JP6980341B2 - 保護部材の加工方法 - Google Patents
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Description
11a 表面
11b 裏面
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
21 保護部材
23 基材
25 粘着材層
2 研削装置
4 基台
6 支持構造
8 X軸移動機構
8a X軸移動テーブル
10 防塵防滴カバー
12 操作パネル
14 チャックテーブル
14a 保持面
14b 吸引路
14c 頂点
16 Z軸移動機構
18 Z軸ガイドレール
20 Z軸移動プレート
22 Z軸ボールネジ
24 Z軸パルスモータ
26 支持具
28 研削ユニット(加工ユニット)
30 スピンドルハウジング
32 スピンドル
34 ホイールマウント
36 研削ホイール
38 ホイール基台
38a 上面
38b 下面
38c 開口
38d 供給口
40 研削砥石
40a 前面
40b 底面
40c 後面
A 方向
B 領域
Claims (1)
- ウェーハを保持するための円錐形状の保持面を有し、該円錐形状の頂点が回転の中心となるように回転するチャックテーブルと、環状に配置された複数の研削砥石を有する研削ホイールを回転させる研削ユニットと、を備える研削装置を用いて該ウェーハに貼付された保護部材を加工する保護部材の加工方法であって、
樹脂を含む材料で形成される基材と、該基材の一方の面に設けられた粘着材層と、を有する保護部材の該粘着材層側を該ウェーハの表面に貼付する保護部材貼付工程と、
該ウェーハの裏面側を該保持面で保持し、該チャックテーブルと該研削ホイールとをそれぞれ回転させて、該保護部材の該基材の他方の面側に該研削砥石を接触させることで、該基材の厚みが薄くなるように該保護部材を加工する保護部材加工工程と、を含み、
複数の該研削砥石は、それぞれ、該研削ホイールが回転する方向の前方側に位置する前面と、底面と、のなす角度が鋭角になるように形成されており、
該保護部材加工工程では、該円錐形状の頂点に相当する位置を該研削砥石が通過するように該チャックテーブルと該研削ホイールとの位置を合わせ、該研削砥石の該前面と該底面とにより形成される角部が、該保持面の該頂点に相当する位置から該基材に接触した後、該底面の全体が該基材に接触した状態で、該保持面の外周部に相当する位置へと向かうように該研削ホイールを回転させながら下降させることを特徴とする保護部材の加工方法。
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