JP6639175B2 - 乾燥装置及び乾燥処理方法 - Google Patents
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Description
底壁、側壁及び天壁を有し、基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を減圧下で除去して乾燥させる真空引き可能な処理容器と、
前記処理容器内で前記基板を支持する基板支持部と、
前記処理容器内を減圧排気する排気装置と、
前記基板支持部が前記基板を支持する高さ位置を可変に調節する制御部と、
を備えている。
そして、本発明の乾燥装置は、前記制御部が、前記処理容器の内部を減圧排気する過程で、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が第1の圧力に下がるまでの間は、前記基板支持部によって前記基板を第1の高さ位置に保持し、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が前記第1の圧力よりも低い第2の圧力以下では、前記基板を前記第1の高さ位置よりも下降させた第2の高さ位置に保持するように制御する。
そして、本発明の乾燥処理方法は、前記乾燥処理工程が、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が第1の圧力に下がるまでの間、前記基板支持部によって前記基板を第1の高さ位置に保持するステップと、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が前記第1の圧力よりも低い第2の圧力以下では、前記基板を前記第1の高さ位置よりも下降させた第2の高さ位置に保持するステップと、
を含んでいる。
前記第1の高さ位置は、前記基板の上面が、前記開口の上端よりも上方に保持される高さ位置であってもよく、
前記第2の高さ位置は、前記基板の上面が、前記天壁の下面から少なくとも150mm以上離れた位置であってもよい。
処理容器1は、真空引き可能な耐圧容器である。処理容器1は、金属材料によって形成されている。処理容器1を形成する材料としては、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス等が用いられる。処理容器1は、底壁11、角筒状をなす4つの側壁13及び天壁15を備えている。
処理容器1の内部には、基板Sを支持する基板支持部3が配備されている。図2及び図3に示すように、基板支持部3は、一列に並べて配置された複数の長尺な支持プレート4を有している。図2では、例えば9枚の支持プレート4A〜4Iを図示している。支持プレート4の上面には、複数のピン(図示省略)が設けられており、これらのピンによって基板Sが支持される。
本実施の形態の乾燥装置100は、さらに排気装置19を備えている。この排気装置19を駆動させることによって、処理容器1内を所定の真空度、例えば0.1Pa程度の圧力まで減圧排気できるように構成されている。排気装置19は、例えば、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ等の真空ポンプを有している。本実施の形態では、処理容器内の真空度に応じて、ドライポンプとターボ分子ポンプとを切替え可能に構成されている。なお、排気装置19は、乾燥装置100とは別の外部の装置であってもよい。
本実施の形態の乾燥装置100は、さらに、処理容器1内へガスを供給するガス供給装置27を備えている。処理容器1の天壁15には、ガス導入部15aが設けられている。ガス導入部15aには、ガス供給装置27が接続されている。ガス導入部15aは天壁15以外の位置、例えば側壁13などに設けてもよい。ガス供給装置27は、ガス導入部15aへガスを供給するガス供給源29と、ガス供給源29とガス導入部15aとを接続し、ガス導入部15aへガスを供給する一本又は複数本の配管31(1本のみ図示)を備えている。ガス導入部15aには、図示しないノズルやシャワーヘッドが設けられていてもよい。また、ガス供給装置27は、配管31の途中に、ガス流量を制御するマスフローコントローラ(MFC)33と、複数の開閉バルブ35(2つのみ図示)を備えている。ガス導入部15aから処理容器1内に導入されるガスの流量等は、マスフローコントローラ33および開閉バルブ35によって制御される。ガス供給源29から供給するガスとしては、例えば、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガス、ドライエアなどの置換用ガスなどを用いることが好ましい。なお、ガス供給装置27は、乾燥装置100とは別の外部の装置であってもよい。
本実施の形態の乾燥装置100は、さらに制御部50を備えている。乾燥装置100の各構成部は、それぞれ制御部50に接続されて、制御部50によって制御される。制御部50は、典型的にはコンピュータである。図4は、制御部50のハードウェア構成の一例を示している。制御部50は、主制御部101と、キーボード、マウス等の入力装置102と、プリンタ等の出力装置103と、表示装置104と、記憶装置105と、外部インターフェース106と、これらを互いに接続するバス107とを備えている。主制御部101は、CPU(中央処理装置)111、RAM(ランダムアクセスメモリ)112及びROM(リードオンリメモリ)113を有している。記憶装置105は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク装置または光ディスク装置である。また、記憶装置105は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体115に対して情報を記録し、また記録媒体115より情報を読み取るようになっている。記録媒体115は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリなどである。記録媒体115は、乾燥処理方法のレシピを記録した記録媒体であってもよい。
次に、図5〜図7を参照しながら、以上のように構成された乾燥装置100において行われる本発明の一実施の形態の乾燥処理方法について説明する。
次に、図8A,8B及び図9A,9Bを参照しながら、本発明の作用について説明する。上記のとおり、基板Sの搬入出の際には、ゲートバルブGVを開放するため、搬入出口13aから空気が処理容器1内に流入する。乾燥処理のため処理容器1内を減圧にしていくと、圧力の低下に伴い、断熱膨張によって大気開放時に流入した空気中の水分Wが凝集し、霧を発生させる。
有機EL素子の製造は、陽極と陰極との間に、EL層として、複数の有機機能膜を形成する。本実施の形態の乾燥装置100は、どのような積層構造の有機EL素子の製造にも適用できる。ここでは、EL層として、陽極側から陰極側へ向けて、正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層を有する有機EL素子を製造する場合を例に挙げて、乾燥装置100による具体的な処理を説明する。
Claims (8)
- 底壁、側壁及び天壁を有し、基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を減圧下で除去して乾燥させる真空引き可能な処理容器と、
前記処理容器内で前記基板を支持する基板支持部と、
前記処理容器内を減圧排気する排気装置と、
前記基板支持部が前記基板を支持する高さ位置を可変に調節する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記処理容器の内部を減圧排気する過程で、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が第1の圧力に下がるまでの前記有機材料膜中からの溶媒の揮発量が相対的に少ない間は、前記基板支持部によって前記基板を第1の高さ位置に保持し、前記処理容器内の水分を前記排気装置により排気させ、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が前記第1の圧力よりも低い第2の圧力以下に低下して前記有機材料膜中からの溶媒の揮発量が相対的に大きい状態に変化した後では、前記基板を前記第1の高さ位置よりも下降させた第2の高さ位置に保持し、前記有機材料膜中から揮発した溶媒を前記排気装置により排気させるように制御する乾燥装置。 - 前記第1の圧力が500Paであり、前記第2の圧力が3Paである請求項1に記載の乾燥装置。
- 前記側壁には、前記基板を外部の搬送装置から搬入するための開口が設けられており、
前記第1の高さ位置は、前記基板の上面が、前記開口の上端よりも上方に保持される高さ位置であり、
前記第2の高さ位置は、前記基板の上面が、前記天壁の下面から少なくとも150mm以上離れた位置である請求項1又は2に記載の乾燥装置。 - 前記有機材料膜が、有機EL素子の製造においてインクジェット印刷法によって前記基板上に塗布されたものである請求項1から3のいずれか1項に記載の乾燥装置。
- 底壁、側壁及び天壁を有し、真空引き可能な処理容器と、前記処理容器内で基板を支持する基板支持部と、前記処理容器内を減圧排気する排気装置と、を備えた乾燥装置を用いて前記基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を減圧下で除去して乾燥させる乾燥処理工程を含み、
前記乾燥処理工程が、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が第1の圧力に下がるまでの前記有機材料膜中からの溶媒の揮発量が相対的に少ない間、前記基板支持部によって前記基板を第1の高さ位置に保持するステップと、
少なくとも、前記処理容器内の圧力が前記第1の圧力よりも低い第2の圧力以下に低下して前記有機材料膜中からの溶媒の揮発量が相対的に大きい状態に変化した後では、前記基板を前記第1の高さ位置よりも下降させた第2の高さ位置に保持し、前記有機材料膜中から揮発した溶媒を前記排気装置により排気させるステップと、
を含む乾燥処理方法。 - 前記第1の圧力が500Paであり、前記第2の圧力が3Paである請求項5に記載の乾燥処理方法。
- 前記側壁には、前記基板を外部の搬送装置から搬入するための開口が設けられており、
前記第1の高さ位置は、前記基板の上面が、前記開口の上端よりも上方に保持される高さ位置であり、
前記第2の高さ位置は、前記基板の上面が、前記天壁の下面から少なくとも150mm以上離れた位置である請求項5又は6に記載の乾燥処理方法。 - 前記有機材料膜が、有機EL素子の製造においてインクジェット印刷法によって前記基板上に塗布されたものである請求項5から7のいずれか1項に記載の乾燥処理方法。
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