JP6874718B2 - 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
該第1工程の後、前記改質層内に形成される黒点状欠陥の欠陥密度を増大させるための欠陥形成熱処理を行う第2工程と、
該第2工程に引き続き、前記半導体ウェーハの改質層上に、エピタキシャル層を形成する第3工程と、を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウェーハの製造方法。
CZ単結晶シリコンインゴットから得たシリコンウェーハ(直径:300mm、厚さ:725μm、ドーパント種類:リン、抵抗率:10Ω・cm)を用意した。次いで、クラスターイオン発生装置(日新イオン機器社製、型番:CLARIS(登録商標))を用いて、ジエチルエーテル(C4H10O)をクラスターイオン化したCH3Oからなる多元素クラスターイオンを、加速電圧80keV/Clusterの注入条件でシリコンウェーハの表面に注入した。また、当該クラスターイオンのドーズ量を1.0×1015cluster/cm2とした。
炉内投入温度:500℃
模擬成長温度までの昇温レート:60℃/s
サンプル1における昇温レート60℃/sを、15℃/s、8℃/s、4℃/sに変えた以外は、サンプル1と同様にして、サンプル2〜4をそれぞれ作製した。
(サンプル5)
サンプル1と同様の条件で、CH3Oからなる多元素クラスターイオンをシリコンウェーハの表面に注入した。次いで、800℃、300秒の模擬成長熱処理を行うため、参考実験例1と同様に、クラスターイオン注入後のシリコンウェーハを高速熱処理装置(ハイソル社製)内に搬送し、以下の条件で熱処理を行った。
炉内投入温度:500℃
模擬成長温度までの昇温レート:8℃/s
サンプル5における模擬成長熱処理の熱処理温度800℃を、900℃、1000℃、1100℃に変えた以外は、サンプル5と同様にして、サンプル6〜8をそれぞれ作製した。
まず、参考実験例1による図2に基づけば、1100℃、300秒の模擬成長熱処理前では、形成される黒点状欠陥の欠陥密度が昇温レートに大きく依存しないことが確認される。一方で、模擬成長熱処理後には、黒点状欠陥の欠陥密度はいずれも減少するものの、その減少量は昇温レートに大きく依存する。
本発明の一実施形態に従う半導体エピタキシャルウェーハ100の製造方法は、半導体ウェーハ10の表面10Aに、構成元素として3元素以上を含む多元素クラスターイオン16を注入して、該半導体ウェーハ10の表層部に、多元素クラスターイオン16の構成元素が固溶した改質層18を形成する第1工程(図5ステップA,B)と、該第1工程の後、改質層18内に形成される黒点状欠陥Dの欠陥密度を増大させるための欠陥形成熱処理を行う第2工程と、該第2工程に引き続き、半導体ウェーハの改質層18上に、エピタキシャル層を形成する第3工程(図5ステップC)と、を有する。ここで、多元素クラスターイオン16の構成元素は炭素、水素及び酸素を含む。以下では、簡略化のため、構成元素として炭素、水素および酸素を含む多元素クラスターイオンを「CHOクラスター」と略記する場合がある。CHOクラスターは、構成元素として炭素、水素および酸素以外を含み得るが、炭素、水素および酸素の3元素のみとすることもできる。なお、図5のステップCは、この製造方法の結果得られた半導体エピタキシャルウェーハ100の模式断面図である。エピタキシャル層20は、裏面照射型固体撮像素子等の半導体素子を製造するためのデバイス層となる。半導体ウェーハ10がシリコンウェーハであり、エピタキシャル層20がシリコンエピタキシャル層であるエピタキシャルシリコンウェーハは、半導体エピタキシャルウェーハ100の好ましい態様の一つである。以下、各工程の詳細を順次説明する。
本発明における第1工程(図2ステップA,B)では、前述のとおり、半導体ウェーハ10の表面10Aに、構成元素として3元素以上を含む多元素クラスターイオン16を注入して、該半導体ウェーハ10の表層部に、多元素クラスターイオン16の構成元素が固溶した改質層18を形成する。第1工程に用いる多元素クラスターイオン16は、前述のとおり構成元素として炭素、水素および酸素を含む。
半導体ウェーハ10としては、例えばシリコン、化合物半導体(GaAs、GaN、SiC)からなり、表面にエピタキシャル層を有しないバルクの単結晶ウェーハが挙げられる。裏面照射型固体撮像素子を製造する場合、一般的にはバルクの単結晶シリコンウェーハを用いる。また、半導体ウェーハ10は、チョクラルスキ法(CZ法)や浮遊帯域溶融法(FZ法)により育成された単結晶シリコンインゴットをワイヤーソー等でスライスしたものを使用することができる。また、より高いゲッタリング能力を得るために、半導体ウェーハ10に炭素および/または窒素を添加してもよい。さらに、半導体ウェーハ10に任意のドーパントを所定濃度添加して、いわゆるn+型もしくはp+型、またはn−型もしくはp−型の基板としてもよい。
ここで、本明細書における「クラスターイオン」とは、電子衝撃法により、ガス状分子に電子を衝突させてガス状分子の結合を解離させることで種々の原子数の原子集合体とし、フラグメントを起こさせて当該原子集合体をイオン化させ、イオン化された種々の原子数の原子集合体の質量分離を行って、特定の質量数のイオン化された原子集合体を抽出して得られる。すなわち、クラスターイオンは、原子が複数集合して塊となったクラスターに正電荷または負電荷を与え、イオン化したものであり、炭素イオンなどの単原子イオンや、一酸化炭素イオンなどの単分子イオンとは明確に区別される。
上記第1工程の後、第2工程では、改質層18内に形成される黒点状欠陥Dの欠陥密度を増大させるための欠陥形成熱処理を行う。参考実験例1,2を用いて説明したように、黒点状欠陥Dの欠陥密度は、エピタキシャル成長温度に到達するまでの昇温過程における温度に大きく依存する。そのため、エピタキシャル層が形成される前に欠陥形成のための熱処理を行うことにより、最終的に得られる半導体エピタキシャルウェーハ100における黒点状欠陥Dの欠陥密度を増大させることができ、ゲッタリング能力を高めることができる。
上記第2工程に引き続き、半導体ウェーハ10の改質層18上にエピタキシャル層20を形成する第3工程を行う(図5ステップC)。形成するエピタキシャル層18としては、例えばシリコンエピタキシャル層が挙げられ、一般的な条件により形成することができる。この場合、例えば、水素をキャリアガスとして、ジクロロシラン、トリクロロシランなどのソースガスをチャンバー内に導入し、使用するソースガスによっても成長温度は異なるが、1000〜1200℃の範囲の温度でCVD法により半導体ウェーハ10上にエピタキシャル成長させることができる。エピタキシャル層18は、厚さが1〜15μmの範囲内とすることが好ましい。1μm未満の場合、半導体ウェーハ10からのドーパントの外方拡散によりエピタキシャル層18の抵抗率が変化してしまう可能性があり、また、15μm超えの場合、固体撮像素子の分光感度特性に影響が生じるおそれがあるからである。
CZ単結晶シリコンインゴットから得たシリコンウェーハ(直径:300mm、厚さ:725μm、ドーパント種類:リン、抵抗率:10Ω・cm)を用意した。次いで、クラスターイオン発生装置(日新イオン機器社製、型番:CLARIS(登録商標))を用いて、ジエチルエーテル(C4H10O)をクラスターイオン化したCH3Oからなる多元素クラスターイオンを、加速電圧80keV/Clusterの注入条件でシリコンウェーハの表面に照射した。また、当該クラスターイオンのドーズ量を1.0×1015cluster/cm2とした(炭素のドーズ量も1.0×1015atoms/cm2である)。
下記表1に示すように、800℃までの昇温時間を5秒(昇温レート40℃/s)、10秒(昇温レート20℃/s)、30秒(昇温レート6.7℃/s)、45秒(昇温レート6.7℃/s)、60秒(昇温レート3.3℃/s)とし、800℃〜1000℃までの昇温時間を5秒(昇温レート40℃/s)、10秒(昇温レート20℃/s)、30秒(昇温レート6.7℃/s)、60秒(昇温レート3.3℃/s)、300秒(昇温レート0.67℃/s)とした以外は、試行例1と同様にして、試行例2〜25に係るエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。
試行例1〜25に係るエピタキシャルシリコンウェーハのそれぞれについて、基板界面近傍の断面をTEM(Transmission Electron Microscope:透過型電子顕微鏡)にて観察し、黒点状欠陥の欠陥密度を求めた。なお、基板界面から深さ300nm以内の範囲内で観察された欠陥サイズ15nm〜100nm以下の欠陥を、黒点状欠陥とした。観察された欠陥密度を表1に併せて示す。
試行例1〜25に係るエピタキシャルシリコンウェーハのそれぞれに対して、ゲッタリング能力を評価した。まず、各エピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層の表面を、Ni汚染液(1.0×1013atoms/cm2)を用いてスピンコート汚染法により強制的に汚染し、次いで、窒素雰囲気中において900℃で30分間の拡散熱処理を施した。その後、各エピタキシャルシリコンウェーハについてSIMS測定を行い、クラスターイオン注入領域(本評価では、簡便のため基板界面から300nmとした。)におけるNi濃度のプロファイルをそれぞれ測定した。そして、イオン注入領域におけるNiの捕獲量(SIMSプロファイルにおけるNi濃度の積分値に相当)を求めた。Niの捕獲量下記のとおり分類して、評価基準とした。評価結果を表1に併せて示す。
◎:9.7×1012atoms/cm2以上
○:9.5×1012atoms/cm2以上9.7×1012atoms/cm2未満
△:9.0×1012atoms/cm2以上9.5×1012atoms/cm2未満
×:9.0×1012atoms/cm2未満
まず、表1から、ゲッタリング能力の高低と、黒点状欠陥の欠陥密度とには明確な相関関係があることが確認され、黒点状欠陥の欠陥密度が大きいほど、ゲッタリング能力も高いことが確認される。そして、欠陥の種が消滅すると推定される温度帯の通過時間が短く、かつ、欠陥が成長すると推定される温度帯の通過時間が長いほど、黒点状欠陥の欠陥密度が大きくなることも確認された。したがって、クラスター条件が同一であったとしても、黒点状欠陥の欠陥密度を増大させるための欠陥形成熱処理を行うことにより、ゲッタリング能力を高くすることが可能である。
10A 半導体ウェーハの表面
16 クラスターイオン
18 改質層
20 エピタキシャル層
100 半導体エピタキシャルウェーハ
D 黒点状欠陥
Claims (3)
- 半導体ウェーハの表面に、構成元素として炭素、水素及び酸素の3元素を含む多元素クラスターイオンを注入して、該半導体ウェーハの表層部に、前記多元素クラスターイオンの構成元素が固溶した改質層を形成する第1工程と、
該第1工程の後、前記改質層内に形成される黒点状欠陥の欠陥密度を増大させるための欠陥形成熱処理を行う第2工程と、
該第2工程に引き続き、前記半導体ウェーハの改質層上に、エピタキシャル層を形成する第3工程と、を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウェーハの製造方法であって、
前記第2工程における前記欠陥形成熱処理の熱処理条件は、前記半導体ウェーハを800℃未満の第1温度領域に保持する第1保持時間が0秒以上45秒以下であり、かつ、第1温度領域から昇温後の、前記半導体ウェーハを800℃以上1000℃未満の第2温度領域に保持する第2保持時間が30秒以上である、半導体エピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記多元素クラスターイオンの構成元素は、炭素、水素及び酸素の3元素からなる、請求項1に記載の半導体エピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記半導体ウェーハがシリコンウェーハである、請求項1又は2に記載の半導体エピタキシャルウェーハの製造方法。
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