CN115440637A - 信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置。该信息处理装置包括：搬送装置控制单元，根据教导数据对搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，第一移动动作用于将被处理基板载置于能够对被处理基板进行载置的容器中，第二移动动作用于从容器中取得被处理基板；图像数据取得单元，从以能够对容器的被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对第一移动动作和第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；图像处理单元，基于图像数据对容器和被处理基板的位置关系进行数值化；以及位置校正单元，对数值化的容器和被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出搬送装置的第一移动动作和第二移动动作的校正数据。

Description

信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置
技术领域
本公开涉及一种信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置。
背景技术
已知一种立式热处理装置，其具有纵长的热处理炉，以将多片晶圆载置于晶舟上的状态将多片晶圆收容于热处理炉中，并进行对晶圆进行加热的热处理。在该立式热处理装置中，通过具有多片叉的晶圆搬送装置，将收纳在载体中的多片晶圆同时搬送至晶舟(例如参见专利文献1)。
<现有技术文献>
<专利文献>
专利文献1：日本特开2019-046843号公报
发明内容
<本发明要解决的问题>
本公开提供一种技术，其能够对搬送装置针对被处理基板的搬送进行自主控制。
<用于解决问题的手段>
根据本公开的一个实施方式，提供一种信息处理装置，用于对基板处理装置的搬送装置针对被处理基板的搬送进行控制，所述信息处理装置包括：搬送装置控制单元，根据教导数据对所述搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，所述第一移动动作用于将所述被处理基板载置于能够对所述被处理基板进行载置的容器中，所述第二移动动作用于从所述容器中取得所述被处理基板；图像数据取得单元，从以能够对所述容器的所述被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对所述第一移动动作和所述第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；图像处理单元，基于所述图像数据，对所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化；以及位置校正单元，对数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
<发明的效果>
根据本公开，能够对搬送装置针对被处理基板的搬送进行自主控制。
附图说明
图1是示意性地示出根据本实施方式的基板处理***的一个示例的纵剖视图。
图2是示意性地示出装载区的一个示例的立体图。
图3是计算机的一个示例的硬件构成图。
图4是示出控制装置的功能构成的一个示例的图。
图5是示出根据本实施方式的对移载机构的移动动作进行控制的处理的一个示例的流程图。
图6是示出对晶圆W进行取得或载置的情况下的叉的移动动作中的位置变化的一个示例的说明图。
图7是***有叉的舟皿的一个示例的示意图。
图8是根据本实施方式的舟皿侧自动教导处理的一个示例的流程图。
图9是向位置P5***叉的舟皿的一个示例的示意图。
图10是根据本实施方式的舟皿侧自动教导处理的一个示例的流程图。
图11是向位置TCH、P3***叉的舟皿的一个示例的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本公开的非限定性的示例性的实施方式进行说明。需要说明的是，在附图中，针对相同或对应的部件或零件赋予相同或对应的附图标记，并且适当地省略重复的说明。另外，在本实施方式中，虽然以作为基板处理装置的一个示例的热处理装置为例进行说明，但是不限于热处理装置。
[第1实施方式]
图1是示意性地示出根据本实施方式的基板处理***的一个示例的纵剖视图。图2是示意性地示出装载区的一个示例的立体图。如图1所示，基板处理***具有热处理装置10、以及控制装置100。需要说明的是，控制装置100可以作为热处理装置10的构成的一部分设置在热处理装置10的框体内，也可以与热处理装置10的构成分开地设置在热处理装置10的框体外。例如，控制装置100可以通过利用以能够经由网络进行数据通信的方式连接的服务器装置、或能够经由网络进行利用的云服务等来实现。
热处理装置10具备后述的立式的热处理炉60，在舟皿(Boat)中沿纵向以预定间隔保持并收容多片晶圆W，并且能够对晶圆W进行氧化、扩散、减压CVD等各种热处理。以下，对应用于热处理装置10的示例进行说明，该热处理装置10通过向设置在后述的处理容器65内的晶圆W供给处理气体而对晶圆W的表面进行氧化处理。晶圆W是被处理基板的一个示例。被处理基板不限于圆形的晶圆W。
图1的热处理装置10具有载置台(装载口)20、壳体30、以及控制装置100。载置台(装载口)20设置在壳体30的前部。壳体30具有装载区(作业区域)40和热处理炉60。
装载区40设置在壳体30内部的下方。热处理炉60设置在壳体30内，并且设置在装载区40的上方。另外，在装载区40与热处理炉60之间设置有底板31。
载置台(装载口)20用于将晶圆W搬入壳体30内或将晶圆W从壳体30内搬出。在载置台(装载口)20上放置有收纳容器21和22。收纳容器21和22是在前面具备能够拆装的盖，并且能够以预定的间隔收纳多片(例如25片左右)晶圆W的密闭型收纳容器(前端开启式晶圆传送盒：FOUP(Front Opening Unified Pod))。
另外，在载置台20的下方，可以设置用于将设置在由后述的移载机构47移载的晶圆W的外周的切缺部(例如切口)向一个方向对齐的对准装置(aligner)23。
装载区(作业区域)40用于在收纳容器21和22与后述的舟皿44之间进行晶圆W的移载，将舟皿44搬入(装载)到处理容器65内，并将舟皿44从处理容器65搬出(卸载)。在装载区40中，设置有门机构41、闸门机构42、盖体43、舟皿44、基座45a、基座45b、升降机构46、以及移载机构47。
门机构41用于将收纳容器21和22的盖拆除，并使收纳容器21、22与装载区40连通开放。闸门机构42设置在装载区40的上方。闸门机构42被设置成在打开盖体43时为了抑制或防止高温的炉内的热量从后述的炉口68a排放到装载区40而覆盖(或封堵)炉口68a。
盖体43具有保温筒48和旋转机构49。保温筒48设置在盖体43上。保温筒48用于防止舟皿44因与盖体43侧之间的热传递而冷却，并保持舟皿44的温度。旋转机构49安装在盖体43的下部。旋转机构49用于使舟皿44旋转。旋转机构49的旋转轴被设置成气密地贯穿盖体43，并使布置在盖体43上的未图示的旋转台旋转。
升降机构46在从舟皿44的装载区40对处理容器65进行搬入和搬出时，对盖体43进行升降驱动。并且，在将由升降机构46升起的盖体43搬入处理容器65内时，盖体43设置成与后述的炉口68a抵接以密封炉口68a。载置在盖体43上的舟皿44以能够在水平面内进行旋转的方式将晶圆W保持在处理容器65内。
需要说明的是，热处理装置10可以具有多个舟皿44。在本实施方式中，参照图2对具有两个舟皿44的示例进行说明。
在装载区40中设置有舟皿44a和44b。在装载区40中设置有基座45a、基座45b、以及舟皿搬送机构45c。基座45a和45b是分别从盖体43移载舟皿44a和44b的载置台。舟皿搬送机构45c用于将舟皿44a或44b从盖体43移载到基座45a或45b。
舟皿44a和44b例如由石英制成，并且在水平状态下在上下方向上以预定间隔(间距宽度)搭载例如直径为300mm的大口径的晶圆W。舟皿44a和44b例如在顶板与底板之间设置多根(例如三根)支柱52。在支柱52上设置有分别用于支撑(保持)晶圆W的槽或爪等支撑部。另外，舟皿44a和44b可以与支柱52一起适当地设置辅助柱。需要说明的是，舟皿44a和44b是能够对晶圆W进行载置的容器的一个示例。
移载机构47用于在收纳容器21或22与舟皿44a或44b之间进行晶圆W的移载。需要说明的是，移载机构47是对晶圆W进行搬送的搬送装置的一个示例。
移载机构47具有基座57、升降臂58、以及多个叉59。基座57设置成能够升降和转动。升降臂58设置成能够通过滚珠丝杠等在上下方向上移动(能够升降)。基座57以能够进行水平转动的方式设置在升降臂58上。另外，多个叉是对晶圆W进行支撑的移载板(移载部)的一个示例。
另外，在装载区40中设置有照相机80a和80b。照相机80a和80b是拍摄装置的一个示例。照相机80a被设置成能够从移载机构47对收纳容器21或22的方向和从移载机构47对舟皿44a或44b的方向进行拍摄。示出了图1和图2的照相机80a设置在移载机构47的可动部上的示例。
例如，照相机80a对移载机构47从收纳容器21或22取得(Get)晶圆W的移动动作、以及移载机构47将晶圆W载置(Put)于舟皿44a或44b上的移动动作进行拍摄。另外，照相机80a对移载机构47从舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作、以及移载机构47将晶圆W载置于收纳容器21或22上的移动动作进行拍摄。
另外，图1和图2的照相机80b被设置为当从移载机构47侧观察时能够对舟皿44a或44b的背面进行拍摄。示出了图1和图2的照相机80b设置在壳体30的侧壁上的示例。
例如，照相机80b对移载机构47将晶圆W载置于舟皿44a或44b上的移动动作进行拍摄。另外，照相机80b对移载机构47从舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作进行拍摄。
控制装置100是对整个热处理装置10进行控制的装置。控制装置100对热处理装置10的动作进行控制，以在配方所示的各种处理条件下进行热处理。另外，如后所述，控制装置100执行用于使针对移载机构47的晶圆W的移载位置的教导(teaching)自动化的全自动教导处理、用于对移载机构47针对晶圆W的搬送进行自主控制(自主导航控制)的自主式自动移载处理、以及用于对移载机构47的预防性维护活动进行辅助的异常预兆检测处理等。
控制装置100例如由图3所示的硬件构成的计算机来实现。图3是计算机的一个示例的硬件构成图。
图3的计算机500具有输入装置501、输出装置502、外部I/F(接口)503、RAM(RandomAccess Memory：随机存取存储器)504、ROM(Read Only Memory：只读存储器)505、CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)506、通信I/F507、以及HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)508等，并且各自通过总线B相互连接。需要说明的是，输入装置501和输出装置502可以是根据需要进行连接并使用的形态。
输入装置501是键盘、鼠标或触摸面板等，并且用于由操作者等用于输入各操作信号。输出装置502是显示器等，并且显示由计算机500得到的处理结果。通信I/F507是将计算机500连接到网络的接口。HDD508是存储程序和数据的非易失性的存储装置的一个示例。
外部I/F503是与外部装置之间的接口。计算机500可以经由外部I/F503进行SD(Secure Digital：安全数字)存储卡等记录介质503a的读取和/或写入。ROM505是存储有程序和数据的非易失性的半导体存储器(存储装置)的一个示例。RAM504是对程序和数据进行临时保存的易失性的半导体存储器(存储装置)的一个示例。
CPU506是通过将程序和数据从ROM505或HDD508等存储装置读出到RAM504上并执行处理，从而实现计算机500整体的控制和功能的运算装置。
控制装置100能够通过使图3的硬件构成的计算机500按照程序执行处理来实现后述的各种功能。
<功能构成>
参照图4对控制装置100的功能构成的示例进行说明。图4是示出控制装置的功能构成的一个示例的图。控制装置100具有图像数据取得部110、图像处理部120、自主控制部130、照相机控制部140、搬送装置控制部150、数据库160、配方执行部170、以及晶圆移载控制部180。
图像处理部120具有晶圆取得图像处理部122和晶圆载置图像处理部124。自主控制部130具有移载教导部132和位置校正部134。需要说明的是，图4的功能构成适当地省略了对于本实施方式的说明而言无需的功能构成。
图像数据取得部110取得由照相机80a和80b(以下，将照相机80a和80b适当地统称为照相机80)拍摄的图像数据。例如，图像数据取得部110取得移载机构47从收纳容器21或22取得晶圆W的移动动作、以及移载机构47将晶圆W载置于舟皿44a或44b的移动动作的图像数据。另外，例如，图像数据取得部110取得移载机构47从舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作、以及移载机构47将晶圆W载置于收纳容器21或22的移动动作的图像数据。
图像处理部120通过对由图像数据取得部110取得的图像数据进行图像处理，从而根据收纳容器21或22的槽或爪等支撑部的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置对所需的距离(尺寸)进行分析(测定)，并对位置关系进行数值化。以下，以收纳容器21或22的支撑部为槽的情况为例进行说明。
另外，图像处理部120通过对由图像数据取得部110取得的图像数据进行图像处理，从而根据舟皿44a或44b的槽或爪等支撑部的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置对所需的距离(尺寸)进行分析(测定)，并对位置关系进行数值化。以下，以舟皿44a或44b的支撑部为槽的情况为例进行说明。
图像处理部120的晶圆取得图像处理部122通过对从收纳容器21或22取得晶圆W的移动动作的图像数据进行图像处理，从而根据收纳容器21或22的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置对所需的距离进行分析，并对位置关系进行数值化。
另外，图像处理部120的晶圆取得图像处理部122通过对从舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作的图像数据进行图像处理，从而根据舟皿44a或44b的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置对所需的距离进行分析，并对位置关系进行数值化。
图像处理部120的晶圆载置图像处理部124通过对将晶圆W载置于舟皿44a或44b的移动动作的图像数据进行图像处理，从而根据舟皿44a或44b的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置对所需的距离进行分析，并对位置关系进行数值化。
另外，图像处理部120的晶圆载置图像处理部124通过对将晶圆W载置于收纳容器21或22的移动动作的图像数据进行图像处理，从而根据收纳容器21或22的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置对所需的距离进行分析，并对位置关系进行数值化。
自主控制部130基于数值化的收纳容器21或22的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系，计算出收纳容器21或22中的晶圆W的载置位置的校正教导数据，并进行针对移载机构47的晶圆W的移载位置的教导。例如，收纳容器21或22中的晶圆W的载置位置的校正教导数据被用于对移载机构47的叉59从收纳容器21或22取得晶圆W的移动动作或将晶圆W载置于收纳容器21或22的移动动作的初始教导数据进行校正。
自主控制部130基于数值化的舟皿44a或44b的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系，计算出舟皿44a或44b中的晶圆W的载置位置的校正教导数据，并进行针对移载机构47的晶圆W的移载位置的教导。例如，舟皿44a或44b中的晶圆W的载置位置的校正教导数据被用于对移载机构47的叉59从舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作或将晶圆W载置于舟皿44a或44b的移动动作的初始教导数据进行校正。
另外，自主控制部130以预定间隔对根据校正教导数据在收纳容器21或22与舟皿44a或44b之间移载的晶圆W的移载位置进行测定，并且在发生位置偏移的情况下，通过进行后述的位置校正，从而使自主导航处理成为可能。
自主控制部130的移载教导部132基于通过对从收纳容器21或22取得晶圆W的移动动作的图像数据进行图像处理而数值化的收纳容器21或22的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系，计算出收纳容器21或22中的晶圆W的载置位置的校正教导数据。
另外，自主控制部130的移载教导部132基于通过对从舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作的图像数据进行图像处理而数值化的舟皿44a或44b的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系，计算出舟皿44a或44b中的晶圆W的载置位置的校正教导数据。
另外，自主控制部130的移载教导部132基于通过对将晶圆载置于舟皿44a或44b取得晶圆W的移动动作的图像数据进行图像处理而数值化的舟皿44a或44b的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系，计算出舟皿44a或44b中的晶圆W的载置位置的校正教导数据。
另外，自主控制部130的移载教导部132基于通过对将晶圆W载置于收纳容器21或22的移动动作的图像数据进行图像处理而数值化的收纳容器21或22的槽的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系，计算出收纳容器21或22中的晶圆W的载置位置的校正教导数据。
另外，自主控制部130的位置校正部134以预定间隔对根据校正教导数据在收纳容器21或22与舟皿44a或44b之间移载的晶圆W的移载位置进行测定，并且在发生位置偏移的情况下，通过进行后述的位置校正，从而使自主导航处理成为可能。
照相机控制部140根据来自自主控制部130的指示对照相机80的拍摄定时进行控制。数据库160对用于对热处理装置10的移载机构47教导晶圆W的载置位置的初始教导数据和校正教导数据进行存储。另外，数据库160对用于后述的位置校正的校正数据、位移数据进行存储。
例如，初始教导数据是在热处理装置10中预先设定的教导数据，并且针对热处理装置10的每个机型进行设定。校正教导数据是对因热处理装置10的机器差异或操作者的调整偏差而引起的晶圆W的载置位置的位置偏移进行校正而得到的教导数据。校正数据用于基于对根据校正教导数据移载的晶圆W的移载位置例如定期地进行测定而得到的结果，对所发生的晶圆W的载置位置的位置偏移进行校正以继续进行晶圆W的移载。另外，位移数据是对所发生的晶圆W的载置位置的位置偏移继续进行记录而得到的数据，并且用于各种分析(趋势、行为、故障、或异常等的分析)。
搬送装置控制部150根据来自自主控制部130或晶圆移载控制部180的控制，对移载机构47的移动动作进行控制。搬送装置控制部150使用在数据库160中存储的初始教导数据、校正教导数据、以及校正数据，对移载机构47的移动动作进行控制。
配方执行部170对热处理装置10的动作进行控制，以在配方所示的处理条件下进行热处理。晶圆移载控制部180根据来自配方执行部170的控制，对搬送装置控制部150进行指示以在收纳容器21或22与舟皿44a或44b之间搬送晶圆W。
<处理>
以下，对将用于在收纳容器21或22与舟皿44a或44b之间搬送晶圆W的移载机构47的教导自动化的全自动教导处理、对移载机构47针对晶圆W的搬送进行自主控制(自主导航控制)的自主移载处理的一个示例进行说明。控制装置100例如按照图5的步骤对移载机构47的移动动作进行控制。图5是示出根据本实施方式的对移载机构的移动动作进行控制的处理的一个示例的流程图。
在步骤S10中，控制装置100进行移载动作前确认处理。步骤S10的移载动作前确认处理是移载动作前的确认处理，并且是未进行晶圆W的搬送，基于初始教导数据进行移载机构47的叉59的移动动作，并对收纳容器21或22与舟皿44a或44b之间的移载位置进行确认的处理。
需要说明的是，在本实施方式中，例如如图6所示定义从载置位置取得晶圆W或将晶圆W载置于载置位置的情况下的叉59的移动动作中的位置(position)的变化、以及照相机80进行拍摄的位置。
图6是示出对晶圆W进行取得或载置的情况下的叉的移动动作中的位置变化的一个示例的说明图。图6(A)示出了取得晶圆W的情况下的叉59的移动动作中的位置变化的一个示例。图6(B)示出了载置晶圆W的情况下的叉59的移动动作中的位置变化的一个示例。
例如，图6(A)示出了使叉59依次移动至位置P4→P3→P2→P5→P1的移动动作的一个示例。图6(A)的位置P3是第一位置的一个示例，并且例如是叉59刚要从舟皿44a或44b取得晶圆W之前的位置。位置TCH例如是叉59从舟皿44a或44b取得晶圆W的位置。位置P2例如是叉59从舟皿44a或44b取得晶圆W之后的位置。
例如，图6(B)示出了使叉59依次移动至位置P1→P5→P3→P4的移动动作的一个示例。图6(B)的位置P5是第二位置的一个示例，并且例如是叉59刚要将晶圆W载置于舟皿44a或44b之前的位置。位置TCH例如是叉59将晶圆W载置于舟皿44a或44b的位置。位置P3例如是叉59将晶圆W载置于舟皿44a或44b之后的位置。
舟皿侧的移载动作前确认处理例如以如下方式进行。控制装置100的自主控制部130从数据库160中读出初始教导数据。自主控制部130基于初始教导数据，以将叉59***至舟皿44a的位置P3的方式对搬送装置控制部150进行控制。
自主控制部130以使照相机80在舟皿44a的位置P3和P5进行拍摄的方式进行控制。图像数据取得部110取得由照相机80在舟皿44a的位置P3和P5拍摄的图像数据。图像处理部120通过对在舟皿44a的位置P3和P5拍摄的图像数据进行图像处理，从而对舟皿44a的支柱52的槽(以下称为舟皿槽)的上部与叉59的晶圆设置面之间的距离进行测定。图像处理部120对舟皿槽的边缘与叉59的边缘之间的距离进行测定。
自主控制部130对测定出的舟皿44a的位置P3和P5处的舟皿槽的上部与叉59的晶圆设置面之间的距离、以及舟皿槽的边缘与叉59的边缘之间的距离是否满足设计基准值进行判定。如果不满足设计基准值，则自主控制部130进行误差量的校正动作，并以使叉59的移动动作满足设计基准值的方式进行位置校正。自主控制部130通过按照以满足设计基准值的方式进行的叉59的移动动作的位置校正的结果，将校正教导数据存储在数据库160中以进行反馈。
在舟皿侧的移载动作前确认处理之后，控制装置100进行收纳容器侧的移载动作前确认处理。需要说明的是，由于收纳容器21的槽(以下称为收纳容器槽)的尺寸与舟皿槽相比充分大，因此可以省略收纳容器侧的移载动作前确认处理。
控制装置100的自主控制部130从数据库160中读出初始教导数据。自主控制部130基于初始教导数据，以将叉59***至收纳容器21的位置P3的方式对搬送装置控制部150进行控制。
自主控制部130以使照相机80a在收纳容器21的位置P3和P5进行拍摄的方式进行控制。图像数据取得部110取得由照相机80a在收纳容器21的位置P3和P5拍摄的图像数据。图像处理部120通过对在收纳容器21的位置P3和P5拍摄的图像数据进行图像处理，从而对收纳容器槽的上部与叉59的晶圆设置面之间的距离进行测定。图像处理部120对收纳容器槽的边缘与叉59的边缘之间的距离进行测定。
自主控制部130对测定出的收纳容器21的位置P3和P5处的收纳容器槽的上部与叉59的晶圆设置面之间的距离、以及收纳容器槽的边缘与叉59的边缘之间的距离是否满足设计基准值进行判定。如果不满足设计基准值，则自主控制部130进行误差量的校正动作，并以使叉59的移动动作满足设计基准值的方式进行位置校正。自主控制部130通过按照以满足设计基准值的方式进行的叉59的移动动作的位置校正的结果，将校正教导数据存储在数据库160中以进行反馈。
在步骤S12中，控制装置100进行自动教导处理。步骤S12的自动教导处理基于通过步骤S10的移载动作前确认处理对初始教导数据进行校正而得到的校正教导数据，进行移载机构47的叉59的移动动作。
控制装置100取得对移载机构47的叉59从收纳容器21或22取得晶圆W的移动动作进行拍摄而得到的图像数据，并通过图像处理对收纳容器21或22的槽、叉59、以及晶圆W的位置关系进行数值化。控制装置100基于数值化的收纳容器21或22的槽、叉59、以及晶圆W的位置关系，输出用于对收纳容器21或22中的晶圆W的载置位置进行校正(对叉59的移动动作进行校正)的校正教导数据。
另外，控制装置100取得对移载机构47的叉59将晶圆W载置于舟皿44a或44b的移动动作进行拍摄而得到的图像数据，并通过图像处理对舟皿44a或44b的槽、叉59、以及晶圆W的位置关系进行数值化。舟皿44a或44b的槽、叉59、以及晶圆W的位置关系有时例如被称为舟皿44a或44b与晶圆W之间的交界尺寸。
控制装置100基于数值化的舟皿44a或44b的槽、叉59、以及晶圆W的位置关系，输出用于对舟皿44a或44b中的晶圆W的载置位置进行校正(对叉59的移动动作进行校正)的校正教导数据。需要说明的是，稍后将对步骤S12的自动教导处理的细节进行说明。
在步骤S14中，控制装置100通过使用在数据库160中存储的校正教导数据，对移载机构47的移动动作进行控制，并进行晶圆W的移载处理，从而使热处理装置10进行运转。在本实施方式中，在热处理装置10的运转下以定期间隔等的预定间隔进行步骤S16以后的处理。
在步骤S16中，自主控制部130以使照相机80a和80b在舟皿44a的位置P3或P5进行拍摄的方式进行控制。例如如图7所示，图像数据取得部110取得由照相机80a和80b在舟皿44a的位置P3或P5进行拍摄而得到的图像数据。图7是***有叉的舟皿的一个示例的示意图。如图7所示，照相机80a和80b被设置为能够对舟皿44a的三处舟皿槽进行拍摄。照相机80a能够对容器的载置位置的上下左右方向的误差进行拍摄，照相机80b能够对容器的载置位置的前后方向的误差进行拍摄。在此情况下，前后方向是指移载机构47移动的方向。照相机80a是第一拍摄部的一个示例。照相机80b是第二拍摄部的一个示例。
在步骤S18中，图像处理部120通过对由照相机80a和80b在舟皿44a的位置P3或P5进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而对舟皿槽和晶圆W的位置关系进行数值化。
例如，图像处理部120通过对由照相机80a和80b在位置P5进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而对由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a、支柱52与晶圆W的边缘之间的距离b等进行测定。图像处理部120通过对由照相机80a和80b在位置P3进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而对由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a、支柱52与晶圆W的边缘之间的距离b等进行测定。
在步骤S20中，自主控制部130将数值化的舟皿槽和晶圆W的位置关系针对三处舟皿槽中的每一个与设计基准值进行比较。在步骤S22中，自主控制部130对在三处舟皿槽是否不满足设计基准值进行判定。
例如，自主控制部130将在步骤S18中数值化的由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a和设计基准值的距离a进行比较，并根据其差值，对在三处舟皿槽中的每一个是否不满足设计基准值进行判定。如果数值化的由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a和设计基准值的距离a的差值在预定范围内(例如小于200μm)，则自主控制部130判定为其是满足设计基准值的正常值。
如果数值化的由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a和设计基准值的距离a的差值在预定范围内(例如200μm以上且小于400μm)，则判定为其是不满足设计基准值的调整推荐值。此外，如果数值化的由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a和设计基准值的距离a的差值在预定范围内(例如400μm以上)，则判定为其是不满足设计基准值的异常值。
另外，例如，自主控制部130将在步骤S18中数值化的由叉59保持的晶圆W的边缘与支柱52之间的距离b和设计基准值的距离b进行比较，并根据其差值，对在三处舟皿槽中的每一个是否不满足设计基准值进行判定。如果数值化的由叉59保持的晶圆W的边缘与支柱52之间的距离b和设计基准值的距离b的差值在预定范围内(例如小于200μm)，则自主控制部130判定为其是满足设计基准值的正常值。
如果数值化的由叉59保持的晶圆W的边缘与支柱52之间的距离b和设计基准值的距离b的差值在预定范围内(例如200μm以上且小于400μm)，则判定为其是不满足设计基准值的调整推荐值。此外，如果数值化的由叉59保持的晶圆W的边缘与支柱52之间的距离b和设计基准值的距离b的差值在预定范围内(例如400μm以上)，则判定为其是不满足设计基准值的异常值。
如果在一处以上的舟皿槽满足设计基准，则自主控制部130进行步骤S24的处理。在步骤S24中，自主控制部130进行差值(位置偏移量)的校正动作，并根据满足设计基准值的叉59的移动动作的位置校正的结果，通过将用于对校正教导数据进行校正的校正数据存储在数据库160中而进行反馈。因此，自主控制部130能够一边以满足设计基准值的方式对叉59的移动动作的位置进行校正一边继续进行热处理装置10的运行。
需要说明的是，虽然在图5中，以如果在一处以上的舟皿槽为满足设计基准的正常值，则一边对叉59的移动动作的位置进行校正一边继续进行热处理装置10的运转的处理作为一个示例进行了说明，但是不限于该示例。例如，也可以构成为尽管在三处舟皿槽不满足设计基准，但是如果其在调整推荐值的范围内，则自主控制部130一边对叉59的移动动作的位置进行校正一边继续进行热处理装置10的运转，直到正在处理的批次结束。另外，也可以构成为如果一处以上的舟皿槽在不满足设计基准的异常值的范围内，则自主控制部130在正在处理的批次结束之前，中止热处理装置10的运转。
如果在三处舟皿槽不满足设计基准，则自主控制部130返回至步骤S12的处理，并进行图8～图11所示的自动教导处理。
图8是根据本实施方式的舟皿侧自动教导处理的一个示例的流程图。在步骤S80中，控制装置100的自主控制部130从数据库160中读出校正教导数据。
在步骤S82中，自主控制部130基于校正教导数据，以将叉59***至舟皿44a的位置P5的方式对搬送装置控制部150进行控制。搬送装置控制部150根据校正教导数据，例如如图9所示，以将叉59***至舟皿44a的位置P5的方式对移载机构47的移动动作进行控制。图9是向位置P5***叉的舟皿的一个示例的示意图。
在步骤S84中，自主控制部130以使照相机80a在舟皿44a的位置P5进行拍摄的方式进行控制。图像数据取得部110取得由照相机80a在舟皿44a的位置P5进行拍摄而得到的图像数据。
在步骤S86中，图像处理部120通过对由照相机80a在舟皿44a的位置P5进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而对舟皿槽、叉59、以及晶圆W的位置关系进行数值化。
例如，图像处理部120通过对由照相机80a在位置P5进行拍摄而得到的图像数据进行处理，从而对由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a、支柱52与晶圆W的边缘之间的距离b等进行测定。
在步骤S88中，自主控制部130对测定出的距离是否满足设计基准值进行判定。如果不满足设计基准值，则自主控制部130在步骤S90中进行误差量的校正动作，并重复进行叉59的移动动作的位置校正直到满足设计基准值。
如果满足设计基准值，则自主控制部130前进至步骤S92的处理。自主控制部130以使照相机80b在舟皿44a的位置P5进行拍摄的方式进行控制。图像数据取得部110取得由照相机80b在舟皿44a的位置P5进行拍摄而得到的图像数据。
在步骤S94中，图像处理部120通过对由照相机80b在舟皿44a的位置P5进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而对舟皿槽、叉59、以及晶圆W的位置关系进行数值化。
例如，图像处理部120通过对由照相机80b在位置P5进行拍摄而得到的图像数据进行处理，从而对由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离a、支柱52与晶圆W的边缘之间的距离b等进行测定。
在步骤S96中，自主控制部130对测定出的距离是否满足设计基准值进行判定。如果不满足设计基准值，则自主控制部130在步骤S98中进行误差量的校正动作，并重复进行叉59的移动动作的位置校正直到满足设计基准值。
在步骤S100中，自主控制部130根据满足设计基准值的叉59的移动动作的位置校正的结果，通过将校正教导数据存储在数据库160中来进行反馈。
图10是根据本实施方式的舟皿侧自动教导处理的一个示例的流程图。在步骤S110，控制装置100的自主控制部130从数据库160中读出校正教导数据。
在步骤S112中，自主控制部130基于校正教导数据，以将叉59移动至舟皿44a的位置TCH的方式，对搬送装置控制部150进行控制。搬送装置控制部150根据校正教导数据，例如如图11所示以将叉59移动至舟皿44a的位置TCH的方式对移载机构47的移动动作进行控制。
图11是向位置TCH、P3***叉的舟皿的一个示例的示意图。如图11所示，照相机80a和80b以在将移载机构47移动至位置TCH和P3的状态下能够对舟皿44a的三处舟皿槽进行拍摄的方式设置。
在步骤S114中，自主控制部130以使照相机80a、80b在舟皿44a的位置TCH进行拍摄的方式进行控制。图像数据取得部110取得由照相机80a、80b在舟皿44a的位置TCH进行拍摄而得到的图像数据。
在步骤S116中，图像处理部120通过对由照相机80a、80b在舟皿44a的位置TCH进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而针对三处舟皿槽对舟皿槽、叉59、以及晶圆W的位置关系进行数值化。
例如，图像处理部120通过对由照相机80a、80b在位置TCH进行拍摄而得到的图像数据进行处理，从而对由叉59保持的晶圆W的下表面与舟皿槽的上表面之间的距离、支柱52与晶圆W的边缘之间的距离等进行测定。
在步骤S118中，自主控制部130对测定出的距离是否满足设计基准值进行判定。如果不满足设计基准值，则自主控制部130在步骤S120中进行误差量的校正动作，并重复进行叉59的移动动作的位置校正直到满足设计基准值。
如果满足设计基准值，则自主控制部130前进至步骤S124的处理。自主控制部130以使照相机80a、80b在舟皿44a的位置P3进行拍摄的方式进行控制。图像数据取得部110取得由照相机80a、80b在舟皿44a的位置P3进行拍摄而得到的图像数据。
在步骤S126中，图像处理部120通过对由照相机80a、80b在舟皿44a的位置P3进行拍摄而得到的图像数据进行图像处理，从而针对三处舟皿槽对舟皿槽、叉59、以及晶圆W的位置关系进行数值化。
例如，图像处理部120通过对由照相机80a、80b在位置P3进行拍摄而得到的图像数据进行处理，从而对由叉59保持的晶圆W的下表面与叉59的晶圆设置面之间的距离、支柱52与晶圆W的边缘之间的距离等进行测定。
在步骤S128中，自主控制部130对测定出的距离是否满足设计基准值进行判定。如果不满足设计基准值，则自主控制部130在步骤S130中进行误差量的校正动作，并重复进行叉59的移动动作的位置校正直到满足设计基准值。
在步骤S132中，自主控制部130根据满足设计基准值的叉59的移动动作的位置校正的结果，通过将校正教导数据存储在数据库160中来进行反馈。
需要说明的是，图8和图10所示的流程图的处理通过根据高度将舟皿44a分成上下两处、或三处以上的区域，并针对每个区域来进行，从而能够进一步提高精度。
根据本实施方式，通过在热处理装置10的运转下以预定间隔进行步骤S16以后的处理，从而能够一边以满足设计基准值的方式对叉59的移动动作的位置进行校正一边继续进行热处理装置10的运转。因此，根据本实施方式，能够延长MTBF(Mean Time BetweenFailures：平均故障间隔)，并且通过提高运转率，从而能够提高热处理装置10的附加价值。另外，根据本实施方式，能够缩短MTTR(Mean Time To Repair：平均修复时间)，并且通过提高运转率和品质，从而能够提高热处理装置10的附加价值。
另外，根据本实施方式，通过对在数据库160中存储的位移数据进行分析，从而例如能够掌握移载机构47和舟皿44的行为。此外，根据本实施方式，通过对在数据库160中存储的位移数据进行分析，从而使异常检测和故障检测变得容易，并且能够提高热处理装置10的附加价值。例如，通过对在数据库160中存储的位移数据进行分析，从而能够实现热处理装置10的热位移行为的日志，并且通过在位移数据超过由机械设计所指示的物理变化量之前进行过度预测从而也能够进行维修的适当时期的通知。
这样一来，根据本实施方式的自主移载处理，只要不超出移载机构47的物理极限或工艺的成膜分布极限，就能够延长因晶圆W的搬送而引起的MTBF。工艺的成膜分布极限例如可以根据偏心优化器功能的调整极限来检测。
另外，根据本实施方式，例如与由操作者进行的调整作业相比，能够缩短启动(装置安装)时或更换石英夹具后的调整作业的时间，并且通过高精度调整能够增加移载余量。另外，根据本实施方式，能够期待通过增加移载余量来延长MTTF(Mean Time to Failures：平均故障时间)，并提高热处理装置10的附加价值。
另外，在本实施方式中，虽然通过图像处理对收纳容器21或22的槽或爪等支撑部的位置、舟皿44a或44b的槽或爪等支撑部的位置、移载机构47的叉59的位置、以及晶圆W的位置关系进行数值化，但是也可以并用光学传感器等。另外，在本实施方式中，能够实现舟皿44a或44b上的晶圆W的定心(Centering)，并且能够通过计算来对以移载机构47为基准的舟皿44a或44b的倾斜进行分析。另外，在本实施方式中，可以根据由照相机80b进行拍摄而得到的图像数据对由叉59保持的晶圆W的位置偏移进行分析，对位置偏移的偏差量进行校正以继续进行晶圆W的移载。
需要说明的是，在上述实施方式中，虽然以在上下相对布置的顶板与底板之间设置有多根支柱，在各支柱的内侧面上形成有多个槽部，并在槽部中***晶圆W的周缘部并对其进行支撑的所谓的梯形舟皿(ladder boat)为例进行了说明，但是不限于梯形舟皿的形状。
例如，也可以应用于在上下相对布置的顶板与底板之间设置有多根支柱，在多根支柱上设置具有平坦的支撑面的环形部件，并利用环形部件的支撑面对晶圆W进行支撑的所谓的环形舟皿(ring boat)。另外，也可以应用于其他特殊的形状的舟皿。
应当认为本公开的实施方式在所有方面均是示例性的而非限制性的。另外，在不脱离所附的权利要求书及其宗旨的情况下，可以对上述实施方式以各种形式进行省略、替换、改变。

Claims (9)

1.一种信息处理装置，用于对基板处理装置的搬送装置针对被处理基板的搬送进行控制，所述信息处理装置包括：
搬送装置控制单元，根据教导数据对所述搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，所述第一移动动作用于将所述被处理基板载置于能够对所述被处理基板进行载置的容器中，所述第二移动动作用于从所述容器中取得所述被处理基板；
图像数据取得单元，从以能够对所述容器的所述被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对所述第一移动动作和所述第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；
图像处理单元，基于所述图像数据，对所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化；以及
位置校正单元，对数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
所述位置校正单元将数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系与所述位置关系的设计基准值进行比较，如果判定结果不在异常范围内，则基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据，并且如果判定结果在异常范围内，则向用于对所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作进行教导的移载教导单元请求所述第一移动动作和所述第二移动动作的教导。
3.根据权利要求1或2所述的信息处理装置，还包括：
移载教导单元，基于由所述图像处理单元数值化的所述容器的所述载置位置、所述搬送装置以及所述被处理基板的位置关系，对所述搬送装置的用于将所述被处理基板载置于所述容器的所述载置位置的所述第一移动动作和所述第二移动动作进行教导。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理装置，其中，
所述图像数据取得单元取得能够通过图像处理对所述被处理基板与在用于搭载所述被处理基板的所述容器中对所述被处理基板进行支撑的至少三处支撑部之间的位置关系进行数值化的图像数据，
所述图像处理单元针对所述至少三处支撑部中的每个支撑部，对所述被处理基板与用于搭载所述被处理基板的所述容器的所述至少三处支撑部之间的位置关系进行数值化，
所述位置校正单元针对所述至少三处支撑部中的每个支撑部，对所述被处理基板与用于搭载所述被处理基板的所述容器的所述至少三处支撑部之间的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的信息处理装置，其中，
所述图像处理单元基于在所述搬送装置的第二移动动作之中的所述搬送装置移动至取得所述被处理基板之前的第一位置时拍摄的第一图像数据、以及在所述搬送装置的第一移动动作之中的所述搬送装置移动至对所述被处理基板进行载置之前的第二位置时拍摄的第二图像数据，对所述第一位置和所述第二位置处的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化，
所述位置校正单元对数值化的所述第一位置和所述第二位置处的所述容器的所述载置位置和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定的结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的信息处理装置，其中，
所述拍摄装置具有能够对能够进行所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的上下左右方向和前后方向之中的所述容器的所述载置位置的所述上下左右方向的误差进行拍摄的多个第一拍摄部、以及能够对所述容器的所述载置位置的所述前后方向的误差进行拍摄的至少一个第二拍摄部。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的信息处理装置，其中，
所述容器是对由所述搬送装置搬送的多个所述被处理基板进行支撑的舟皿。
8.一种由信息处理装置执行的移载位置校正方法，所述信息处理装置用于对基板处理装置的搬送装置针对被处理基板的搬送进行控制，所述移载位置校正方法包括：
搬送装置控制步骤，根据教导数据对所述搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，所述第一移动动作用于将所述被处理基板载置于能够对所述被处理基板进行载置的容器中，所述第二移动动作用于从所述容器中取得所述被处理基板；
图像数据取得步骤，从以能够对所述容器的所述被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对所述第一移动动作和所述第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；
图像处理步骤，基于所述图像数据，对所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化；以及
位置校正步骤，对数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
9.一种基板处理装置，用于对基板进行处理，所述基板处理装置包括：
搬送单元，将被处理基板载置于能够对所述被处理基板进行载置的容器中，或从所述容器中取得所述被处理基板；
拍摄单元，以能够对所述容器的所述被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置；
搬送装置控制单元，根据教导数据对所述搬送单元的第一移动动作和第二移动动作进行控制，所述第一移动动作用于将所述被处理基板载置于所述容器中，所述第二移动动作用于从所述容器中取得所述被处理基板；
图像数据取得单元，从所述拍摄单元取得对所述第一移动动作和所述第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；
图像处理单元，基于所述图像数据，对所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化；以及
位置校正单元，对数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送单元的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
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