JP7186355B2 - ウェーハ検出装置、ウェーハ検出方法、及びプローバ - Google Patents
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Description
図1は、プローバ10の外観斜視図である。図2は、プローバ10をその上方側から見た概略図である。なお、図中のX軸方向(本発明の第3方向に相当)と、Y軸方向(本発明の第2方向に相当)と、Z軸方向(本発明の第1方向に相当)とは互いに直交している。また、X軸方向及びY軸方向は水平方向に平行な方向であり、Z軸方向は上下方向に平行(水平方向に垂直)な方向である。
図10は、上記構成のプローバ10によるカセット20のウェーハセンシング処理の流れ(本発明のウェーハ検出方法に相当)を示すフローチャートである。
以上のように本実施形態では、検出センサ32の走査を標準速度で行う初回のウェーハセンシングで検出エラーが発生した場合に、検出センサ32の再走査を最適速度で行うウェーハセンシングのリトライを実行することで、初回の検出エラーの発生の判定が誤判定であるか否かを正確に判定することができる。このため、検出エラーの発生の有無を正確に判定することができる。また、仮に最適速度が標準速度よりも遅い場合に、普段のプローバ10の稼働時(例えば初回のウェーハセンシング時)にも最適速度で検出センサ32の走査を行うとプローバ10のスループットが低下するが、本実施形態ではウェーハセンシングのリトライ時にのみ最適速度で検出センサ32の再走査を行うので上述のスループットの低下が防止される。その結果、本実施形態では、検出エラーの発生の正確な判定と、スループットの低下防止とを両立することができる。
上記実施形態の判定部52は、各ウェーハWの位置及び各ウェーハWの厚みのばらつきに基づき検出エラーの発生の有無を判定しているが、例えば検出センサ32から出力される検出信号の大きさが想定値(想定範囲)内であるか否かに基づき検出エラーの発生の有無を判定してもよい。さらに、判定部52は、各ウェーハWの位置、各ウェーハWの厚みのばらつき、及び検出信号の大きさに基づき検出エラーの発生の有無を判定してもよい。
14…ローダ部,
18…ロードポート,
20…カセット,
30…センシング装置,
32…検出センサ,
34…走査機構,
38A…発光部,
38B…受光部,
40…統括制御部,
42…記憶部,
44…標準速度情報,
46…最適速度情報,
50…ウェーハ検出部,
52…判定部,
54…走査制御部,
56…繰り返し制御部,
58…表示制御部
Claims (7)
- 複数のウェーハを第1方向に沿って間隔をあけて収容するカセット内の前記ウェーハを検出するウェーハ検出装置において、
前記ウェーハを検出する検出センサと、
前記検出センサを、前記カセット内の前記ウェーハごとのウェーハ収容位置に沿って前記第1方向に第1速度で走査する走査機構と、
前記第1方向に走査中の前記検出センサの検出結果に基づき、前記検出センサによる検出エラーの発生の有無を判定する判定部と、
前記判定部が前記検出エラーの発生有と判定した場合に、前記走査機構を制御して、前記検出センサを、予め定められた第2速度であって且つ前記判定部が前記検出エラーの発生の有無を誤判定する確率が前記第1速度よりも低い第2速度で前記第1方向に再走査する走査制御部と、
を備えるウェーハ検出装置。 - 前記検出センサによる前記ウェーハ収容位置ごとの前記ウェーハの検出結果に基づき、前記ウェーハ収容位置ごとの前記ウェーハの有無を検出する第1ウェーハ検出部を備える請求項1に記載のウェーハ検出装置。
- 前記検出センサによる前記ウェーハ収容位置ごとの前記ウェーハの検出結果に基づき、前記ウェーハ収容位置ごとの前記ウェーハの位置及び前記ウェーハの厚みのばらつきの少なくとも一方を検出する第2ウェーハ検出部を備える請求項1又は2に記載のウェーハ検出装置。
- 前記検出センサが、前記ウェーハごとの前記ウェーハ収容位置から前記第1方向に対して垂直な第2方向にシフトした位置に設けられており、
前記検出センサが、前記第1方向及び前記第2方向の双方に垂直な第3方向に向けて検査光を出射する発光部と、前記発光部に対して前記第3方向に間隔をあけて配置され且つ前記発光部から出射された前記検査光を受光する受光部と、を備え、
前記走査機構による前記検出センサの前記第1方向の走査に応じて、前記第3方向に平行な前記検査光が前記ウェーハごとの前記ウェーハ収容位置を通過する請求項1から3のいずれか1項に記載のウェーハ検出装置。 - 前記判定部が、前記第1方向に再走査中の前記検出センサの検出結果に基づき、前記検出エラーの発生の有無を再判定し、
前記判定部による再判定で前記検出エラーの発生有りと判定された場合に、前記走査制御部による前記検出センサの再走査と、前記判定部による再判定と、を繰り返し実行させる繰り返し制御を実行する繰り返し制御部を備え、
前記繰り返し制御部が、前記判定部が前記検出エラーの発生無と判定した場合、又は前記繰り返し制御を予め定められた指定回数だけ繰り返しても前記判定部が前記検出エラーの発生有と判定した場合に、前記繰り返し制御を停止する請求項1から4のいずれか1項に記載のウェーハ検出装置。 - 複数のウェーハを第1方向に沿って間隔をあけて収容するカセットが載置されるロードポートと、
前記ウェーハの電気的特性を検査する測定ユニットと、
前記測定ユニットと前記カセットとの間で前記ウェーハを搬送する搬送ユニットと、
請求項1から5のいずれか1項に記載のウェーハ検出装置と、
を備えるプローバ。 - 複数のウェーハを第1方向に沿って間隔をあけて収容するカセット内の前記ウェーハを検出するウェーハ検出方法において、
前記ウェーハを検出する検出センサを、前記カセット内の前記ウェーハごとのウェーハ収容位置に沿って前記第1方向に第1速度で走査する走査ステップと、
前記第1方向に走査中の前記検出センサの検出結果に基づき、前記検出センサによる検出エラーの発生の有無を判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記検出エラーの発生有と判定した場合に、前記検出センサを、予め定められた第2速度であって且つ前記判定ステップで前記検出エラーの発生の有無を誤判定する確率が前記第1速度よりも低い第2速度で前記第1方向に再走査する走査制御ステップと、
を有するウェーハ検出方法。
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