JP6994407B2 - Measurement jig - Google Patents
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Description
本発明は、研削装置の保持テーブルと研削ホイールとの傾きを確認する際に用いられる測定治具に関する。 The present invention relates to a measuring jig used for confirming the inclination of a holding table of a grinding device and a grinding wheel.
板状ワークを研削する研削装置は、板状ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、研削砥石を環状に配設した研削ホイールをホイールマウントに装着しホイールマウントの中心を軸にした回転軸を回転させ保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段とを備えており、保持テーブルの保持面と研削砥石の研削面との傾きを平行に調整してから、板状ワークを研削している。保持面と研削面とが平行となっているかどうかを測定する場合、例えば、保持面と研削面との距離を測定している。また、ホイールマウントに測定器を装着して、測定器の下端を保持テーブルの保持面に接触させた状態で研削手段の回転軸を回転させて、測定器を円運動させ、保持面の外周から中心までが同じ値であるか測定するとともに、中心から反対側の外周が徐々に値が大きくなっているかを測定している(例えば、下記の特許文献1を参照)。
The grinding device that grinds the plate-shaped workpiece is a rotating shaft with a holding table having a holding surface for holding the plate-shaped workpiece and a grinding wheel in which grinding grinds are arranged in an annular shape mounted on the wheel mount and centered on the center of the wheel mount. It is equipped with a grinding means for grinding the plate-shaped work held by the holding table by rotating the holding table, and after adjusting the inclination of the holding surface of the holding table and the grinding surface of the grinding wheel in parallel, the plate-shaped work is ground. ing. When measuring whether or not the holding surface and the grinding surface are parallel, for example, the distance between the holding surface and the grinding surface is measured. In addition, the measuring instrument is attached to the wheel mount, and the rotating shaft of the grinding means is rotated with the lower end of the measuring instrument in contact with the holding surface of the holding table to cause the measuring instrument to make a circular motion from the outer periphery of the holding surface. It is measured whether the value is the same up to the center and whether the value is gradually increased on the outer periphery on the opposite side from the center (see, for example,
上記したような測定器をホイールマウントに装着する場合、研削ホイールをホイールマウントから取り外す必要がある。研削した板状ワークの厚みが均等にならないという問題が発生したときは、保持面と研削面との平行度が変化している可能性が高いが、このような場合に、ホイールマウントから研削ホイールを取り外してから測定器をホイールマウントに装着しているため、保持面と研削面との平行度を測定するまでに時間がかかっている。 When mounting a measuring instrument such as the one described above on a wheel mount, it is necessary to remove the grinding wheel from the wheel mount. When the problem that the thickness of the ground plate-shaped work is not uniform occurs, it is highly possible that the parallelism between the holding surface and the ground surface has changed. Since the measuring instrument is attached to the wheel mount after removing the wheel mount, it takes time to measure the parallelism between the holding surface and the grinding surface.
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、保持面と研削面との平行度を測定するまでの時間を短縮化しうる測定治具に発明の解決すべき課題を有している。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a problem to be solved by the measuring jig which can shorten the time until the parallelism between the holding surface and the ground surface is measured.
本発明は、板状ワークを保持面において保持する保持テーブルと、環状に研削砥石を配設した研削ホイールを装着する装着面を下面に備えるホイールマウントと、該ホイールマウントの中心を軸に該ホイールマウントの上面に接続して回転させるスピンドルユニットを有し該保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段と、を備える研削装置において、該ホイールマウントに装着して該軸を回転させ該保持面上における該研削砥石の回転軌道での保持面高さを測定する測定治具であって、該測定治具は、該保持面高さを測定するゲージを備え、該測定治具が該ホイールマウントに固定されて該ゲージの先端が該研削砥石の研削面の直下に位置づけられ、該研削砥石の回転軌道に沿って該研削面の直下の該保持面高さを測定する。 The present invention comprises a holding table for holding a plate-shaped workpiece on a holding surface, a wheel mount having a mounting surface on the lower surface for mounting a grinding wheel having a grinding wheel arranged in an annular shape, and the wheel centered on the center of the wheel mount. In a grinding device having a spindle unit connected to the upper surface of a mount and rotating to grind a plate-shaped workpiece held by the holding table, the grinding device is mounted on the wheel mount and the shaft is rotated and held. A measuring jig for measuring the height of the holding surface of the grinding wheel on the surface in the rotation trajectory, the measuring jig is provided with a gauge for measuring the height of the holding surface, and the measuring jig is the wheel. Fixed to the mount, the tip of the gauge is positioned directly below the grinding surface of the grinding wheel, and the height of the holding surface directly below the grinding surface is measured along the rotation trajectory of the grinding wheel.
上記研削ホイールは、上記ホイールマウントの該装着面に接する被装着面に開口し、該研削ホイールの中心を中心とし円周方向に等間隔で配設される複数の雌ねじ孔を備え、該ホイールマウントは、上面と下面とを貫通し、該研削ホイールの該雌ねじ孔に対応して円周方向に等間隔で配設され該装着面に該研削ホイールをネジ固定する複数の貫通孔を備え、上記測定治具は、上面と下面とを貫通する第2の貫通孔を有する上板と、上記ゲージが配設される下板と、該上板と該下板とを接続する接続部とを備え、該ホイールマウントに該研削ホイールをネジ固定している複数の該ネジのいずれか1本を外し、外した該ネジより長いネジを該第2の貫通孔と該貫通孔とに貫通させるとともに該研削ホイールの該雌ねじ孔に螺入させて、該研削ホイールと該上板とで該ホイールマウントを挟んで該上板を固定し、該研削ホイールの側方側を迂回して該研削面の直下に該ゲージが位置づけられるように構成されることが好ましい。 The grinding wheel is provided with a plurality of female screw holes which are open to the mounted surface in contact with the mounting surface of the wheel mount and are arranged at equal intervals in the circumferential direction around the center of the grinding wheel, and the wheel mount is provided. Is provided with a plurality of through holes that penetrate the upper surface and the lower surface, are arranged at equal intervals in the circumferential direction corresponding to the female screw holes of the grinding wheel, and screw-fix the grinding wheel to the mounting surface. The measuring jig includes an upper plate having a second through hole penetrating the upper surface and the lower surface, a lower plate on which the gauge is arranged, and a connecting portion for connecting the upper plate and the lower plate. Remove any one of the plurality of screws fixing the grinding wheel to the wheel mount, and pass a screw longer than the removed screw through the second through hole and the through hole. It is screwed into the female screw hole of the grinding wheel, the wheel mount is sandwiched between the grinding wheel and the upper plate, the upper plate is fixed, and the side side of the grinding wheel is bypassed and directly under the grinding surface. It is preferable that the gauge is configured so as to be positioned.
本発明に係る測定治具は、保持テーブルの保持面高さを測定するゲージを備え、測定治具がホイールマウントに固定されてゲージの先端が研削砥石の研削面の直下に位置づけられ、研削砥石の回転軌道に沿って研削面の直下の保持面高さを測定するため、保持テーブルと研削ホイールとの傾きを確認する際に、ホイールマウントから研削ホイールを取り外すことなく、測定治具によって研削砥石の回転軌道上の保持面高さを測定することができる。したがって、本発明によれば、研削ホイールがホイールマウントに装着された状態のまま、装置の機械精度が変化した否かを素早く確認することが可能となる。 The measuring jig according to the present invention includes a gauge for measuring the height of the holding surface of the holding table, the measuring jig is fixed to the wheel mount, the tip of the gauge is positioned directly under the grinding surface of the grinding wheel, and the grinding wheel is used. In order to measure the height of the holding surface directly under the grinding surface along the rotation trajectory of the grinding wheel, when checking the inclination of the holding table and the grinding wheel, the grinding wheel is used with a measuring jig without removing the grinding wheel from the wheel mount. The height of the holding surface on the rotating track of the wheel can be measured. Therefore, according to the present invention, it is possible to quickly confirm whether or not the mechanical accuracy of the apparatus has changed while the grinding wheel is mounted on the wheel mount.
また、上記測定治具は、上面と下面とを貫通する第2の貫通孔を有する上板と、ゲージが配設される下板と、上板と下板とを接続する接続部とを備え、ホイールマウントに研削ホイールをネジ固定している複数のネジのいずれか1本を外し、外したネジより長いネジを第2の貫通孔と貫通孔とに貫通させるとともに研削ホイールの雌ねじ孔に螺入させて、研削ホイールと上板とでホイールマウントを挟んで上板を固定し、研削ホイールの側方側を迂回して研削面の直下にゲージが位置づけられるように構成したため、ホイールマウントから研削ホイールを取り外すことなく、測定治具をホイールマウントに容易に固定することが可能となる。 Further, the measuring jig includes an upper plate having a second through hole penetrating the upper surface and the lower surface, a lower plate on which a gauge is arranged, and a connecting portion for connecting the upper plate and the lower plate. Remove one of the multiple screws that secure the grinding wheel to the wheel mount, and pass a screw longer than the removed screw through the second through hole and through hole, and screw it into the female screw hole of the grinding wheel. The wheel mount is sandwiched between the grinding wheel and the upper plate to fix the upper plate, and the gauge is positioned directly under the grinding surface by bypassing the side of the grinding wheel, so grinding from the wheel mount. The measuring jig can be easily fixed to the wheel mount without removing the wheel.
[研削装置]
図1に示す研削装置1は、板状ワークに研削を施す研削装置の一形態である。研削装置1は、Y軸方向に延在する装置ベース2と、装置ベース2のY軸方向後部側に立設されたコラム3とを有している。装置ベース2には、板状ワークを保持面21aにおいて保持する保持テーブル20と、保持テーブル20に吸引保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段30とを備えている。
[Grinding device]
The
保持テーブル20は、板状ワークを吸引保持する保持面21aを有するポーラス板21と、ポーラス板21を収容する枠体22とを備えている。保持テーブル20の周囲はカバー4によって覆われている。枠体22には、リング状の凸部が形成されており、凸部の内側の領域がポーラス板21の形状に応じて形成された凹部となっている。凸部上面は、ポーラス板21の保持面21aと同じ高さを有する基準面22aとなっている。保持テーブル20の下方には、図示していないが、保持テーブル20を回転させる回転手段と、保持テーブル20をカバー4とともにY軸方向に移動させる移動手段とが接続されている。
The holding table 20 includes a
厚み測定手段30は、例えば接触式の第1のゲージ31と第2のゲージ32とを備えている。第1のゲージ31及び第2のゲージ32は、装置ベース2の上面に立設されたブラケット5の端部に接続されている。第1のゲージ31の測定子は、保持テーブル20の保持面21aの位置に対応している。第2のゲージ32の測定子は、枠体22の基準面22aの位置に対応している。そして、第1のゲージ31で保持テーブル20の上面高さを測定するとともに、第2のゲージ32で保持テーブル20に保持される板状ワークの上面高さを測定して、それぞれの測定値の差を板状ワークの厚みとして算出することができる。
The thickness measuring means 30 includes, for example, a contact-type
研削装置1は、環状に研削砥石56を配設した研削ホイール55を装着する装着面40bを下面に備えるホイールマウント40と、ホイールマウント40の中心を軸にホイールマウント40の上面40aに接続して回転させるスピンドルユニット51を有し保持テーブル20が保持した板状ワークを研削する研削手段50と、研削手段50を保持テーブル20に対して接近及び離反する方向(Z軸方向)に研削送りする研削送り手段60とを備えている。
The
研削送り手段60は、Z軸方向に延在するボールネジ61と、ボールネジ61の一端に接続されたモータ62と、ボールネジ61と平行に延在しコラム3に配設された一対のガイドレール63と、一方の面が研削手段50に連結された昇降板64とを備えている。昇降板64の他方の面に一対のガイドレール63が摺接し、昇降板64の中央部に形成されたナットにはボールネジ61が螺合している。モータ62がボールネジ61を駆動することにより、昇降板64とともに研削手段50をZ軸方向に昇降させることができる。
The grinding feed means 60 includes a
研削手段50は、Z軸方向の軸心を有する軸(回転軸)を有するスピンドルユニット51と、スピンドルユニット51が回転可能に囲繞して支持されたスピンドルハウジング52と、スピンドルユニット51の一端に接続されたモータ53と、スピンドルハウジング52を保持するホルダ54と、スピンドルユニット51の下端においてホイールマウント40を介して着脱自在に装着された研削ホイール55と、研削ホイール55の自由端55bに環状に固着された研削砥石56とを備えている。そして、モータ53が駆動されてスピンドルユニット51が回転することにより、研削ホイール55を所定の回転速度で回転させることができる。
The grinding means 50 is connected to a
図2に示すように、研削ホイール55は、ホイールマウント40の装着面40bに接する被装着面55aにおいて開口した開口550と、研削ホイール55の中心を中心とし円周方向に等間隔で配設されネジ6が螺合するための複数(図示の例では6つ)の雌ねじ孔551とを備えている。被装着面55aは、鉛直方向と直交する水平方向に平行な平坦面となっている。研削ホイール55の外径はホイールマウント40の外径と略同径に形成されている。研削砥石56は、研削ホイール55の自由端55bにおいて円周方向に等間隔をあけて複数配設され、例えば接着材によって接着固定されている。
As shown in FIG. 2, the
ホイールマウント40は、円盤状に形成されており、スピンドルユニット51の先端に固定されている。ホイールマウント40の装着面40bは、被装着面55aと平行な平坦面となっている。ホイールマウント40には、上面40aと下面(装着面40b)とを貫通し、研削ホイール55の雌ねじ孔551に対応して円周方向に等間隔で離間して配設され装着面40bに研削ホイール55をネジ固定する複数の貫通孔41を備えている。貫通孔41の数は、研削ホイール55の雌ねじ孔551の数に対応しており、例えば6つ形成されている。
The
研削ホイール55をホイールマウント40に装着する場合は、ホイールマウント40の貫通孔41と研削ホイール55の雌ねじ孔551とを一致させるとともに、ホイールマウント40の被装着面55aとホイールマウント40の装着面40bとを密着させた状態で、ホイールマウント40の6つの貫通孔41にネジ6をそれぞれ貫通させるとともに雌ねじ孔551に螺入させて締結することによってネジ固定する。一方、ホイールマウント40から研削ホイール55を取り外す場合は、6つの雌ねじ孔551および貫通孔41から全てのネジ6を取り外してから、ホイールマウント40の装着面40bと研削ホイール55の被装着面55aとを離間させればよい。
When mounting the grinding
[測定治具]
図3に示す測定治具10は、上記した研削装置1において、ホイールマウント40に装着して軸を回転させ保持面21a上における研削砥石56の回転軌道100での保持面高さを測定する測定治具の一形態である。測定治具10は、保持面21aの保持面高さを測定するゲージ14を備え、ホイールマウント40に固定されてゲージ14の先端140が研削砥石56の研削面56bの直下に位置づけられ、研削砥石56の回転軌道100に沿って研削面56bの直下の保持面高さを測定する構成となっている。
[Measurement jig]
The measuring
本実施形態に示す測定治具10は、上面11aと下面11bとを貫通する第2の貫通孔110を有する上板11と、ゲージ14が配設される下板12と、上板11と下板12とを接続する接続部13とを備えている。上板11は、例えば矩形板状に形成され、上面11a及び下面11bは、鉛直方向と直交する水平方向に平行な平坦面となっている。図示の例では、下面11bがホイールマウント40の上面40aに固定される面となっている。ホイールマウント40に測定治具10を固定する際には、第2の貫通孔110を図2に示した複数の貫通孔41のいずれか1つに位置を合わせ、ネジ6よりも長い長ネジ7を第2の貫通孔110から貫通させる構成となっている。
The measuring
下板12は、上板11と同様の構成であり、上面12a及び下面12bは鉛直方向と直交する水平方向に平行な平坦面となっている。ゲージ14は、下板12の上面12aと下面12bとを貫通して配設されており、ゲージ14の先端140が下板12の下面12bから下方に突出している。本実施形態に示すゲージ14は、接触式のハイトゲージによって構成したが、かかる構成に限られず、非接触式で光学式の測定器で構成してもよい。
The
接続部13は、鉛直方向に延在した板状部材である。図示の例では、上板11と下板12とが対面するように、接続部13の上端に上板11が接続され、接続部13の下端に下板12が接続されている。これにより、測定治具10が例えばコの字形状に形成されている。接続部13の鉛直方向の長さは、特に限定されないが、少なくともホイールマウント40に研削ホイール55が装着された状態のホイールマウント40の上面40aから研削砥石56の研削面56aまでの高さ以上に設定されていることが好ましい。なお、本実施形態に示した測定治具10は、コの字形状に形成されているが、かかる形状に限定されるものではない。
The connecting
このように構成される測定治具10をホイールマウント40に固定する場合は、まず、ホイールマウント40の貫通孔41に貫通させ雌ねじ孔551にネジ6を螺入させホイールマウント40に研削ホイール55をネジ固定している複数のネジ6のいずれか1本を外してから、1本のネジ6が外された貫通孔41と上板11の第2の貫通孔110とを一致させ、上板11の下面11bをホイールマウント40の上面40aに接触させる。つまり、図4に示すように、ホイールマウント40から研削ホイール55を取り外さないで、測定治具10の上板11をホイールマウント40の上面40aに載せる。
When fixing the measuring
次いで、図5に示すように、ネジ6よりも長い長ネジ7を第2の貫通孔110と貫通孔41とに貫通させるとともに研削ホイール55の雌ねじ孔551に螺入させ、研削ホイール55と上板11とでホイールマウント40を挟んで上板11を固定する。上板11がホイールマウント40に固定されると、接続部13によって研削ホイール55の側方側を迂回して下板12が研削砥石56の下方に位置づけられ、研削面56aの直下にゲージ14が位置づけられる。このようにして、ホイールマウント40に研削ホイール55が装着された状態のまま、測定治具10を研削ホイール55に固定する。
Next, as shown in FIG. 5, a
研削ホイール55に固定された測定治具10で図1に示した保持テーブル20の保持面21aの保持面高さを測定する際には、ゲージ14の先端140を保持面21aに接触させた状態で、研削ホイール55を回転させることにより、研削砥石56の回転軌道100に沿って走査させ、保持面高さを測定する。そして、ゲージ14の先端140の上下方向の位置の変化に基づいて、保持テーブル20と研削ホイール55との傾きを確認する。そして、必要に応じて保持テーブル20の保持面21aと研削砥石56の研削面56aとが平行となるように保持テーブル20または研削手段50を傾けて調整する。
When measuring the height of the holding
このように、本発明に係る測定治具10は、保持テーブル20の保持面高さを測定するゲージ14を備え、測定治具10がホイールマウント40に固定されてゲージ14の先端140が研削砥石56の研削面56aの直下に位置づけられ、研削砥石56の回転軌道100に沿って研削面56aの直下の保持面高さを測定するため、保持テーブル20と研削ホイール55との傾きを確認する際に、ホイールマウント40から研削ホイール55を取り外す必要がない。したがって、本発明によれば、研削ホイール55がホイールマウント40に装着された状態のまま、保持面21aと研削面56aとの平行度が変化した否かを素早く確認することが可能となる。
また、測定治具10は、上面11aと下面11bとを貫通する第2の貫通孔110を有する上板11と、ゲージ14が配設される下板12と、上板11と下板12とを接続する接続部13とを備え、ホイールマウント40に研削ホイール55をネジ固定している複数のネジ6のいずれか1本を外し、外したネジ6より上板11の厚みと同じ長さ長い長ネジ7を第2の貫通孔110と貫通孔41とに貫通させるとともに研削ホイール55の雌ねじ孔551に螺入させて、研削ホイール55と上板11とでホイールマウント40を挟んで上板11を固定し、研削ホイール55の側方側を迂回して研削面56aの直下にゲージ14が位置づけられるように構成したため、ホイールマウント40から研削ホイール55を取り外すことなく、測定治具10をホイールマウント40に容易に固定することができる。
As described above, the measuring
Further, the measuring
1:研削装置 2:装置ベース 3:コラム 4:カバー 5:ブラケット
6:ネジ 7:長ネジ
10:測定治具 11 上板 110:第2の貫通孔
12:下板 13:接続部 14:ゲージ 140:先端
20:保持テーブル 21:ポーラス板 22:枠体
30:厚み測定手段 31:第1のゲージ 32:第2のゲージ
40:ホイールマウント 41:貫通孔
50:研削手段 51:スピンドルユニット 52:スピンドルハウジング
53:モータ 54:ホルダ 55:研削ホイール 550:開口 551:雌ねじ孔
56:研削砥石
60:研削送り手段 61:ボールネジ 62:モータ 63:ガイドレール
64:昇降板
1: Grinding device 2: Equipment base 3: Column 4: Cover 5: Bracket 6: Screw 7: Long screw 10: Measuring
Claims (2)
該測定治具は、該保持面高さを測定するゲージを備え、
該測定治具が該ホイールマウントに固定されて該ゲージの先端が該研削砥石の研削面の直下に位置づけられ、該研削砥石の回転軌道に沿って該研削面の直下の該保持面高さを測定する測定治具。 A wheel mount that has a holding table that holds the plate-shaped work on the holding surface and a mounting surface that mounts a grinding wheel with a grinding wheel arranged in an annular shape on the lower surface, and a wheel mount on the upper surface of the wheel mount centered on the center of the wheel mount. In a grinding device having a spindle unit to be connected and rotated and a grinding means for grinding a plate-shaped workpiece held by the holding table, the shaft is mounted on the wheel mount and the shaft is rotated to rotate the shaft on the holding surface. It is a measuring jig that measures the height of the holding surface of the grinding wheel in the rotating trajectory.
The measuring jig includes a gauge for measuring the height of the holding surface.
The measuring jig is fixed to the wheel mount, the tip of the gauge is positioned directly below the grinding surface of the grinding wheel, and the height of the holding surface directly below the grinding surface is set along the rotation trajectory of the grinding wheel. Measuring jig to measure.
該ホイールマウントは、上面と下面とを貫通し、該研削ホイールの該雌ねじ孔に対応して円周方向に等間隔で配設され該装着面に該研削ホイールをネジ固定する複数の貫通孔を備え、
前記測定治具は、上面と下面とを貫通する第2の貫通孔を有する上板と、前記ゲージが配設される下板と、該上板と該下板とを接続する接続部とを備え、
該ホイールマウントに該研削ホイールをネジ固定している複数の該ネジのいずれか1本を外し、外した該ネジより長いネジを該第2の貫通孔と該貫通孔とに貫通させるとともに該研削ホイールの該雌ねじ孔に螺入させて、該研削ホイールと該上板とで該ホイールマウントを挟んで該上板を固定し、該研削ホイールの側方側を迂回して該研削面の直下に該ゲージが位置づけられる請求項1記載の測定治具。 The grinding wheel is provided with a plurality of female screw holes which are open to the mounted surface of the wheel mount in contact with the mounting surface and are arranged at equal intervals in the circumferential direction around the center of the grinding wheel.
The wheel mount penetrates the upper surface and the lower surface, and is disposed at equal intervals in the circumferential direction corresponding to the female screw hole of the grinding wheel, and has a plurality of through holes for screwing the grinding wheel to the mounting surface. Prepare,
The measuring jig has an upper plate having a second through hole penetrating the upper surface and the lower surface, a lower plate on which the gauge is arranged, and a connection portion connecting the upper plate and the lower plate. Prepare,
Remove any one of the plurality of screws fixing the grinding wheel to the wheel mount, and pass a screw longer than the removed screw through the second through hole and the through hole, and grind the grinding wheel. It is screwed into the female screw hole of the wheel, the wheel mount is sandwiched between the grinding wheel and the upper plate to fix the upper plate, and the side side of the grinding wheel is bypassed and directly under the grinding surface. The measuring jig according to claim 1, wherein the gauge is positioned.
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