KR100806841B1 - 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 - Google Patents

슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 Download PDF

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Abstract

본 발명은 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 슬러리 공급장치에 의해 발생되는 기포를 버블 댐퍼에 의해 제거하는 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼는 슬러리를 저장하고 있는 슬러리 드럼(Slurry drum), 슬러리 드럼으로부터 슬러리를 공급받는 베슬(Vessel) 및 슬러리 드럼과 상기 베슬 사이에 위치하여 상기 슬러리 드럼으로부터 운반되는 슬러리에서 발생하는 기포를 수거하는 버블 댐퍼(Bubble damper)를 포함한다.
버블 댐퍼(Bubble damper), 기포 억제, 슬러리, 슬러리 공급장치

Description

슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼{Bubble damper in a slurry provision system}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버블 댐퍼를 포함한 구조를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 2실시예에 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템을 보여주는 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100: 버블 댐퍼 110: 댐퍼 센서
120: 흡입기 130: 드럼 필터
200: 슬러리 드럼 210: 베슬
220: 베슬 센서 230: 진공 펌프
300: 가압 펌프
본 발명은 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 슬러리 공급장치에 의해 발생되는 기포를 버블 댐퍼(Bubble damper)에 의해 수거하는 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼에 관한 것이다.
일반적으로 화학 기계 평탄화(CMP; Chemical mechanical planarization)는 연마제에 의한 기계적인 폴리싱(Polishing) 효과와 산 또는 염기 용액에 의한 화학적 반응 효과를 결합하여 웨이퍼 표면을 평탄화시키는 공정을 말한다.
이러한 CMP 장치에 있어서 사용되는 연마 용액을 슬러리(Slurry)라고 한다. 슬러리는 기계적 연마를 위한 미세 입자가 균일하게 분산되어 있고 연마되는 기판과의 화학적 반응을 위한 산 또는 염기와 같은 용액을 초순수(DI water)에 분산 및 혼합시킨 용액이다. 이러한 슬러리는 CMP 공정 중에 패트(Pad)와 기판 사이로 침투하여 기판 표면의 기계적, 화학적 연마의 핵심적인 역할을 수행한다.
슬러리는 사용되는 물질에 따라 크게 산화막 CMP 슬러리와 금속막 CMP 슬러리로 구분될 수 있다. 산화막 CMP 슬러에서는 퓸 실리카(Fumed silica)를 초순수에 분산시킨 콜로이달 실리카(Colloidal)가 대표적으로 사용된다. 금속막 슬러리는 주로 알루미나(Al2O3) 입자, 세리아(CeO2) 입자 또는 구리(Cu) 입자를 용액에 첨가하여 사용한다.
따라서 용액에 특성상 입자들이 용액에 섞이면서 기포가 발생할 수 있고, 슬 러리를 공급하는 배관, 펌프 또는 밸브를 통과하면서 슬러리에 발생하는 와류 또는 마찰 등에 의하여 기포가 생성될 수 있다.
이러한 기포의 발생으로 인하여 슬러리를 섞어주는 베슬(Vessel)에서는 슬러리를 섞어주는 배합을 맞추기가 쉽지 않게 된다. 왜냐하면, 기포가 내재된 슬러리는 센서에 의해 그 양이 정확하게 감지될 수 없기 때문에 배합비를 맞출 수가 없게 된다.
따라서 이러한 슬러리 내에서 기포의 발생을 억제하거나 이미 발생한 기포를 수거하는 시스템이 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 버블 댐퍼를 구비하고 진공 펌프 또는 가압 펌프에 의하여 발생된 기포를 효율적으로 수거하여 안정적인 슬러리를 공급하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼는 슬러리를 저장하고 있는 슬러리 드럼(Slurry drum); 상기 슬러리 드럼으로부터 슬러리를 공급받는 베슬(Vessel); 및 상기 슬러리 드럼과 상기 베슬 사이에 위치하여 상기 슬러리 드럼으로부터 운반되는 슬러리에서 발생하는 기 포를 수거하는 버블 댐퍼(Bubble damper)를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버블 댐퍼를 포함한 구조를 보여주는 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 버블 댐퍼를 포함하는 구조는 버블 댐퍼(100), 댐퍼 센서(110), 드럼 필터(130), 흡입기(120), 복수의 배관 및 복수의 밸브(150)를 포함할 수 있다.
버블 댐퍼(Bubble damper, 100)는 슬러리 드럼으로부터 공급되는 슬러리를 임시로 저장하는 역할을 한다. 버블 댐퍼(100)로 슬러리를 공급하는 방법은 다양하게 제시될 수 있다. 첫째는 도 1에서 도시하는 바와 같이 흡입기(120)를 작동시켜 흡입기로 에어(Air) 등의 가스를 통과시키면 버블 댐퍼에 상대적은 낮은 압력이 생 성된다. 따라서 상대적으로 높은 압력에 있는 슬러리 드럼 측에서 슬러리가 압력차에 의해 버블 댐퍼로 공급될 수 있다. 둘째는 흡입기를 사용하지 아니하고 슬러리 드럼 측에서 가압 펌프를 사용하는 방법이 있다. 슬러리 드럼에서 버블 댐퍼 사이에서 장착되는 가압 펌프에 의해 슬러리를 운반할 수 있다. 셋째는, 베슬 부분에 진공 펌프에 상대적으로 낮은 압력을 유발하여 압력차에 의한 힘으로 슬러리 드럼에서 버블 댐퍼로, 버블 댐퍼에서 베슬로 슬러리를 운반할 수 있다.
댐퍼 센서(110)는 버블 댐퍼(100)에 있는 슬러리의 양을 감지하는 역할을 한다. 댐퍼 센서(110)는 센서가 장착된 높이에서 버블 댐퍼내에 슬러리가 있는 경우에는 켜진(On) 상태가 되고, 슬러리가 없는 경우에는 커진(Off) 상태가 된다. 이러한 센서는 발광부와 수광부를 가진 적외선 센서 또는 초음파 센서 등에 의하여 버블 댐퍼내에 슬러리의 존재를 감지할 수 있다. 다만, 슬러리 내에 다수의 기포가 발생하여 슬러리가 존재함에도 댐퍼 센서는 켜짐(On)과 꺼짐(Off)을 반복할 수 있다.
드럼 필터(Drum Filter, 130)는 슬러리 드럼에서 공급되는 슬러리에서 이물질을 걸려주는 역할을 한다. 슬러리에 포함되어 있는 미세 입자의 크기를 고려하여 걸려줌으로써 슬러리에 사용되는 연마 입자의 크기보다 상대적으로 큰 이물질을 걸려주어 균일한 미세 입자를 포함하는 슬러리를 제공할 수 있다.
흡입기(Aspirator, 120)는 버블 댐퍼(100)에 상대적으로 낮은 압력을 생성하는 역할을 한다. 흡입기(120)는 에어 등의 가스가 통과하도록 파이프를 가지며, 흡입기(120)의 중심부에서의 파이프의 직경이 가장 작게하여 중심부에서 통과하는 가 스의 속력이 높도록 한다. 따라서 흡입기(120)는 상대적으로 높은 속력에서는 압력이 낮아지는 원리인 베르누이 정리에 의해서 흡입기 부분에서의 압력을 낮추고, 이를 통하여 버블 댐퍼의 압력도 슬러리 드럼이 있는 부분보다 상대적으로 낮출 수 있다. 흡입기는 에어 등의 가스를 빨아 들여서 배기하기 위하여 모터 또는 엔진 등의 구동부에 의해 회전하는 바람개비를 포함할 수 있다. 이러한 흡입기(120)의 작동에 의해서 버블 댐퍼에 슬러리가 소모되거나 슬러리가 부족한 경우에는 슬러리 드럼으로부터 슬러리를 운반할 수 있다.
배관(150)은 슬러리, 초순수(DI water) 또는 에어 등이 지나가는 공간을 제공한다. 요구되는 위치 또는 용기에 요구되는 물질을 공급하기 위해 복수의 배관이 설치되고, 배관과 배관 사이에는 용기 또는 밸브 등에 의해 연결될 수 있다. 배관은 단위 시간당 운반할 수 있는 양과 펌프 등에 의해 가해지는 압력을 고려하여 직경 및 재질을 선택할 수 있다. 이와 함께, 슬러리 내에 화학적 첨가제 또는 산화제 등에 의해 산화되거나 침식되지 않도록 코팅 처리된 배관이 사용될 수 있다.
밸브(10, 20, 30, 40, 50, 60, 70)는 배관을 열고 닫는 역할을 한다. 예를 들어 복수의 밸브가 있는 버블 댐퍼에 있어서 흡입기(120)를 통해 에어를 흡입시에는 밸브(70)를 열어야 하며, 댐버 몸체(100)에 있는 슬러리를 배기하기 위해서는 밸브(20)를 열어야 하고, 베슬에 슬러리를 공급하기 위해서는 밸브(30)를 열어야 한다. 이와 같이 공급이나 배출을 필요로 하는 때에는 배관에 연결되어 있는 밸브를 개방하여 요구되는 물질의 공급 또는 배출을 할 수 있다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스 템을 보여주는 도면이다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 진공 펌프에 의해 기포를 제거하는 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템은 버블 댐퍼(100), 댐퍼 센서(110), 드럼 필터(130), 흡입기(120), 복수의 배관(150), 복수의 밸브(10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80), 슬러리 드럼(200), 베슬(210), 베슬 센서(220) 및 진공 펌프(230)를 포함할 수 있다.
버블 댐퍼(100), 댐퍼 센서(110), 드럼 필터(130), 흡입기(120), 복수의 배관(150) 및 복수의 밸브(10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80)에 대해서는 위에서 상세히 설명하여 생략하기로 하고, 이를 제외한 구성요소들에 대하여 설명하기로 한다.
슬러리 드럼(Slurry drum, 200)은 슬러리를 공급하는 용기이다. 슬러리는 미세 입자와 용매로 이루어지는 연마용액을 말한다. 따라서 미세 입자가 용매에 섞이면서 기포가 발생할 수 있다. 슬러리 드럼에서 제공되는 슬러리가 떨어지는 경우에는 슬러리 드럼을 교체하거나 슬러리 드럼에 슬러리를 보충할 수 있다.
베슬(Vessel, 210)은 버블 댐퍼(100)에 의해 공급되는 슬러리를 저장하는 용기 역할을 한다. 베슬(210)은 공정에 슬러리를 제공하는 용기가 되므로, 베슬에 저장되는 슬러리에는 기포가 최소한으로 존재하는 것이 바람직하다. 베슬(210)은 저장된 슬러리를 배관을 통하여 버프 기능을 수행하는 버프 용기(미도시됨)에 슬러리를 제공하여, 버프 용기로 하여금 CMP 공정에서 사용되는 슬러리를 제공하도록 한다.
베슬 센서(220)는 베슬(210)에 저장된 슬러리의 양을 감지하는 역할을 한다. 베슬 센서를 복수개로 하여 높이에 따라 베슬 센서를 장착함으로써 각 센서의 켜짐과 꺼짐을 인식하여 슬러리의 양이 얼마만큼인지를 감지할 수 있다. 낮은 높이의 센서가 꺼지는(Off) 경우에는 슬러리가 거의 소모되었으므로 버블 댐퍼를 통하여 슬러리를 공급할 수 있다. 이러한 센서(220)는 발광부와 수광부를 가진 적외선 센서 또는 초음파 센서 등에 의하여 베슬(210)내에 슬러리의 존재를 감지할 수 있다.
진공 펌프(230)는 베슬(210)에 슬러리를 공급하는 역할을 한다. 진공 펌프(230)는 진공 상태를 생성하는 역할을 하므로, 진공 펌프(230)가 위치하는 베슬(210)의 압력을 상대적으로 낮게 한다. 따라서 베슬(210)에 연결되는 버블 댐퍼(100)의 압력이 높으므로 압력차에 의해 버블 댐퍼(100)에 있는 슬러리가 베슬로 이동할 수 있다. 이와 동일하게 슬러리 드럼(200)에 저장되어 있는 슬러리가 배관을 통하여 버블 댐퍼(100)로 이동한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 제 1실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.
슬러리 드럼(200)에 슬러리가 드럼 필터(130)를 통과하여 버블 댐퍼(100)에 제공된다. 버블 댐퍼(100)에 슬러리가 채워지고, 이를 베슬(210)에 공급하기 위하여 진공 펌프(230)가 작동한다. 진공 펌프(230)에 의해 버블 댐퍼(100)와 베슬(210)의 압력차이가 발생하고, 이러한 압력차에 의해 버블 댐퍼(100)에 저장된 슬러리가 베슬(210)에 공급된다.
버블 댐퍼(100)가 없는 경우에는 슬러리 드럼(200)에서 베슬(210)로 직접 연결되어 슬러리 드럼에서 약액의 특성상 기포 발생과 드럼 필터(130)를 통과하거나 필터 교체하는 과정에서 투입되는 공기 등에 의해 배관 사이에 기포가 발생할 수 있다. 이와 함께 진공 펌프에 의해 빨아들이면서 배관을 통한 유동이 뒤엉키면서 와류를 발생하여 기포를 발생할 수 있다. 이러한 기포 발생으로 인하여 배관에 일정한 압력 전달이 되지 않아 슬러리의 운반이 불안정할 수 있고, 이와 함께 베슬에 다수의 기포가 슬러리 사이에 존재하여 베슬 센서의 오작동을 유발하고 베슬에서 슬러리를 균일하게 하기 위해 섞어주는 작용에서 배합비를 알맞게 하지 못하게 된다.
따라서 슬러리 드럼(200)과 베슬(210) 사이에 버블 댐퍼(100)를 위치시켜 슬러리 드럼에서 드럼 필터를 통과하면서 유발되는 기포들은 버블 댐퍼에서 댐퍼의 위쪽에 수거된다. 따라서 버블 댐퍼의 아래에는 기포가 줄어들기 때문에 버블 댐퍼의 아래로 베슬로 통하는 배관을 연결하여 슬러리를 운반할 수 있다. 그리하여 기포를 제거하지 않더라도 버블 댐퍼를 둠으로서 베슬에 운반되는 슬러리에 기포를 줄일 수 있어 후속 공정에서 균일한 슬러리를 사용할 수 있다.
베슬(210)에 슬러리를 공급하는 도중에 댐퍼 센서(110)가 꺼짐에 의해 버블 댐퍼(100)에 슬러리가 줄어들고 있는 경우에는 진공 펌프(230)의 작동은 멈추고 버블 댐퍼(170)가 작동한다. 밸브(30)을 닫고, 흡입기(120)를 작동시켜 버블 댐퍼(100)에 슬러리를 채운다. 흡입기(120)에서의 낮은 압력을 유도함으로써 슬러리 드럼(200)으로부터 슬러리를 버블 댐퍼(100)로 운반할 수 있다. 이러한 슬러리 운반하면서 버블 댐퍼 상부에 수거된 기포를 배기구를 통하여 외부로 배출할 수 있다.
흡입기의 작동에 의해 버블 댐퍼를 채우면 댐퍼 센서가 켜지게 되고, 버블 댐퍼를 채운 후에는 다시 진공 펌프가 작동하여 베슬로 슬러리를 운반할 수 있다.
반복적인 작동으로 버블 댐퍼가 오염되는 경우에는 버블 댐퍼를 세정할 수 있다. 먼저 밸브(20, 40)를 열고, 가스를 불어 넣어 버블 댐퍼(100)에 있는 남은 슬러리를 배출한다. 또는 밸브(50, 60)을 열어 초순수를 버블 댐퍼에 넣어줌으로써 버블 댐퍼에 잔류한 슬러리를 배출하고 버블 댐퍼를 세정할 수 있다. 이와 함께, 진공 상태인 배관이 외부 공기와의 만나 굳어져 배관이 막히거나 또는 배관이 오염될 수 있으므로 밸브(60)를 열고 초순수를 사용하여 배관을 일정시간 동안 세정할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2실시예에 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템을 보여주는 도면이다.
본 발명의 제 2실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템은 버블 댐퍼(100), 댐퍼 센서(110), 드럼 필터(130), 복수의 배관, 복수의 밸브, 슬러리 드럼(200), 베슬(210), 베슬 센서(220) 및 가압 펌프(300)를 포함할 수 있다.
버블 댐퍼(100), 댐퍼 센서(110), 드럼 필터(130), 복수의 배관, 복수의 밸브, 슬러리 드럼(200), 베슬(210) 및 베슬 센서(220)에 대해서는 위에서 상세히 설명하여 생략하기로 하고, 이를 제외한 구성요소들에 대하여 설명하기로 한다.
가압 펌프(300)는 일정한 압력에 도달시키는 펌프로써, 압력에 의해 슬러리를 버블 댐퍼(100) 또는 베슬(210)에 공급하는 역할을 한다. 가압 펌프(300)은 슬러리 드럼(200)에 위치하여 슬러리 드럼이 있는 위치에 높은 압력을 발생시키고 베 슬(210)에 있는 밸브(80)를 개방하여 압력을 낮추어 이로 인한 압력 차이에 의해 슬러리를 배관을 통해 이동시킬 수 있다.
도 3에서 도시되는 본 발명에 일 실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.
가압 펌프(300)에 의해 슬러리를 슬러리 드럼에서 버블 댐퍼(100) 및 베슬(210)로 이동시킬 수 있다. 이때 베슬(210)에 있는 밸브(80)를 개방하여 가압 펌프에서의 압력과 베슬에서의 압력차가 슬러리를 이동시키는 힘이 된다. 슬러리를 베슬에 공급하는 동안에 댐퍼 센서가 꺼지는(Off) 경우에는 동작을 중단하고 버블 댐퍼(100)를 작동시킨다.
버블 댐퍼의 작동은 다음과 같은 과정에 의해 이루어질 수 있다. 밸브(30)를 닫고, 밸브(50)을 개방하고 가압 펌프(300)를 작동시킨다. 가압 펌프(300)에 의해 버블 댐퍼(100)에 슬러리 드럼으로부터 슬러리가 공급된다. 이에 따라, 버블 댐퍼에는 슬러리가 채워지고, 버블 댐퍼 상부에 수거되어 있는 기포는 밸브(50)을 통과하여 배기구를 통하여 배출될 수 있다.
버블 댐퍼(100)를 채운 뒤에는 밸브(50)를 닫고, 밸브(30)와 밸브(80)를 개방하고 가압 펌프(300)에 의해 슬러리를 베슬(210)에 공급할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템을 보여주는 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템은 버블 댐퍼(100), 댐퍼 센서(110), 드럼 필터(130), 복수의 배관, 복수의 밸브, 슬러 리 드럼(200), 베슬(210), 베슬 센서(220) 및 가압 펌프(300)를 포함할 수 있다.
위에서 각 구성요소에 대해서는 이미 상세히 설명하여 생략하기로 하고, 도 4를 참고하여 본 발명의 일 실시예에 의한 작용을 설명하기로 한다.
도 3과 유사한 방식과 같이 가압 펌프(300)에 의해 슬러리를 슬러리 드럼(200)에서 버블 댐퍼(100) 및 베슬(210)로 이동시킬 수 있다. 이때 베슬(210)에 있는 밸브(80)를 개방하여 가압 펌프(300)에서의 압력과 베슬에서의 압력차가 슬러리를 이동시킬 수 있다. 슬러리를 베슬에 공급하는 동안에 댐퍼 센서가 꺼지는(Off) 경우에는 동작을 중단하고 버블 댐퍼를 작동시킨다.
밸브(30)를 닫고, 밸브(50)을 개방하면서 가압 펌프를 작동시킨다. 따라서 버블 댐퍼에는 슬러리가 채워지게 되고 버블 댐퍼 상부에 수거되어 있는 기포는 버블 댐퍼와 슬러리 드럼 사이의 배관을 따라 슬러리에 다시 들어간다. 따라서 슬러리 드럼에 기포가 합쳐지게 되어 기포에 포함된 슬러리를 재활용하게 된다. 배관을 통하여 밀폐되어 있는 상태에 있으므로 기포가 존재하더라도 베슬에 운반되는 것이 아니므로 베슬에 잔류하는 슬러리에는 기포가 줄어든다. 이와 함께 슬러리 드럼에 다시 재활용되는 기포들은 슬러리 드럼에서 분쇄될 수 있어, 기포를 제거하는 역할을 할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므 로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명에 따를 경우, 버블 댐퍼를 슬러리 공급 장치에 적용하여 베슬에 공급되는 슬러리에 기포를 줄일 수 있다.
이와 함께, 진공 펌프를 이용하여 슬러리를 베슬에 공급하고 흡입기에 의해 버블 댐퍼의 기포를 배출할 수 있다.
또한 가압 펌프에 의해 베슬에 슬러리를 공급하고, 버블 댐퍼에 의해 기포를 수거하여 배기구로 배출하여 베슬에 제공되는 슬러리에 기포를 줄일 수 있다.
또한 버블 댐퍼에 수거된 기포들을 슬러리 드럼에 연결된 배관을 통하여 재활용함으로써 슬러리의 낭비를 줄일 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 슬러리를 저장하고 있는 슬러리 드럼(Slurry drum);
    상기 슬러리 드럼으로부터 상기 슬러리를 공급받는 베슬(Vessel); 및
    상기 슬러리 드럼과 상기 베슬 사이에 위치하여 상기 슬러리 드럼으로부터 운반되는 슬러리에서 발생하는 기포를 수거하는 버블 댐퍼(Bubble damper)를 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 베슬에 연결되어 상기 베슬의 압력을 상대적으로 낮게 하여 상기 버블 댐퍼에 있는 슬러리를 상기 베슬에 공급하는 진공 펌프를 더 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 버블 댐퍼는
    상기 버블 댐퍼에 슬러리의 양을 감지하는 댐퍼 센서를 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 버블 댐퍼에 연결되고, 상대적으로 유속이 빠른 가스 유동을 통하여 상기 버블 댐퍼에 상대적으로 낮은 압력을 유도함에 의해 상기 슬러리 드럼으로부터 상기 버블 댐퍼에 슬러리를 운반하는 흡입기를 더 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 베슬은
    상기 베슬에 있는 슬러리의 양을 감지하는 베슬 센서를 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 슬러리 드럼과 상기 베슬 댐퍼 사이에 위치하여 상기 슬러리 드럼으로부터 운반되는 슬러리에서 이물질을 걸러내는 드럼 필터(Drum filter)를 더 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  7. 제 1항에 있어서,
    가스 또는 초순수(DI water)에 의해 상기 버블 댐퍼를 세정하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 슬러리 드럼과 상기 버블 댐퍼 사이에 위치하여 일정한 압력에 의해 슬러리 드럼에 저장된 슬러리를 상기 버블 댐퍼를 통하여 상기 베슬에 공급하는 가압 펌프를 더 포함하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 버블 댐퍼에 슬러리가 줄어든 경우에 상기 베슬에 슬러리 공급을 멈추고 상기 슬러리 드럼에서 상기 버블 댐퍼로 상기 가압 펌프에 의해 슬러리를 채우는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 버블 댐퍼로부터 상기 슬러리 드럼에 연결되는 배관을 설치하여 상기 가압 펌프에 의해 상기 버블 댐퍼에 잔류한 슬러리를 상기 슬러리 드럼에 운반하여 재사용하는, 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 시스템.
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