JP6446211B2 - 物品監視装置、搬送装置、熱処理装置、および、物品監視方法 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 88
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims description 45
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 50
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Control Of Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
(3)好ましくは、前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作していないと前記判定部が判定した場合、または、前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作したにもかかわらず前記物品が前記搬送部から前記所定の搬送先部材へ移し終えられていないと前記判定部が判定した場合に、前記搬送部の動作を停止させるように構成されている。
(4)好ましくは、前記搬送数計測部は、所定の条件が満たされることで前記搬送数を加算し、前記所定の条件は、前記搬送部が前記物品を搬送のために保持した後、前記搬送部において所定の搬送動作が完了した後に、前記搬送部に前記物品が無いことである。
2 筐体
3 搬送装置
5 制御部(物品監視装置)
9 ポート部
11 第1通路
12 第2通路
14 搬送部
15 昇降機構
21 搬送部本体
22 アーム部
32 チューブ(熱処理室)
37 ボート(搬送先部材)
51 収容数記憶部
52 搬送数計測部
53 判定部
80 キャリア
100 被処理物(物品)
A 収容数
B 搬送数
S1 軸線
Claims (10)
- 複数の物品が収容されたキャリアにおける前記物品の収容数を記憶する、収容数記憶部と、
所定の搬送部によって前記キャリアから搬送された前記物品の数としての搬送数を計測する、搬送数計測部と、
前記収容数と前記搬送数とを比較し、比較結果に基づく判定結果を生成する、判定部と、
を備え、
前記判定部は、さらに、前記搬送部が所定のプログラム通りに動作しているか否かを判定し、
前記判定部は、前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作し、且つ、前記物品が前記搬送部から前記物品の搬送先である所定の搬送先部材へ移し終えられたと判定したときに、前記搬送数を加算させることを特徴とする、物品監視装置。 - 請求項1に記載の物品監視装置であって、
前記判定部は、前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作していると判定した場合、前記物品が前記搬送部から前記物品の搬送先である所定の搬送先部材へ移し終えられたか否かを判定することを特徴とする、物品監視装置。 - 請求項2に記載の物品監視装置であって、
前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作していないと前記判定部が判定した場合、または、前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作したにもかかわらず前記物品が前記搬送部から前記所定の搬送先部材へ移し終えられていないと前記判定部が判定した場合に、前記搬送部の動作を停止させるように構成されていることを特徴とする、物品監視装置。 - 請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の物品監視装置であって、
前記搬送数計測部は、所定の条件が満たされることで前記搬送数を加算し、
前記所定の条件は、前記搬送部が前記物品を搬送のために保持した後、前記搬送部において所定の搬送動作が完了した後に、前記搬送部に前記物品が無いことであることを特徴とする、物品監視装置。 - 所定の物品を搬送するための搬送部と、
請求項1〜請求項4の何れか1項に記載の物品監視装置と、
を備えていることを特徴とする、搬送装置。 - 請求項5に記載の搬送装置であって、
前記キャリアが設置されるポート部をさらに備え、
前記ポート部は、当該ポート部への前記キャリアの出し入れの際に前記キャリアが通過する第1通路と、前記搬送部を用いた前記キャリアからの前記物品の出し入れの際に前記物品が通過する第2通路と、を有し、
前記第1通路と、前記第2通路と、前記搬送部は、隣接して配置されていることを特徴とする、搬送装置。 - 請求項5または請求項6に記載の搬送装置であって、
前記搬送部は、前記物品の搬送先である所定の搬送先部材に隣接して配置されていることを特徴とする、搬送装置。 - 請求項5〜請求項7の何れか1項に記載の搬送装置と、
前記物品の搬送先である所定の搬送先部材と、
を備え、
前記搬送先部材は、所定の熱処理が行われる際に前記物品を保持するように構成されていることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項8に記載の熱処理装置であって、
筐体と、
前記筐体に設けられ、前記キャリアが設置されるポート部と、
前記筐体に収容され前記物品の熱処理時に前記搬送先部材に保持された前記物品が収容される熱処理室と、
をさらに備え、
前記ポート部は、前記筐体の一側面側において前記筐体の上下方向および幅方向に複数の前記キャリアが並ぶように複数の前記キャリアを保持可能に構成され、
前記搬送部は、所定の昇降機構によって前記上下方向に変位可能な搬送部本体と、この搬送部本体に支持され前記上下方向に延びる軸線回りを旋回可能に、且つ、前記上下方向と直交する方向に伸縮可能で、前記物品を保持可能なアーム部と、を含み、
前記搬送先部材は、前記熱処理室の下方において前記搬送部からの前記物品を受け取るための受取位置と、この受取位置の上方において前記物品を前記熱処理室内に配置するための熱処理位置と、の間を前記上下方向に変位可能に構成され、
前記ポート部、前記搬送部、および、前記受取位置にあるときの前記搬送先部材は、並んで配置されていることを特徴とする、熱処理装置。 - 複数の物品が収容されたキャリアにおける前記物品の収容数を記憶する、収容数記憶ステップと、
所定の搬送部によって前記キャリアから搬送された前記物品の数としての搬送数を計測する、搬送数計測ステップと、
前記収容数と前記搬送数とを比較し、比較結果に基づく判定結果を生成する、判定ステップと、
を含み、
前記判定ステップでは、さらに、前記搬送部が所定のプログラム通りに動作しているか否かを判定し、
前記判定ステップでは、前記搬送部が前記所定のプログラム通りに動作し、且つ、前記物品が前記搬送部から前記物品の搬送先である所定の搬送先部材へ移し終えられたと判定したときに、前記搬送数を加算させることを特徴とする、物品監視方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014183069A JP6446211B2 (ja) | 2014-09-09 | 2014-09-09 | 物品監視装置、搬送装置、熱処理装置、および、物品監視方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014183069A JP6446211B2 (ja) | 2014-09-09 | 2014-09-09 | 物品監視装置、搬送装置、熱処理装置、および、物品監視方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018115007A Division JP6533854B2 (ja) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 物品監視装置、搬送装置、熱処理装置、および、物品監視方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016058511A JP2016058511A (ja) | 2016-04-21 |
JP6446211B2 true JP6446211B2 (ja) | 2018-12-26 |
Family
ID=55758844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014183069A Active JP6446211B2 (ja) | 2014-09-09 | 2014-09-09 | 物品監視装置、搬送装置、熱処理装置、および、物品監視方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6446211B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002270666A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置におけるカセット搬送システム |
JP2009135433A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-06-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2011009290A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハの処理方法、ウェーハの処理システム、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハの製造システム |
JP2014060338A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
-
2014
- 2014-09-09 JP JP2014183069A patent/JP6446211B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016058511A (ja) | 2016-04-21 |
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