JP2021013967A - 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード - Google Patents
切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021013967A JP2021013967A JP2019128687A JP2019128687A JP2021013967A JP 2021013967 A JP2021013967 A JP 2021013967A JP 2019128687 A JP2019128687 A JP 2019128687A JP 2019128687 A JP2019128687 A JP 2019128687A JP 2021013967 A JP2021013967 A JP 2021013967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting blade
- mount
- cutting
- support surface
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 21
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 54
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 27
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 30
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- -1 PO) Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
【課題】面倒な作業を要することなく、なおかつ、スピンドル間の距離を接近可能にする切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレードを提供すること。【解決手段】マウント13に切削ブレード14を固定する切削ブレードの固定方法では、マウント13は、回転軸となるスピンドル12に固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部13−1と、ボス部13−1の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレード14を支持する支持面23−1と、を含む。また、切削ブレード14は、中央にボス部13−1に挿入される挿入穴14−3を含む。切削ブレードの固定方法は、切削ブレード14と支持面23−1とを糊層20を介して固定する。【選択図】図2
Description
本発明は、切削ブレードを装着する切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレードに関する。
スピンドルに装着したマウントにナットを用いて切削ブレードを装着し固定する技術が知られている(特許文献1参照)。
上記の特許文献において切削ブレードを装着し固定するナットがあるので、対向して二つのスピンドルがある場合、スピンドル間の距離を接近できず、加工効率が悪いという問題があった。またナットを所定のトルクで締めつけるという作業が面倒であるという問題があった。ナットを使用せずバキュームによりブレードを固定する技術も開発されているが、バキュームラインを形成するなど構造が複雑であるという問題があった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、面倒な作業を要することなく、なおかつ、スピンドル間の距離を接近可能にする切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレードを提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの固定方法は、マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする。
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの固定方法は、マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする。
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のマウントは、切削ブレードを固定するマウントであって、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該支持面に該切削ブレードを固定する糊層が形成されていることを特徴とする。
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する糊層が形成されていることを特徴とする。
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のマウントは、切削ブレードを固定するマウントであって、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、該支持面に該切削ブレードを固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とする。
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードは、回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とする。
本願発明は、面倒な作業を要することなく、なおかつ、スピンドル間の距離を接近可能にすることができる。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態1〕
本発明の実施形態1に係る切削ブレードの固定方法を実施し、本発明の実施形態1に係るマウント13を含む切削装置100を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態1に係るマウント13を含む切削装置100の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態1に係るマウント13を含む切削ユニット10の構成例を示す分解斜視図である。
本発明の実施形態1に係る切削ブレードの固定方法を実施し、本発明の実施形態1に係るマウント13を含む切削装置100を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態1に係るマウント13を含む切削装置100の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態1に係るマウント13を含む切削ユニット10の構成例を示す分解斜視図である。
切削装置100は、被加工物200を切削する装置である。実施形態1において、切削装置100が切削する被加工物200は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物200は、平坦な表面201の格子状に形成される複数の分割予定ライン202によって区画された領域にデバイス203が形成されている。被加工物200は、表面201の裏側の裏面204に粘着テープ210が貼着され、粘着テープ210の外縁部に環状フレーム211が装着されている。また、本発明では、被加工物200は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。
切削装置100は、図1に示すように、被加工物200を保持面111で吸引保持するとともに回転駆動源により軸心回りに回転可能なチャックテーブル110と、チャックテーブル110に保持された被加工物200を切削加工する切削ユニット10と、チャックテーブル110をX軸方向に移動させるX軸移動ユニット120と、切削ユニット10をY軸方向に移動させるY軸移動ユニット130と、切削ユニット10をZ軸方向に移動させるZ軸移動ユニット140とを備える。また、切削装置100は、切削後の被加工物200を洗浄する洗浄ユニット150と、切削前後の被加工物200を収容するカセット160と、被加工物200をカセット160とチャックテーブル110と洗浄ユニット150との間で搬送する図示しない搬送ユニットと、各構成要素を制御するコンピュータである制御ユニット170とを備える。
切削装置100は、搬送ユニットがカセット160内から被加工物200を1枚取り出してチャックテーブル110の保持面111に載置する。切削装置100は、チャックテーブル110の保持面111に被加工物200を吸引保持して、切削ユニット10から被加工物200に切削水を供給しながら、X軸移動ユニット120、回転駆動源、Y軸移動ユニット130及びZ軸移動ユニット140によりチャックテーブル110と切削ユニット10とを分割予定ライン202に沿って相対的に移動させて、切削ユニット10で被加工物200の分割予定ライン202を切削する。切削装置100は、被加工物200の全ての分割予定ライン202を切削すると、被加工物200を洗浄ユニット150で洗浄した後にカセット160内に収容する。
切削装置100の切削ユニット10は、実施形態1では、図1に示すように、チャックテーブル110及びX軸移動ユニット120を挟んでY軸方向に対向して設けられた切削ユニット10−1と、切削ユニット10−2と、を備える。切削装置100は、図1に示すように、切削ユニット10−1,10−2を2つ備えた、すなわち、2スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。切削ユニット10−1と切削ユニット10−2とは、共に同様の構造を備えており、以下において、双方に共通の各部に共通の符号を付して記す。
切削装置100の切削ユニット10は、図2に示すように、筒状に形成されかつY軸移動ユニット130及びZ軸移動ユニット140によりY軸方向及びZ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング11と、スピンドルハウジング11内にY軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル12とを備える。また、切削ユニット10は、図1に示すように、スピンドル12の先端に固定される実施形態1に係るマウント13と、マウント13に装着されて固定される切削ブレード14と、ブレードカバー15と、を備える。
スピンドル12は、スピンドルハウジング11に回転可能に支持されている。スピンドル12の先端は、スピンドルハウジング11の一端部から外部に突出している。スピンドル12の基端部には、スピンドル12を回転させるための不図示のモータが連結されている。スピンドル12の先端は、図2に示すように、先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル12は、先端を露出させた状態でスピンドルハウジング11内にY軸方向に沿った軸心回りに回転自在に収容されている。スピンドル12は、マウント13及び切削ブレード14の回転軸となる。
切削ブレード14は、マウント13を介してスピンドル12の先端に固定されて、回転軸となるスピンドル12により回転されることで被加工物200を切削する。切削ブレード14は、実施形態1では所謂ハブブレードであり、図2に示すように、アルミニウム合金などの金属から構成され、かつ、中央に挿入穴14−3を有し環状に形成された円盤状の基台14−1と、基台14−1の外周縁に設けられ、基台14−1の外周から突出する環状の切り刃14−2とを有している。
挿入穴14−3は、切削ブレード14をマウント13に固定するための穴であり、マウント13のボス部13−1に挿入される穴である。切り刃14−2は、ダイヤモンドやCBN(Cubic Boron Nitride)等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材(結合材)とからなり所定厚みに形成されている。切り刃14−2は、図2に示すように、基台14−1の平坦な一方の側面の外周縁に固定されて、基台14−1の外縁より外周方向に突出している。
ブレードカバー15は、図1に示すように、スピンドルハウジング11に固定され、切削ブレード14の上方及びX軸方向の少なくとも一方側を覆って、下端に装着された切削水ノズルにより、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード14及び被加工物200に供給するものである。
マウント13は、図2に示すように、前後方向に伸長する円柱状のボス部13−1と、ボス部13−1の後方側である+Y方向側からボス部13−1の径方向外向きに突出して一体的に形成された円板状のフランジ部13−2と、フランジ部13−2の後方側に突出して一体的に形成された円筒部13−3と、を備える。マウント13は、ボス部13−1と、フランジ部13−2と、円筒部13−3とが、それぞれの中心軸が互いに重なり、Y軸方向を向いて配されている。
マウント13は、ボス部13−1、フランジ部13−2及び円筒部13−3に渡って、内側に装着穴13−4が形成されている。装着穴13−4は、基端側が、先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル12の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。マウント13は、不図示のワッシャーを介して不図示のねじを装着穴13−4に挿入して、スピンドル12の先端に形成されたねじ穴12−1に螺合して締め付けることにより、スピンドル12の先端に固定される。
装着穴13−4の軸方向の長さは、ボス部13−1、フランジ部13−2及び円筒部13−3の各部分の軸方向の長さと等しく、スピンドル12のスピンドルハウジング11の一端部から外部に突出している突出部の軸方向の長さより、不図示のワッシャー及び不図示のねじで固定するために必要な所定の長さ分だけ長い。このため、円筒部13−3の軸方向の長さは、ボス部13−1、フランジ部13−2及びスピンドル12の突出部の各部分の軸方向の長さに応じて形成される。マウント13は、実施形態1では、円筒部13−3を有する形態であるが、本発明ではこれに限定されず、例えば円筒部13−3の軸方向の長さが0であることが好ましい場合等には、省略された形態であってもよい。
ボス部13−1は、切削ブレード14の基台14−1が装着される。ボス部13−1は、具体的には、図2に示すように、切削ブレード14の基台14−1の挿入穴14−3に挿入されて、外周側で、切削ブレード14の基台14−1を挿入穴14−3の内周側から支持する。
ボス部13−1の軸方向の長さは、対向して設けられた切削ユニット10−1及び切削ユニット10−2の互いのスピンドル12間の距離を接近可能にする長さである。ボス部13−1の軸方向の長さは、切削ブレード14をマウント13に締めつけるナットが不要になるため短くなる。
フランジ部13−2は、前方側に向いた面の径方向外側に形成された環状の支持面23−1と、前方側に向いた面の径方向内側に、ボス部13−1の外周を囲繞して形成された環状凹部23−2と、を有する。環状の支持面23−1は、環状凹部23−2の外周を囲繞して形成されている。環状凹部23−2は、環状の支持面23−1よりも+Y方向に凹んで形成されている。なお、フランジ部13−2は、実施形態1では環状の支持面23−1と環状凹部23−2とを有する形態であるが、本発明はこれに限定されず、支持面23−1を有していればどのような形状であってもよく、例えば、前方側に向いた面の全面が支持面23−1を形成していてもよい。
フランジ部13−2の前方側に向いた面、すなわち環状の支持面23−1及び環状凹部23−2は、切削ブレード14がボス部13−1に装着された際の装着された切削ブレード14の基台14−1の後方側に向いた面24と対向する。
フランジ部13−2の支持面23−1には、糊層20が形成されている。糊層ディーシー20は、実施形態1では、環状の支持面23−1の径方向外側の全周に形成されている。糊層20は、切削ブレード14がボス部13−1に装着された際の装着された切削ブレード14の支持面23−1と対向する基台14−1の面24に接着する。このように、切削ブレード14の基台14−1の面24と、支持面23−1とは、糊層20を介して固定される。
糊層20は、実施形態1では、糊剤(粘着剤)からなる層であり、例えば、シリコーンゴム、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の材料で形成されている。
糊層20は、実施形態1では、薄肉なシート状の基材と、基材の両面に形成された糊層とを備える両面糊層シートによって形成されていることが好ましい。すなわち、実施形態1では、フランジ部13−2の支持面23−1に、両面糊層シートの一方の面の糊層が接着されることで、両面糊層シートの他方の面の糊層が糊層20となる形態であることが好ましい。ここで、基材は、例えば、100μm以上200μm以下の所定の厚さを有し、ポリオレフィン(Poly Olefin、PO)、ポリ塩化ビニル(Poly Vinyl Chloride、PVC)、ポリエチレンテレフタレート(Poly Ethylene Terephthalate、PET)等の樹脂材料で形成されている。
糊層20は、このような基材と糊層とを備える両面糊層シートによって形成されている場合、基材に起因して平坦性が高くなるため、装着される切削ブレード14の傾斜を好適に低減することができるものとなる。また、糊層20は、このような両面糊層シートによって形成されている場合、糊層自身の接着性に基づいて接着時には高い接着性を保持することができるとともに、基材の形状維持性に基づいて着脱が容易にできるものとなるので、フランジ部13−2の支持面23−1で切削ブレード14を好適に固定できるとともに、切削ブレード14を好適に着脱できるものとなる。
以上のような構成を有する切削装置100の切削ユニット10で実施される実施形態1に係る切削ブレードの固定方法は、糊層形成ステップと、切削ブレード装着ステップとを有する。糊層形成ステップは、フランジ部13−2の支持面23−1に糊層20を形成するステップである。切削ブレード装着ステップは、切削ブレード14の基台14−1の面24を糊層形成ステップで形成された糊層20に接着することで、切削ブレード14と支持面23−1とを糊層20を介して固定するステップである。
実施形態1に係る切削ブレードの固定方法は、以上のような構成を有するので、切削ブレード14と支持面23−1とを糊層20を介して固定するため、切削ブレード14をマウント13に固定する際にナットを必要としない。また、実施形態1に係るマウント13は、以上のような構成を有するので、支持面23−1に切削ブレード14を固定する糊層20が形成されているため、切削ブレード14をマウント13に固定する際にナットを必要としない。このため、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法及びマウント13は、ナットを所定のトルクで締めつけるという面倒な作業を要することない。また、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法及びマウント13は、切削ブレード14の先端側にナットが突出することがないので、互いに対向して設けられたスピンドル12間の距離を接近可能にすることができる。
〔変形例1〕
本発明の実施形態1の変形例1に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード14を図面に基づいて説明する。図3は、実施形態1の変形例1に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレード14を示す平面図である。図3は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態1の変形例1に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード14を図面に基づいて説明する。図3は、実施形態1の変形例1に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレード14を示す平面図である。図3は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態1の変形例1に係る切削ブレードの固定方法は、実施形態1において、糊層20を形成する場所をフランジ部13−2の支持面23−1から切削ブレード14の基台14−1の面24に変更したものである。実施形態1の変形例1に係る切削ブレード14は、実施形態1において、基台14−1の面24に糊層20が形成されたものである。すなわち、実施形態1の変形例1では、糊層20は、切削ブレード14の支持面23−1と対向する面である基台14−1の面24に形成されている。
実施形態1の変形例1に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード14は、以上のような構成を有するので、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法及びマウント13と同様に、切削ブレード14と支持面23−1とを糊層20を介して固定するため、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法及びマウント13と同様の作用効果を奏するものとなる。
〔実施形態2〕
本発明の実施形態2に係る切削ブレードの固定方法及びマウント33を図面に基づいて説明する。図4は、実施形態2に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態2に係るマウント33を含む切削ユニット30の構成例を示す分解斜視図である。図4は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態2に係る切削ブレードの固定方法及びマウント33を図面に基づいて説明する。図4は、実施形態2に係る切削ブレードの固定方法を実施し、実施形態2に係るマウント33を含む切削ユニット30の構成例を示す分解斜視図である。図4は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態2に係る切削ブレードの固定方法は、実施形態1において、切削ユニット10を切削ユニット30に変更したものである。切削ユニット30は、切削ユニット10において、マウント13及び切削ブレード14をマウント33及び切削ブレード34に変更したものである。
切削ブレード34は、マウント33を介してスピンドル12の先端に固定されて、回転軸となるスピンドル12により回転されることで被加工物200を切削する。切削ブレード34は、実施形態2では所謂ハブレスブレードであり、図4に示すように、円盤状(円環状)であり、中央に切削ブレード34をマウント33に固定するための孔である挿入穴34−3を有している。切削ブレード34は、実施形態1に係る切削ブレード14の切り刃14−2と同様の材料で同様の所定厚みに形成されている。
実施形態2に係るマウント33は、図4に示すように、ボス部33−1と、フランジ部33−2と、円筒部33−3と、を備え、内側に装着穴33−4が形成されている。ボス部33−1、フランジ部33−2、円筒部33−3及び装着穴33−4の各形状は、実施形態1に係るマウント13のボス部13−1、フランジ部13−2、円筒部13−3及び装着穴13−4に対して、装着される切削ブレード34の形状に合わせて変更されているが、その機能面では同様である。
フランジ部33−2は、前方側に向いた面に環状の支持面43を有する。フランジ部33−2の前方側に向いた面、すなわち環状の支持面43は、切削ブレード34がボス部33−1に装着された際の装着された切削ブレード34の後方側に向いた面44と対向する。
フランジ部33−2の支持面43には、糊層20が形成されている。糊層20は、切削ブレード34がボス部33−1に装着された際の装着された切削ブレード34の支持面43と対向する面44に接着する。このように、切削ブレード34の面44と、支持面43とは、糊層20を介して固定される。なお、図4では支持面43の全体に糊層20が形成されているが、支持面43の外周部のみに糊層が形成されていてもよい。
実施形態2に係る切削ブレードの固定方法及びマウント33は、以上のような構成を有するので、切削ブレード34が所謂ハブレスブレードであっても、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法及びマウント13と同様に、切削ブレード34と支持面43とを糊層20を介して固定するため、実施形態1に係る切削ブレードの固定方法及びマウント13と同様の作用効果を奏するものとなる。
〔変形例2〕
本発明の実施形態2の変形例2に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード34を図面に基づいて説明する。図5は、実施形態2の変形例2に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレード34を示す平面図である。図5は、実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態2の変形例2に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード34を図面に基づいて説明する。図5は、実施形態2の変形例2に係る切削ブレードの固定方法を実施する切削ブレード34を示す平面図である。図5は、実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態2の変形例2に係る切削ブレードの固定方法は、実施形態2において、糊層20を形成する場所をフランジ部33−2の支持面43から切削ブレード34の面44に変更したものである。実施形態2の変形例2に係る切削ブレード34は、実施形態2において、面44に糊層20が形成されたものである。すなわち、実施形態2の変形例2では、糊層20は、切削ブレード34の支持面43と対向する面である面44に形成されている。
実施形態2の変形例2に係る切削ブレードの固定方法及び切削ブレード34は、以上のような構成を有するので、実施形態2に係る切削ブレードの固定方法及びマウント33と同様に、切削ブレード34と支持面43とを糊層20を介して固定するため、実施形態2に係る切削ブレードの固定方法及びマウント33と同様の作用効果を奏するものとなる。
〔変形例3〕
本発明の変形例3に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34を説明する。変形例3に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34は、実施形態1、実施形態1の変形例1、実施形態2、実施形態2の変形例2のそれぞれにおいて、糊層20を微小な凹凸が形成された樹脂シートに変更したものである。
本発明の変形例3に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34を説明する。変形例3に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34は、実施形態1、実施形態1の変形例1、実施形態2、実施形態2の変形例2のそれぞれにおいて、糊層20を微小な凹凸が形成された樹脂シートに変更したものである。
樹脂シートは、変形例3では、例えば、100μm以上200μm以下の所定の厚さを有するものが使用される。樹脂シートに形成された微小な凹凸は、変形例3では、例えば、樹脂シートの表面に、2μm以上3μm以下、より好ましくは0.1μm以上0.3μm以下の深さを有する微小な溝が形成されることによって形成される。
樹脂シートに形成された微小な凹凸は、変形例3では、例えば、バイト切削によって円弧の円周方向に沿って離散的に円弧状の切削痕が形成されることにより形成されても良いし、圧縮空気に研磨剤を混ぜて当該樹脂シートの表面に吹き付けるサンドブラストにより形成されても良いし、プラズマエッチングにより表面をエッチングすることにより形成されても良い。
このような樹脂シートは、表面に形成された微小な凹凸に供給された純水を介して、一時的な接着機能を発揮する。これにより、樹脂シートは、糊層20と同様に、切削ブレード14,34と支持面23−1,43とを固定するものとなる。
樹脂シートは、切削ブレード14,34、もしくは支持面23−1,43に対して、糊層等を介して接着されて設けられても良いし、樹脂シートに形成された微小な凹凸が純水を介して発揮する接着機能を利用して接着されて設けられても良い。なお、樹脂シートは、切削ブレード14,34、もしくは支持面23−1,43に対して、樹脂シートに形成された微小な凹凸が純水を介して発揮する接着機能を利用して接着されて設けられる場合には、樹脂シートの両面に微小な凹凸が形成された両面凹凸樹脂シートによって形成される。
樹脂シートは、発揮する接着機能に基づく接着力が落ちてきた場合には、微小な凹凸を形成する時と同様の方法で端面修正を実施することで、微小な凹凸を形成し直すことで、発揮する接着機能に基づく接着力を復活させることができる。
変形例3に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34は、以上のような構成を有するので、実施形態1、実施形態1の変形例1、実施形態2、実施形態2の変形例2のそれぞれに係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34と同様に、切削ブレード14,34と支持面23−1,43とを樹脂シートを介して固定するため、実施形態1、実施形態1の変形例1、実施形態2、実施形態2の変形例2のそれぞれに係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34と同様の作用効果を奏するものとなる。また、変形例3に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34は、これに加えて、糊剤(粘着剤)からなる層を要しないので、取り扱いがさらに容易となり、接着力を何度も復活させて効率よく切削ブレード14,34の着脱をすることができる。
なお、前述した各実施形態及び各変形例に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34によれば、以下の切削ユニット10,30が得られる。
(付記1)
マウントに切削ブレードを固定する切削ユニットであって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする、切削ユニット。
(付記2)
マウントに切削ブレードを固定する切削ユニットであって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする、切削ユニット。
(付記1)
マウントに切削ブレードを固定する切削ユニットであって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする、切削ユニット。
(付記2)
マウントに切削ブレードを固定する切削ユニットであって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする、切削ユニット。
上記切削ユニット10,30は、各実施形態及び各変形に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34と同様に、切削ブレード14,34と支持面23−1,43とを糊層20または樹脂シートを介して固定するため、切削ブレード14,34をマウント13,33に固定する際にナットを必要としない。このため、上記切削ユニット10,30は、各実施形態及び各変形に係る切削ブレードの固定方法、マウント13,33及び切削ブレード14,34と同様に、ナットを所定のトルクで締めつけるという面倒な作業を要することない。また、上記切削ユニット10,30は、切削ブレード14,34の先端側にナットが突出することがないので、互いに対向して設けられたスピンドル12間の距離を接近可能にすることができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
10,10−1,10−2,30 切削ユニット
12 スピンドル
13,33 マウント
13−1,33−1 ボス部
13−2,33−2 フランジ部
13−3,33−3 円筒部
13−4,33−4 装着穴
14,34 切削ブレード
14−1 基台
14−2 切り刃
14−3,34−3 挿入穴
20 糊層
23−1,43 支持面
23−2 環状凹部
24,44 面
100 切削装置
12 スピンドル
13,33 マウント
13−1,33−1 ボス部
13−2,33−2 フランジ部
13−3,33−3 円筒部
13−4,33−4 装着穴
14,34 切削ブレード
14−1 基台
14−2 切り刃
14−3,34−3 挿入穴
20 糊層
23−1,43 支持面
23−2 環状凹部
24,44 面
100 切削装置
Claims (6)
- マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを糊層を介して固定することを特徴とする、切削ブレードの固定方法。 - マウントに切削ブレードを固定する切削ブレードの固定方法であって、
該マウントは、回転軸となるスピンドルに固定され、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードと該支持面とを微小な凹凸が形成された樹脂シートを介して固定することを特徴とする、切削ブレードの固定方法。 - 切削ブレードを固定するマウントであって、
回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該支持面に該切削ブレードを固定する糊層が形成されていることを特徴とするマウント。 - 回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、
中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する糊層が形成されていることを特徴とする切削ブレード。 - 切削ブレードを固定するマウントであって、
回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長するとともに、該切削ブレードの中央の挿入穴に挿入される円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該支持面に該切削ブレードを固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とするマウント。 - 回転軸となるスピンドルに固定され、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含むマウントに固定される切削ブレードであって、
中央に該ボス部に挿入される挿入穴を含み、
該切削ブレードの該支持面と対向する面に、該マウントに固定する微小な凹凸が形成された樹脂シートが形成されていることを特徴とする切削ブレード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019128687A JP2021013967A (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019128687A JP2021013967A (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021013967A true JP2021013967A (ja) | 2021-02-12 |
Family
ID=74530774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019128687A Pending JP2021013967A (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021013967A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235764U (ja) * | 1985-08-22 | 1987-03-03 | ||
JP2007073586A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削工具 |
-
2019
- 2019-07-10 JP JP2019128687A patent/JP2021013967A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235764U (ja) * | 1985-08-22 | 1987-03-03 | ||
JP2007073586A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削工具 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7045841B2 (ja) | 切削装置 | |
JP7019241B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
JP5717571B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2007073586A (ja) | 切削工具 | |
JP6938087B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
TW202009100A (zh) | 研磨墊 | |
JP6576135B2 (ja) | 切削ブレードの先端形状成形方法 | |
JP6425505B2 (ja) | 被加工物の研削方法 | |
KR20170000770A (ko) | 절삭 블레이드 및 절삭 블레이드의 장착 구조 | |
JP2021013967A (ja) | 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード | |
KR102560286B1 (ko) | 플랜지 기구 | |
JP7018724B2 (ja) | 切削ブレード及び切削ブレードの装着機構 | |
JP7300912B2 (ja) | 加工装置 | |
JP7454920B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5313022B2 (ja) | 被加工物の切削方法 | |
JP2020171990A (ja) | 基台付きブレード | |
JP2007290046A (ja) | 切削工具 | |
JP7224243B2 (ja) | フランジ機構 | |
JP2022041697A (ja) | 切削装置及び被加工物の切削方法 | |
JP7224244B2 (ja) | フランジ機構 | |
JP5448613B2 (ja) | 切削ブレードのドレッシング方法 | |
JP2024035879A (ja) | 被加工物の切削方法 | |
JP2016010823A (ja) | 研削装置 | |
JP2021133433A (ja) | ドレッサーボード | |
JP2021180203A (ja) | チップの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231003 |