JP2021013967A - 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード - Google Patents

Abstract

【課題】面倒な作業を要することなく、なおかつ、スピンドル間の距離を接近可能にする切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレードを提供すること。【解決手段】マウント１３に切削ブレード１４を固定する切削ブレードの固定方法では、マウント１３は、回転軸となるスピンドル１２に固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部１３−１と、ボス部１３−１の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレード１４を支持する支持面２３−１と、を含む。また、切削ブレード１４は、中央にボス部１３−１に挿入される挿入穴１４−３を含む。切削ブレードの固定方法は、切削ブレード１４と支持面２３−１とを糊層２０を介して固定する。【選択図】図２

Description

本発明は、切削ブレードを装着する切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレードに関する。

スピンドルに装着したマウントにナットを用いて切削ブレードを装着し固定する技術が知られている（特許文献１参照）。

特開２０１２−０３５３８８号公報

上記の特許文献において切削ブレードを装着し固定するナットがあるので、対向して二つのスピンドルがある場合、スピンドル間の距離を接近できず、加工効率が悪いという問題があった。またナットを所定のトルクで締めつけるという作業が面倒であるという問題があった。ナットを使用せずバキュームによりブレードを固定する技術も開発されているが、バキュームラインを形成するなど構造が複雑であるという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、面倒な作業を要することなく、なおかつ、スピンドル間の距離を接近可能にする切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレードを提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの固定方法は、マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの固定方法は、マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のマウントは、切削ブレードを固定するマウントであって、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該支持面に該切削ブレードを固定する糊層が形成されていることを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する糊層が形成されていることを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のマウントは、切削ブレードを固定するマウントであって、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該支持面に該切削ブレードを固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とする。

本願発明は、面倒な作業を要することなく、なおかつ、スピンドル間の距離を接近可能にすることができる。

図１は、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態１に係るマウントを含む切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態１に係るマウントを含む切削ユニットの構成例を示す分解斜視図である。 図３は、実施形態１の変形例１に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレードを示す平面図である。 図４は、実施形態２に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態２に係るマウントを含む切削ユニットの構成例を示す分解斜視図である。 図５は、実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレードを示す平面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る切削ブレードの固定方法を実施し、本発明の実施形態１に係るマウント１３を含む切削装置１００を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態１に係るマウント１３を含む切削装置１００の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態１に係るマウント１３を含む切削ユニット１０の構成例を示す分解斜視図である。

切削装置１００は、被加工物２００を切削する装置である。実施形態１において、切削装置１００が切削する被加工物２００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物２００は、平坦な表面２０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン２０２によって区画された領域にデバイス２０３が形成されている。被加工物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４に粘着テープ２１０が貼着され、粘着テープ２１０の外縁部に環状フレーム２１１が装着されている。また、本発明では、被加工物２００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

切削装置１００は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１１で吸引保持するとともに回転駆動源により軸心回りに回転可能なチャックテーブル１１０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を切削加工する切削ユニット１０と、チャックテーブル１１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動ユニット１２０と、切削ユニット１０をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動ユニット１３０と、切削ユニット１０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動ユニット１４０とを備える。また、切削装置１００は、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット１５０と、切削前後の被加工物２００を収容するカセット１６０と、被加工物２００をカセット１６０とチャックテーブル１１０と洗浄ユニット１５０との間で搬送する図示しない搬送ユニットと、各構成要素を制御するコンピュータである制御ユニット１７０とを備える。

切削装置１００は、搬送ユニットがカセット１６０内から被加工物２００を１枚取り出してチャックテーブル１１０の保持面１１１に載置する。切削装置１００は、チャックテーブル１１０の保持面１１１に被加工物２００を吸引保持して、切削ユニット１０から被加工物２００に切削水を供給しながら、Ｘ軸移動ユニット１２０、回転駆動源、Ｙ軸移動ユニット１３０及びＺ軸移動ユニット１４０によりチャックテーブル１１０と切削ユニット１０とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させて、切削ユニット１０で被加工物２００の分割予定ライン２０２を切削する。切削装置１００は、被加工物２００の全ての分割予定ライン２０２を切削すると、被加工物２００を洗浄ユニット１５０で洗浄した後にカセット１６０内に収容する。

切削装置１００の切削ユニット１０は、実施形態１では、図１に示すように、チャックテーブル１１０及びＸ軸移動ユニット１２０を挟んでＹ軸方向に対向して設けられた切削ユニット１０−１と、切削ユニット１０−２と、を備える。切削装置１００は、図１に示すように、切削ユニット１０−１，１０−２を２つ備えた、すなわち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。切削ユニット１０−１と切削ユニット１０−２とは、共に同様の構造を備えており、以下において、双方に共通の各部に共通の符号を付して記す。

切削装置１００の切削ユニット１０は、図２に示すように、筒状に形成されかつＹ軸移動ユニット１３０及びＺ軸移動ユニット１４０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１１と、スピンドルハウジング１１内にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル１２とを備える。また、切削ユニット１０は、図１に示すように、スピンドル１２の先端に固定される実施形態１に係るマウント１３と、マウント１３に装着されて固定される切削ブレード１４と、ブレードカバー１５と、を備える。

スピンドル１２は、スピンドルハウジング１１に回転可能に支持されている。スピンドル１２の先端は、スピンドルハウジング１１の一端部から外部に突出している。スピンドル１２の基端部には、スピンドル１２を回転させるための不図示のモータが連結されている。スピンドル１２の先端は、図２に示すように、先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル１２は、先端を露出させた状態でスピンドルハウジング１１内にＹ軸方向に沿った軸心回りに回転自在に収容されている。スピンドル１２は、マウント１３及び切削ブレード１４の回転軸となる。

切削ブレード１４は、マウント１３を介してスピンドル１２の先端に固定されて、回転軸となるスピンドル１２により回転されることで被加工物２００を切削する。切削ブレード１４は、実施形態１では所謂ハブブレードであり、図２に示すように、アルミニウム合金などの金属から構成され、かつ、中央に挿入穴１４−３を有し環状に形成された円盤状の基台１４−１と、基台１４−１の外周縁に設けられ、基台１４−１の外周から突出する環状の切り刃１４−２とを有している。

挿入穴１４−３は、切削ブレード１４をマウント１３に固定するための穴であり、マウント１３のボス部１３−１に挿入される穴である。切り刃１４−２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。切り刃１４−２は、図２に示すように、基台１４−１の平坦な一方の側面の外周縁に固定されて、基台１４−１の外縁より外周方向に突出している。

ブレードカバー１５は、図１に示すように、スピンドルハウジング１１に固定され、切削ブレード１４の上方及びＸ軸方向の少なくとも一方側を覆って、下端に装着された切削水ノズルにより、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード１４及び被加工物２００に供給するものである。

マウント１３は、図２に示すように、前後方向に伸長する円柱状のボス部１３−１と、ボス部１３−１の後方側である＋Ｙ方向側からボス部１３−１の径方向外向きに突出して一体的に形成された円板状のフランジ部１３−２と、フランジ部１３−２の後方側に突出して一体的に形成された円筒部１３−３と、を備える。マウント１３は、ボス部１３−１と、フランジ部１３−２と、円筒部１３−３とが、それぞれの中心軸が互いに重なり、Ｙ軸方向を向いて配されている。

マウント１３は、ボス部１３−１、フランジ部１３−２及び円筒部１３−３に渡って、内側に装着穴１３−４が形成されている。装着穴１３−４は、基端側が、先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル１２の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。マウント１３は、不図示のワッシャーを介して不図示のねじを装着穴１３−４に挿入して、スピンドル１２の先端に形成されたねじ穴１２−１に螺合して締め付けることにより、スピンドル１２の先端に固定される。

装着穴１３−４の軸方向の長さは、ボス部１３−１、フランジ部１３−２及び円筒部１３−３の各部分の軸方向の長さと等しく、スピンドル１２のスピンドルハウジング１１の一端部から外部に突出している突出部の軸方向の長さより、不図示のワッシャー及び不図示のねじで固定するために必要な所定の長さ分だけ長い。このため、円筒部１３−３の軸方向の長さは、ボス部１３−１、フランジ部１３−２及びスピンドル１２の突出部の各部分の軸方向の長さに応じて形成される。マウント１３は、実施形態１では、円筒部１３−３を有する形態であるが、本発明ではこれに限定されず、例えば円筒部１３−３の軸方向の長さが０であることが好ましい場合等には、省略された形態であってもよい。

ボス部１３−１は、切削ブレード１４の基台１４−１が装着される。ボス部１３−１は、具体的には、図２に示すように、切削ブレード１４の基台１４−１の挿入穴１４−３に挿入されて、外周側で、切削ブレード１４の基台１４−１を挿入穴１４−３の内周側から支持する。

ボス部１３−１の軸方向の長さは、対向して設けられた切削ユニット１０−１及び切削ユニット１０−２の互いのスピンドル１２間の距離を接近可能にする長さである。ボス部１３−１の軸方向の長さは、切削ブレード１４をマウント１３に締めつけるナットが不要になるため短くなる。

フランジ部１３−２は、前方側に向いた面の径方向外側に形成された環状の支持面２３−１と、前方側に向いた面の径方向内側に、ボス部１３−１の外周を囲繞して形成された環状凹部２３−２と、を有する。環状の支持面２３−１は、環状凹部２３−２の外周を囲繞して形成されている。環状凹部２３−２は、環状の支持面２３−１よりも＋Ｙ方向に凹んで形成されている。なお、フランジ部１３−２は、実施形態１では環状の支持面２３−１と環状凹部２３−２とを有する形態であるが、本発明はこれに限定されず、支持面２３−１を有していればどのような形状であってもよく、例えば、前方側に向いた面の全面が支持面２３−１を形成していてもよい。

フランジ部１３−２の前方側に向いた面、すなわち環状の支持面２３−１及び環状凹部２３−２は、切削ブレード１４がボス部１３−１に装着された際の装着された切削ブレード１４の基台１４−１の後方側に向いた面２４と対向する。

フランジ部１３−２の支持面２３−１には、糊層２０が形成されている。糊層ディーシー２０は、実施形態１では、環状の支持面２３−１の径方向外側の全周に形成されている。糊層２０は、切削ブレード１４がボス部１３−１に装着された際の装着された切削ブレード１４の支持面２３−１と対向する基台１４−１の面２４に接着する。このように、切削ブレード１４の基台１４−１の面２４と、支持面２３−１とは、糊層２０を介して固定される。

糊層２０は、実施形態１では、糊剤（粘着剤）からなる層であり、例えば、シリコーンゴム、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の材料で形成されている。

糊層２０は、実施形態１では、薄肉なシート状の基材と、基材の両面に形成された糊層とを備える両面糊層シートによって形成されていることが好ましい。すなわち、実施形態１では、フランジ部１３−２の支持面２３−１に、両面糊層シートの一方の面の糊層が接着されることで、両面糊層シートの他方の面の糊層が糊層２０となる形態であることが好ましい。ここで、基材は、例えば、１００μｍ以上２００μｍ以下の所定の厚さを有し、ポリオレフィン（Poly Olefin、ＰＯ）、ポリ塩化ビニル（Poly Vinyl Chloride、ＰＶＣ）、ポリエチレンテレフタレート（Poly Ethylene Terephthalate、ＰＥＴ）等の樹脂材料で形成されている。

糊層２０は、このような基材と糊層とを備える両面糊層シートによって形成されている場合、基材に起因して平坦性が高くなるため、装着される切削ブレード１４の傾斜を好適に低減することができるものとなる。また、糊層２０は、このような両面糊層シートによって形成されている場合、糊層自身の接着性に基づいて接着時には高い接着性を保持することができるとともに、基材の形状維持性に基づいて着脱が容易にできるものとなるので、フランジ部１３−２の支持面２３−１で切削ブレード１４を好適に固定できるとともに、切削ブレード１４を好適に着脱できるものとなる。

以上のような構成を有する切削装置１００の切削ユニット１０で実施される実施形態１に係る切削ブレードの固定方法は、糊層形成ステップと、切削ブレード装着ステップとを有する。糊層形成ステップは、フランジ部１３−２の支持面２３−１に糊層２０を形成するステップである。切削ブレード装着ステップは、切削ブレード１４の基台１４−１の面２４を糊層形成ステップで形成された糊層２０に接着することで、切削ブレード１４と支持面２３−１とを糊層２０を介して固定するステップである。

実施形態１に係る切削ブレードの固定方法は、以上のような構成を有するので、切削ブレード１４と支持面２３−１とを糊層２０を介して固定するため、切削ブレード１４をマウント１３に固定する際にナットを必要としない。また、実施形態１に係るマウント１３は、以上のような構成を有するので、支持面２３−１に切削ブレード１４を固定する糊層２０が形成されているため、切削ブレード１４をマウント１３に固定する際にナットを必要としない。このため、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法及びマウント１３は、ナットを所定のトルクで締めつけるという面倒な作業を要することない。また、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法及びマウント１３は、切削ブレード１４の先端側にナットが突出することがないので、互いに対向して設けられたスピンドル１２間の距離を接近可能にすることができる。

〔変形例１〕
本発明の実施形態１の変形例１に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード１４を図面に基づいて説明する。図３は、実施形態１の変形例１に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレード１４を示す平面図である。図３は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例１に係る切削ブレードの固定方法は、実施形態１において、糊層２０を形成する場所をフランジ部１３−２の支持面２３−１から切削ブレード１４の基台１４−１の面２４に変更したものである。実施形態１の変形例１に係る切削ブレード１４は、実施形態１において、基台１４−１の面２４に糊層２０が形成されたものである。すなわち、実施形態１の変形例１では、糊層２０は、切削ブレード１４の支持面２３−１と対向する面である基台１４−１の面２４に形成されている。

実施形態１の変形例１に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード１４は、以上のような構成を有するので、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法及びマウント１３と同様に、切削ブレード１４と支持面２３−１とを糊層２０を介して固定するため、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法及びマウント１３と同様の作用効果を奏するものとなる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削ブレードの固定方法及びマウント３３を図面に基づいて説明する。図４は、実施形態２に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態２に係るマウント３３を含む切削ユニット３０の構成例を示す分解斜視図である。図４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る切削ブレードの固定方法は、実施形態１において、切削ユニット１０を切削ユニット３０に変更したものである。切削ユニット３０は、切削ユニット１０において、マウント１３及び切削ブレード１４をマウント３３及び切削ブレード３４に変更したものである。

切削ブレード３４は、マウント３３を介してスピンドル１２の先端に固定されて、回転軸となるスピンドル１２により回転されることで被加工物２００を切削する。切削ブレード３４は、実施形態２では所謂ハブレスブレードであり、図４に示すように、円盤状（円環状）であり、中央に切削ブレード３４をマウント３３に固定するための孔である挿入穴３４−３を有している。切削ブレード３４は、実施形態１に係る切削ブレード１４の切り刃１４−２と同様の材料で同様の所定厚みに形成されている。

実施形態２に係るマウント３３は、図４に示すように、ボス部３３−１と、フランジ部３３−２と、円筒部３３−３と、を備え、内側に装着穴３３−４が形成されている。ボス部３３−１、フランジ部３３−２、円筒部３３−３及び装着穴３３−４の各形状は、実施形態１に係るマウント１３のボス部１３−１、フランジ部１３−２、円筒部１３−３及び装着穴１３−４に対して、装着される切削ブレード３４の形状に合わせて変更されているが、その機能面では同様である。

フランジ部３３−２は、前方側に向いた面に環状の支持面４３を有する。フランジ部３３−２の前方側に向いた面、すなわち環状の支持面４３は、切削ブレード３４がボス部３３−１に装着された際の装着された切削ブレード３４の後方側に向いた面４４と対向する。

フランジ部３３−２の支持面４３には、糊層２０が形成されている。糊層２０は、切削ブレード３４がボス部３３−１に装着された際の装着された切削ブレード３４の支持面４３と対向する面４４に接着する。このように、切削ブレード３４の面４４と、支持面４３とは、糊層２０を介して固定される。なお、図４では支持面４３の全体に糊層２０が形成されているが、支持面４３の外周部のみに糊層が形成されていてもよい。

実施形態２に係る切削ブレードの固定方法及びマウント３３は、以上のような構成を有するので、切削ブレード３４が所謂ハブレスブレードであっても、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法及びマウント１３と同様に、切削ブレード３４と支持面４３とを糊層２０を介して固定するため、実施形態１に係る切削ブレードの固定方法及びマウント１３と同様の作用効果を奏するものとなる。

〔変形例２〕
本発明の実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード３４を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレード３４を示す平面図である。図５は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの固定方法は、実施形態２において、糊層２０を形成する場所をフランジ部３３−２の支持面４３から切削ブレード３４の面４４に変更したものである。実施形態２の変形例２に係る切削ブレード３４は、実施形態２において、面４４に糊層２０が形成されたものである。すなわち、実施形態２の変形例２では、糊層２０は、切削ブレード３４の支持面４３と対向する面である面４４に形成されている。

実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード３４は、以上のような構成を有するので、実施形態２に係る切削ブレードの固定方法及びマウント３３と同様に、切削ブレード３４と支持面４３とを糊層２０を介して固定するため、実施形態２に係る切削ブレードの固定方法及びマウント３３と同様の作用効果を奏するものとなる。

〔変形例３〕
本発明の変形例３に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４を説明する。変形例３に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４は、実施形態１、実施形態１の変形例１、実施形態２、実施形態２の変形例２のそれぞれにおいて、糊層２０を微小な凹凸が形成された樹脂シートに変更したものである。

樹脂シートは、変形例３では、例えば、１００μｍ以上２００μｍ以下の所定の厚さを有するものが使用される。樹脂シートに形成された微小な凹凸は、変形例３では、例えば、樹脂シートの表面に、２μｍ以上３μｍ以下、より好ましくは０．１μｍ以上０．３μｍ以下の深さを有する微小な溝が形成されることによって形成される。

樹脂シートに形成された微小な凹凸は、変形例３では、例えば、バイト切削によって円弧の円周方向に沿って離散的に円弧状の切削痕が形成されることにより形成されても良いし、圧縮空気に研磨剤を混ぜて当該樹脂シートの表面に吹き付けるサンドブラストにより形成されても良いし、プラズマエッチングにより表面をエッチングすることにより形成されても良い。

このような樹脂シートは、表面に形成された微小な凹凸に供給された純水を介して、一時的な接着機能を発揮する。これにより、樹脂シートは、糊層２０と同様に、切削ブレード１４，３４と支持面２３−１，４３とを固定するものとなる。

樹脂シートは、切削ブレード１４，３４、もしくは支持面２３−１，４３に対して、糊層等を介して接着されて設けられても良いし、樹脂シートに形成された微小な凹凸が純水を介して発揮する接着機能を利用して接着されて設けられても良い。なお、樹脂シートは、切削ブレード１４，３４、もしくは支持面２３−１，４３に対して、樹脂シートに形成された微小な凹凸が純水を介して発揮する接着機能を利用して接着されて設けられる場合には、樹脂シートの両面に微小な凹凸が形成された両面凹凸樹脂シートによって形成される。

樹脂シートは、発揮する接着機能に基づく接着力が落ちてきた場合には、微小な凹凸を形成する時と同様の方法で端面修正を実施することで、微小な凹凸を形成し直すことで、発揮する接着機能に基づく接着力を復活させることができる。

変形例３に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４は、以上のような構成を有するので、実施形態１、実施形態１の変形例１、実施形態２、実施形態２の変形例２のそれぞれに係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４と同様に、切削ブレード１４，３４と支持面２３−１，４３とを樹脂シートを介して固定するため、実施形態１、実施形態１の変形例１、実施形態２、実施形態２の変形例２のそれぞれに係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４と同様の作用効果を奏するものとなる。また、変形例３に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４は、これに加えて、糊剤（粘着剤）からなる層を要しないので、取り扱いがさらに容易となり、接着力を何度も復活させて効率よく切削ブレード１４，３４の着脱をすることができる。

なお、前述した各実施形態及び各変形例に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４によれば、以下の切削ユニット１０，３０が得られる。
（付記１）
マウントに切削ブレードを固定する切削ユニットであって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする、切削ユニット。
（付記２）
マウントに切削ブレードを固定する切削ユニットであって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする、切削ユニット。

上記切削ユニット１０，３０は、各実施形態及び各変形に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４と同様に、切削ブレード１４，３４と支持面２３−１，４３とを糊層２０または樹脂シートを介して固定するため、切削ブレード１４，３４をマウント１３，３３に固定する際にナットを必要としない。このため、上記切削ユニット１０，３０は、各実施形態及び各変形に係る切削ブレードの固定方法、マウント１３，３３及び切削ブレード１４，３４と同様に、ナットを所定のトルクで締めつけるという面倒な作業を要することない。また、上記切削ユニット１０，３０は、切削ブレード１４，３４の先端側にナットが突出することがないので、互いに対向して設けられたスピンドル１２間の距離を接近可能にすることができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１０，１０−１，１０−２，３０ 切削ユニット
１２ スピンドル
１３，３３ マウント
１３−１，３３−１ ボス部
１３−２，３３−２ フランジ部
１３−３，３３−３ 円筒部
１３−４，３３−４ 装着穴
１４，３４ 切削ブレード
１４−１ 基台
１４−２ 切り刃
１４−３，３４−３ 挿入穴
２０ 糊層
２３−１，４３ 支持面
２３−２ 環状凹部
２４，４４ 面
１００ 切削装置

Claims (6)

1. マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、
   該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
   前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
   該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
   該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
   該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする、切削ブレードの固定方法。
2. マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、
   該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
   前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
   該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
   該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
   該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする、切削ブレードの固定方法。
3. 切削ブレードを固定するマウントであって、
   回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、
   該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
   該支持面に該切削ブレードを固定する糊層が形成されていることを特徴とするマウント。
4. 回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、
   中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
   該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する糊層が形成されていることを特徴とする切削ブレード。
5. 切削ブレードを固定するマウントであって、
   回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、
   該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
   該支持面に該切削ブレードを固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とするマウント。
6. 回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、
   中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
   該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とする切削ブレード。

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