CN107676498B - 软烤设备的排气阀组件 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种软烤设备的排气阀组件，包括排气管、第一阀门及第一驱动，所述第一阀门在所述排气管的横截面上穿过所述排气管，所述第一驱动用于驱动所述第一阀门相对所述排气管移动，所述第一阀门包括一对挡板、主体和一对滑轨，所述一对挡板穿过所述排气管且固定至所述排气管，所述一对滑轨固定设置在所述主体的相对的两侧，所述一对滑轨分别与所述一对挡板滑动接触，以通过所述第一驱动带动所述主体和所述一对滑轨相对所述一对挡板滑动，以实现管路的开关。本发明提供的装置可以降低阀门在伸缩过程中的摩擦力，测底解决软烤时排气高压阀门报警的问题。

Description

软烤设备的排气阀组件

技术领域

本发明属于平板显示制造领域，具体涉及一种软烤设备的排气阀组件。

背景技术

光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一，主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上。光刻工艺的主要工艺流程有：表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。而软烤可以除去溶剂、增强黏附性、释放光刻胶膜内的应力、防止光刻胶污染设备，软烤工艺在整个光刻工艺流程中占据着重要的作用。但是在现有技术中软烤时排气装置每隔一段时间就会发出高压排气阀门开关异常的警报。这是由于在持续制备的过程中，软烤高压排气阀门频繁地开启与关闭，在开关过程中，阀门会与排气管道下部的橡胶皮垫之间相对滑动产生较大摩擦，摩擦力导致阀门偏移，使得排气阀门关闭与开启的时间延长，最终导致排气装置发出警报。

发明内容

鉴于此，本发明提供了一种软烤设备的排气阀组件，包括排气管、第一阀门及第一驱动，所述第一阀门在所述排气管的横截面上穿过所述排气管，所述第一驱动用于驱动所述第一阀门相对所述排气管移动，所述第一阀门包括一对挡板、主体和一对滑轨，所述一对挡板穿过所述排气管且固定至所述排气管，所述一对滑轨固定设置在所述主体的相对的两侧，所述一对滑轨分别与所述一对挡板滑动接触，以通过所述第一驱动带动所述主体和所述一对滑轨相对所述一对挡板滑动，以实现管路的开关。

其中，所述排气阀组件还包括第二阀门、第二驱动，所述第二阀门与所述第一阀门互相平行设置，所述第二阀门在所述排气管的横截面上穿过所述排气管，所述第二驱动用于驱动所述第二阀门相对所述排气管移动，所述第二阀门还包括设置于所述主体上的孔洞，所述孔洞用于排出杂质粒子。

其中，所述挡板包括挡板侧壁、基座，所述基座与所述挡板侧壁相连接，所述基座靠近所述主体的一侧。

其中，所述挡板还包括沟槽、固定件和滑槽，所述沟槽设置于所述挡板侧壁，所述固定件与所述沟槽和所述基座相连接，所述滑槽设置于所述挡板侧壁的相对的两侧，所述滑槽用于限制所述滑轨的位置并与所述滑轨滑动接触。

其中，所述滑轨包括滑动件、一对滚动件，所述滑动件固定设置在所述主体的侧面，所述一对滚动件夹设于所述基座的相对的两侧与所述滑动件之间。

其中，所述滑动件包括外滑动件、内滑动件、一对止位片，所述外滑动件与所述主体相连接，置于所述外滑动件内部的所述内滑动件，所述内滑动件和所述基座夹设有所述滚动件，所述一对止位片设置于所述外滑动件的两侧，所述一对止位片可沿着所述滑动件移动方向的垂直的方向进行移动或固定，所述止位片用于所述内滑动件进行滑动。

其中，所述外滑动件包括一对外滑动部，外滑动壁，所述一对外滑动部固定设置于所述外滑动壁的相对的两侧，所述一对外滑动部用于嵌入所述滑槽中进行滑动。

其中，所述内滑动件包括一对内滑动部，内滑动壁，所述一对内滑动部固定设置于所述内滑动壁的相对的两侧，所述一对内滑动部用于嵌入所述滑槽中进行滑动。

其中，所述内滑动壁还包括一凹槽，所述凹槽置于所述内滑动壁靠近所述主体的一侧，所述凹槽的开口方向朝向于所述主体，所述凹槽用于***述止位片。

其中，所述滚动件包括滚珠、滚轮或齿轮。

本发明提供了一种软烤设备的排气阀组件，利用可滑动的阀门，使阀门在伸缩过程中不与排气管道下部的橡胶皮垫发生摩擦，大大减小了摩擦力，因此可以使阀门的关闭时间与***设定的关闭时间一致，彻底解决软烤时排气高压阀门报警的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图进行说明。

图1为本发明实施例中第一阀门的侧视图；

图2为本发明实施例中挡板的结构示意图；

图3为本发明实施例中排气阀组件的主视图。

具体实施方式

以下所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一，主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上。光刻工艺的主要工艺流程有：表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。而软烤可以除去溶剂、增强黏附性、释放光刻胶膜内的应力、防止光刻胶污染设备，软烤工艺在整个光刻工艺流程中占据着重要的作用。现有技术中，软烤工艺的设备包括了软烤室，控制装置，气路装置和排气装置。在软烤工艺中排气装置通过控制排气阀门的开启与关闭来控制软烤室中气体的排出。

但是在现在的设备中软烤时排气装置每隔一段时间就会发出高压排气阀门开关异常的警报。这样就会使得炉内的样品需要重做，大大提升了成本与时间。而造成警报的原因就是因为在持续制备的过程中，软烤高压排气阀门频繁地开启与关闭。而在重力的作用下阀门会与管道下部的橡胶皮垫摩擦，而且由于阀门会与排气管道下部的橡胶皮垫摩擦，导致阀门向下倾斜，阀门水平度不佳，从而使得排气阀门关闭与开启的动作变得不顺畅，延长了阀门关闭的时间。对于上述问题，本发明实施方式提供了一种具有可滑动的阀门的用于软烤设备的排气阀组件。

请参阅图1－3可知，本发明实施方式提供的装置包括排气管1、第一阀门2及第一驱动4。具体地所述排气管1为圆柱体，在软烤过程中，气体和一些微小粒子可在所述排气管1中排出。所述第一阀门2在所述排气管1的横截面上穿过所述排气管1，所述第一驱动4连接在所述第一阀门2与所述排气管1之间，所述第一驱动4用于驱动所述第一阀门2相对所述排气管1移动。所述第一阀门2包括一对挡板23、主体21和一对滑轨22。所述一对挡板23穿过所述排气管1且固定至所述排气管1，所述一对滑轨22固定设置在所述主体21的相对的两侧，所述一对滑轨22分别与所述一对挡板23滑动接触，以通过所述第一驱动4带动所述主体21和所述一对滑轨22相对所述一对挡板23滑动，以实现管路的开关。优选地，所述主体21包括铁板、铜板、铝板，但不限于此。

其中，所述排气阀组件还包括第二阀门3、第二驱动5，所述第二阀门3与所述第一阀门2平行设置，所述第二阀门3在所述排气管1的横截面上穿过所述排气管1。所述第一阀门2在所述第二阀门3的上方或所述第二阀门3在所述第一阀门2的上方。所述第二驱动5连接在所述第二阀门3与所述排气管1之间，所述第二驱动5用于驱动所述第二阀门3相对所述排气管1移动，所述第二阀门3还包括设置于所述主体21上的孔洞，所述孔洞用于排出杂质粒子。

本发明实施方式提供的一种软烤设备的排气阀组件具有所述第一阀门2和所述第二阀门3两个阀门，由所述第一驱动4与所述第二驱动5来分别控制所述第一阀门2和所述第二阀门3进行开关操作。所述第一阀门2设有一对滑轨22，所述一对滑轨22分别与所述一对挡板23滑动接触，以通过所述第一驱动4带动所述主体21和所述一对滑轨22相对所述一对挡板23滑动。所述主体21与所述一对滑轨22的中部相连接，因此所述主体21在所述第一驱动4的控制下，在运动的过程中，所述主体21处于一种架空的状态，不会与所述排气管1下部的橡皮胶垫相接触，而且由于在运动过程中的摩擦是滚动摩擦与滑动摩擦相结合，大大减小了其摩擦力。而且，在制备过程中玻璃基板表面的光刻胶会挥发凝结在排气阀门上，此时，所述主体21与所述排气管1下部的橡皮胶垫互相接触，解决了光刻胶凝结在阀门上使开关过程中的摩擦力增加。使得阀门的开关时间与***预设的时间相同或者在***预设的时间误差范围内。

所述第二阀门3还包括设置于所述主体21上的孔洞(未在图上示出)。本装置由所述第一阀门2和所述第二阀门3来共同进行整体的气体开关操作。具体地，当排气装置处于空闲状态是，由所述第一驱动4和所述第二驱动5分别控制所述第一阀门2和所述第二阀门3中的所述铁板伸长并遮盖住整个所述排气管1，使所述排气管1处于封闭的状态。而当软烤设备处于开启状态时，在高压交换片时，由所述第一驱动4和所述第二驱动5分别控制所述第一阀门2和所述第二阀门3中的所述铁板收缩并拉出所述排气管1，使气体和微小粒子从所述排气管1中排出。当在制备过程中时，所述第一阀门2处于开启状态，而所述第二阀门3处于关闭状态，但是由于所述第二阀门3中的铁板上设有一所述孔洞，所述孔洞可以使微小粒子从所述孔洞中排出，但会阻挡大部分的气体从孔洞中排出。

其中，所述挡板23包括挡板侧壁231、基座234，所述基座234与所述挡板侧壁231相连接，所述基座234靠近所述主体21的一侧。

其中，所述挡板23还包括沟槽232、固定件235和滑槽233，所述沟槽232设置于所述挡板侧壁231，所述沟槽232用于使所述固定件235***并滑动。所述固定件235与所述沟槽232和所述基座234相连接，所述固定件235用于使所述基座234固定在所述挡板侧壁231，便于拆卸与安装。所述滑槽233设置于所述挡板侧壁231的相对的两侧，所述滑槽233用于限制所述滑轨22的位置并与所述滑轨22滑动接触。优选地，所述滑槽233为两对滑槽233，所述两对滑槽233分别设置于所述挡板侧壁231的相对的两侧。

其中，所述滑轨22包括滑动件222、一对滚动件221，所述滑动件222固定设置在所述主体21的侧面，所述一对滚动件221夹设于所述基座234的相对的两侧与所述滑动件222之间。由于所述滚动件221的滚动摩擦使所述滑动件222在滑动时摩擦力大大降低。

其中，所述滚动件221包括滚珠、滚轮或齿轮，但不限于此。

其中，所述第一驱动4包括第一连接杆41，驱动装置42、伸缩杆43和第二连接杆45，所述第一连接杆41，驱动装置42、伸缩杆43和第二连接杆45依次连接，所述第一连接杆41的一端连接在所述排气管1的一端，所述第二连接杆45的一端连接在所述第一阀门2中的主体21的一端。

具体地，所述第一连接杆41的一端固定在所述排气管1的一端，所述第一连接杆41的另一端与所述驱动装置42相连接，而驱动装置42可以由终端输入指令进而控制所述伸缩杆43来进行伸缩。所述第二连接杆45的一端与所述伸缩杆43的相连，所述第二连接杆45的另一端与所述第一阀门2中的所述主体21的一端相连。因此，当所述驱动装置42控制所述伸缩杆43进行伸缩操作时，所述第二连接杆45也会进行伸缩操作，所述第一阀门2中的主体21也会在所述第二连接杆45的力下，进行伸缩操作，来控制阀门的开关操作。

其中，所述驱动装置42为CDA驱动装置。

其中，所述紧固件44与所述伸缩杆43与所述第二连接杆45相连接，使所述伸缩杆43与所述第二连接杆45方便进行拆卸与安装。

其中，所述挡板侧壁231的两端各设有两个螺丝，用于固定和安装所述挡板侧壁231。

本发明一实施方式中，如图1所示，所述滑动件222包括外滑动件2221、内滑动件2222、一对止位片2223，所述外滑动件2221与所述主体21相连接，置于所述外滑动件2221内部的所述内滑动件2222，所述内滑动件2222和所述基座234夹设有所述滚动件221，所述一对止位片2223设置于所述外滑动件2221的两侧，优选地，所述一对止位片2223可沿着所述滑动件222移动方向的垂直的方向进行移动或固定，所述止位片2223用于所述内滑动件2222进行滑动。

具体地，当所述第二连接杆45在所述驱动装置42的控制下，使所述主体21进行伸缩，与所述主体21相连的外滑动件2221一起进行伸缩操作，当伸缩到一定距离时，所述外滑动件2221两侧的止位片2223与所述内滑动件2222相接触，进而带动所述内滑动件2222进行伸缩操作。因此，由于所述外滑动件2221、所述内滑动件2222、所述止位片2223的组合，使伸缩的长度达到了原本的两倍，大大节省了空间，增加了伸缩的长度。

其中，所述外滑动件2221包括一对外滑动部22211，外滑动壁22212，所述一对外滑动部22211固定设置于所述外滑动壁22212的相对的两侧，并相向弯折延伸。所述一对外滑动部22211用于嵌入所述滑槽233中进行滑动与固定。

其中，所述内滑动件2222包括一对内滑动部22221，内滑动壁22222，所述一对内滑动部22221固定设置于所述内滑动壁22222的相对的两侧，并相向弯折延伸。所述一对内滑动部22221用于嵌入所述滑槽233中进行滑动。具体地所述内滑动部22221，所述内滑动壁22222与所述基座234的一端形成一收容腔，使所述滚动件221置于其中进行滚动。所述内滑动部22221一方面用于固定在所述滑槽233中，另一方面用于形成侧壁，防止所述滚动件221掉落。

其中，所述内滑动壁22222还包括一凹槽22223，所述凹槽22223置于所述内滑动壁22222靠近所述主体21的一侧，所述凹槽22223的开口方向朝向于所述主体21，所述凹槽22223用于***述止位片2223。所述止位片2223可沿所述外滑动件2221移动方向的垂直方向移动到所述凹槽22223处，方便所述外滑动件2221与所述内滑动件2222进行安装于拆卸。

其中，如图2所示，所述挡板侧壁231的相对的两侧各设有两对滑槽233，所述滑槽233为L型结构，所述滑槽233的开口方向相背与所述。所述滑槽233和沟槽232不仅可用于固定所述基座234和所述滑动件222，还可使所述固定杆和所述滑动件222在其滑动。

以上对本发明实施例所提供的软烤设备的排气阀组件进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的结构及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (7)

1.一种软烤设备的排气阀组件，其特征在于，包括排气管、第一阀门及第一驱动，所述第一阀门在所述排气管的横截面上穿过所述排气管，所述第一驱动用于驱动所述第一阀门相对所述排气管移动，所述第一阀门包括一对挡板、主体和一对滑轨，所述一对挡板穿过所述排气管且固定至所述排气管，所述一对滑轨固定设置在所述主体的相对的两侧，所述一对滑轨分别与所述一对挡板滑动接触，以通过所述第一驱动带动所述主体和所述一对滑轨相对所述一对挡板滑动，以实现管路的开关，所述挡板包括挡板侧壁、基座，所述基座与所述挡板侧壁相连接，所述基座靠近所述主体的一侧；所述滑轨包括滑动件、一对滚动件，所述滑动件固定设置在所述主体的侧面，所述一对滚动件夹设于所述基座的相对的两侧与所述滑动件之间，所述滑动件包括外滑动件、内滑动件、一对止位片，所述外滑动件与所述主体相连接，置于所述外滑动件内部的所述内滑动件，所述内滑动件和所述基座夹设有所述滚动件，所述一对止位片设置于所述外滑动件的两侧，所述一对止位片可沿着所述滑动件移动方向的垂直的方向进行移动或固定，所述止位片用于所述内滑动件进行滑动。

2.如权利要求1所述的排气阀组件，其特征在于，所述排气阀组件还包括第二阀门、第二驱动，所述第二阀门与所述第一阀门互相平行设置，所述第二阀门在所述排气管的横截面上穿过所述排气管，所述第二驱动用于驱动所述第二阀门相对所述排气管移动，所述第二阀门还包括设置于所述主体上的孔洞，所述孔洞用于排出杂质粒子。

3.如权利要求1所述的排气阀组件，其特征在于，所述挡板还包括沟槽、固定件和滑槽，所述沟槽设置于所述挡板侧壁，所述固定件与所述沟槽和所述基座相连接，所述滑槽设置于所述挡板侧壁的相对的两侧，所述滑槽用于限制所述滑轨的位置并与所述滑轨滑动接触。

4.如权利要求3所述的排气阀组件，其特征在于，所述外滑动件包括一对外滑动部，外滑动壁，所述一对外滑动部固定设置于所述外滑动壁的相对的两侧，所述一对外滑动部用于嵌入所述滑槽中进行滑动。

5.如权利要求3所述的排气阀组件，其特征在于，所述内滑动件包括一对内滑动部，内滑动壁，所述一对内滑动部固定设置于所述内滑动壁的相对的两侧，所述一对内滑动部用于嵌入所述滑槽中进行滑动。

6.如权利要求5所述的排气阀组件，其特征在于，所述内滑动壁还包括一凹槽，所述凹槽置于所述内滑动壁靠近所述主体的一侧，所述凹槽的开口方向朝向于所述主体，所述凹槽用于***述止位片。

7.如权利要求1所述的排气阀组件，其特征在于，所述滚动件包括滚珠、滚轮或齿轮。