JP6811265B2 - 基準電圧発生回路、パワーオン検出回路および半導体装置 - Google Patents

基準電圧発生回路、パワーオン検出回路および半導体装置 Download PDF

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Description

本発明は、基準電圧発生回路に関し、特に、バンドギャップリファレンス(BandGap Reference)回路を用いた基準電圧の発生に関する。
フラッシュメモリ等の半導体装置には、通常、電源投入時に電源電圧が一定電圧に到達したことを検出するパワーオン検出回路が設けられている。パワーオン検出回路により電圧が一定電圧以上であることが検出されると、パワーオンシーケンスが実行され、内部回路のリセット等が行われる。例えば、特許文献1のパワーオンシステムリセット回路は、電源投入時の動作電圧が不安定になることに鑑み、電源投入時、動作が開始されたシーケンスを停止させ、電源が安定するまでシステムをリセットし、電源が安定するとシステムをスタートさせる技術を開示している。
特開2008−160399号公報
図1は、従来のパワーオン検出回路の構成を示す図である。パワーオン検出回路10は、基準電圧Vrefを生成する基準電圧発生回路20と、電源電圧Vccに基づき内部電圧VIを生成する内部電圧生成回路30と、基準電圧発生回路20で発生された基準電圧Vrefと内部電圧VIとを比較する比較回路40とを備えている。内部電圧発生回路30は、例えば、電源電圧Vccを抵抗分割した電圧VccDIVを生成し、比較回路40は、内部電圧VIが基準電圧Vrefに到達したとき、パワーオン検出信号PWRDETを内部回路に出力する。
基準電圧Vrefは、電源電圧Vccがターゲット電圧に到達したか否かを判定するために使用される。ターゲット電圧は、内部回路の動作を保証する電圧よりも高い電圧である。内部回路が低電圧で誤動作することを防ぐために、基準電圧Vrefには高い精度が要求される。例えば、基準電圧Vrefが期待電圧よりも低いと、電源電圧Vccがターゲット電圧に到達していないにもかかわらずパワーオン検出信号PWRDETが出力され、内部回路は、動作保証電圧よりも低い電圧で動作を開始してしまい、その結果、誤動作等を引き起こしてしまう。
そこで、基準電圧発生回路20には、電源電圧Vccの変動や動作温度にほとんど依存しないバンドギャップリファレンス回路(以下、BGR回路)が利用される。図2に、一般的なBGR回路の構成を示す。同図に示すように、BGR回路は、電源電圧VccとGND間に第1および第2の電流経路を含み、第1の電流経路に直列に接続されたPMOSトランジスタP1、抵抗R1、バイポーラトランジスタQ1を含み、第2の電流経路に直列に接続されたPMOSトランジスタP2、抵抗R2、R、バイポーラトランジスタQ2を含み、さらに抵抗R1とトランジスタQ1とを共通接続するノードVNを反転入力端子(−)に接続し、抵抗R2と抵抗Rとを共通接続するノードVPを非反転入力端子(+)に接続し、出力端子をトランジスタP1、P2のゲートに共通接続する差動増幅回路AMPを含む。
トランジスタQ1、Q2は、ベースとコレクタが共通にGNDに接続されたダイオード接続のPNPバイポーラトランジスタである。また、トランジスタQ1とQ2のエミッタ面積比は、1対n(nは、1より大きい数)であり、トランジスタQ2のエミッタ面積はトランジスタQ1のエミッタ面積のn倍であり、トランジスタQ1の電流密度はトランジスタQ2のn倍である。なお、ここではバイポーラトランジスタQ1、Q2を用いているが、バイポーラトランジスタQ1、Q2に代えてダイオードを用いても良い。例えば、トランジスタQ1の代わりに1つのダイオードが接続され、トランジスタQ2の代わりにn個の並列接続されたダイオードが接続される。
PMOSトランジスタP1、P2は、第1および第2の電流経路に同じ電流値を供給する電流源として機能し、第1の電流経路ではトランジスタQ1により第1の電流が流され、第2の電流経路ではトランジスタQ2により第2の電流が流される。また、差動増幅回路AMPは、ノードVNとノードVPとが等しくなるように(VN=VP)、トランジスタP1、P2のゲート電圧を制御する。言い換えれば、差動増幅回路AMPは、トランジスタQ1の順方向電圧と、トランジスタQ2の順方向電圧に抵抗Rに生じる電圧を加算した電圧とが等しくなるように、出力電圧を調整する。
BGR回路では、トランジスタQ1、Q2の順方向電圧が負の温度係数を有し、ノードVNとVPの差が正の温度係数を有することから、抵抗R1、R2、Rの抵抗値を適切に選択することで温度依存性のない回路となり得る。
ノードVNとノードVPの電圧が等しくなるとき、
VN=VP、VP=VBE+(R×iBGR)、(R×iBGR)=VP−VBEである。iBGRは、抵抗Rを流れる電流である。VP−VBEは、次式で算出される。kBはボルツマン定数、eは電荷量、Tは絶対温度である。
Figure 0006811265
図3に、図2のBGR回路の動作波形を示す。時刻t1で、電源電圧Vccが投入され、電源電圧Vccが立ち上がる。これに伴い、出力ノードBGR、ノードVN、ノードVP、ベースエミッタ間電圧VBEが上昇を開始する。時刻t1〜t3で、BGR回路は、低電圧で動作し(つまり、保証された電圧よりも低い電圧で動作し)、それ故、時刻t2でノードVNが一定になるが、ノードVP、ベースエミッタ間電圧VBEは未だ不安定である。時刻t3で、BGR回路が動作を保証する電圧で動作をすると、差動増幅回路AMPは、ノードVNとノードVPが等しくなるように出力電圧を調整し、出力ノードBGRからは、約1.25Vの基準電圧Vrefが出力される。
近年、電源電圧Vccの低電圧化(例えば、Vcc=1.8V)により低電圧下での動作が必要になり、そのために、BGR回路が低電圧で動作し、図3の時刻t1〜t3に示すように、期待する電圧(1.25V)よりも低い基準電圧Vref_Lが出力されてしまう。例えば、差動増幅回路AMPを構成するCMOSトランジスタの閾値よりも電源電圧Vccが大きくなると、低い基準電圧Vre_Lが出力されてしまう。そうすると、比較回路40は、低い基準電圧Vref_Lと、内部電圧生成回路30で生成された内部電圧VIとを比較し、電源電圧Vccがターゲット電圧に到達していないにもかかわらず、パワーオン検出信号PWRDETを出力し、その結果、内部回路が保証電圧以下の電圧で誤動作してしまう。
この様子を図4に示す。時刻t1で電源電圧Vccが投入され、電源電圧Vccが上昇する。内部電圧生成回路30は、例えば、電源電圧Vccを抵抗分割した内部電圧VccDIVを生成し、この内部電圧VccDIVも同様に上昇する。抵抗分割する割合は、電源電圧Vcc等に応じて適宜決定される。
時刻t2で、電源電圧Vccが電圧Vaに到達すると、BGR回路が動作を開始する。電源電圧VccがBGR回路が正しく動作する電圧よりも低いため、BGR回路の出力ノードBGRから、期待する電圧よりも低い基準電圧Vref_Lが出力されるが、基準電圧Vref_Lは、内部電圧VccDIVよりも低いため、比較回路40は、Hレベルのパワーオン検出信号PWRDETを出力しない。
時刻t3で、基準電圧Vref_Lが内部電圧VccDIVよりも大きくなると、比較回路40は、Hレベルのパワーオン検出信号PWRDETを出力する。このときの電源電圧Vccは、電圧Vbまで上昇しているが、電圧Vbはターゲット電圧Vtgよりも低い電圧である。にもかかわらず、内部回路は、パワーオン検出信号PWRDETに応答して動作を開始する。
時刻t4で、電源電圧Vccがターゲット電圧Vtgに到達し、時刻t5で、BGR回路が正常に動作し、基準電圧Vrefは、期待する電圧(1.25V)であり、このときの電源電圧Vccの電圧Vcは、ターゲット電圧Vtgよりも大きい。本来であれば、比較回路40は、時刻t5のときにHレベルのパワーオン検出信号PWRDETを出力し、これにより内部回路が動作を開始しなければならない。
例えば、NAND型フラッシュメモリは、読出し、プログラム、消去等のための電圧の設定やユーザーオプション等の設定を格納するためフューズセルを使用している。フラッシュメモリは、電源投入時、パワーオン検出信号PWRDETが検出されると、フューズセルに格納された設定情報をレジスタに読み出し、その後、コントローラは、レジスタに保持された設定情報に基づき動作を制御する。
図5は、フューズセルの読出し動作を説明する図である。時刻t1で、パワーオン検出信号PWRDETが出力されると、パワーオンシーケンスが開始され、コントローラは、メモリセルアレイのフューズセルから設定情報をレジスタにロードする。その後、時刻t2で、電源電圧Vccが完全に立ち上がる。
フラッシュメモリ等では、パワーオンシーケンスを実行するとき、フューズセルの読出しを行うが、このフューズセル読出しは、通常のメモリセルアレイからの読出しと同様に、CPU(中央処理装置)がROMに格納された命令等のコードを読み出すことによって行われる。つまり、フューズセル読出しが行われるとき、ROMからコードを読み出すためにクロック信号が使用され、読出し用の電圧を生成するためにチャージポンプが起動され、また、読出し動作においてビット線がプリチャージされる。これらの動作によってノイズやピーク電流が生じ、電源電圧Vccが一時的に降下することがある。
仮に、保証電圧よりも低い状態で、あるいはそのような状態でさらに電源電圧Vccが降下すると、センス回路の動作マージンが不十分であり、あるいはクロック信号が不安定となり、ROMから正しいコードを読み出せず、フューズセルの読出しが不安定な動作となる。結果として、意図しない動作を生じさせ、あるいはROMの読出しを途中でスタックさせてしまう。特に、低電圧(例えば、Vccが1.8V)で動作するメモリは、動作マージンが小さいため、このような問題が起こり易い。このように、ターゲット電圧以下、あるいは保証電圧以下でパワーオン検出信号PWRDETが出力されてしまうと、パワーオンシーケンスを保証することは難しく、パワーオンシーケンスの失敗や、パワーオンシーケンスの異常を招いてしまう。
本発明は、このような従来の課題を解決するために成されたものであり、電源投入時の基準電圧を保証することができる基準電圧発生回路、パワーオン検出回路および半導体装置を提供することを目的とする。
本発明に係る基準電圧発生回路は、第1および第2の電流経路に同じ電流値の電流を供給する電流源と、第1の電流経路に接続され、第1の電流を流す第1のPN接合素子と、第2の電流経路に接続され、第1の電流よりも大きな第2の電流を流す第2のPN接合素子と、第2の電流経路に接続され、基準電圧を出力する出力ノードと、第1の電流経路の電流源と第1のPN接合素子間の第1のノードの電圧と第2の電流経路の電流源と第2のPN接合素子間の第2のノードの電圧とが等しくなるように電流源を制御する差動増幅器と、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧との差が一定以下に到達したとき、検出信号を出力する検出手段とを有する。
ある実施態様では、前記検出手段は、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧とを比較する比較回路を含み、当該比較回路は、比較結果に基づき前記検出信号を出力する。ある実施態様では、前記検出手段は、前記第2のノードの電圧が安定したとき、前記検出信号を出力する。ある実施態様では、第2の電流経路は、前記第2のノードと前記第2のPN接合素子との間に直列に接続された抵抗を含む。ある実施態様では、第1の電流経路は、電流源と前記第1のノードとの間に第1の抵抗を含み、第2の電流経路は、電流源と前記第2のノードとの間に第2の抵抗を含む。ある実施態様では、前記第1および第2のPN接合素子は、ダイオード、PNPバイポーラトランジスタ、またはNPNバイポーラトランジスタである。ある実施態様では、前記基準電圧発生回路は、バンドギャップリファレンス回路である。
本発明に係るパワーオン検出回路は、上記記載の基準電圧発生回路と、前記基準電圧と電源電圧から生成された内部電圧とを比較し、パワーオン検出信号を出力する比較回路とを含み、前記比較回路は、前記基準電圧発生回路から出力される検出信号に応答して前記基準電圧と前記内部電圧とを比較する。
本発明に係る半導体装置は、上記記載のパワーオン検出回路を含み、前記パワーオン検出回路から出力されたパワーオン検出信号に基づきパワーオンシーケンスを実行する。ある実施態様では、前記半導体装置は、パワーオンシーケンスを実行するとき、メモリセルアレイに格納された動作に関する設定情報を読み出すNAND型のフラッシュメモリである。
本発明によれば、第1のノードの電圧と第2のノードの電圧との差が一定以下に到達したとき、検出信号を出力するようにしたので、基準電圧が期待する電圧に到達したことを保証することができる。その結果、パワーオン検出回路は、内部回路が低電圧で誤動作することを防止することができる。
従来のパワーオン検出回路の構成を示す図である。 従来のバンドギャップリファレンス(BGR)回路の構成を示す図である。 図2のBGR回路の各部の電圧波形を示す図である。 従来のパワーオン検出回路の課題を説明する動作波形図である。 従来のフラッシュメモリのパワーオン検出動作の課題を説明する図である。 本発明の実施例に係るパワーオン検出回路の構成を示す図である。 本発明の実施例に係るBGR回路の構成を示す図である。 本発明の実施例に係るBGR回路の各部の電圧波形を示す図である。 本発明の実施例に係るパワーオン検出回路の動作を説明する波形図である。 本発明の実施例に係るNAND型フラッシュメモリの構成を示すブロック図である。
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。本発明に係るパワーオン検出回路は、フラッシュメモリ、ダイナミックメモリ(DRAM)、スタティックメモリ(SRAM)、抵抗変化型メモリ(RRAM)、磁気メモリ(MRAM)等の半導体記憶装置や、ロジック、信号処理等の半導体装置など、外部または内部から電源電圧を供給される半導体装置に適用することができる。
次に、本発明の実施例について説明する。図6は、本発明の実施例に係るパワーオン検出回路の構成を示す図であり、図1に示す構成と実質的に同一構成については同一参照番号を附している。
本実施例のパワーオン検出回路100は、BGR回路110と、内部電圧生成回路30と、検出回路40とを有し、BGR回路110は、基準電圧発生部120と、基準電圧保証部130とを含む。基準電圧発生部120は、図2に示すBGR回路の構成と同様であり、すなわち、電源電圧VccとGND間に第1および第2の電流経路を含み、第1の電流経路に直列に接続されたPMOSトランジスタP1、抵抗R1、バイポーラトランジスタQ1を含み、第2の電流経路に直列に接続されたPMOSトランジスタP2、抵抗R2、R、バイポーラトランジスタQ2を含み、さらに抵抗R1とトランジスタQ1とを共通接続するノードVNを反転入力端子(−)に接続し、抵抗R2と抵抗Rとを共通接続するノードVPを非反転入力端子(+)に接続し、出力端子をトランジスタP1、P2のゲートに共通接続する差動増幅回路AMPを含む。
基準電圧保証部130は、基準電圧発生部120のノードVNおよびVPを監視し、ノードVPの電圧がノードVNの電圧に等しくなったこと、あるいはノードVNの電圧が一定になったことを検出したとき、基準電圧Vrefが期待する電圧であることを示す検出信号BRGDETを比較回路40に出力する。比較回路40は、検出信号BRGDETに応答して、基準電圧Vrefと内部電圧VccDIVとを比較し、その比較結果に基づきパワーオン検出信号を内部回路へ出力する。
基準電圧発生部120は、図3の時刻t1〜t3、図4の時刻t2〜t5の破線で示すように、電源投入時、電源電圧Vccが立ち上がる前の低電圧状態で動作を開始し、出力ノードBGRから期待する電圧よりも低い基準電圧Vref_Lを出力する。基準電圧保証部130は、基準電圧Vref_Lが期待する電圧に到達したことを検出し、その検出結果として検出信号BGRDETを出力する。1つの例では、基準電圧保証部130は、基準電圧発生部120のノードVNの電圧とノードVPの電圧とを比較し、両者の差分が0または一定値以下になったとき、検出信号BGRDETを出力する。BGR回路の動作保証電圧で動作されたとき、差動増幅回路AMPは、ノードVNとノードVPの電圧が等しくなるように出力を調整し、このとき、基準電圧Vrefは、期待する電圧(1.25V)である。比較回路40は、検出信号BGRDETに応答して、基準電圧Vrefと内部電圧VccDIVとを比較し、パワーオン検出信号PWRDETを内部回路に出力する。これにより、内部回路が低電圧で誤動作するのが防止される。
次に、本実施例のBGR110の詳細な回路を図7に示す。基準電圧発生部120は、図2に示す回路と同じであるため説明を省略する。基準電圧保証部130は、PMOSトランジスタP1、P2のゲートに共通に接続されたPMOSトランジスタP3、P4と、PMOSトランジスタP3、P4にそれぞれ直列に接続されたNMOSトランジスタN1、N2と、電源電圧とGNDとの間に直列に接続されたPMOSトランジスタP5およびNMOSトランジスタN3を含む検出回路132と、ノードVNを反転入力端子(−)に接続し、抵抗R2と抵抗Rとを共通接続するノードVPを非反転入力端子(+)に接続し、出力端子を検出回路132のPMOSトランジスタP5のゲートに出力する差動増幅回路AMP2と、PMOSトランジスタP4とNMOSトランジスタN2との間に接続され、検出信号BGRDETを出力するインバータINとを含んで構成される。
NMOSトランジスタN1、N3のゲートは、PMOSトランジスタP3のドレインに共通に接続され、NMOSトランジスタN1、N3は、導通状態にある。差動増幅器AMP2は、ノードVNとノードVPの差分に応じた出力電圧を検出回路132に出力する。つまり、ノードVNとノードVPの差が大きいとき、それに応じて大きな出力電圧がPMOSトランジスタP5のゲートに出力され、PMOSトランジスタP5が非導通状態になり、検出回路132のノードDETがLレベルになり、トランジスタN2がオフし、インバータINの出力がLレベルになる。他方、VNとVPの差が小さいとき、それに応じて小さな出力電圧がPMOSトランジスタP5に出力され、PMOSトランジスタP5が導通状態になり、検出回路132のノードDETがHレベルになり、NMOSトランジスタN2がオンし、インバータINからHレベルの検出信号BGRDETが出力される。
図8に、基準電圧保証部130の各部の電圧波形を示す。この時刻t1〜t3は、図3に示す時刻t1〜t3に対応する。時刻t1で、電源電圧Vccが投入される。時刻t1〜t2の期間、ノードVNの立ち上がりがノードVPより急であるため、ノードVNとノードVPの電圧の差は徐々に大きくなり、差動増幅器AMP2の出力VOの電圧が徐々に大きくなる。時刻t2で、ノードVNが一定になると、ノードVNとノードVPの電圧の差が徐々に小さくなり、差動増幅器AMP2の出力VOの電圧が徐々に小さくなる。時刻t3で、ノードVPが一定になり、ノードVNとノードVPの電圧の差がほぼ一定以下になり、差動増幅器AMP2の出力VOも相対的に小さな電圧となる。検出回路132は、電源電圧Vccが上昇し、時刻t3で正常な動作を開始する。このとき、差動増幅器AMP2の出力VOは小さな電圧であり、PMOSトランジスタP5が導通し、ノードDETがHレベルになる。これにより、インバータINからHレベルの検出信号BGRDETが出力される。
このように基準電圧保証部130は、ノードVNとノードVPとの電圧差が一定以下になったとき、言い換えれば、出力ノードBGRから安定した基準電圧Vrefが出力されるときに、Hレベルの検出信号BGRDETを出力するため、比較回路40において使用する基準電圧Vrefが期待する電圧であることを保証することができる。比較回路40は、検出信号BGRDETがHレベルに遷移したことに応答して、基準電圧発生部120から発生される基準電圧Vrefと内部電圧VccDIVとを比較し、パワーオン検出信号PWRDETを出力することができる。このため、内部回路がターゲット電圧または動作保証電圧以下の低電圧で誤動作することを防止することができる。
図9は、本実施例のパワーオン検出回路100の動作を説明する図である。時刻t1〜t5は、図4の時刻t1〜t5に対応する。時刻t1で電源が投入され、時刻t2で基準電圧発生部120が低電圧で動作を開始する。時刻t3で、低い基準電圧Vref_Lよりも内部電圧VccDIVが高くなるが、検出信号BGRDETがLレベルであるため、比較回路40はイネーブルされず、パワーオン検出信号PWRDETは、Lレベルのままである。
時刻t4で、電源電圧Vccがターゲット電圧Vtgを越え、時刻t5で、基準電圧発生部120から発生される基準電圧Vrefが期待する電圧になり、同時に、基準電圧保証部130によりHレベルの検出信号BGRDETが出力される。比較回路40は、検出信号BGRDETに応答してイネーブル状態となり、基準電圧Vrefと内部電圧VccDIVとを比較し、内部電圧VccDIVが基準電圧Vrefを越えたとき、Hレベルのパワーオン検出信号PWRDETを内部回路に出力する。
このように、本実施例によれば、パワーオン検出回路100は、基準電圧Vrefが期待する電圧に到達したときにパワーオン検出信号PWRDETを内部回路に出力するため、電源電圧Vccがターゲット電圧、あるいは動作保証電圧に到達してから内部回路を動作させるので、パワーオンシーケンスの誤動作、中断を防止することができる。
次に、本実施例のパワーオン検出回路を適用したNAND型のフラッシュメモリについて説明する。図10は、本実施例のNAND型フラッシュメモリの構成を示す図である。フラッシュメモリ200は、複数のメモリセルが配列されたブロックを複数含むメモリアレイ210と、外部入出力端子I/Oに接続された入出力バッファ220と、入出力バッファ220からアドレスデータを受け取るアドレスレジスタ230と、入出力バッファ220からコマンドデータ等を受け取り、各部を制御するコントローラ240と、アドレスレジスタ230から行アドレス情報Axを受け取り、行アドレス情報Axをデコードし、デコード結果に基づきブロックの選択およびワード線の選択等を行うワード線選択回路250と、ワード線選択回路250によって選択されたページから読み出されたデータを保持したり、選択されたページにプログラムすべき入力データを保持するページバッファ/センス回路260と、アドレスレジスタ230から列アドレス情報Ayを受け取り、列アドレス情報Ayをデコードし、当該デコード結果に基づきページバッファ/センス回路260内の列アドレスのデータを選択する列選択回路270と、データの読出し、プログラムおよび消去等のために必要な種々の電圧(書込み電圧Vpgm、パス電圧Vpass、読出しパス電圧Vread、消去電圧Versなど)を生成する内部電圧発生回路280と、電源投入時に電源電圧Vccがパワーオン電圧レベルに到達したことを検出するパワーオン検出回路100とを含んで構成される。
メモリセルアレイ210には、読出し、プログラム、消去等のための電圧の設定やユーザーオプション等の設定を格納するフューズセルが含まれている。コントローラ240は、パワーオン検出回路100からパワーオン検出信号PWRDETを受け取ると、パワーオンシーケンスを実行する。パワーオンシーケンスには、フューズセルに格納された設定情報等をレジスタにロードする処理が含まれている。本実施例では、パワーオン検出信号PWRDETは、BGR110からのBGR検出信号BGRDETに応答して出力されるため、各部に供給される電源電圧Vccは、回路の動作保証電圧以上であり、それ故、パワーオンシーケンスが中断したり、誤動作することなく適切に実行させることができる。
本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10:パワーオン検出回路
20:基準電圧発生回路
30:内部電圧生成回路
40:比較回路
100:パワーオン検出回路
110:BGR回路
120:基準電圧発生部
130:基準電圧保証部
132:検出回路
200:フラッシュメモリ
AMP:差動増幅器
Q1、Q2:PNPバイポーラトランジスタ
P1、P2、P3、P4、P5:PMOSトランジスタ
N1、N2、N3:NMOSトランジスタ

Claims (9)

  1. 第1および第2の電流経路に同じ電流値の電流を供給する電流源と、
    第1の電流経路に接続され、第1の電流を流す第1のPN接合素子と、
    第2の電流経路に接続され、第1の電流よりも大きな第2の電流を流す第2のPN接合素子と、
    第2の電流経路に接続され、基準電圧を出力する出力ノードと、
    第1の電流経路の電流源と第1のPN接合素子間の第1のノードの電圧と第2の電流経路の電流源と第2のPN接合素子間の第2のノードの電圧とが等しくなるように電流源を制御する第1の差動増幅器と、
    前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧との差が一定以下に維持されたとき、検出信号を出力する基準電圧保証手段とを含み、
    前記基準電圧保証手段はさらに、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧とを比較する第2の差動増幅器と、電源電圧とグランド電位との間に結合された検出回路とを含み、
    当該検出回路は、第2の差動増幅器の出力端子に結合されたゲート端子を有するトランジスタを含み、当該トランジスタの第1の端子が電源電圧に結合されかつ第2の端子が前記検出信号のレベルを制御するための制御信号を出力する第3のノードに結合され、
    前記基準電圧保証手段は、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧との比較に基づき前記検出信号を出力し、
    前記基準電圧保証手段は、前記電流源のゲート端子に結合されたゲート端子を有するPMOSトランジスタと、前記PMOSトランジスタに結合された第1の端子、前記制御信号を出力する前記第3のノードに結合されたゲート端子、およびグランド電位に結合された第2の端子を含むNMOSトランジスタとを含み、
    前記検出信号は、前記PMOSトランジスタと前記NMOSトランジスタとの間の第4のノードのレベルに基づき発生される、基準電圧発生回路。
  2. 前記基準電圧保証手段は、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧との差が一定以下に到達し、かつ前記第2のノードの電圧が安定したとき、前記検出信号を出力する、請求項1に記載の基準電圧発生回路。
  3. 第2の電流経路は、前記第2のノードと前記第2のPN接合素子との間に直列に接続された抵抗を含む、請求項1に記載の基準電圧発生回路。
  4. 第1の電流経路は、電流源と前記第1のノードとの間に第1の抵抗を含み、第2の電流経路は、電流源と前記第2のノードとの間に第2の抵抗を含む、請求項1に記載の基準電圧発生回路。
  5. 前記第1および第2のPN接合素子は、ダイオード、PNPバイポーラトランジスタ、またはNPNバイポーラトランジスタである、請求項1に記載の基準電圧発生回路。
  6. 前記基準電圧発生回路は、バンドギャップリファレンス回路である、請求項1に記載の基準電圧発生回路。
  7. 第1および第2の電流経路に同じ電流値の電流を供給する電流源と、
    第1の電流経路に接続され、第1の電流を流す第1のPN接合素子と、
    第2の電流経路に接続され、第1の電流よりも大きな第2の電流を流す第2のPN接合素子と、
    第2の電流経路に接続され、基準電圧を出力する出力ノードと、
    第1の電流経路の電流源と第1のPN接合素子間の第1のノードの電圧と第2の電流経路の電流源と第2のPN接合素子間の第2のノードの電圧とが等しくなるように電流源を制御する第1の差動増幅器と、
    前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧との差が一定以下に維持されたとき、検出信号を出力する基準電圧保証手段とを含み、
    前記基準電圧保証手段はさらに、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧とを比較する第2の差動増幅器と、電源電圧とグランド電位との間に結合された検出回路とを含み、
    当該検出回路は、第2の差動増幅器の出力端子に結合されたゲート端子を有するトランジスタを含み、当該トランジスタの第1の端子が電源電圧に結合されかつ第2の端子が前記検出信号のレベルを制御するための制御信号を出力する第3のノードに結合され、
    前記基準電圧保証手段は、前記第1のノードの電圧と前記第2のノードの電圧との比較に基づき前記検出信号を出力する基準電圧発生回路と、
    前記基準電圧と電源電圧から生成された内部電圧とを比較し、パワーオン検出信号を出力する比較回路とを含み、
    前記比較回路は、前記基準電圧発生回路から出力される検出信号に応答して前記基準電圧と前記内部電圧とを比較する、パワーオン検出回路。
  8. 請求項に記載のパワーオン検出回路を含み、
    前記パワーオン検出回路から出力されたパワーオン検出信号に基づきパワーオンシーケンスを実行する、半導体装置。
  9. 前記半導体装置は、パワーオンシーケンスを実行するとき、メモリセルアレイに格納された動作に関する設定情報を読み出すNAND型のフラッシュメモリである、請求項に記載の半導体装置。
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