JP2022041697A - 切削装置及び被加工物の切削方法 - Google Patents

切削装置及び被加工物の切削方法 Download PDF

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Abstract

【課題】従来よりも切削ブレードの振動を低減できる切削装置及び被加工物の切削方法を提供すること。【解決手段】切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドル２２の先端にマウント２４を介して固定された切削ブレード２１でチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニット２０と、切削ブレード２１に切削水を供給するノズル３０と、を有し、切削ブレード２１は、厚さ０．２ｍｍ以下で刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が３０以上でマウント２４に固定されており、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって切削水を供給するノズル３１を備え、ノズル３１は、切削水の流れを整流する仕切り板３８を内部に備えている。【選択図】図３

Description

本発明は、切削装置及び被加工物の切削方法に関する。
半導体デバイスが形成されたウエーハや樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板など、各種板状の被加工物をチップに分割したり、溝を形成したりするために、高速回転するスピンドルの先端に切削ブレードを固定する切削装置及び被加工物の切削方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１５－０２３２２２号公報
切削ブレードは、刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が高ければ高いほど振動しやすく、切削溝が蛇行したり、切削したチップの側面にソーマークが付いたりするため、切削ブレードの剛性に合わせてアスペクト比を適度に調整する必要があった。しかしながら、切削溝の溝幅を狭くする事で、分割予定ライン（ストリート）も細くでき、採取できるチップの数が増えるため、高アスペクト比による加工は常に求められていた。更に、マウントにバキューム力（負圧）で切削ブレードを固定する、所謂バキュームフランジは、マウントにナット等で機械的に切削ブレードを固定するよりも、切削ブレードの振動が発生しやすい恐れがあり、高アスペクト比の条件では、更にブレードが振動する恐れがあるという問題があった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、従来よりも切削ブレードの振動を低減できる切削装置及び被加工物の切削方法を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端にマウントを介して固定された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有し、該切削ブレードは、厚さ０．２ｍｍ以下で刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が３０以上で該マウントに固定された切削装置であって、該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって切削水を供給するノズルを備え、該ノズルは、切削水の流れを整流する仕切り板を内部に備えていることを特徴とする。
該マウントは、該スピンドルの先端に嵌合し該切削ブレードを支持する支持マウントと、該支持マウントに支持された該切削ブレードを該支持マウントに固定する固定マウントと、を備え、該支持マウントは、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジング側である後方側から該固定マウントに対面する支持面へ貫通する吸引路を内部に有し、該スピンドルハウジングの前方に設けられたロータリージョイントからの負圧を、該支持マウントの該吸引路を介して該固定マウントに作用させ、該固定マウントを該支持マウントの該支持面に吸引固定することで、該支持マウントと該固定マウントとで該切削ブレードを挟持してもよい。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の切削方法は、上記したいずれかの切削装置を用いた被加工物の切削方法であって、該ノズルからの該切削水を該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって供給しつつ、該チャックテーブルで保持した該被加工物を該切削ブレードで切削し、該ノズルから供給される切削水に起因する該切削ブレードの振動を抑制しながら被加工物を切削することを特徴とする。
本発明は、従来よりも切削ブレードの振動を低減できる。
図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１の切削ユニットを示す断面図である。 図３は、図１の切削ユニットを示す正面図である。 図４は、図３のノズルを示す部分断面図である。 図５は、図３のノズルを示す断面図である。 図６は、図３のノズルの供給口と切削ブレードとの位置関係を説明する図である。 図７は、実施形態に係る被加工物の切削方法の一例を示す断面図である。 図８は、実施形態に係る切削装置及び被加工物の切削方法の作用効果を説明する図である。
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る切削装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る切削装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態に係る切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削ユニット２０と、ノズル３０と、制御ユニット４０と、を有する。
本実施形態において、切削装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン（ストリート）１０２によって区画された領域にチップサイズのデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、本実施形態では、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状のフレーム１０６が装着されているが、本発明ではこれに限定されない。また、被加工物１００は、本発明では、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。
チャックテーブル１０は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。チャックテーブル１０の吸着部は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１０の吸着部の上面は、被加工物１００が載置されて、載置された被加工物１００を吸引保持する保持面１１である。保持面１１とチャックテーブル１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面であるＸＹ平面に平行に形成されている。チャックテーブル１０は、不図示のＸ軸移動ユニットにより水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動自在で、不図示の回転駆動源により鉛直方向でありＸＹ平面に直交するＺ軸回りに回転自在に設けられている。
切削ユニット２０は、切削ブレード２１で、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。切削ユニット２０は、図１に示すように、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削装置１は、切削ユニット２０の切削ブレード２１を回転させながら、Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の切削ブレード２１をチャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿った切削溝２００（図７参照）を形成する。
切削装置１は、図１に示すように、カセット載置台９１と、洗浄ユニット９２と、不図示の搬送ユニットと、をさらに有する。カセット載置台９１は、複数の被加工物１００を収容するための収容器であるカセット９５を載置する載置台であり、載置されたカセット９５をＺ軸方向に昇降させる。洗浄ユニット９２は、切削加工後の被加工物１００を洗浄し、被加工物１００に付着した切削屑等の異物を除去する。不図示の搬送ユニットは、切削加工前の被加工物１００をカセット９５内からチャックテーブル１０上に搬送し、切削加工後の被加工物１００をチャックテーブル１０上から洗浄ユニット９２に搬送し、洗浄後の被加工物１００を洗浄ユニット９２からカセット９５内に搬送する。
図２は、図１の切削ユニット２０の構成例を示す断面図である。図３は、図１の切削ユニット２０を示す正面図である。切削ユニット２０は、図２及び図３に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、マウント２４と、ロータリージョイント２５と、ブレードカバー２６と、を備える。
切削ブレード２１は、マウント２４を介してスピンドル２２の先端に固定され、スピンドル２２の回転動作に伴い、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向と平行な軸心周りに回転する。切削ブレード２１は、本実施形態では所謂ハブレスブレードであり、円盤状（円環状）の切り刃２１－１を有する。切削ブレード２１は、中央に、切削ブレード２１をマウント２４に固定するための孔である装着穴２１－２を有している。切り刃２１－１の外周面は、軸方向の長さが所定厚みを備え、切削ブレード２１で切削加工する際に切削面となる。切り刃２１－１の両側の側面２１－３は、互いに平行に形成されており、いずれも切り刃２１－１の外周面に直交している。切り刃２１－１は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり、所定厚みに形成されている。
スピンドル２２は、スピンドルハウジング２３から先端を外部に露出させた状態で、スピンドルハウジング２３にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転可能に支持されて、スピンドルハウジング２３内に収容されている。スピンドル２２の先端は、図２に示すように、部分的に先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル２２の基端部には、スピンドル２２を回転させるための不図示のモータが連結されている。
マウント２４は、図２に示すように、支持マウント５０と、固定マウント６０と、を備える。支持マウント５０は、スピンドル２２の先端に嵌合し、切削ブレード２１をスピンドルハウジング２３側である後方側（＋Ｙ方向側）から支持する。支持マウント５０は、ボス部５１と、支持フランジ部５２と、円筒部５３と、を備える。ボス部５１は、スピンドル２２の回転軸の方向であるＹ軸方向に伸長する円筒状に形成されている。支持フランジ部５２は、ボス部５１の後方側からボス部５１の径方向外向きに延出して円盤状（円環状）に形成されている。円筒部５３は、支持フランジ部５２の後方側に突出して形成されている。ボス部５１と、支持フランジ部５２と、円筒部５３とは、一体的に形成され、それぞれの中心軸が互いに重なりＹ軸方向に沿って配されている。
支持マウント５０は、内側に装着穴５４が形成されている。装着穴５４は、部分的に先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル２２の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。支持マウント５０は、スピンドル２２の先端を装着穴５４に挿入して、スピンドル２２の先端側である前方側（－Ｙ方向側）から内周にねじ溝が形成された締付ナット２７を、スピンドル２２の先端に形成されたねじ溝２２－１に螺合して締め付けることにより、スピンドル２２の先端に固定される。
ボス部５１は、固定マウント６０の装着穴６１に挿入されて、外周側で、固定マウント６０を装着穴６１の内周側から支持する。円筒部５３は、ロータリージョイント２５の収容穴２５－１に対してＹ軸周りに回転可能に隙間なく嵌合される。
支持フランジ部５２は、前方側に向いた支持面５２－１と、環状凹部５２－２と、を有する。支持面５２－１は、環状凹部５２－２を囲繞し、支持フランジ部５２の前方側に向いた面の径方向外側に環状に形成されており、切削ブレード２１の後方側の面を支持する。環状凹部５２－２は、ボス部５１を囲繞し、支持面５２－１よりも後方側に凹んで形成されており、固定マウント６０の環状凸部６３が嵌合される。
支持マウント５０は、支持フランジ部５２から円筒部５３にわたって、内部に形成された吸引路５５を有する。吸引路５５は、前方側が、環状凹部５２－２の底面５２－３に連通し、支持面５２－１へ連通する。また、吸引路５５は、後方側が、支持マウント５０の円筒部５３がロータリージョイント２５の収容穴２５－１に嵌合された際に、ロータリージョイント２５の吸引路２５－２と連通する。
固定マウント６０は、支持マウント５０の支持面５２－１に支持された切削ブレード２１に前方側からかぶせてボス部５１の外周側に装着することで、切削ブレード２１を支持マウント５０に固定する。固定マウント６０は、内側に装着穴６１が形成されている。装着穴６１は、支持マウント５０のボス部５１の外周に隙間なく嵌め合わせされる。
固定マウント６０は、後方側に向いた支持面６２と、環状凸部６３と、を有する。支持面６２は、環状凸部６３を囲繞し、固定マウント６０の後方側に向いた面の径方向外側に環状に形成されており、切削ブレード２１の前方側の面を支持する。環状凸部６３は、支持面６２よりも後方側に突出して形成されており、固定マウント６０が支持マウント５０に装着された際にボス部５１を囲繞し、切削ブレード２１の装着穴２１－２及び支持マウント５０の環状凹部５２－２に嵌合される。
固定マウント６０が切削ブレード２１を間に挟んで支持マウント５０に装着されると、支持マウント５０の支持面５２－１と固定マウント６０の支持面６２とが切削ブレード２１を介して互いにＹ軸方向に対向する。また、同様に固定マウント６０が支持マウント５０に装着されると、支持マウント５０の環状凹部５２－２の底面５２－３と、固定マウント６０の環状凸部６３の凸面６４とがＹ軸方向に対面し、密閉空間７５を形成する。
ロータリージョイント２５は、スピンドルハウジング２３の前方に設けられている。ロータリージョイント２５は、内側に収容穴２５－１が形成されている。収容穴２５－１は、前方側から支持マウント５０の円筒部５３が嵌合される。ロータリージョイント２５は、径方向外向きに延出して吸引路２５－２が形成されている。吸引路２５－２は、外周側が、吸引路２５－２に負圧を導入する吸引源７９と接続されている。吸引路２５－２は、内周側が、支持マウント５０の円筒部５３がロータリージョイント２５の収容穴２５－１に嵌合された際に、支持マウント５０の吸引路５５と連通する。
マウント２４は、ロータリージョイント２５からの負圧を、支持マウント５０の吸引路５５及び密閉空間７５を介して固定マウント６０に作用させ、固定マウント６０を支持マウント５０側（後方側）に向けて吸引固定することで、支持マウント５０の支持面５２－１と固定マウント６０の支持面６２とで切削ブレード２１を挟持する。
なお、マウント２４は、本発明では上記した形態に限定されない。マウント２４は、本発明では、例えば、固定マウント６０が締付ナット２７及び支持マウント５０のボス部５１を前方側から覆う形態であってもよい。また、マウント２４は、本発明では、切り刃２１－１と切り刃２１－１の内周に設けられた基台とを有する所謂ハブブレードの基台部分を、上記と同様の形状の支持マウント５０と固定マウント６０とで挟持する形態であってもよい。また、マウント２４は、本発明では、ロータリージョイント２５からの負圧により切削ブレード２１をスピンドル２２の先端に固定する所謂バキュームフランジ構造の形態に限定されず、ボス部５１の先端に設けられた雄ネジに螺合するナットの締め付け等のみにより切削ブレード２１をスピンドル２２の先端に固定する形態であってもよい。
切削ブレード２１の切り刃２１－１は、刃先出し量７１を刃厚７２で割った値で示されるアスペクト比（無次元量）が３０以上でマウント２４に固定されている。ここで、刃先出し量７１は、切削ブレード２１の切り刃２１－１が切り刃２１－１を支持する部材の外周縁から突出している径方向の長さである。刃先出し量７１は、本実施形態のように切削ブレード２１がハブレスブレードである場合、図２に示すように、マウント２４の外周縁から切り刃２１－１の外周縁までの径方向の長さである。なお、マウント２４の外周縁は、切削ブレード２１を挟持する支持面５２－１の外周縁と支持面６２の外周縁とのうち外周側に位置する方の外周縁を指す。また、刃先出し量７１は、切削ブレード２１がハブブレードである場合、基台の外周縁から切り刃２１－１の外周縁までの径方向の長さである。刃厚７２は、図２に示すように、切削ブレード２１の切り刃２１－１の刃先出しされている部分の厚さである。刃厚７２は、本実施形態では、０．２ｍｍ以下である。アスペクト比は、刃先出し量７１と刃厚７２との単位が揃えられて、刃先出し量７１の数値を刃厚７２の数値で割ることで算出される。
ブレードカバー２６は、図３に示すように、スピンドルハウジング２３の前方側に装着されており、切削ブレード２１及びスピンドル２２の前方側の少なくとも一部を覆う。ブレードカバー２６は、内部に複数の水路２６－１，２６－２が形成されている。
ノズル３０は、図３に示すように、ノズル３１と、ノズル３２と、を備える。ノズル３１は、概ね円筒状であり、先端に切削水を供給する概ね円形の供給口３１－１が形成されている。ノズル３１は、水路２６－１の下端に回動部３６及び回動部３７を介して設けられ、水路２６－１の上端から切削水供給部３３を介して切削水供給源３９から供給される切削水を、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって供給する。ノズル３２は、水路２６－２の下端に設けられ、水路２６－２の上端から切削水供給部３４を介して切削水供給源３９から供給される切削水を、切削ブレード２１の切り刃２１－１の側方に供給する。切削水は、例えば、純水である。
ここで、ノズル３１が、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって供給するとは、図３のように切削ブレード２１の外周から切削ブレード２１の中心に向かう径方向成分８１に沿って切り刃２１－１の外周面に向けて切削水を供給したり、切削ブレード２１の周方向に沿う周方向成分８２に沿って切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に向けて切削水を供給したりすることである。ここで、切削水の供給方向８０は、ノズル３１の供給口３１－１の面に直交している。また、切削水の供給方向８０は、切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に交差する。ノズル３１は、回動部３６，３７により切削ブレード２１の切り刃２１－１の側面２１－３に平行な所定の面内で切削水の供給方向８０を変更できる。
図４は、図３のノズル３１を示す部分断面図である。図４は、図３のノズル３１の供給口３１－１付近の先端領域の、供給口３１－１の中心を通り供給方向８０を含む面における断面を示している。図５は、図３のノズル３１を示す断面図である。図５は、図３のノズル３１の先端領域の、供給口３１－１に平行な面における断面図であり、図４のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。ノズル３１は、図４及び図５に示すように、仕切り板３８を備える。仕切り板３８は、ノズル３１の切削水が流れる内部の、供給口３１－１付近の先端領域に設けられており、供給口３１－１から供給方向８０に供給される直前の切削水の流れを整流する。仕切り板３８は、切削水の供給方向８０に沿って延びる１つまたは複数の薄い板状の部材であり、図５に示す例では、ノズル３１の内部に挿入して設けられた、切削水の供給方向８０に沿って延びる７つの円筒状の部材である。
図６は、図３のノズル３１の供給口３１－１と切削ブレード２１との位置関係を説明する図である。図６は、供給方向８０とは反対方向から、切削ブレード２１の切り刃２１－１を介してノズル３１の供給口３１－１を見た図である。ノズル３１の供給口３１－１は、図６に示すように、供給方向８０から見て切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面を厚さ方向に跨ぐように位置付けられ、切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に向けられている。ノズル３１の供給口３１－１は、図６に示す例では、供給方向８０が切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面の厚さ方向の中央部分に交差するように配置されている。
制御ユニット４０は、切削装置１の各種構成要素の動作を制御して、被加工物１００の切削加工処理を切削装置１に実施させる。制御ユニット４０は、回動部３６，３７を制御して、ノズル３１の供給口３１－１の方向、すなわちノズル３１による切削水の供給方向８０を制御する。制御ユニット４０は、切削水供給源３９からの切削水の供給量及び供給圧を制御することで、ノズル３１，３２からの切削水の供給量及び供給圧を制御する。
制御ユニット４０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット４０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット４０の演算処理装置は、制御ユニット４０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット４０の入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。
次に、本明細書は、実施形態に係る被加工物の切削方法を図面に基づいて説明する。実施形態に係る被加工物の切削方法は、実施形態に係る切削装置１を用いて実施される。図７は、実施形態に係る被加工物の切削方法の一例を示す断面図である。
実施形態に係る被加工物の切削方法は、図７に示すように、ノズル３１からの切削水を切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって供給しつつ、回転中の切削ブレード２１をチャックテーブル１０の保持面１１で保持した被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って（図７ではＸ軸方向に沿って）相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿った切削溝２００を形成する。実施形態に係る被加工物の切削方法は、ノズル３１の内部に仕切り板３８を設けて、ノズル３１から供給する切削水を整流しているので、ノズル３１から切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に供給される切削水に生じる揺らぎを抑制でき、これにより、ノズル３１から供給される切削水に起因する切削ブレード２１の振動を抑制しながら被加工物１００を切削加工できる。
以上のような構成を有する実施形態に係る切削装置１は、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって切削水を供給するノズル３１の内部に仕切り板３８を設けて、ノズル３１から供給する切削水を整流しているので、切削ブレード２１が厚さ０．２ｍｍ以下でアスペクト比が３０以上という従来では切削ブレード２１が振動しやすかった条件下でも、ノズル３１から供給される切削水に起因する切削ブレード２１の振動を低減できるという作用効果を奏する。これにより、実施形態に係る切削装置１は、切削溝２００の蛇行を抑制でき、切削したチップの側面にソーマークが付くことを抑制できるという作用効果を奏する。
また、実施形態に係る切削装置１は、マウント２４が、ロータリージョイント２５からの負圧を固定マウント６０に作用させて、支持マウント５０の支持面５２－１と固定マウント６０の支持面６２とで切削ブレード２１を挟持する所謂バキュームフランジ構造を備えているという従来では切削ブレード２１がさらに振動しやすかった条件下でも、ノズル３１から供給される切削水に起因する切削ブレード２１の振動を低減できるという作用効果を奏する。
次に、本発明の発明者らは、実施形態に係る切削装置１及び被加工物の切削方法の作用効果を確認した。図８は、実施形態に係る切削装置１及び被加工物の切削方法の作用効果を説明する図である。図８は、作用効果を確認した際に得られた結果をまとめて示している。
図８は、実施形態に係る切削装置１もしくは実施形態に係る切削装置１からノズル３１の内部の仕切り板３８を取り外した実質的に従来相当の切削装置において、切削ブレード２１として厚さ５０μｍのメタルブレードを使用し、被加工物１００として樹脂ボンドのドレスボードを使用し、回転中の切削ブレード２１の被加工物１００に対する相対速度である加工送り速度を１０ｍｍ／ｓとして、切削ブレード２１の刃先出し量７１／刃厚７２で示されるアスペクト比をそれぞれ２５，３０，４０，４５として、それぞれ切削ブレード２１で形成した切削溝２００の蛇行評価の結果を示している。なお、切削ブレード２１として使用したメタルブレードは、一般的なウエーハ等を切削加工する砥粒含有ブレードと比較して、振動のしやすさは同等である。また、被加工物１００として使用した樹脂ボンドのドレスボードのメタルブレードによる切削性は、一般的な母材のウエーハの砥粒含有ブレードによる切削性と同等である。
図８の「仕切り板有りノズル」の列は、仕切り板３８を設けたノズル３１を備える実施形態に係る切削装置１を使用した場合の結果を示しており、図８の「仕切り板無しノズル」の列は、ノズル３１の内部の仕切り板３８を取り外した従来相当の切削装置を使用した場合の結果を示している。図８の「○」は、切削溝２００の蛇行が所定の閾値以下であったという結果を示しており、図８の「×」は、切削溝２００の蛇行が所定の閾値よりも大きかったという結果を示している。ここで、切削溝２００の蛇行評価で使用した所定の閾値は、被加工物１００として使用した樹脂ボンドのドレスボードを切削加工して得たチップを仮に製品として取り扱う場合に、切削された面が製品として合格か不合格かを評価する現行の評価基準に基づいて決定したものである。
図８に示すように、実施形態に係る切削装置１を使用した場合には、アスペクト比が２５，３０，４０の時には切削溝２００の蛇行が所定の閾値以下となったが、アスペクト比が４５の時には、切削溝２００の蛇行が所定の閾値より大きくなった。一方、従来相当の切削装置を使用した場合には、アスペクト比が２５の時には切削溝２００の蛇行が所定の閾値以下となったが、アスペクト比が３０，４０，４５の時には、切削溝２００の蛇行が所定の閾値より大きくなった。
これにより、図８に示す実施例では、アスペクト比が３０以上４０以下の時には、仕切り板３８を設けたノズル３１を備える実施形態に係る切削装置１を使用することで、従来相当の切削装置を使用した場合と比較して、切削溝２００の蛇行を所望のレベルまで十分に抑制できることが明らかとなった。また、これにより、アスペクト比が３０以上４０以下の時には、仕切り板３８を設けたノズル３１を備える実施形態に係る切削装置１を使用することで、従来相当の切削装置を使用した場合と比較して、切削ブレード２１の振動を十分に抑制できることも明らかになった。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２１－３ 側面
２２ スピンドル
２３ スピンドルハウジング
２４ マウント
２５ ロータリージョイント
３０，３１，３２ ノズル
３８ 仕切り板
５０ 支持マウント
５２－１，６２ 支持面
５５ 吸引路
６０ 固定マウント
７１ 刃先出し量
７２ 刃厚
１００ 被加工物

Claims (3)

  1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端にマウントを介して固定された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有し、該切削ブレードは、厚さ０．２ｍｍ以下で刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が３０以上で該マウントに固定された切削装置であって、
    該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって切削水を供給するノズルを備え、
    該ノズルは、切削水の流れを整流する仕切り板を内部に備えていることを特徴とする切削装置。
  2. 該マウントは、該スピンドルの先端に嵌合し該切削ブレードを支持する支持マウントと、該支持マウントに支持された該切削ブレードを該支持マウントに固定する固定マウントと、を備え、
    該支持マウントは、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジング側である後方側から該固定マウントに対面する支持面へ貫通する吸引路を内部に有し、
    該スピンドルハウジングの前方に設けられたロータリージョイントからの負圧を、該支持マウントの該吸引路を介して該固定マウントに作用させ、該固定マウントを該支持マウントの該支持面に吸引固定することで、該支持マウントと該固定マウントとで該切削ブレードを挟持する請求項１に記載の切削装置。
  3. 請求項１又は２に記載の切削装置を用いた被加工物の切削方法であって、
    該ノズルからの該切削水を該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって供給しつつ、該チャックテーブルで保持した該被加工物を該切削ブレードで切削し、該ノズルから供給される切削水に起因する該切削ブレードの振動を抑制しながら被加工物を切削することを特徴とする被加工物の切削方法。
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