JP6955522B2 - ガラス及びガラス基板 - Google Patents
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Description
(2)フォトリソグラフィーエッチング工程では、種々の酸、アルカリ等の薬液が使用される。よって、耐薬品性に優れていること。
(3)成膜、アニール等の工程で、ガラス基板は数100℃に熱処理される。熱処理の際に、ガラス基板が熱収縮すると、パターンズレ等が発生し易くなる。よって、熱収縮し難いこと、特に歪点が高いこと。
(4)熱膨張係数が、ガラス基板上に成膜される部材(例えば、a−Si、p−Si)に近いこと。例えば、熱膨張係数が30〜40×10−7/℃であること。なお、熱膨張係数が40×10−7/℃以下であると、耐熱衝撃性も向上する。
(5)ガラス基板の撓みに起因する不具合を抑制するために、ヤング率(又は比ヤング率)が高いこと。
(6)泡、ブツ、脈理等の溶融欠陥を防止するために、溶融性に優れていること。
(7)ガラス基板中の異物発生を避けるために、耐失透性に優れていること。
(1)ガラス組成として、質量%で、SiO2 59〜67%、Al2O3 17〜22%、B2O3 4〜7%、MgO 0〜4%、CaO 3〜10%、SrO 0〜5%、BaO 0.1〜5%、ZnO 0〜5%、ZrO2 0〜5%、TiO2 0〜5%、P2O5 0〜5%、SnO2 0〜5%含有し、実質的にLi成分、Na成分を含有しない。
(2)ガラス組成として、質量%で、SiO2 60〜65%、Al2O3 17〜20%、B2O3 4〜7%、MgO 0〜3%、CaO 4〜10%、SrO 0〜5%、BaO 0.1〜5%、ZnO 0〜1%、ZrO2 0〜1%、TiO2 0〜1%、P2O5 0〜3%、SnO2 0.01〜1%含有し、実質的にLi成分、Na成分を含有しない。
β−OH値 = (1/X)log(T1/T2)
X:ガラス肉厚(mm)
T1:参照波長3846cm−1における透過率(%)
T2:水酸基吸収波長3600cm−1付近における最小透過率(%)
Claims (9)
- ガラス組成として、質量%で、SiO2 58〜70%、Al2O3 19.1〜25%、B2O3 3〜5.9%、MgO 0〜5%、CaO 3〜13%、SrO 0〜6%、BaO 1〜1.9%、ZnO 0〜5%、ZrO2 0〜5%、TiO2 0〜5%、P2O5 0〜5%、Sb2O3 0〜0.3%未満を含有することを特徴とするガラス。
- 実質的にLi、Na成分を含有せず、密度が2.43〜2.52g/cm3であり、且つ歪点が680℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のガラス。
- 熱膨張係数が30〜40×10−7/℃、ヤング率が75GPa以上、歪点が680℃以上740℃未満、105.0dPa・sにおける温度が1250℃以下、102.5dPa・sにおける温度が1650℃以下、液相粘度が105.0dPa・s以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス。
- ガラス組成として、質量%で、SiO2 59〜67%、Al2O3 19.1〜22%、B2O3 4〜5.9%、MgO 0〜4%、CaO 3〜10%、SrO 0〜5%、BaO 1〜1.9%、ZnO 0〜5%、ZrO2 0〜5%、TiO2 0〜5%、P2O5 0〜5%、SnO2 0〜5%、Sb2O3 0〜0.3%未満を含有し、実質的にLi成分、Na成分を含有しないことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のガラス。
- ガラス組成として、質量%で、SiO2 60〜65%、Al2O3 19.1〜20%、B2O3 4〜5.9%、MgO 0〜3%、CaO 4〜10%、SrO 0〜5%、BaO 1〜1.9%、ZnO 0〜1%、ZrO2 0〜1%、TiO2 0〜1%、P2O5 0〜3%、SnO2 0.01〜1%、Sb2O3 0〜0.3%未満を含有し、実質的にLi成分、Na成分を含有しないことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のガラス。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載のガラスを備えることを特徴とするガラス基板。
- OLEDディスプレイに用いることを特徴とする請求項6に記載のガラス基板。
- 液晶ディスプレイに用いることを特徴とする請求項6に記載のガラス基板。
- 室温(25℃)から10℃/分の速度で500℃まで昇温し、500℃で1時間保持した後、10℃/分の速度で室温まで降温したときの熱収縮値が30ppm以下であることを特徴とする請求項6〜8の何れか一項に記載のガラス基板。
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