JP6708924B2 - ロードポートの制御装置、およびマッピングセンサのティーチング方法 - Google Patents
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- 238000013507 mapping Methods 0.000 title claims description 109
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 29
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
このように、本発明の制御装置によると、マッピングセンサのティーチングを従来よりも容易に行うことができる。
図1に示す装置は、半導体の製造に用いられる装置であって、複数のロードポート1(本実施形態では3つ)と、搬送室2と、処理装置3とで構成される。ロードポート1は、ウエハ(Wafer)などの被処理物を、搬送室2の中の空間(搬送空間S)に出し入れするために、当該被処理物を収容する容器(例えば、カセット51,52(図4,5参照))が載置される装置である。なお、ウエハは、ウエハのみが容器に収容される場合もあるし、FFC(Film Flame Carrier)やフープリング(Hoop Ring)の上面(または下面)に貼ったテープに貼られた状態で容器に収容される場合もある。以下で単に「FFC」と言う場合は、FFC(Film Flame Carrier)の上面(または下面)に貼ったテープにウエハが貼られた状態のFFCのことを指す。
主として図2〜図6を参照しつつ、ロードポート1の構成を説明する。図2に示すように、ロードポート1は、搬送空間Sを区画する隔壁21の一部を構成する板形状のベース10を有する。ベース10は立設配置され、このベース10には、被処理物を搬送空間Sに出し入れするための開口としてのベース開口部10a(図2(b)参照)が設けられている。搬送空間Sをクリーンな状態に保つため、通常時、ベース開口部10aはドア12で閉じられている。
カセット51,52に収容された複数のFFCをマッピングするマッピングセンサ30をロードポート1は備えている。図2、図3に示されているように、マッピングセンサ30は、ベース10の搬送空間Sの側とは反対側、すなわちベース10の前方に配置される。マッピングセンサ30は光学式のセンサである。なお、光学式のセンサは、レーザー光式のセンサを含む。
前記したように、マッピング機能とは、容器内に収容されたウエハなどの複数の被処理物の各スロット毎での有無や、被処理物が正常積載の状態にあるか否かといった被処理物の収容状態を検出してHOSTのコンピュータに通知する機能のことである。容器内に収容されたウエハなどの複数の被処理物を正しくマッピングするには、マッピングパラメータを設定しておく必要がある。以下、本実施形態で例示する、カセット51,52、FFCを例にとって、マッピングセンサのティーチングについて説明する。
マッピングセンサ30で物体の検知を試みるティーチング動作は、低速で行われるほうがティーチングの精度を高めるのに好ましいが、ティーチング開始位置へセンサ部31が戻るときのその移動速度は高速であっても、ティーチングの精度に影響はない。なお、ティーチング開始ボタンが押されたときの最初の動作、すなわち、マッピングセンサ30がその退避位置からティーチング開始位置へ移動する速度も、高速であってよい。
制御装置4によるロードポート1のマッピング動作を説明する。ここでは、一例として、図4,5に示すFFC用アダプタ20がロードポート1の載置台11の上に取り付けられていることとする。前記したように、FFC用アダプタ20がロードポート1の載置台11の上に取り付けられていることで、ロードポート1(制御装置4)は、処理対象がFFCであること(載置されるカセット51がFFC用のカセットであること)を認識している。
複数の異なる容器が載置台11の上に載置可能なロードポート1の場合、例えば次のようにティーチング開始位置がオペレータなどにより設定される。図8に、一例として、スロット数および一部の寸法が異なるFFC用のカセット51,53を示している。カセット51のスロット61の数は、25であり、カセット53のスロット62の数は、20である。
図1に示す搬送ロボット22にセンサ33を取り付けて、当該搬送ロボット22をマッピングセンサとして用い、前記したティーチングを行ってもよい。また、上記実施形態では、マッピングセンサ30をロードポート側に設置しているが、マッピングセンサ30を搬送ロボット22側に設けてもよい。
2:搬送室
3:処理装置
4:制御装置
10:ベース
10a:ベース開口部
11:載置台
21:隔壁
30:マッピングセンサ
31:センサ部
33a:発光素子部
33b:受光素子部
51、52、53:カセット(容器)
61:スロット
61T:最上段スロット
61B:最下段スロット
S:搬送空間
Claims (6)
- 搬送空間を区画する隔壁の一部を構成し、ベース開口部を有するベースと、
前記ベースの前記搬送空間の側とは反対側に設けられ、複数の被処理物を収容する容器が載置される載置台と、
前記容器に収容された前記被処理物をマッピングするマッピングセンサと、
を備えるロードポートの制御装置において、
前記容器の中の最上段スロットに入れられた最上段被処理物と、前記容器の中の最下段
スロットに入れられた最下段被処理物との間のティーチング開始位置に、前記マッピング
センサのセンサ部を移動させ、当該ティーチング開始位置から前記マッピングセンサのテ
ィーチング動作を開始し、
前記センサ部を、前記ティーチング開始位置から、予め決められた前記最上段被処理物よりも高い位置まで移動させるように制御構成されていることを特徴とする、ロードポートの制御装置。 - 請求項1に記載のロードポートの制御装置において、
前記センサ部を、前記ティーチング開始位置から、予め決められた前記容器の天板を超える高さの位置まで移動させるように制御構成されていることを特徴とする、ロードポートの制御装置。 - 請求項1又は2に記載のロードポートの制御装置において、
前記最上段被処理物または前記最下段被処理物へ前記ティーチング開始位置から前記セ
ンサ部が向かうときのセンサ移動速度よりも、前記最上段被処理物または前記最下段被処
理物を前記センサ部が検知してから前記ティーチング開始位置へ前記センサ部が戻るとき
のセンサ移動速度のほうが速くなるように制御構成されていることを特徴とする、ロード
ポートの制御装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の制御装置を備えたロードポートであって、
前記マッピングセンサは、前記載置台に載置された前記容器の外側から、前記容器に収容された前記被処理物をマッピングすることを特徴とする、ロードポート。 - 請求項4に記載のロードポートにおいて、
前記センサ部は、前記搬送空間から前記載置台に向かう前後方向における前記載置台の両端よりも外側の位置、且つ、鉛直方向から見て前記載置台と重ならない位置に配置されており、
前記マッピングセンサは、前記センサ部を、前記載置台に載置された前記容器の前記前後方向における両端の外側を移動させることで、前記容器に収容された前記被処理物をマッピングすることを特徴とする、ロードポート。 - ロードポートの載置台に載置された容器に収容された被処理物をマッピングするマッピ
ングセンサのティーチング方法において、
前記容器の中の最上段スロットに入れられた最上段被処理物と、前記容器の中の最下段
スロットに入れられた最下段被処理物との間のティーチング開始位置に、前記マッピング
センサのセンサ部を移動させ、当該ティーチング開始位置から前記マッピングセンサのテ
ィーチング動作を開始し、
前記最上段被処理物または前記最下段被処理物へ前記ティーチング開始位置から前記セ
ンサ部が向かうときのセンサ移動速度よりも、前記最上段被処理物または前記最下段被処
理物を前記センサ部が検知してから前記ティーチング開始位置へ前記センサ部が戻るとき
のセンサ移動速度のほうが速くなるようにすることを特徴とする、マッピングセンサのティーチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016057278A JP6708924B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | ロードポートの制御装置、およびマッピングセンサのティーチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016057278A JP6708924B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | ロードポートの制御装置、およびマッピングセンサのティーチング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017174899A JP2017174899A (ja) | 2017-09-28 |
JP6708924B2 true JP6708924B2 (ja) | 2020-06-10 |
Family
ID=59971528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016057278A Active JP6708924B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | ロードポートの制御装置、およびマッピングセンサのティーチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6708924B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102156896B1 (ko) * | 2018-12-18 | 2020-09-17 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 반송 로봇 핸드의 티칭 방법 |
JP7186355B2 (ja) | 2019-01-15 | 2022-12-09 | 株式会社東京精密 | ウェーハ検出装置、ウェーハ検出方法、及びプローバ |
WO2020261698A1 (ja) * | 2019-06-27 | 2020-12-30 | 川崎重工業株式会社 | 基板マッピング装置、そのマッピング方法及びマッピング教示方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6245037A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Canon Inc | ウエハ処理方法 |
JP3272481B2 (ja) * | 1992-05-15 | 2002-04-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理物の移載装置の制御方法および移載方法 |
JP3977485B2 (ja) * | 1997-04-24 | 2007-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | アームアクセス位置検出方法及び真空処理装置 |
JP4501755B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2010-07-14 | 株式会社安川電機 | ロードポートおよびロードポートの制御方法 |
-
2016
- 2016-03-22 JP JP2016057278A patent/JP6708924B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017174899A (ja) | 2017-09-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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