JP6646590B2 - 酸化ニッケル層上に結晶化した銀製の機能層を含む材料 - Google Patents
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Description
(a)結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの薄層を含む反射防止コーティングを被着させる段階、次いで、
(b)結晶性酸化ニッケルをベースとする薄層の上にそれに接触して、銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層を被着させる段階、
を含む、薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料を得るための方法に関する。
・結晶性酸化亜鉛をベースとする層などの、エピタキシーによる結晶化を誘発させることができる層を被着させ、次いで、
・酸化ニッケルをベースとする層を上にかつ接触して被着させる、
といったものである。
・結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとする層を被着させ、次いで、
・結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとするこの薄層に結晶化熱処理を施してから、銀をベースとする機能性金属層を被着させる、
といったものである。
・少なくとも0.5nm又は少なくとも0.8nm、及び/又は、
・最大で5.0nm又は最大で2.0nm、
である。
・少なくとも0.5nm、少なくとも0.8nm、及び/又は0.8nmと5nmの間、
・最大で5.0nm、最大で3.0nm、又は最大で2.0nm、
である。
・磁場により支援される陰極スパッタリングにより被着される。
・バリア機能を有する誘電体層及び/又は安定化機能を有する誘電体層から選ばれる。
・チタン、ケイ素、アルミニウム、スズ及び亜鉛から選ばれる1種以上の元素の酸化物又は窒化物から選ばれる。
・5nmを超え、好ましくは8nmと35nmの間の厚さを有する。
・結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの層を含む反射防止コーティング、
・銀をベースとする機能性金属層、
・任意選択的に、ブロッキング層、
・反射防止コーティング、
を含むことができる。
・銀ベースの機能性金属層の下に位置し、酸化亜鉛をベースとした安定化機能を有する少なくとも1つの誘電体層と、酸化亜鉛をベースとした安定化機能を有する該誘電体層と接触して位置する結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの層とを含む、反射防止コーティング、
・結晶性酸化ニッケルをベースとする層と接触して位置する銀ベースの機能性金属層、
・任意選択的に、ブロッキング上層、
・銀ベースの機能性金属層の上に位置する反射防止コーティング、
・任意選択的に、上部保護層、
を含むことができる。
・バリア機能を有する少なくとも1つの誘電体層、安定化機能を有する少なくとも1つの誘電体層、及び結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの層を含む、反射防止コーティング、
・結晶性酸化ニッケルをベースとする層と接触して位置する銀ベースの機能性金属層、
・任意選択的に、ブロッキング上層、
・安定化機能を有する少なくとも1つの誘電体層とバリア機能を有する誘電体層とを含む、反射防止コーティング、
を含むことができる。
長さ(例えば1メートル)に等しい幅とともに任意の厚さを有するサンプルの抵抗に対応するシート抵抗(Rs)をナプソンの装置で測定する。第一の一連の試験は、成長層の性質及びその結晶化方法の効果を比較する。結晶化熱処理を受けた又は受けなかった被覆基材で得られたシート抵抗の結果を、下記の表に示す。
・結晶化熱処理を受けていない被覆基材、
・完成したスタックに対して行う熱処理を受けた又は受けていない被覆基材、
について得られたシート抵抗の結果を下記の表に示す。ここでは、完成したスタックに対してレーザ熱処理を行う。
機械的強度を、スタックを構成している層の凝集力に関する情報を与える剥離試験により評価した。この剥離試験は、スタックにより被覆された基材に対してPVBシートを、熱及び圧力を適用して付着させるものである。スタックと接触して配置したPVB層を、次いで片方の末端で分離し、折り返し、そして180°の角度で力を加えて被覆基材から引っ張る。PVBシートを剥ぎ取るために必要な力が、PVBシートのスタックへの密着力及び層の凝集力の測定値である。
2mmのガラスを含みその上にスタックが被着されている単純なグレージングについて、光学特性を測定した。
・熱処理前後に標準規格EN 12898により計算した百分率としての放射率値(ε)。
・熱処理前の吸収率値(Abs)。
・熱処理後に測定して評価した曇り度。
本発明の代表的な態様としては、以下を挙げることができる:
《態様1》
銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層及び少なくとも2つの反射防止コーティングを、各機能性金属層が2つの反射防止コーティングの間に配置されるように含み、各反射防止コーティングが少なくとも1つの誘電体層を含む薄層のスタックであり、場合により磁場により支援される、陰極スパッタリングにより被着された薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料を得るための方法であって、以下の一連の段階、すなわち、
(a)結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの薄層を含む反射防止コーティングを被着させる段階、次いで、
(b)結晶性酸化ニッケルをベースとする薄層の上にそれと接触して、銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層を被着させる段階、
を含む、薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料を得るための方法。
《態様2》
段階(a)の間に、
・エピタキシーによる結晶化を誘発することができる層を被着させ、そしてその後、
・酸化ニッケルをベースとする層を上に接触して被着させる、
態様1記載の材料を得るための方法。
《態様3》
段階(a)の間に、
・結晶性酸化亜鉛をベースとする層を被着させ、そしてその後、
・酸化ニッケルをベースとする層を上に接触して被着させる、
態様1又は2記載の材料を得るための方法。
《態様4》
段階(a)の間に、
・結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとする層を被着させ、そしてその後、
・結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとする前記薄層を結晶化熱処理に付してから、銀をベースとする機能性金属層を被着させる、
態様1〜3のいずれか1つに記載の材料を得るための方法。
《態様5》
結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとする薄層の各点を300℃以上の温度にすることができるエネルギーを与えることにより結晶化熱処理を行う、態様4記載の材料を得るための方法。
《態様6》
陰極スパッタリングによる被着のためのチャンバー中でスタックのすべての層を製造しそして結晶化熱処理を行う、態様1〜5のいずれか1つに記載の材料を得るための方法。
《態様7》
薄層のスタックにより被覆された基材を400℃より高い、好ましくは500℃より高い温度での熱処理に付す段階(c)をさらに含む、態様1〜6のいずれか1つに記載の材料を得るための方法。
《態様8》
銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層及び少なくとも2つの反射防止コーティングを、各機能性金属層が2つの反射防止コーティングの間に配置されるように含み、各反射防止コーティングが少なくとも1つの誘電体層を含む薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料であって、前記スタックが、基材の表面に対して平行な{200}等位面を有するように配向された複数の単結晶粒子を含む銀ベースの機能性金属層の下にそれと接触して位置している結晶性酸化ニッケルをベースとする層を少なくとも1つ含むことを特徴とする材料。
《態様9》
基材の表面に対して平行な{200}等位面を有するように配向された複数の単結晶粒子を含む銀ベースの機能性層の下に位置している反射防止コーティングが、スズと亜鉛の酸化物をベースとする層から選ばれる、ドームタイプの欠陥を発生させうる誘電体層を含むことを特徴とする、態様8記載の材料。
《態様10》
基材の表面に対して平行な{200}等位面を有するように配向された複数の単結晶粒子を含む銀ベースの機能性層の下に位置している反射防止コーティングが、結晶性酸化ニッケルをベースとする層の下に位置してそれと接触している酸化亜鉛をベースとする安定化機能を有する誘電体層を含むことを特徴とする、態様8又は9記載の材料。
《態様11》
結晶性酸化ニッケルをベースとする層の厚さが少なくとも0.5nm、好ましくは0.8nmと5nmの間であることを特徴とする、態様8〜10のいずれか1つに記載の材料。
《態様12》
結晶性酸化ニッケルをベースとする層の厚さが4nm未満、好ましくは3nm未満、そしてなおも好ましくは2nm未満であることを特徴とする、態様8〜11のいずれか1つに記載の材料。
《態様13》
前記スタックが、
・銀をベースとする機能性金属層の下に位置し、酸化亜鉛をベースとし安定化機能を有する少なくとも1つの誘電体層と、酸化亜鉛をベースとし安定化機能を有する該誘電体層と接触して位置する結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの層とを含む、反射防止コーティング、
・酸化ニッケルをベースとする前記層と接触して位置する銀ベースの機能性金属層、
・任意選択的に、ブロッキング上層、
・銀をベースとする機能性金属層の上に位置する反射防止コーティング、
・任意選択的に、上部保護層、
を含むことを特徴とする、態様8〜12のいずれか1つに記載の材料。
《態様14》
少なくとも、スタックにより被覆された基材が曲げ加工及び/又は焼き戻しされたガラスであることを特徴とする、態様8〜13のいずれか1つに記載の材料。
《態様15》
基材がガラス製、特にソーダ石灰シリカガラス製である、態様8〜14のいずれか1つに記載の材料。
Claims (17)
- 銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層及び少なくとも2つの反射防止コーティングを、各機能性金属層が2つの反射防止コーティングの間に配置されるように含み、各反射防止コーティングが少なくとも1つの誘電体層を含む薄層のスタックであり、陰極スパッタリングにより被着された薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料を得るための方法であって、以下の一連の段階、すなわち、
(a)結晶性又は非結晶酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの薄層を含む反射防止コーティングを被着させ、その後、
結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとする前記薄層を結晶化熱処理に付す段階、次いで、
(b)前記結晶化熱処理に付した酸化ニッケルをベースとする薄層の上にそれと接触して、銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層を被着させる段階、
を含む、薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料を得るための方法。 - 陰極スパッタリングが磁場により支援される、請求項1記載の材料を得るための方法。
- 段階(a)の間に、
・エピタキシーによる結晶化を誘発することができる層を被着させ、そしてその後、
・酸化ニッケルをベースとする層を上に接触して被着させる、
請求項1又は2記載の材料を得るための方法。 - 段階(a)の間に、
・結晶性酸化亜鉛をベースとする層を被着させ、そしてその後、
・酸化ニッケルをベースとする層を上に接触して被着させる、
請求項1〜3のいずれか1項記載の材料を得るための方法。 - 結晶性又は非結晶性酸化ニッケルをベースとする薄層の各点を300℃以上の温度にすることができるエネルギーを与えることにより結晶化熱処理を行う、請求項1〜4のいずれか1項記載の材料を得るための方法。
- 陰極スパッタリングによる被着のためのチャンバー中でスタックのすべての層を製造しそして結晶化熱処理を行う、請求項1〜5のいずれか1項記載の材料を得るための方法。
- 薄層のスタックにより被覆された基材を400℃より高い温度での熱処理に付す段階(c)をさらに含む、請求項1〜6のいずれか1項記載の材料を得るための方法。
- 銀をベースとする少なくとも1つの機能性金属層及び少なくとも2つの反射防止コーティングを、各機能性金属層が2つの反射防止コーティングの間に配置されるように含み、各反射防止コーティングが少なくとも1つの誘電体層を含む薄層のスタックにより被覆された透明基材を含む材料であって、前記スタックが、基材の表面に対して平行な{200}等位面を有するように配向された複数の単結晶粒子を含む銀ベースの機能性金属層の下にそれと接触して位置している結晶性酸化ニッケルをベースとする層を少なくとも1つ含むことを特徴とする材料。
- 基材の表面に対して平行な{200}等位面を有するように配向された複数の単結晶粒子を含む銀ベースの機能性層の下に位置している反射防止コーティングが、スズと亜鉛の酸化物をベースとする層から選ばれる、ドームタイプの欠陥を発生させうる誘電体層を含むことを特徴とする、請求項8記載の材料。
- 基材の表面に対して平行な{200}等位面を有するように配向された複数の単結晶粒子を含む銀ベースの機能性層の下に位置している反射防止コーティングが、結晶性酸化ニッケルをベースとする層の下に位置してそれと接触している酸化亜鉛をベースとする安定化機能を有する誘電体層を含むことを特徴とする、請求項8又は9記載の材料。
- 結晶性酸化ニッケルをベースとする層の厚さが少なくとも0.5nmであることを特徴とする、請求項8〜10のいずれか1項記載の材料。
- 結晶性酸化ニッケルをベースとする層の厚さが4nm未満であることを特徴とする、請求項8〜11のいずれか1項記載の材料。
- 前記スタックが、
・銀をベースとする機能性金属層の下に位置し、酸化亜鉛をベースとし安定化機能を有する少なくとも1つの誘電体層と、酸化亜鉛をベースとし安定化機能を有する該誘電体層と接触して位置する結晶性酸化ニッケルをベースとする少なくとも1つの層とを含む、反射防止コーティング、
・酸化ニッケルをベースとする前記層と接触して位置する銀をベースとする機能性金属層、
・銀をベースとする機能性金属層の上に位置する反射防止コーティング、
を含むことを特徴とする、請求項8〜12のいずれか1項記載の材料。 - 前記スタックが、
・銀をベースとする前記機能性金属層と銀をベースとする該機能性金属層の上に位置する前記反射防止コーティングとの間のブロッキング上層、
・前記反射防止コーティングの上の上部保護層、
を含む、請求項13記載の材料。 - 少なくとも、スタックにより被覆された基材が曲げ加工及び/又は焼き戻しされたガラスであることを特徴とする、請求項8〜14のいずれか1項記載の材料。
- 基材がガラス製である、請求項8〜15のいずれか1項記載の材料。
- 基材がソーダ石灰シリカガラス製である、請求項16記載の材料。
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