JP6864354B2 - ガラス基板の時間差分断方法 - Google Patents
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Description
11a エッジライン
11b エッジライン
11c スクライブライン
17 吸着テーブル
17a 吸着ステージ
17b 吸着ステージ
19 吸着口
19a 非作動吸着口
19b 作動吸着口
21 第1の吸着領域
23 第2の吸着領域
25 非吸着領域
Claims (2)
- 分断(dividing)するガラス基板をスクライブ装置内に投入するガラス基板投入段階と、
前記スクライブ装置内にセットされた前記ガラス基板の表面にスクライブラインを形成するが、前記ガラス基板の一側のエッジラインから出発して他側のエッジラインに到達する直線状のスクライブラインを形成するスクライブ段階と、
前記スクライブ段階を完了した前記ガラス基板を、多数の吸着口が備えられている吸着テーブル側に移送させて整列する定位置段階と、
前記定位置段階の完了後、多数の吸着口のうちの真空圧を出力する吸着口を決める吸着領域決定段階と、
前記吸着領域決定段階を通じて選択された吸着口に真空圧を印加して、前記ガラス基板を吸着テーブルの上面に部分的に吸着固定させる部分吸着段階と、
前記吸着テーブルに吸着されている状態の前記ガラス基板の前記スクライブラインを曲げて分断を行う曲げ段階と、を含み、
前記吸着領域は、
二つ以上の吸着口を含む第1の吸着領域と、前記第1の吸着領域内の吸着口の個数よりも少ない個数の吸着口を含む第2の吸着領域からなり、
前記吸着領域決定段階は、
真空圧を出力する吸着口を選択するが、前記第1の吸着領域が前記ガラス基板の一側のエッジラインに近接位置し、前記第2の吸着領域が前記ガラス基板の他側のエッジラインに近接位置するように決める過程であり、
前記第1の吸着領域と、第2の吸着領域とは、前記スクライブラインを中心に対称をなすことを特徴とするガラス基板の時間差分断方法。 - 前記第1の吸着領域と第2の吸着領域との間には、真空圧の出力が遮断されて前記ガラス基板に吸着力を印加しない非吸着領域が位置することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の時間差分断方法。
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