JP6666046B2 - 画像処理装置および画像処理方法 - Google Patents
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Description
第1の実施形態では、最初に搬送される対象物を撮影して得られる画像を、その後搬送される複数の対象物に共通する基準画像として用いた。これに対し本実施形態では、複数の対象物のそれぞれについて、それ以前に撮影された画像を用いて基準画像を設定する。なお、本実施形態においても、図1で示した検査システムを用いるものとする。
本発明は、上記実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現することが可能である。
301 基準画像
302 検査対象画像
304 ワーク基準画像
305 ワーク検査画像
307 整列画像
P 対象物
Claims (16)
- 画像処理装置であって、
順番に撮影される複数の検査対象物のうちの一つの検査対象物を撮影することによって得られたワーク検査画像を取得する手段と、
前記一つの検査対象画像の検査に利用する、前記ワーク検査画像とは異なるワーク基準画像を前記ワーク検査画像の取得よりも前に取得する手段と、
前記ワーク検査画像の周辺に、前記ワーク基準画像を配置して、整列画像を生成する手段と、
前記整列画像に対して特異部を抽出するための特異部抽出処理を行う処理手段と
を備え、
前記処理手段は、前記複数の検査対象物のうちの一つの第1の検査対象物を撮影することで得られた第1のワーク検査画像に対する前記特異部抽出処理の後に、前記複数の対象物のうちの一つであり、前記第1の検査対象物と異なる第2の検査対象物を前記第1の検査対象物の次に、撮影することで得られた第2のワーク検査画像に対する前記特異部抽出処理を行い、その後に、前記複数の検査対象物のうちの一つであって、前記第1の検査対象物と前記第2の検査対象物の両方と異なる第3の検査対象物を前記第2の検査対象物の次に撮影することで得た第3のワーク検査画像に対する前記特異部抽出処理を行うことを特徴とする画像処理装置。 - 前記複数の対象物を撮影するための撮影手段を更に備え、
前記複数の検査対象物は、前記撮影手段によって撮影可能な位置を所定の速度で搬送されることを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 前記ワーク基準画像を取得する手段は、前記複数の検査対象物のうち、前記一つの検査対象物の撮影よりも以前に撮影された検査対象物の画像から前記ワーク基準画像を取得することを特徴とする請求項1または2に記載の画像処理装置。
- 前記ワーク基準画像は、前記複数の検査対象物のうち最初に撮影された検査対象物の画像であることを特徴とする請求項3に記載の画像処理装置。
- 前記ワーク基準画像を取得する手段は、前記複数の検査対象物のうちの任意の検査対象物の撮影で得た画像に基づく画像を、当該任意の検査対象物の次に撮影される検査対象物のワーク検査画像のためのワーク基準画像として取得することを特徴とする請求項1または2に記載の画像処理装置。
- 前記ワーク基準画像を取得する手段は、前記複数の検査対象物のうちの任意の検査対象物のワーク検査画像のためのワーク基準画像を、当該任意の検査対象物よりも前に撮影される複数の検査対象物の撮影で得た画像に基づいて取得することを特徴とする請求項1または2に記載の画像処理装置。
- 前記ワーク基準画像は、前記特異部抽出処理によって抽出するべき特異部の特徴に応じて変更されることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の画像処理装置。
- 前記特異部抽出処理は、
前記整列画像を所定の分割サイズおよび前記整列画像中の分割位置の位相に従って分割して得られる複数の分割領域のそれぞれについて平均化処理を行った後、前記分割サイズおよび前記整列画像中の分割位置の位相の少なくとも一方が互いに異なるような条件で得られた前記平均化処理の結果を加算する処理を行うことにより、前記検査対象物に存在する特異部を抽出する処理であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の画像処理装置。 - 画像処理方法であって、
検査の対象とする複数の検査対象物を順番に撮影する撮影工程と、
前記撮影工程で前記複数の検査対象物のうちの一つの検査対象物を撮影することによって得られたワーク検査画像を取得する工程と、
前記一つの検査対象画像の検査に利用する、前記ワーク検査画像と異なるワーク基準画像を前記ワーク検査画像の取得よりも前に取得する工程と、
前記ワーク検査画像の周辺に前記ワーク基準画像を配置して、整列画像を生成する工程と、
前記整列画像に対して特異部を抽出するための特異部抽出処理を行う処理工程と
を有し、
前記複数の検査対象物のうちの一つの第1の検査対象物を前記撮影工程で撮影することで得た第1のワーク検査画像を含む前記整列画像に対する前記処理工程の後に、前記複数の対象物のうちの一つであり、前記撮影工程において前記第1の検査対象物の次に、第1の検査対象物と異なる第2の検査対象物を撮影することで得た第2のワーク検査画像を含む前記整列画像に対する前記処理工程を行い、その後に、前記複数の検査対象物のうちの一つであって、前記撮影工程において前記第1の検査対象物と前記第2の検査対象物の両方と異なる第3の検査対象物を前記第2の検査対象物の次に撮影することで得た第3のワーク検査画像を含む前記整列画像に対する前記処理工程を行うことを特徴とする画像処理方法。 - 前記複数の検査対象物は、前記撮影工程によって撮影可能な位置を所定の速度で搬送されることを特徴とする請求項9に記載の画像処理方法。
- 前記ワーク基準画像は、前記複数の検査対象物のうち、前記処理工程を行う前記整列画像中のワーク検査画像のための撮影よりも以前に撮影された検査対象物の画像より取得されることを特徴とする請求項9または10に記載の画像処理方法。
- 前記ワーク基準画像は、前記撮影工程において前記複数の検査対象物のうち最初に撮影した対象物の画像であることを特徴とする請求項11に記載の画像処理方法。
- 前記撮影工程において前記第1の検査対象物を撮影することによって得た画像を、前記処理工程における前記整列画像を生成するために、前記第2のワーク検査画像の周辺に配置する前記ワーク基準画像とすることを特徴とする請求項9または10に記載の画像処理方法。
- 前記ワーク基準画像を取得する工程は、前記複数の検査対象物のうちの任意の検査対象物のワーク検査画像のためのワーク基準画像を、前記撮影工程において当該任意の検査対象物よりも前に撮影される複数の検査対象物の撮影で得た画像に基づいて取得することを特徴とする請求項9または10に記載の画像処理方法。
- 前記ワーク基準画像は、前記特異部抽出処理によって抽出するべき特異部の特徴に応じて変更されることを特徴とする請求項9から14のいずれか1項に記載の画像処理方法。
- 前記特異部抽出処理は、
前記整列画像を所定の分割サイズおよび位相に従って分割して得られる複数の分割領域のそれぞれについて平均化処理を行った後、前記分割サイズおよび位相の少なくとも一方が互いに異なるような条件で得られた前記平均化処理の結果を加算する処理を行うことにより、前記検査対象物に存在する特異部を抽出する処理であることを特徴とする請求項9から15のいずれか1項であることを特徴とする画像処理方法。
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Family Cites Families (37)
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---|---|---|---|---|
JP3657076B2 (ja) * | 1997-02-27 | 2005-06-08 | 宮崎沖電気株式会社 | ウエハのマクロ検査方法および自動ウエハマクロ検査装置 |
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JP3120767B2 (ja) * | 1998-01-16 | 2000-12-25 | 日本電気株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法及び外観検査プログラムを記録した記録媒体 |
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JP3492202B2 (ja) | 1998-06-24 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | 画像処理方法、装置および記録媒体 |
US6539106B1 (en) * | 1999-01-08 | 2003-03-25 | Applied Materials, Inc. | Feature-based defect detection |
JP4208333B2 (ja) | 1999-03-19 | 2009-01-14 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、画像処理システム、画像処理方法、及び記憶媒体 |
JP3927353B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2007-06-06 | 株式会社日立製作所 | 比較検査における画像の位置合せ方法、比較検査方法及び比較検査装置 |
US7432985B2 (en) | 2003-03-26 | 2008-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing method |
JP2005012685A (ja) | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Canon Inc | 画像処理方法、画像処理装置 |
US7349575B2 (en) * | 2003-06-27 | 2008-03-25 | Nippon Avionics Co., Ltd. | Pattern inspection method and apparatus, and pattern alignment method |
JP2006105791A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Nippon Steel Corp | 帯状体や柱状体の周期性疵検出方法およびその装置 |
US8103087B2 (en) * | 2006-01-20 | 2012-01-24 | Hitachi High-Technologies Corporation | Fault inspection method |
JP4926568B2 (ja) | 2006-06-29 | 2012-05-09 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、及び画像処理プログラム |
JP4637063B2 (ja) | 2006-07-04 | 2011-02-23 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法およびプログラム |
JP4632452B2 (ja) | 2006-07-07 | 2011-02-16 | キヤノン株式会社 | 画像補正処理装置、画像補正処理方法、プログラム及び記憶媒体 |
JP4199786B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2008-12-17 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | 試料検査装置、画像位置合わせ方法及びプログラム |
JP5174535B2 (ja) * | 2008-05-23 | 2013-04-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP5335501B2 (ja) | 2009-03-18 | 2013-11-06 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法およびプログラム |
JP5328505B2 (ja) | 2009-06-18 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
US8472076B2 (en) | 2009-08-05 | 2013-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Detecting and removing blur of a character by comparison with the original image after a thinning and fattening operation |
US9390490B2 (en) * | 2010-01-05 | 2016-07-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method and device for testing defect using SEM |
US8463016B2 (en) * | 2010-02-05 | 2013-06-11 | Luminescent Technologies, Inc. | Extending the field of view of a mask-inspection image |
JP5641782B2 (ja) | 2010-05-24 | 2014-12-17 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置及び画像処理方法 |
JP5821708B2 (ja) * | 2012-03-06 | 2015-11-24 | トヨタ自動車株式会社 | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
US8977035B2 (en) * | 2012-06-13 | 2015-03-10 | Applied Materials Israel, Ltd. | System, method and computer program product for detection of defects within inspection images |
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JP6286921B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2018-03-07 | 株式会社リコー | 画像検査装置、画像検査システム及び画像検査方法 |
JP2014062828A (ja) * | 2012-09-21 | 2014-04-10 | Renesas Electronics Corp | パターンマッチング方法および半導体装置の製造方法 |
US9088753B2 (en) | 2013-01-11 | 2015-07-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus, luminance correction method, and storage medium storing program |
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JP2016058637A (ja) | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | オーバーレイ計測方法、装置、および表示装置 |
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