JP6648574B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法について、ショットキーバリアダイオード(SBD:Schottky Barrier Diode)を作製(製造)する場合を例に説明する。図1〜図6は、実施の形態にかかるショットキーバリアダイオードの製造途中の状態を示す断面図である。
それぞれ作成した炭化珪素ショットキーバリアダイオードを有するウェハをダイシング後、ピックアップを行い、配線金属層の剥がれた面積と個数を100チップずつ比較した。比較例においてもピックアップ時に裏面電極全面が剥離することはなかったが、ダイシングライン周辺の配線金属層が2〜10%の面積で23個剥離が確認された。実施の形態においてはダイシングライン周辺の配線金属層が2%の面積で3個剥離が確認された。
2 n-型ドリフト層
3 n型領域
4 終端構造用のp型領域
5 FLR構造用のp型領域
6 オーミック電極
7 フィールド絶縁膜
8 ショットキー電極
9 アルミニウム−シリコン層
10 ポリイミド膜
11 配線金属層
Claims (4)
- 第1導電型の炭化珪素半導体基板のおもて面に、第1導電型の半導体領域を形成する工程と、
前記炭化珪素半導体基板の裏面を酸素またはアルゴンのプラズマに晒して清浄化する工程と、
前記炭化珪素半導体基板の裏面にニッケルからなる金属層を堆積する工程と、
前記金属層を熱処理することで、オーミック電極を形成する工程と、
を含み、前記清浄化する工程は、前記金属層を堆積する工程より前に行われ、
前記炭化珪素半導体基板の裏面を清浄化する工程は、前記炭化珪素半導体基板の裏面から、前記金属層を堆積する工程より前に生成された炭素または炭素を含む副生成物を逆スパッタにより取り除くことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記オーミック電極を形成する工程の後に、
前記オーミック電極の表面を酸素またはアルゴンのプラズマに晒して清浄化する工程と、
前記オーミック電極上に配線層を形成する工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記炭化珪素半導体基板の裏面を清浄化する工程は、前記金属層を堆積する工程より前に生成された炭素または炭素を含む副生成物の前記炭化珪素半導体基板の裏面におけるばらつきを3〜6%にすることを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記金属層を堆積する工程は、ニッケルからなる第一の金属膜を形成し、前記第一の金属膜上にモリブデン、タンタル、チタン、クロムの内の1種類以上からなる第二の金属膜を形成する工程であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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