JP6948798B2 - 研削ホイール - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る研削ホイールを備える研削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る研削ホイールの加工対象の被加工物の一例を示す斜視図である。図3は、実施形態1に係る研削ホイールの加工対象の被加工物の他の例を示す断面図である。図4は、実施形態1に係る研削ホイールとチャックテーブルとを示す斜視図である。
110は、保持面111を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面111に載置された被加工物201を吸引することで保持する。また。チャックテーブル110は、Z軸方向と平行な軸心回りに回転自在な支持基台112に支持されている。なお、Z軸方向は、鉛直方向と平行である。
本発明の実施形態2に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図7は、実施形態2に係る研削ホイールの平面図である。図7は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態3に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図8は、実施形態3に係る研削ホイールの平面図である。図8は、実施形態1及び実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態4に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図9は、実施形態4に係る研削ホイールの平面図である。図10は、図9に示された研削砥石の断面図である。図9及び図10は、実施形態3と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態5に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図11は、実施形態5に係る研削ホイールの平面図である。図11は、実施形態1から実施形態3と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態6に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図12は、実施形態6に係る研削ホイールの平面図である。図12は、実施形態1から実施形態5と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態7に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図13は、実施形態7に係る研削ホイールの平面図である。図13は、実施形態1から実施形態6と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態8に係る研削ホイールを図面に基づいて説明する。図14は、実施形態8に係る研削ホイールの平面図である。図14は、実施形態1から実施形態7と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 ホイール基台
20,20−2,20−3,20−4,20−5,20−6,20−7,20−8,28,29,30,31,32 研削砥石
22 研削面
25,25−6 セグメント砥石
26 砥石群
27,33 溝
110 チャックテーブル
120 研削ユニット(研削手段)
122 回転スピンドル
124 ホイールマウント
201,201−1 被加工物
211 回転方向
Claims (4)
- チャックテーブルに吸引されることで保持された被加工物を研削する研削手段を構成する回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントに取り付けられる円環状に形成されたホイール基台と、該ホイール基台に略円環状に配設された複数の研削砥石と、を備える研削ホイールであって、
該研削砥石の研削面の面積は、前記ホイール基台の内周側の面積から前記ホイール基台の外周側に徐々に少なく構成され、
前記研削砥石の研削面の面積は、回転方向前側の面積よりも回転方向後側の面積の方が少ない研削ホイール。 - 前記研削砥石は、一つのセグメント砥石から構成される請求項1に記載の研削ホイール。
- 前記研削砥石は、複数のセグメント砥石から構成される1つの砥石群である請求項1に記載の研削ホイール。
- 前記研削砥石は、前記ホイール基台の内周側から外周側に至る溝が形成される請求項2又は請求項3に記載の研削ホイール。
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