JP2016132070A - 研削ホイール及び研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
21 チャックテーブル
23 保持面
41 研削手段
46 研削ホイール
47 ホイール基台(基台)
48a 第1の環状砥石
48b 第2の環状砥石
48c 第1のスリット
48d 第2のスリット
50 水路
51 貫通孔
60 研削水供給手段
C 回転軸心
W ウエーハ
Claims (3)
- ウエーハを研削する研削ホイールであって、
一方の面に研削装置に装着する装着面を有する基台と、該基台の他方の面で、該基台の中心を中心とし第1の直径で環状に研削砥石を配設する第1の環状砥石と、該基台の他方の面で、該第1の環状砥石と同一中心にて該第1の直径より大きい第2の直径で環状に研削砥石を配設する第2の環状砥石と、該第1の環状砥石の外側面と該第2の環状砥石の内側面との間に所定の間隔で形成される水路と、該基台の一方の面と他方の面とを貫通させ、該他方の面側の該水路に連通する貫通孔と、を備える研削ホイール。 - 該第1の環状砥石と該第2の環状砥石とは、円周方向に所定の幅で形成されるセグメント砥石を複数個用いて形成され、
該第1の環状砥石は、隣り合う該セグメント砥石の間で、該円周方向に均等間隔で複数形成される所定の幅の隙間からなる第1のスリットを備え、
該第2の環状砥石は、隣り合う該セグメント砥石の間で、該円周方向に均等間隔で複数形成される所定の幅の隙間からなる第2のスリットを備え、
該第1のスリットと該第2のスリットとは、該第1の環状砥石および該第2の環状砥石の径方向に一致しないことを特徴とする請求項1記載の研削ホイール。 - 請求項1または請求項2記載の研削ホイールを用いてウエーハを研削する研削装置であって、
ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの該保持面で保持するウエーハを研削する該研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、該研削ホイールの該水路に研削水を供給する研削水供給手段と、を備え、
該チャックテーブルが回転する回転軸心と、該研削ホイールの該第2の環状砥石の研削面、もしくは、該第1の環状砥石の研削面とが接触する位置関係に設定される研削装置。
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2015
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