JP2022047442A - 情報処理方法及び情報処理装置 - Google Patents
情報処理方法及び情報処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022047442A JP2022047442A JP2020153369A JP2020153369A JP2022047442A JP 2022047442 A JP2022047442 A JP 2022047442A JP 2020153369 A JP2020153369 A JP 2020153369A JP 2020153369 A JP2020153369 A JP 2020153369A JP 2022047442 A JP2022047442 A JP 2022047442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- trace
- distribution
- coordinate system
- size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010365 information processing Effects 0.000 title claims abstract description 32
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 131
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 109
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 51
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 17
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 58
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 16
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/0006—Industrial image inspection using a design-rule based approach
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
- G06T7/73—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods
- G06T7/74—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods involving reference images or patches
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/40—Extraction of image or video features
- G06V10/42—Global feature extraction by analysis of the whole pattern, e.g. using frequency domain transformations or autocorrelation
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/98—Detection or correction of errors, e.g. by rescanning the pattern or by human intervention; Evaluation of the quality of the acquired patterns
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/20—Special algorithmic details
- G06T2207/20076—Probabilistic image processing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30164—Workpiece; Machine component
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V2201/00—Indexing scheme relating to image or video recognition or understanding
- G06V2201/06—Recognition of objects for industrial automation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Economics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Marketing (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
[1.製造ラインの概要]
まず、図1を参照しながら、実施の形態に係る製造ライン2の概要について説明する。図1は、実施の形態に係る製造ライン2の概念を示す図である。
次に、図2を参照しながら、実施の形態に係る製造ライン2の全体の流れについて説明する。図2は、実施の形態に係る製造ライン2の全体の流れを示すフローチャートである。
次に、図3~図7を参照しながら、検査工程の流れについて詳細に説明する。図3は、図2のステップS104(検査工程)の内容を具体的に示すフローチャートである。図4は、検査工程においてカメラ20により撮影されたワーク4の画像32の一例を示す図である。図5は、図3のフローチャートのステップS1045の内容を説明するための図である。図6は、図3のフローチャートのステップS1050及びS1051の内容を説明するための図である。図7は、データベース24に格納された位置座標情報の一例を示す図である。
上述したように、本実施の形態では、絶対座標系分布の大きさと相対座標系分布の大きさとの差分が第1の所定値を超える場合には、解析用端末26は、痕跡に相当する特徴が加工工程においてワーク4の天面4aに形成された痕跡であると判定する。一方、絶対座標系分布の大きさと相対座標系分布の大きさとの差分が第1の所定値以下である場合には、解析用端末26は、痕跡に相当する特徴が検査工程における痕跡の誤検出であると判定する。
以上、一つ又は複数の態様に係る情報処理方法及び情報処理装置について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思い付く各種変形を実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つ又は複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
4 ワーク
4a 天面
6 第1の加工設備
8 第2の加工設備
10 第3の加工設備
12 第1の搬送装置
14 第1の加工装置
16,30 チャック
17 検査設備
18 搬送装置
20 カメラ
22 保存用サーバ
24 データベース
26 解析用端末
28 解析結果表示用ディスプレイ
32 画像
34 特徴
Claims (5)
- ワークを生産するための製造ラインに含まれる、加工工程によって加工が施された前記ワークを撮影することにより前記ワークの外観を検査する検査工程において、前記ワークの表面に形成された痕跡を検出するための情報処理方法であって、
(a)前記検査工程において撮影された画像に前記痕跡に相当する特徴が含まれている場合に、前記ワーク毎に、前記画像の視野を基準に定義された第1の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置を算出するステップと、
(b)前記画像に前記痕跡に相当する特徴が含まれている場合に、前記ワーク毎に、前記画像に記録された前記ワークの位置を基準に定義された第2の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置を算出するステップと、
(c)前記第1の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置の第1の分布の大きさと、前記第2の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置の第2の分布の大きさと、を算出するステップと、
(d)前記第1の分布の大きさと前記第2の分布の大きさとの差分が第1の所定値を超える場合に、前記痕跡に相当する特徴が前記加工工程において前記ワークの表面に形成された前記痕跡である旨を示す情報を出力し、前記第1の分布の大きさと前記第2の分布の大きさとの差分が前記第1の所定値以下である場合に、前記痕跡に相当する特徴が前記検査工程における前記痕跡の誤検出である旨を示す情報を出力するステップと、を含む
情報処理方法。 - 前記加工工程では、前記ワークを把持した状態で前記ワークに第1の加工を施す第1の加工設備が用いられ、
前記情報処理方法は、さらに、
(e)前記第2の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置と、前記第2の座標系における前記第1の加工設備による前記ワークの把持位置との差分である第1の差分を算出するステップを含み、
前記(d)において、前記第1の分布の大きさと前記第2の分布の大きさとの差分が前記第1の所定値を超え、且つ、前記第1の差分が第2の所定値以下である場合に、前記痕跡の発生要因が前記第1の加工設備による前記ワークの把持によるものである旨を示す情報を出力する
請求項1に記載の情報処理方法。 - 前記加工工程では、さらに、前記ワークを把持した状態で前記ワークに第2の加工を施す第2の加工設備が用いられ、
前記情報処理方法は、さらに、
(f)前記第2の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置と、前記第2の座標系における前記第2の加工設備による前記ワークの把持位置との差分である第2の差分を算出するステップを含み、
前記(d)において、前記第1の分布の大きさと前記第2の分布の大きさとの差分が前記第1の所定値を超え、且つ、前記第1の差分が前記第2の差分よりも小さく、且つ、前記第1の差分が前記第2の所定値以下である場合に、前記痕跡の発生要因が前記第1の加工設備による前記ワークの把持によるものである旨を示す情報を出力する
請求項2に記載の情報処理方法。 - 前記(c)において、前記第2の分布の大きさを算出した後に、前記第2の分布の大きさの算出結果を利用することにより前記第1の分布の大きさを算出する
請求項1~3のいずれか1項に記載の情報処理方法。 - ワークを生産するための製造ラインに含まれる、加工工程によって加工された前記ワークを撮影することにより前記ワークの外観を検査する検査工程において、前記ワークの表面に形成された痕跡を検出するための情報処理装置であって、
プロセッサと、
前記プロセッサによって実行可能なプログラムが記憶されたメモリと、を備え、
前記プロセッサは、前記メモリに記憶された前記プログラムを用いて、
前記検査工程において撮影された画像に前記痕跡に相当する特徴が含まれている場合に、前記ワーク毎に、前記画像の視野を基準に定義された第1の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置を算出し、
前記画像に前記痕跡に相当する特徴の位置が含まれている場合に、前記画像に記録された前記ワークの位置を基準に定義された第2の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置を算出し、
前記第1の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置の第1の分布の大きさと、前記第2の座標系における前記痕跡に相当する特徴の位置の第2の分布の大きさと、を算出し、
前記第1の分布の大きさと前記第2の分布の大きさとの差分が所定値を超える場合に、前記痕跡に相当する特徴が前記加工工程において前記ワークの表面に形成された前記痕跡である旨を示す情報を出力し、
前記第1の分布の大きさと前記第2の分布の大きさとの差分が前記所定値以下である場合に、前記痕跡に相当する特徴が前記検査工程における前記痕跡の誤検出である旨を示す情報を出力する
情報処理装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020153369A JP2022047442A (ja) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 情報処理方法及び情報処理装置 |
US17/395,966 US11836914B2 (en) | 2020-09-11 | 2021-08-06 | Information processing method and information processing device for detecting a trace formed on a surface of a workpiece |
CN202111053097.9A CN114255206A (zh) | 2020-09-11 | 2021-09-08 | 信息处理方法以及信息处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020153369A JP2022047442A (ja) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 情報処理方法及び情報処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022047442A true JP2022047442A (ja) | 2022-03-24 |
Family
ID=80626888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020153369A Pending JP2022047442A (ja) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 情報処理方法及び情報処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11836914B2 (ja) |
JP (1) | JP2022047442A (ja) |
CN (1) | CN114255206A (ja) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000269286A (ja) | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体基板の欠陥位置特定方法 |
US7072503B2 (en) * | 1999-05-04 | 2006-07-04 | Speedline Technologies, Inc. | Systems and methods for detecting defects in printed solder paste |
JP2001176941A (ja) | 1999-12-17 | 2001-06-29 | Seiko Epson Corp | 自動欠陥検出装置のウェハ座標認識方法 |
US6931149B2 (en) * | 2002-04-19 | 2005-08-16 | Norsk Elektro Optikk A/S | Pipeline internal inspection device and method |
JP3768174B2 (ja) * | 2002-07-24 | 2006-04-19 | ファナック株式会社 | ワーク取出し装置 |
JP3982428B2 (ja) * | 2002-09-04 | 2007-09-26 | 株式会社日立製作所 | 欠陥情報解析方法およびその装置 |
US6741941B2 (en) * | 2002-09-04 | 2004-05-25 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for analyzing defect information |
JP2005158780A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
EP1955225A4 (en) * | 2005-11-18 | 2009-11-04 | Kla Tencor Tech Corp | METHOD AND SYSTEMS FOR USE OF DESIGN DATA IN COMBINATION WITH TEST DATA |
JP2009025004A (ja) | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Nikon Corp | 平面基板検査装置および平面基板の検査方法 |
US8792705B2 (en) * | 2011-11-03 | 2014-07-29 | United Technologies Corporation | System and method for automated defect detection utilizing prior data |
US10290118B2 (en) * | 2015-08-06 | 2019-05-14 | Cognex Corporation | System and method for tying together machine vision coordinate spaces in a guided assembly environment |
JP6666046B2 (ja) * | 2016-04-25 | 2020-03-13 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
JP6955211B2 (ja) * | 2017-12-14 | 2021-10-27 | オムロン株式会社 | 識別装置、識別方法及びプログラム |
US11468590B2 (en) * | 2018-04-24 | 2022-10-11 | Cyberoptics Corporation | Wireless substrate-like teaching sensor for semiconductor processing |
JP7206892B2 (ja) * | 2018-12-20 | 2023-01-18 | 富士通株式会社 | 画像検査装置、画像検査のための学習方法および画像検査プログラム |
-
2020
- 2020-09-11 JP JP2020153369A patent/JP2022047442A/ja active Pending
-
2021
- 2021-08-06 US US17/395,966 patent/US11836914B2/en active Active
- 2021-09-08 CN CN202111053097.9A patent/CN114255206A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220084177A1 (en) | 2022-03-17 |
US11836914B2 (en) | 2023-12-05 |
CN114255206A (zh) | 2022-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2017032311A1 (zh) | 一种检测方法及装置 | |
TWI748242B (zh) | 掃描晶圓的系統及方法 | |
CN109727229B (zh) | 虚焊检测方法及装置 | |
CN113344931A (zh) | 一种插件视觉检测识别方法、可读存储介质及设备 | |
CN110766095A (zh) | 基于图像灰度特征的缺陷检测方法 | |
TWI765442B (zh) | 瑕疵等級判定的方法及存儲介質 | |
JP4931476B2 (ja) | 真円度を計測する手法に特長をもつ画像処理方法および画像処理装置 | |
WO2023029491A1 (zh) | 面板阵列短路检测方法、装置、电子设备及存储介质 | |
JP2004093338A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
CN108346592B (zh) | 一种模拟晶圆背面缺陷的方法及装置 | |
CN113469944A (zh) | 一种产品质检方法、装置和电子设备 | |
CN115719326A (zh) | Pcb板缺陷检测方法及装置 | |
JP2022047442A (ja) | 情報処理方法及び情報処理装置 | |
JP2014126445A (ja) | 位置合せ装置、欠陥検査装置、位置合せ方法、及び制御プログラム | |
JP5323457B2 (ja) | 観察条件決定支援装置および観察条件決定支援方法 | |
JP2002140713A (ja) | 画像処理方法およびその装置 | |
JP2008139262A (ja) | 欠陥検査方法およびその方法を用いた検査装置 | |
CN114708582B (zh) | 基于ai和rpa的电力数据智慧稽查方法及装置 | |
CN114846513A (zh) | 动作分析***和动作分析程序 | |
CN111633337B (zh) | 用于激光焊缝测量的消除反光方法及装置 | |
CN107123105A (zh) | 基于fast算法的图像匹配缺陷检测方法 | |
JP2023047003A (ja) | 機械学習システム、学習データ収集方法及び学習データ収集プログラム | |
JP2001099625A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP2017133868A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
CN111524097B (zh) | 一种两器喇叭口的检测方法、装置、存储介质及设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240402 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240611 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240709 |