JP6987649B2 - 処理液供給装置及びその脱気方法 - Google Patents
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Description
すなわち、従来の装置は、ダイヤフラムを移動させてチャンバの容積を小さくしてから排出管の開閉弁を開放させるので、短時間とはいえチャンバ内が陽圧となる。したがって、処理液からチャンバ内に放出されたエアが再び処理液に溶け込む恐れがあり、脱気効率が低下する恐れがある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を処理するための処理液を供給する処理液供給装置において、処理液を貯留するためのチャンバと、前記チャンバに連通され、前記チャンバに処理液を取り込む取り込み口と、前記チャンバに連通され、前記チャンバの処理液を送り出す送出口と、前記チャンバに連通され、前記チャンバの気体を排出する排出口と、前記取り込み口から前記チャンバに処理液を取り込ませ、前記送出口を通して前記チャンバから処理液を送出させ、前記排出口から気体を排出させるために、前記チャンバの容積を変化させるチャンバ駆動部とを備えたポンプと、処理液を貯留している処理液供給源と前記取り込み口とを連通接続した取り込み配管と、前記取り込み配管における処理液の流通を制御する取り込み開閉弁と、前記送出口に連通接続され、前記チャンバ内の処理液を前記基板に供給する送出配管と、前記送出配管における処理液の流通を制御する送出開閉弁と、前記排出口に連通接続され、前記チャンバ内の気体を排出する排出管と、前記排出管における気体の流通を制御する排出開閉弁と、前記排出管内の圧力を前記チャンバ内の圧力より低い圧力に調整する圧力調整機構と、を備え、前記チャンバに処理液を取り込んだ後、前記取り込み開閉弁と、前記送出開閉弁と、前記排出開閉弁とを閉止させた状態で、前記チャンバ駆動部により前記チャンバの容積が大きくなるように変化させ、前記圧力調整機構を作動させるとともに前記排出開閉弁を開放させて脱気を行わせることを特徴とするものである。
図1は、処理液供給装置の概略構成を示すブロック図である。
3 … ポンプ
5 … 取り込み配管
7 … 送出配管
9 … 排出管
11 … 処理液容器
13 … ポンプ本体13
15 … チャンバ
17 … シリンダ
19 … ダイヤフラム
21 … 取り込み口
23 … 送出口
25 … 排出口
V1〜V3 … 開閉弁
V4 … 三方弁
35 … 気泡センサ
Claims (6)
- 基板を処理するための処理液を供給する処理液供給装置において、
処理液を貯留するためのチャンバと、前記チャンバに連通され、前記チャンバに処理液を取り込む取り込み口と、前記チャンバに連通され、前記チャンバの処理液を送り出す送出口と、前記チャンバに連通され、前記チャンバの気体を排出する排出口と、前記取り込み口から前記チャンバに処理液を取り込ませ、前記送出口を通して前記チャンバから処理液を送出させ、前記排出口から気体を排出させるために、前記チャンバの容積を変化させるチャンバ駆動部とを備えたポンプと、
処理液を貯留している処理液供給源と前記取り込み口とを連通接続した取り込み配管と、
前記取り込み配管における処理液の流通を制御する取り込み開閉弁と、
前記送出口に連通接続され、前記チャンバ内の処理液を前記基板に供給する送出配管と、
前記送出配管における処理液の流通を制御する送出開閉弁と、
前記排出口に連通接続され、前記チャンバ内の気体を排出する排出管と、
前記排出管における気体の流通を制御する排出開閉弁と、
前記排出管内の圧力を前記チャンバ内の圧力より低い圧力に調整する圧力調整機構と、
を備え、
前記チャンバに処理液を取り込んだ後、前記取り込み開閉弁と、前記送出開閉弁と、前記排出開閉弁とを閉止させた状態で、前記チャンバ駆動部により前記チャンバの容積が大きくなるように変化させ、前記圧力調整機構を作動させるとともに前記排出開閉弁を開放させて脱気を行わせることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記圧力調整機構は、アスピレータであることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1または2に記載の処理液供給装置において、
前記圧力調整機構は、前記排出開閉弁が開放されるまでに作動されることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記ポンプは、前記チャンバがダイヤフラムを備えていることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記排出管は、処理液中の気泡を検出する気泡センサを備え、
脱気を開始した後、前記気泡センサが気泡を検出しなくなった時点で前記排出開閉弁を閉止することを特徴とする処理液供給装置。 - 基板を処理するための処理液を供給する処理液供給装置の脱気方法において、
処理液を貯留するチャンバの容積を変化させるチャンバ駆動部により前記チャンバの容積が大きくなるように変化させて、前記チャンバの取り込み口に連通接続された取り込み配管から処理液を前記チャンバ内に取り込む過程と、
前記取り込み配管と、前記チャンバから基板に処理液を送り出す送出配管と、前記チャンバの気体を排出する排出管とを閉止した状態で、前記チャンバ駆動部により前記チャンバの容積がさらに大きくなるように変化させる過程と、
前記チャンバから気体を排出する排出管内を、前記チャンバ内より低い圧力に調整する過程と、
前記チャンバと前記排出管とを連通させて脱気する過程と、
を実施することを特徴とする処理液供給装置の脱気方法。
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