JP7029567B1 - シリカ熱反射板 - Google Patents
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Abstract
Description
図1、図2及び図3を参照して、本実施形態に係るシリカ熱反射板について説明する。本実施形態に係るシリカ熱反射板100は、シリカ板1と、シリカ板1の内部に配置されてシリカ板1によって外周囲が完全に覆われてなり、かつ、シリカ板1の一方の表面に入射した赤外線を反射する反射体5とを有する。図2においては、上から下に向かう方向が赤外線の入射方向である。シリカ板1は、第1シリカ板1aと第2シリカ板1bとが対向して配置されて周縁部同士が周縁に沿って環状に連続して接合された合わせ板の構造を有し、合わせ板の構造は、第1シリカ板1a及び第2シリカ板1bの対向し合う面の間に設けられ、かつ、第1シリカ板1a側に周縁部同士の接合部2によって密閉されているキャビティ12と、キャビティ12内に収容された第3シリカ板9と、を有し、反射体5は、薄膜であり、反射体5の少なくとも反射面を含む表面層は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなる。図2では、反射体5が積層膜である形態が示されており、下地膜3の上に反射面を含む表面層としての反射膜4が形成されている。
図2及び図3、又は、図12及び図13に示すように、第3シリカ板9は、第2シリカ板1bの表面と向かい合わせとなる表面上に反射体5として形成した薄膜を有し、薄膜は、第3シリカ板9の表面側から順に、下地膜3と、反射面を含む表面層としての反射膜4と、を有する積層膜であり、下地膜3は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co又はNiからなるか、又は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co及びNiから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、反射膜4は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、前記下地膜と前記反射膜とが異なる組成を有していることが好ましい。なお、第2シリカ板1bの表面とは、合わせ板の構造の合わせ面側の表面である。図2及び図3では、キャビティ12を第1シリカ板1a側のみに設けた形態を図示し、図12及び図13では、キャビティ12を第1シリカ板1a側及び第2シリカ板1b側の両方に設けた形態を図示したが、キャビティ12を第2シリカ板1b側のみに設けた形態としてもよい(不図示。)
本実施形態に係るシリカ熱反射板104,107では、図10及び図11、又は、図16及び図17に示すように、第1シリカ板1aのキャビティ12内の表面上に反射体5として形成した薄膜を有し、薄膜は、第1シリカ板1aのキャビティ12内の表面側から順に、下地膜3と、反射面を含む表面層としての反射膜4と、を有する積層膜であり、下地膜3は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co又はNiからなるか、又は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co及びNiから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、反射膜4は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、前記下地膜と前記反射膜とが異なる組成を有していることが好ましい。第1シリカ板のキャビティ内の表面上に反射体を形成しているため、薄膜周縁からの膜の腐食及び膜の剥がれが生じにくい。
本実施形態に係るシリカ熱反射板108では、図18及び図19に示すように、キャビティ12内の、第1シリカ板1aの表面と第3シリカ板9の表面とに挟まれる位置及び第2シリカ板1bの表面と第3シリカ板9の表面とに挟まれる位置の両方に、反射体8がそれぞれ配置されており、反射体8が、板であり、かつ、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなることが好ましい。なお、第1シリカ板1aの表面とは、合わせ板の構造の合わせ面側の表面である。第2シリカ板1bの表面とは、合わせ板の構造の合わせ面側の表面である。キャビティ12内に反射体8としての板が収容された状態となっており、板の腐食が生じにくい。さらに、周縁部同士の接合部2に、板に起因する剥がす方向の応力がかかりにくい。
反射体としての板が中板と共にキャビティに配置されている形態において、板の代わりに箔を配置してもよい。箔は、複数の破片を重ねて反射面積を確保してもよい。
本実施形態に係るシリカ熱反射板では、前記第3シリカ板は、前記第1シリカ板の表面と向かい合わせとなる表面又は前記第2シリカ板の表面と向かい合わせとなる表面のうち少なくとも一方の表面上に前記反射体として形成した薄膜を有し、該薄膜は、Mo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜であることが好ましい。Mo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜であるときは、反射体として形成した薄膜が単層膜であってもよい。本実施形態に係るシリカ熱反射板は、図2、図4、図6、図12又は図14において、積層膜である反射体5をMo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜に置換した構造を有する。なお、本実施形態に係るシリカ熱反射板の赤外線の入射方向は、上から下に向かう方向又は下から上に向かう方向のいずれでもよい。
本実施形態に係るシリカ熱反射板では、前記第1シリカ板の前記キャビティ内の表面上又は前記第2シリカ板の前記キャビティ内の表面上に前記反射体として形成した薄膜を有し、該薄膜は、Mo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜であることが好ましい。Mo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜であるときは、反射体として形成した薄膜が単層膜であってもよい。本実施形態に係るシリカ熱反射板は、図8、図10又は図16において、積層膜である反射体5をMo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜に置換した構造を有する。なお、本実施形態に係るシリカ熱反射板の赤外線の入射方向は、上から下に向かう方向又は下から上に向かう方向のいずれでもよい。
図10に示したシリカ熱反射板を作製する。まず、外周300mm、厚み1.2mmのシリカ板2枚を準備し、それぞれ第1シリカ板、第2シリカ板とした。また、外周284.5mm、厚み0.3mmのシリカ板を1枚準備し、第3シリカ板とした。次に、第1シリカ板の外周から幅7.75mmを第2シリカ板との接合部として残し、それ以外の箇所についてはエッチングを行い、深さ1μmのキャビティのための凹部を設けた。次に、第1シリカ板の凹部の底面に下地膜としてTaをスパッタリング法によって50nm成膜し、下地膜の上に反射膜としてIrをスパッタリング法によって150nm成膜し、反射体を形成した。次に、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製 型式:UV-3100PC)を用いて反射体の反射率を測定した。測定した結果を図22に示す。測定は、反射体の表面に測定のための光を直接当てて行った。また、(数1)を用いて1000℃における物質が放射する黒体放射の波長と放射量の関係を算出した。算出結果を図23に示す。
図10に示したシリカ熱反射板の変形例として、第1シリカ板1aの凹部の底面に下地膜3を成膜せずに、直接、Mo膜を成膜したシリカ熱反射板を作製する。まず、外周300mm、厚み1.2mmのシリカ板2枚を準備し、それぞれ第1シリカ板、第2シリカ板とした。また、外周284.5mm、厚み0.3mmのシリカ板を1枚準備し、第3シリカ板とした。次に、第1シリカ板の外周から幅7.75mmを第2シリカ板との接合部として残し、それ以外の箇所についてはエッチングを行い、深さ1μmのキャビティのための凹部を設けた。次に、第1シリカ板の凹部の底面にMoをスパッタリング法によって200nm成膜し、反射体を形成した。次に、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製 型式:UV-3100PC)を用いて反射体の反射率を測定した。測定した結果を図24に示す。測定は、反射体の表面に測定のための光を直接当てて行った。また、図24の結果、1000℃のときに本実施例における反射体では2000nm以上の波長において80%以上の反射率を有することが確認できた。次に、反射体を形成した第1シリカ板の凹部に第3シリカ板を設置し、第3シリカ板を第1シリカ板の凹部に設置した状態を保ちながら第1シリカ板と平板状の第2シリカ板を接合するために、真空度10-2Pa以下の真空中で、高速原子ビームを第1シリカ板の接合部に照射して表面活性化し、第1シリカ板に第2シリカ板を押し付けることでシリカ熱反射板を作製した。
(反射体がPt箔である形態)
図18に示したシリカ熱反射板の変形例として、第2シリカ板1bと第3シリカ板9との間には反射体としてPt箔を配置せず、第1シリカ板1aと第3シリカ板9との間にのみPt箔を配置したシリカ熱反射板を作製する。まず、外周300mm、厚み1.2mmのシリカ板2枚を準備し、それぞれ第1シリカ板、第2シリカ板とした。また、外周284.5mm、厚み0.3mmのシリカ板を1枚準備し、第3シリカ板とした。次に、第1シリカ板の外周から幅7.75mmを第2シリカ板との接合部として残し、それ以外の箇所については切削加工を行い、深さ0.5mmのキャビティのための凹部を設けた。次に、第1シリカ板の凹部の底面に、外周284mm、厚み100μmのPt箔を配置し、反射体を形成した。次に、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製 型式:UV-3100PC)を用いて反射体の反射率を測定した。測定した結果を図25に示す。測定は、反射体の表面に測定のための光を直接当てて行った。また、図25の結果、1000℃のときに本実施例における反射体では2000nm以上の波長において80%以上の反射率を有することが確認できた。次に、反射体を配置した第1シリカ板の凹部に第3シリカ板を設置し、第3シリカ板を第1シリカ板の凹部に設置した状態を保ちながら第1シリカ板と平板状の第2シリカ板を接合するために、真空度10-2Pa以下の真空中で、高速原子ビームを第1シリカ板の接合部に照射して表面活性化し、第1シリカ板に第2シリカ板を押し付けることでシリカ熱反射板を作製した。
1 シリカ板
1a 第1シリカ板
1b 第2シリカ板
2 周縁部同士の接合部
3 下地膜
4 反射膜
5 反射体
6 支柱部
7 支柱部を含む接合部
8 反射体
9 第3シリカ板
11 土手部
12 キャビティ
Claims (9)
- シリカ板と、
該シリカ板の内部に配置されて該シリカ板によって外周囲が完全に覆われてなり、かつ、該シリカ板の一方の表面に入射した赤外線を反射する反射体と、を有するシリカ熱反射板であって、
前記シリカ板は、第1シリカ板と第2シリカ板とが対向して配置されて周縁部同士が周縁に沿って環状に連続して接合された合わせ板の構造を有し、前記第1シリカ板及び前記第2シリカ板の外側板面は全面にわたって平坦面であり、
該合わせ板の構造は、前記第1シリカ板及び前記第2シリカ板の対向し合う面の間に設けられ、かつ、前記第1シリカ板側及び前記第2シリカ板側の少なくとも一方に前記周縁部同士の接合部によって密閉されているキャビティと、該キャビティ内に収容された第3シリカ板と、を有し、
前記反射体は、薄膜、板又は箔であり、かつ、該反射体の周縁に囲まれる全面が反射面であり、
前記反射体の少なくとも反射面を含む表面層は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなることを特徴とするシリカ熱反射板。 - 前記第3シリカ板は、前記第1シリカ板の表面と向かい合わせとなる表面又は前記第2シリカ板の表面と向かい合わせとなる表面のうち少なくとも一方の表面上に前記反射体として形成した薄膜を有し、
該薄膜は、前記第3シリカ板の表面側から順に、下地膜と、前記反射面を含む表面層としての反射膜と、を有する積層膜であり、
前記下地膜は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co又はNiからなるか、又は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co及びNiから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、
前記反射膜は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、前記下地膜と前記反射膜とが異なる組成を有していることを特徴とする請求項1に記載のシリカ熱反射板。 - 前記第1シリカ板の前記キャビティ内の表面上又は前記第2シリカ板の前記キャビティ内の表面上に前記反射体として形成した薄膜を有し、
該薄膜は、前記第1シリカ板の前記キャビティ内の表面側又は前記第2シリカ板の前記キャビティ内の表面側から順に、下地膜と、前記反射面を含む表面層としての反射膜と、を有する積層膜であり、
前記下地膜は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co又はNiからなるか、又は、Ta、Mo、Ti、Zr、Nb、Cr、W、Co及びNiから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、
前記反射膜は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなり、前記下地膜と前記反射膜とが異なる組成を有していることを特徴とする請求項1に記載のシリカ熱反射板。 - 前記第1シリカ板の前記キャビティ内の表面と前記第3シリカ板の表面とに挟まれる位置又は前記第2シリカ板の前記キャビティ内の表面と前記第3シリカ板の表面とに挟まれる位置の少なくともいずれか一方の位置に、前記反射体が配置されており、
該反射体が、板又は箔であり、かつ、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf又はMoからなるか、又は、Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoから選ばれる少なくともいずれか1種を含む合金からなることを特徴とする請求項1に記載のシリカ熱反射板。 - 前記第1シリカ板及び前記第2シリカ板は、前記第3シリカ板に対して肉厚方向に圧縮応力をかけていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載のシリカ熱反射板。
- 前記第3シリカ板は、前記第1シリカ板の表面と向かい合わせとなる表面又は前記第2シリカ板の表面と向かい合わせとなる表面のうち少なくとも一方の表面上に前記反射体として形成した薄膜を有し、
該薄膜は、Mo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜であることを特徴とする請求項1に記載のシリカ熱反射板。 - 前記第1シリカ板の前記キャビティ内の表面上又は前記第2シリカ板の前記キャビティ内の表面上に前記反射体として形成した薄膜を有し、
該薄膜は、Mo膜又はMoを50質量%以上含む合金膜であることを特徴とする請求項1に記載のシリカ熱反射板。 - 前記反射体の厚さは、0.01μm以上5mm以下であることを特徴とする請求項1~7のいずれか一つに記載のシリカ熱反射板。
- 前記周縁部同士の接合部は、表面活性化接合部であることを特徴とする請求項1~8のいずれか一つに記載のシリカ熱反射板。
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