝３５１内と連通している。連結用管部３５２は、吸引源３６に接続している。ジョイント側吸引通路３５は、吸引用溝３５１がフランジ側吸引通路３４の挿入部２７１の外周面に設けられた溝部３４１と相対する位置に設けられていることで、フランジ側吸引通路３４と連通する。吸引源３６は、周知の真空ポンプ等で構成され、かつジョイント側吸引通路３５及びフランジ側吸引通路３４内を吸引する。即ち、ジョイント側吸引通路３５は、支持筒部２３２の内周側と吸引源３６とを連結する。
吸引保持機構３３は、吸引源３６がジョイント側吸引通路３５及びフランジ側吸引通路３４内を吸引することにより、フランジ機構２４のフランジ部２８の支持部２８１よりも内側でかつ一方の表面２８３上の空間（支持部２８１と一方の表面２８３とで囲まれる空間ともいう）に負圧を生じさせ、支持部２８１の表面２８２に保持された切削ブレード３０の基台３１の他方の外側面３１３を吸引する。吸引保持機構３３は、基台３１の他方の外側面３１３を吸引して、切削ブレード３０をフランジ機構２４と一体にスピンドル２１により回転するように、フランジ機構２４に吸引保持する。即ち、ロータリジョイント２３とフランジ機構２４とは、スピンドル２１が切削ブレード３０を回転する際に、互いに相対的に回転することとなる。
ブレードカバー３７は、スピンドルハウジング２２に固定され、切削ブレード３０の上方及びＸ方向の少なくとも一方側を覆って、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード３０及び被加工物２０１に供給するものである。実施形態１において、ブレードカバー３７は、切削ブレード３０のＸ方向のカセット６０側を覆う。また、ブレードカバー３７の他の切削ユニット２０に対向する外表面３７３は、切削ブレード３０の切り刃３２の表面と同一平面上又は略同一平面上に位置して、ブレードカバー３７の切削ブレード３０からの図２中のＹ軸方向手前の突出量が最小となっている。
ブレードカバー３７には、連結用管部３５２と吸引源３６との間に設けられて、連結用管部３５２と吸引源３６とを連結する負圧供給管３７１と、図示しない切削水供給源から切削水が供給される切削水供給管３７２とが設けられている。また、ブレードカバー３７には、ブレード側ノズル部材３８と、被加工物側ノズル部材３９とが取り付けられている。
ブレード側ノズル部材３８と、被加工物側ノズル部材３９とは、それぞれ平板状に形成され、ブレードカバー３７の外表面に重ねられている。実施形態１において、ブレード側ノズル部材３８は、ブレードカバー３７の外表面３７３のうちの他の切削ユニット２０に対向する位置に一つ設けられ、被加工物側ノズル部材３９は、ブレードカバー３７の外表面のうちの切削ブレード３０よりもカセット６０寄りの位置に一つ設けられている。しかしながら、本発明では、各ノズル部材３８，３９が設けられる位置及び数は、これらに限定されずに、適宜変更しても良い。
ブレード側ノズル部材３８は、ブレードカバー３７との間に切削ブレード３０の切り刃３２の刃先に対向するブレード側噴射口３８１を形成している。ブレード側噴射口３８１は、切削水供給管３７２とブレードカバー３７内に設けられた孔等を介して連通しており、切削水供給源から供給された切削水を切削ブレード３０の切り刃３２の刃先に向けて供給する。
被加工物側ノズル部材３９は、ブレードカバー３７との間に切削ブレード３０が切削する被加工物２０１に対向する被加工物側噴射口３９１を形成している。被加工物側噴射口３９１は、切削水供給管３７２とブレードカバー３７内に設けられた孔等を介して連通しており、切削水供給源から供給された切削水を被加工物２０１に向けて供給する。
また、切削ユニット２０は、被加工物２０１の表面２０２を撮像する撮像ユニット８０が一体的に移動するようにスピンドルハウジング２２を支持した切り込み送りテーブル５４に固定されている。撮像ユニット８０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２０１の分割すべき領域を撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１を撮像して、被加工物２０１と切削ブレード３０との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。
制御ユニット１００は、切削装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２０１に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、コンピュータである。制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニット及びオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットと接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。
前述した構成の切削装置１は、オペレータが加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前の被加工物２０１を収容したカセット６０をカセットエレベータ６１に設置し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。切削装置１は、加工動作を開始すると、搬送ユニットに切削加工前の被加工物２０１をカセット６０から取り出させて粘着テープ２０６を介して裏面２０５側をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０７をクランプする。
切削装置１は、加工送りユニット５１によりチャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方に向かって移動させて、撮像ユニット８０に被加工物２０１を撮像させて、撮像ユニット８０が撮像して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。切削装置１は、分割予定ライン２０３に沿って被加工物２０１と切削ユニット２０とを相対的に移動させて、切削ブレード３０を各分割予定ライン２０３に切り込ませて被加工物２０１を個々のデバイス２０４に分割し、個々のデバイス２０４に分割された被加工物２０１を洗浄ユニット７０で洗浄した後、カセット６０に収容する。
次に、実施形態１に係る切削装置１の切削ユニット２０に切削ブレード３０を取り付ける方法を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態１に係る切削装置の切削ユニットの吸引保持機構を動作させた状態を示す断面図である。図６は、図５に示す切削ユニットに切削ブレードを取り付けた状態を示す断面図である。図７は、図６に示すように取り付けられた切削ブレードの基台の一方の外側面同士が対面する状態を示す断面図である。
切削ユニット２０のスピンドル２１に切削ブレード３０を取り付ける際には、スピンドル２１の回転を停止させた状態で、制御ユニット１００が、図５に示すように、吸引保持機構３３の吸引源３６を停止させる。そして、オペレータが、ブレード保持治具５００で保持した切削ブレード３０の基台３１の他方の外側面３１３をフランジ機構２４のフランジ部２８の一方の表面２８３に相対させる。
なお、実施形態１で用いられるブレード保持治具５００は、切削ブレード３０の基台３１の一方の外側面３１２を負圧により吸引保持するものであるが、本発明では、図５に示されるものに限定されない。なお、図５に示されたブレード保持治具５００は、切削ブレード３０の基台３１の一方の外側面３１２を吸引保持する先端面５０１にゴムなどから構成されて負圧が漏れることを抑制するシール部材５０３を設けている。
オペレータが、装着穴３１１内にフランジ機構２４のボス部２７２を挿通し、基台３１の他方の外側面３１３をフランジ機構２４のフランジ部２８の支持部２８１の一方の表面２８３に重ねる。そして、吸引源３６を作動させ吸引源３６からの負圧により、吸引保持機構３３が、図６に示すように、切削ブレード３０の基台３１の他方の外側面３１３をフランジ機構２４のフランジ部２８に吸引保持する。また、ブレード保持治具５００の負圧を停止させて、オペレータが、ブレード保持治具５００を切削ブレード３０の基台３１から取り外す。
こうして、フランジ機構２４は、吸引保持機構３３の吸引源３６からの負圧により切削ブレード３０の基台３１の他方の外側面３１３側を吸引保持し、基台３１の一方の外側面３１２の全体をスピンドル２１の先端側で露出させた状態で切削ブレード３０をスピンドル２１に固定する。そして、一方の切削ユニット２０－１と他方の切削ユニット２０－２に固定されたそれぞれの切削ブレード３０は、図７に示すように、外周縁に切り刃３２が固定された基台３１の一方の外側面３１２が互いに対面することができる。
以上のように、実施形態１に係る切削装置１は、フランジ機構２４に切削ブレード３０の切り刃３２が取り付けられていない他方の外側面３１３を吸引し、一方の外側面３１２側を先端側で露出させた状態で切削ブレード３０を固定する。このために、実施形態１に係る切削装置１は、基台３１の一方の外側面３１２上に切削ブレード３０を固定するための部材を配置する必要がなくなるとともに、切削ブレード３０の切り刃３２をスピンドル２１の先端側である一方の外側面３１２に設定している。その結果、実施形態１に係る切削装置１は、２つの切削ユニット２０の切削ブレード３０同士の距離６００（図７に示す）を狭めることを可能とすることができる。
また、切削装置１は、吸引源３６からの負圧によりフランジ機構２４に切削ブレード３０を吸引保持する吸引保持機構３３を備えているので、一方の外側面３１２上にナット等の締結部材を配置することなくスピンドル２１の先端に切削ブレード３０を固定することができる。その結果、切削装置１は、２つの切削ユニット２０の切削ブレード３０同士の距離６００を極限まで狭めることを可能とすることができる。
また、切削装置１は、フランジ機構２４のボス部２７２の内側に段差面２７３を設けて、段差面２７３に重ねられたワッシャ２９１内に通されたボルト２９２をねじ孔２１２に螺合することでフランジ機構２４をスピンドル２１に固定する。また、切削装置１は、フランジ機構２４のボス部２７２の先端面２７４と支持部２８１の表面２８２との間の距離３００が切削ブレード３０の基台３１の厚み４００以下である。その結果、切削装置１は、スピンドル２１に切削ブレード３０を装着すると、基台３１の一方の外側面３１２からフランジ機構２４等が突出することがない。その結果、切削装置１は、２つの切削ユニット２０の切削ブレード３０同士の距離６００を極限まで狭めることを可能とすることができる。
また、切削装置１は、ブレードカバー３７に重ねられたブレード側ノズル部材３８とブレードカバー３７との間に設けられたブレード側噴射口３８１から切削水を切削ブレード３０の切り刃３２の刃先に供給する。このため、切削装置１は、２つの切削ユニット２０の切削ブレード３０同士の距離６００をブレード側ノズル部材３８の２枚分の厚みまで狭めることができる。
また、切削装置１は、吸引保持機構３３がフランジ機構２４に設けられたフランジ側吸引通路３４と、このフランジ側吸引通路３４と連通するジョイント側吸引通路３５とを備える。このために、吸引保持機構３３は、互いに相対的に回転するフランジ機構２４とロータリジョイント２３との間で負圧を伝えることができ、フランジ機構２４に切削ブレード３０を吸引保持することができる。
また、切削装置１は、フランジ側吸引通路３４の一端が、フランジ機構２４のフランジ部２８の切削ブレード３０の基台３１の他方の外側面３１３に対向する一方の表面２８３の支持部２８１の内側に開口し、フランジ側吸引通路３４の他端は、ロータリジョイント２３の支持筒部２３２内に挿入される円筒部２７の挿入部２７１の外周面に開口している。ジョイント側吸引通路３５は、支持筒部２３２の内周側と吸引源３６とを連結する。吸引保持機構３３は、フランジ機構２４のフランジ部２８の支持部２８１よりも内側でかつ一方の表面２８３上の空間（支持部２８１と一方の表面２８３とで囲まれる空間ともいう）に負圧を生じさせる。このために、吸引源３６の負圧を伝達する通路をスピンドル２１に設ける必要がないので、スピンドル２１の先端面上に通路を塞ぐ部材を取り付ける必要がない。その結果、切削装置１は、基台３１の一方の外側面３１２側を先端側で露出させた状態で切削ブレード３０をスピンドル２１に固定することができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明の切削装置１は、吸引保持機構３３の負圧を測定することで、予め設定した閾値に負圧が至らなかった場合、切削ブレード３０が傾いて装着されていたり等装着が完全ではなく吸引保持が不安定であると判定する判定機構を設けても良い。
１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２０－１ 一方の切削ユニット（第１の切削ユニット）
２０－２ 他方の切削ユニット（第２の切削ユニット）
２１ スピンドル
２４ フランジ機構
２８ フランジ部
３０ 切削ブレード
３１ 基台
３２ 切り刃
５１ 加工送りユニット
２０１ 被加工物
２７２ ボス部
２７４ 先端面（先端）
３１１ 装着穴
３１２ 一方の外側面（一方の面）
３１３ 他方の外側面（他方の面）

Claims (3)

  1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルをＸ方向に加工送りする加工送りユニットと、該Ｘ方向と直交するＹ方向に設定された２つのスピンドルの回転軸心が一致し、中央に装着穴が形成された円板状の基台の一方の面側の外周縁に切り刃が固定されかつ各スピンドルに装着された切削ブレードが対峙する第１の切削ユニットと第２の切削ユニットと、を備える切削装置であって、
    該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットは、
    該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該基台の他方の面側を吸引し、該基台の一方の面側を該スピンドルの先端側で露出させた状態で該切削ブレードを該スピンドルに固定するフランジ機構と、
    該切削ブレードを覆って切削水を該切削ブレードに供給するとともに、他の切削ユニットに対向する外表面が該切削ブレードの切り刃と同一平面上又は略同一平面上に位置するブレードカバーと、を備え、
    該ブレードカバーは、該外表面に平板状のブレード側ノズル部材を取り付け、該ブレード側ノズル部材との間に該切り刃に切削水を供給するブレード側噴射口を形成し、
    該第１の切削ユニットと該第２の切削ユニットに固定されたそれぞれの該切削ブレードは、該外周縁に切り刃が固定された該一方の面が互いに対面することを特徴とする切削装置。
  2. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルをＸ方向に加工送りする加工送りユニットと、該Ｘ方向と直交するＹ方向に設定された２つのスピンドルの回転軸心が一致し、中央に装着穴が形成された円板状の基台の一方の面側の外周縁に切り刃が固定されかつ各スピンドルに装着された切削ブレードが対峙する第１の切削ユニットと第２の切削ユニットと、を備える切削装置であって、
    該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットは、
    該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該基台の他方の面側を吸引し、該基台の一方の面側を該スピンドルの先端側で露出させた状態で該切削ブレードを該スピンドルに固定するフランジ機構と、
    該フランジ機構の円筒部を内側に挿入した支持筒部を備え、該スピンドルを収容するスピンドルハウジング側の部材であるロータリジョイントと、
    該切削ブレードを該フランジ機構に吸引保持する吸引保持機構と、を備え、
    該吸引保持機構は、
    一端が該フランジ機構の該切削ブレードの該基台の該他方の面に対向する一方の表面に開口し、他端が該支持筒部内に挿入される該円筒部の外周面に開口したフランジ側吸引通路と、
    一端が該ロータリジョイントの該支持筒部の内周面に開口して該フランジ側吸引通路の他端と相対し、他端が吸引源に接続したジョイント側吸引通路とを備え、
    該第１の切削ユニットと該第２の切削ユニットに固定されたそれぞれの該切削ブレードは、該外周縁に切り刃が固定された該一方の面が互いに対面することを特徴とする切削装置。
  3. 該フランジ機構は、該切削ブレードの該装着穴に挿通するボス部と、該ボス部の後方で径方向に張り出し該切削ブレードの該基台の該他方の面を吸引保持するフランジ部と、を備え、該ボス部の先端は吸引保持した該切削ブレードの該基台から突出しない請求項１又は請求項２に記載の切削装置。
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