JP2018006500A - 搬送対象物を搬送する搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送ピックを搬送対象物下方の所定位置に挿入する工程と、当該所定位置において搬送ピックが搬送対象物を保持可能であるような規定位置に搬送対象物が位置しているか否かを判断する工程と、を有し、搬送ピックには3箇所以上に搬送対象物有無検知センサが設けられ、搬送対象物有無検知センサの検知により規定位置に搬送対象物が位置していると判断された場合には、搬送ピックを上昇させて当該搬送ピックにより搬送対象物を保持させ、搬送対象物有無検知センサの検知により規定位置に搬送対象物が位置していないと判断された場合には、搬送ピックの探り動作により規定位置内に搬送対象物を位置させた後、搬送ピックを上昇させて当該搬送ピックにより搬送対象物を保持させる。
【選択図】図3
Description
しかしながら、この待機所には、加温された状態のウェハが搬入される場合があり、その際には、待機所において待機している間に例えば室温条件下で冷却される。そのような場合にはウェハに微小の反りなどが生じ、ウェハが待機中に所定の待機位置からずれてしまう場合がある。
そのような場合に、煩雑な計算工程等を必要とせず、簡易な手段でもって搬送装置の所定の位置にウェハを保持することが可能となるような技術が求められている。
アーム機構32は、直線形状の第1のアーム34と、当該第1のアーム34と接続される直線形状の第2のアーム35とを有している。第1のアーム34の基端部は中央ハブ36に接続され、第1のアーム34は中央ハブ36の中心を中心軸として回転可能に構成されている。第1のアーム34の先端部と第2のアーム35の基端部との間には関節部37が設けられ、第2のアーム35は、関節部37を中心軸として回転可能に構成されている。
ウェハWが所定の位置から外れた場合に、確実にウェハWを各アーム(搬送用ピック)に保持するためにはウェハWと各アーム(搬送用ピック)との間において位置合わせを行う必要がある。そこで以下では、確実にウェハWを保持するためのアームの構成について説明する。なお、以下ではウェハ搬送装置31の搬送ピック40を例示して説明するが、本実施の形態に係る構成は、基板処理システム内のあらゆる搬送用ピック(例えばウェハ搬送アーム12のピック)に適用可能である。
図3に示すように、保持部としての搬送ピック40は、略U字形状の本体部41と、本体部41を支持する支持プレート42を有している。本体部41は、例えば図示しないボルト等の締結部材によって支持プレート42に接続されている。また支持プレート42には、図示しないエアシリンダーを有するパッド駆動部45(図中一点鎖線参照)が設けられており、このパッド駆動部45の駆動により後述するパッド部材50によるウェハWの外縁部の固定および固定解除が行われる。
これらウェハ有無検知センサ60の取り付け箇所は、同心円Sの円周上であることが好ましく、更には、当該円周上において等間隔(即ち、周方向120°間隔)となるような配置構成であることが好ましい。また、これらウェハ有無検知センサ60の配置構成に関しては、同心円SはウェハWの外周円に比べてわずかに小径であるような位置関係が好ましい。例えばウェハWの直径が300mmである場合には、上記同心円Sの直径は297mmとされる。
なお、この時点で全てのウェハ有無検知センサ60にウェハWが検知された場合には、ウェハWが規定位置に存在すると判断され、搬送ピック40が上昇し、パッド部材50により当該搬送ピック40上にウェハWが保持されることになる。
このようなウェハWの搬送方法によれば、3箇所に取り付けられたウェハ有無検知センサ60による検知のみにより、煩雑な位置情報の計算・算出(例えばウェハ中心位置計算)を行うことなく、ウェハWが規定位置に存在しているか否かを判断することができる。加えて、ウェハWの検出が行われなかったセンサがウェハWを検知するような方向に搬送ピック40を移動させるといった簡易なウェハ探り動作を行うだけで、搬送ピック40とウェハWとの相対位置を容易に一致させることができ、搬送ピック40上の所望の位置にウェハWを効率的に載置させて搬送を行うことが可能となる。従って、ウェハWの搬送時にウェハWが正確に保持されず、破損・落下するといった事が抑制され、操業効率や生産性の向上が図られる。
即ち、ウェハ有無検知センサ60の数は3以上の複数個であれば良い。これは、センサが2箇所のみに設けられていると、位置合わせ時にウェハWの中心位置を計算するといった煩雑な工程が必要となる恐れがあるからである。
図5はウェハ探り動作の他の一例を示す概略図である。複数のウェハ有無検知センサ60においてウェハWが検出されない場合には、搬送ピック40を任意に動かすことで全てのウェハ有無検知センサ60がウェハWを検出するような位置を探る動作が行われ、例えば図5に示すようないわゆる渦巻き動作と呼ばれるような動作を行っても良い。
また、上記実施の形態では、搬送ピック40において同心円Sの円周上において等間隔(周方向120°間隔)の3箇所にウェハ有無検知センサ60が取り付けられる場合を図示し説明したが、位置合わせを行うためのセンサの構成については更なる検討の余地がある。そこで、以下では参考例として搬送ピック40に設けるセンサの他の構成について説明する。
図6は参考例1に係る搬送ピック40aの概略平面図である。なお、搬送ピック40aにおいて、センサの構成を除く各構成要素については上記実施の形態で説明した搬送ピック40と同一の機能構成を有するため、同一の符号を付してその説明は省略する。
図9は参考例2に係る搬送ピック40bの概略側面図である。なお、搬送ピック40bにおいて、センサの構成を除く各構成要素については上記実施の形態で説明した搬送ピック40と同一の機能構成を有するため、同一の符号を付してその説明は省略する。
図10は、参考例3に係る搬送ピック40とウェハWとの位置合わせ技術に関する説明図であり、(a)〜(c)の順に時系列での搬送ピック40の動きを図示している。
本参考例3に係る技術では、上記実施の形態で説明した、搬送ピック40において同心円Sの円周上において等間隔(周方向120°間隔)の3箇所にウェハ有無検知センサ60が取り付けられる場合において、当該3箇所のウェハ有無検知センサ60の設置位置に対応する位置(即ち、同心円S上の位置)に所定幅の穴部90を設けた被搬送体治具(即ち、疑似ウェハ)W1を用いる。
以上のような位置合わせ技術によれば、穴部90を設けた被搬送体治具W1を用いることで、簡単に搬送ピック40の規定位置を決めること(ティーチング)が可能となる。
10…カセット載置部
20…処理チャンバ
21…真空搬送室
31…ウェハ搬送装置
32…アーム機構
37…関節部
40…搬送ピック
42…支持プレート
41…本体部
45…パッド駆動部
50…パッド部材
60、70…ウェハ有無検知センサ
80…透過型センサ
90…穴部
W…ウェハ(被処理体)
Claims (4)
- 搬送ピックを備えた搬送装置において搬送対象物を搬送する搬送方法であって、
前記搬送ピックを搬送対象物下方の所定位置に挿入する工程と、
当該所定位置において前記搬送ピックが搬送対象物を保持可能であるような規定位置に搬送対象物が位置しているか否かを判断する工程と、を有し、
前記搬送ピックには3箇所以上に搬送対象物有無検知センサが設けられ、
前記搬送対象物有無検知センサの検知により前記規定位置に搬送対象物が位置していると判断された場合には、前記搬送ピックを上昇させて当該搬送ピックにより搬送対象物を保持させ、
前記搬送対象物有無検知センサの検知により前記規定位置に搬送対象物が位置していないと判断された場合には、前記搬送ピックの探り動作により前記規定位置内に搬送対象物を位置させた後、前記搬送ピックを上昇させて当該搬送ピックにより搬送対象物を保持させることを特徴とする、搬送方法。 - 前記搬送ピックの探り動作は、前記3箇所以上に設けられた搬送対象物有無検知センサのうち、搬送対象物を検知しなかった搬送対象物有無検知センサが搬送対象物を検知するような方向へ当該搬送ピックを移動させて行われることを特徴とする、請求項1に記載の搬送方法。
- 前記搬送対象物有無検知センサは、前記搬送ピック上において所定の径を有する同心円の円周上の3箇所以上に配置され、
当該搬送対象物有無検知センサは、前記同心円の円周方向において等間隔に配置されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の搬送方法。 - 前記搬送対象物有無検知センサは、反射式のファイバーセンサであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の搬送方法。
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