JP6817761B2 - ウエーハの分割方法 - Google Patents
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Description
断起点改質層を形成する分断起点改質層形成ステップと、該分断起点改質層形成ステップを実施した後、ウエーハの裏面からウエーハに対して透過性を有する波長のレーザビームを照射して、ウエーハの裏面から該分断起点改質層までの間の該分断起点改質層が形成されていない領域に該分断起点改質層による応力反りを矯正する応力を有する矯正改質層を形成する矯正改質層形成ステップと、該矯正改質層形成ステップを実施した後にウエーハより小さい吸着面を備える搬送手段によってウエーハを吸着しながら搬送する搬送ステップと、該保護部材側を保持手段で保持してウエーハの裏面から研削手段により研削し仕上げ厚さへと薄化するとともに研削動作により該分断起点改質層を起点としてウエーハを該分割予定ラインに沿って分割する研削ステップと、を備え、該矯正改質層形成ステップでは、該搬送手段の該吸着面に対応する領域のみに該矯正改質層を形成することを特徴とする。
図1に示すレーザ加工装置10は、基台11を有し、基台11のY軸方向後部側には、Z軸方向に延在するコラム12が立設されている。基台11の上面には、ウエーハを保持する保持手段として機能するチャックテーブル14と、チャックテーブル14をX軸方向に移動させるX軸方向送り手段16と、チャックテーブル14をX軸方向と直交するY軸方向にインデックス送りするY軸方向送り手段17とが配設されている。
次に、レーザ加工装置10を用いて、図2(a)に示すウエーハWを個々のチップに分割するウエーハの分割方法について説明する。ウエーハWは、被加工物の一例であって、円形板状の基板を有し、その表面Waには、格子状の分割予定ラインSによって区画された複数の領域にデバイスDが形成されている。一方、ウエーハWの表面Waと反対側の裏面Wbは、レーザビームの照射や研削砥石による研削が施される被加工面となっている。
図2(b)に示すように、ウエーハWの表面Waに保護部材1を貼着する。保護部材1は、粘着性を有し、かつ、ウエーハWの表面Waの全面を覆う面積を有している。保護部材1をウエーハWの表面Waに貼着すると、図2(a)に示したデバイスDが形成された領域が保護部材1によって覆われ、デバイスDが保護される。なお、加工前のウエーハWは、例えばレーザ加工装置10にセットされた図示しないカセットに複数収容されている。
貼着ステップを実施した後、図1に示した搬送ユニット30によって、図示しないカセットから加工前のウエーハWを取り出し、Y軸方向移動手段35によって移動ベース353とともに+Y方向に移動する。そして、チャックテーブル14の保持面14aにウエーハWを載置し、ウエーハWの裏面Wbを上向きにさせ、吸引源の吸引力を作用させた保持面14aで保護部材1側を吸引保持する。
分断起点改質層形成ステップを実施した後、図4(a)に示すように、レーザビーム照射手段20は、レーザヘッド21を+Z方向に上昇させ、より裏面Wb側にレーザビーム25の集光点を位置づける。すなわち、レーザビーム25の集光点の位置は、ウエーハWの裏面Wbから分断起点改質層3までの間の分断起点改質層3が形成されていない領域に調整される。また、矯正改質層形成ステップでは、分断起点改質層3が形成されたウエーハWの応力バランスが調整されるように、上記した分断起点改質層形成ステップと比較してレーザビーム照射手段20のレーザ出力を小さく、加工送り速度が大きく設定される。図1に示したX軸方向送り手段16によって、X軸ベース163とともにチャックテーブル14をX軸方向に移動させつつ、レーザヘッド21からレーザビーム25をウエーハWの裏面Wb側から照射し、ウエーハWの内部に矯正改質部4を形成する。続いて、図1に示したY軸方向送り手段17によりチャックテーブル14を例えば+Y方向にインデックス送りさせ、矯正改質部4が形成されていない領域に矯正改質部4を順次形成していく。このようにして、図4(b)に示すように、ウエーハWの内部に図1に示した吸着パッド32と同心円状の一段目の矯正改質部4を形成する。
矯正改質層形成ステップを実施した後、図1に示した搬送ユニット30を用いて、ウエーハWを所定の搬送先に搬送する。具体的には、Y軸方向移動手段35によって、移動ベース353とともに搬送手段31をガイドレール352に沿って+Y方向に移動させるとともに、軸部34が昇降及び回転することにより、吸着パッド32をチャックテーブル14の真上の位置に移動させる。ここで、チャックテーブル14に保持されたウエーハWの裏面Wbのうち、図5(a)に示すように、吸着パッド32と同心円状の矯正改質層5が形成された部分には網掛けを施して図示している。この矯正改質層5が形成された部分の内側が吸着パッド32の吸着面に対応する対応領域である。少なくとも対応領域は、反りが発生しにくい状態となっている。
搬送ステップを実施した後、図6(a)に示すように、研削装置に備えるチャックテーブル50でウエーハWを保持する。チャックテーブル50は、その上面がウエーハWを吸引保持する保持面50aとなっている。チャックテーブル50の上方には研削手段40を備えており、研削手段40は、鉛直方向の軸心を有するスピンドル41と、スピンドル41の下部に装着された研削ホイール42と、研削ホイール42の下部にリング状に固着された研削砥石43とを備え、研削ホイール42を回転させながら、全体が昇降可能となっている。
5,5a,5b:矯正改質層
10:レーザ加工装置 11:基台 12:コラム 13:基台
14:チャックテーブル 14a:保持面 15:支持台
16:X軸方向送り機構 160:ボールネジ 161:モータ 162:ガイドレール
163:X軸ベース
17:Y軸方向送り機構 170:ボールネジ 171:モータ 172:ガイドレール
173:Y軸ベース 18:制御手段
20:レーザビーム照射手段 200:発振器 21:レーザヘッド 22:ケーシング
23:撮像手段 24,25:レーザビーム
30:搬送ユニット 31:搬送手段 32:吸着パッド 33:アーム部 34:軸部
35:Y軸方向移動手段 350:ボールネジ 351:モータ
352:ガイドレール 353:移動ベース
40:研削手段 41:スピンドル 42:マウント 43:研削ホイール
44:研削砥石 50:チャックテーブル 50a:保持面
60:搬送手段 61:吸着パッド
70:搬送手段 71:吸着パッド
Claims (1)
- 表面が分割予定ラインで区画されたウエーハを該分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を貼着する貼着ステップと、
該貼着ステップを実施した後、該保護部材側を保持手段で保持してウエーハの裏面からウエーハに対して透過性を有する波長のレーザビームを該分割予定ラインに沿って照射して、該分割予定ラインに沿ってウエーハの内部に表面から所定厚さの分割起点となる分断起点改質層を形成する分断起点改質層形成ステップと、
該分断起点改質層形成ステップを実施した後、ウエーハの裏面からウエーハに対して透過性を有する波長のレーザビームを照射して、ウエーハの裏面から該分断起点改質層までの間の該分断起点改質層が形成されていない領域に該分断起点改質層による応力反りを矯正する応力を有する矯正改質層を形成する矯正改質層形成ステップと、
該矯正改質層形成ステップを実施した後にウエーハより小さい吸着面を備える搬送手段によってウエーハを吸着しながら搬送する搬送ステップと、
該保護部材側を保持手段で保持してウエーハの裏面から研削手段により研削し仕上げ厚さへと薄化するとともに研削動作により該分断起点改質層を起点としてウエーハを該分割予定ラインに沿って分割する研削ステップと、を備え、
該矯正改質層形成ステップでは、該搬送手段の該吸着面に対応する領域のみに該矯正改質層を形成することを特徴とするウエーハの分割方法。
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