JP2013161946A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被処理基板をステージに対して搬入出する際、基板を安定して保持し、基板の位置ずれを防止することのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】被処理基板Gを載置可能なステージ11と、前記ステージの周囲に昇降可能に設けられ、上昇位置において前記ステージの上方に突出して前記被処理基板の周縁部を支持する複数の支持ピン16と、前記複数の支持ピンを昇降移動させる支持ピン昇降手段17とを備え、前記複数の支持ピンの上昇位置において、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側にそれぞれ設けられた前記複数の支持ピンは、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように配置されている。
【選択図】図8
【解決手段】被処理基板Gを載置可能なステージ11と、前記ステージの周囲に昇降可能に設けられ、上昇位置において前記ステージの上方に突出して前記被処理基板の周縁部を支持する複数の支持ピン16と、前記複数の支持ピンを昇降移動させる支持ピン昇降手段17とを備え、前記複数の支持ピンの上昇位置において、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側にそれぞれ設けられた前記複数の支持ピンは、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように配置されている。
【選択図】図8
Description
本発明は、基板処理装置及び基板処理方法に関し、例えば、処理液が塗布された被処理基板をステージ上に載置し、前記基板に対して所定の処理を施す基板処理装置及び基板処理方法に関する。
例えばFPD(フラット・パネル・ディスプレイ)の製造においては、ガラス基板等の被処理基板に所定の膜を成膜した後、処理液であるフォトレジスト(以下、レジストと呼ぶ)を塗布してレジスト膜を形成し、回路パターンに対応してレジスト膜を露光し、これを現像処理するという、いわゆるフォトリソグラフィ工程により回路パターンを形成している。
前記レジスト膜の形成工程において、基板へのレジスト塗布後、減圧により塗布膜を乾燥させる減圧乾燥処理が行われる。
従来、このような減圧乾燥処理を行う装置としては、例えば図12に示す特許文献1に開示の減圧乾燥ユニットが知られている。
前記レジスト膜の形成工程において、基板へのレジスト塗布後、減圧により塗布膜を乾燥させる減圧乾燥処理が行われる。
従来、このような減圧乾燥処理を行う装置としては、例えば図12に示す特許文献1に開示の減圧乾燥ユニットが知られている。
図12に示す減圧乾燥ユニット50は、下部チャンバ51に対して、上部チャンバ52を閉じることにより、内部に処理空間が形成されるように構成されている。その処理空間には、被処理基板を載置するためのステージ53が設けられている。また、ステージ53には基板Gを載置するための複数の固定ピン54が設けられている。
この減圧乾燥処理ユニット50においては、被処理面にレジスト塗布された基板Gが搬入されると、基板Gはステージ53上に固定ピン54を介して載置される。
次いで下部チャンバ51に対して上部チャンバ52を閉じることにより、基板Gは気密状態の処理空間内に置かれた状態となる。
この減圧乾燥処理ユニット50においては、被処理面にレジスト塗布された基板Gが搬入されると、基板Gはステージ53上に固定ピン54を介して載置される。
次いで下部チャンバ51に対して上部チャンバ52を閉じることにより、基板Gは気密状態の処理空間内に置かれた状態となる。
次いで、処理空間内の雰囲気が排気口55から排気され、所定の減圧雰囲気となされる。この減圧状態が所定時間、維持されることにより、レジスト液中のシンナー等の溶剤がある程度蒸発され、レジスト液中の溶剤が徐々に放出され、レジストに悪影響を与えることなくレジストの乾燥が促進される。
尚、前記のような減圧乾燥ユニット50にあっては、固定ピン54を介しても基板Gとステージ53との間に殆ど隙間はないため、搬送ロボットアーム(図示せず)により基板Gをステージ53上に直接載置することが困難である。そのため、図13(a)に示すようにステージ53に対して昇降可能な複数の支持ピン56が設けられている。そして、基板Gをステージ53上に載置する際には、基板Gは上昇位置に配置された複数の支持ピン56上に一時的に載置される。そして、図13(b)に示すように前記支持ピン56が下降移動することにより、基板Gが支持ピン56からステージ53上に引き渡され、ステージ53に載置されることになる。
ところで、前記減圧乾燥ユニット50において、前記固定ピン54や支持ピン56が基板の画素形成領域内にあると、前記ピンとの接触跡がレジスト膜に転写する虞があるため、それらピンは前記画素形成領域外である基板周縁部を支持することが好ましい。
しかしながら、近年では基板Gが大型化かつ薄型化されているため、前記基板Gをステージ53に載置する際に複数の支持ピン56により基板周縁部を支持すると、基板Gを安定して保持できないという課題があった。即ち、図14(a)に示すように複数の支持ピン56により基板周縁部を支持すると、基板中央部Gaが自重で下方に下がり、その影響により基板周縁部が湾曲し、基板縁部が支持ピン56から浮く箇所60が生じることがあった。
また、前記のように基板縁部と支持ピン56とが接触しない箇所60は、基板Gを搬送ロボットアーム(図示せず)から支持ピン56上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピン56が基板Gに接触する順番の違い等)により基板毎に異なることがあった(図14(b)参照)。具体的に説明すると、基板Gの周縁部を支持ピン56により支持した際に、基板Gによって、図14(a)に示す形状に湾曲する場合と図14(b)に示す形状に湾曲する場合とがあった。即ち、枚葉処理される複数の基板Gがそれぞれ異なる湾曲形状を呈し、ステージ53上に基板Gを載置すると所定位置からずれる基板Gの位置ずれが頻繁に生じるという課題があった。
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、被処理基板をステージ上に載置し、前記基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、前記基板をステージに対して搬入出する際、基板を安定して保持し、基板の位置ずれを防止することのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
前記した課題を解決するために、本発明に係る基板処理装置は、被処理基板をステージ上に載置し、前記被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、前記被処理基板を載置可能な前記ステージと、前記ステージの周囲に昇降可能に設けられ、上昇位置において前記ステージの上方に突出して前記被処理基板の周縁部を支持する複数の支持ピンと、前記複数の支持ピンを昇降移動させる支持ピン昇降手段とを備え、前記複数の支持ピンの上昇位置において、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側にそれぞれ設けられた前記複数の支持ピンは、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように配置されていることに特徴を有する。
尚、前記複数の支持ピンは、互いに高さの異なる第1の支持ピンと第2の支持ピンとを有し、前記第1の支持ピンと前記第2の支持ピンとが、前記ステージの辺に沿って交互に配置されていることが望ましい。
尚、前記複数の支持ピンは、互いに高さの異なる第1の支持ピンと第2の支持ピンとを有し、前記第1の支持ピンと前記第2の支持ピンとが、前記ステージの辺に沿って交互に配置されていることが望ましい。
また、本発明に係る基板処理装置は、被処理基板をステージ上に載置し、前記被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、前記被処理基板を載置可能な前記ステージと、前記ステージの周囲に昇降可能に設けられ、上昇位置において前記ステージの上方に突出して前記被処理基板の周縁部を支持する複数の支持ピンと、前記複数の支持ピンをそれぞれ昇降移動させ、上昇位置において前記複数の支持ピンの間で支持位置の高さに高低差を形成する支持ピン高低差形成手段とを備え、前記支持ピン高低差形成手段が、前記複数の支持ピンの間で、上昇距離に差異を持たせることにより、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側にそれぞれ設けられた前記複数の支持ピンは、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように構成してもよい。
このように構成することにより、前記複数の支持ピンにより被処理基板の周縁部を支持した際、基板中央部が自重により下がっても、基板周縁部は不安定な状態とならず、基板は一定の湾曲形状を維持することができる。
即ち、基板を前記支持ピン上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピンが基板に接触する順番の違い等)に拘わらず、枚葉処理される基板を所定形状に一様に湾曲させた状態で保持することができ、ステージ上に基板を載置する際の位置ずれを防止することができる。
また、前記支持ピンは、基板の画素形成領域の外側の基板周縁部を支持するため、前記ピンとの接触跡に起因するレジスト膜への転写を防止することができる。
即ち、基板を前記支持ピン上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピンが基板に接触する順番の違い等)に拘わらず、枚葉処理される基板を所定形状に一様に湾曲させた状態で保持することができ、ステージ上に基板を載置する際の位置ずれを防止することができる。
また、前記支持ピンは、基板の画素形成領域の外側の基板周縁部を支持するため、前記ピンとの接触跡に起因するレジスト膜への転写を防止することができる。
また、前記支持ピンの上端には前記被処理基板に吸着可能な吸着パッドが設けられていることが望ましく、その場合、前記吸着パッドに連通する吸引手段を備えていてもよい。
このように支持ピンの上端に吸着パッドを設けることにより、基板周縁部を確実に保持し、基板周縁部を所定形状に湾曲させることができる。
このように支持ピンの上端に吸着パッドを設けることにより、基板周縁部を確実に保持し、基板周縁部を所定形状に湾曲させることができる。
また、前記支持ピンは、前記被処理基板の隅部を除く該基板の周縁部を、下方から支持可能に設けられていることが望ましい。
このように隅部(角部)は支持ピンにより支持されない構成とすることにより、基板の辺縁部における変形(湾曲)の自由度が制約を受けることがない。
このように隅部(角部)は支持ピンにより支持されない構成とすることにより、基板の辺縁部における変形(湾曲)の自由度が制約を受けることがない。
また、前記ステージの周縁部には、前記被処理基板が載置された際に該基板の周縁部を支持する複数の固定ピンが設けられ、前記支持ピン昇降手段が前記基板を支持した前記複数の支持ピンを下降移動させることにより前記基板は前記固定ピンを介して前記ステージ上に載置されることが望ましい。
このようにステージの周縁部に固定ピンを設けることにより、基板をステージに載置した際の位置ずれを防止することができる。
このようにステージの周縁部に固定ピンを設けることにより、基板をステージに載置した際の位置ずれを防止することができる。
また、前記した課題を解決するために、本発明に係る基板処理方法は、被処理基板をステージ上に載置し、前記被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理方法において、前記ステージの周囲に沿って昇降可能に設けられ、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側においては、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように配置された複数の支持ピンを、前記ステージの上方に突出するよう上昇移動させるステップと、前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップと、前記複数の支持ピンを下降移動させ、前記ステージ上に前記被処理基板を載置するステップとを実行することに特徴を有する。
このような方法によれば、前記複数の支持ピンにより被処理基板の周縁部を支持した際、基板中央部が自重により下がっても、基板周縁部は不安定な状態とならず、基板は一定の湾曲形状を維持することができる。
即ち、基板を前記支持ピン上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピンが基板に接触する順番の違い等)に拘わらず、枚葉処理される基板を所定形状に一様に湾曲させた状態で保持することができ、ステージ上に基板を載置する際の位置ずれを防止することができる。
また、前記支持ピンは、基板の画素形成領域の外側の基板周縁部を支持するため、前記ピンとの接触跡に起因するレジスト膜への転写を防止することができる。
即ち、基板を前記支持ピン上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピンが基板に接触する順番の違い等)に拘わらず、枚葉処理される基板を所定形状に一様に湾曲させた状態で保持することができ、ステージ上に基板を載置する際の位置ずれを防止することができる。
また、前記支持ピンは、基板の画素形成領域の外側の基板周縁部を支持するため、前記ピンとの接触跡に起因するレジスト膜への転写を防止することができる。
また、前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップにおいて、前記支持ピンの上端に設けられた吸着パッドにより基板面を吸着することが望ましい。
このように支持ピンの上端に設けられた吸着パッドで基板面を吸着することにより、基板周縁部を確実に保持し、基板周縁部を所定形状に湾曲させることができる。
このように支持ピンの上端に設けられた吸着パッドで基板面を吸着することにより、基板周縁部を確実に保持し、基板周縁部を所定形状に湾曲させることができる。
また、前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップにおいて、前記ステージの辺に沿って交互に配置された互いに高さの異なる前記第1の支持ピンと前記第2の支持ピンとにより、前記被処理基板の周縁部を下方から支持することが望ましい。
このようにすることにより、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるようにすることができる。
このようにすることにより、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるようにすることができる。
また、前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップにおいて、前記被処理基板の隅部を除く該基板の周縁部を下方から支持することが望ましい。
このように隅部(角部)は支持ピンにより支持しないことにより、基板の辺縁部における変形(湾曲)の自由度が制約を受けることがない。
このように隅部(角部)は支持ピンにより支持しないことにより、基板の辺縁部における変形(湾曲)の自由度が制約を受けることがない。
また、前記複数の支持ピンを下降移動させ、前記ステージ上に前記被処理基板を載置するステップにおいて、前記ステージの周縁部に設けられた複数の固定ピンにより前記被処理基板の周縁部を支持することが望ましい。
このようにステージの周縁部に設けられた固定ピンを介して基板を載置することにより、基板をステージに載置した際の位置ずれを防止することができる。
このようにステージの周縁部に設けられた固定ピンを介して基板を載置することにより、基板をステージに載置した際の位置ずれを防止することができる。
本発明によれば、被処理基板をステージ上に載置し、前記基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、前記基板をステージに対して搬入出する際、基板を安定して保持し、基板の位置ずれを防止することのできる基板処理装置及び基板処理方法を得ることができる。
以下、本発明にかかる一実施の形態につき、図面に基づいて説明する。尚、本発明の基板処理装置及び基板処理方法は、例えば、フォトリソグラフィ工程において被処理基板であるガラス基板に、塗布膜であるレジスト膜を形成する塗布プロセス部内の減圧乾燥ユニットに適用することができる。
図1は、本発明に係る基板処理装置としての減圧乾燥ユニットを備える塗布プロセス部の平面図であり、図2は、図1の塗布プロセス部の側面図である。
図1、図2に示すように、塗布プロセス部1は、支持台2の上に、ノズル3を有するレジスト塗布ユニット4と、ガラス基板Gに塗布されたレジスト液を減圧乾燥する減圧乾燥ユニット5とが処理工程の順序に従い横一列(X方向)に配置されている。支持台2の左右両側には一対のガイドレール6が敷設され、このガイドレール6に沿って平行移動する一組の搬送アーム7により、基板Gがレジスト塗布ユニット4から減圧乾燥ユニット5へ搬送されるようになされている。
図1、図2に示すように、塗布プロセス部1は、支持台2の上に、ノズル3を有するレジスト塗布ユニット4と、ガラス基板Gに塗布されたレジスト液を減圧乾燥する減圧乾燥ユニット5とが処理工程の順序に従い横一列(X方向)に配置されている。支持台2の左右両側には一対のガイドレール6が敷設され、このガイドレール6に沿って平行移動する一組の搬送アーム7により、基板Gがレジスト塗布ユニット4から減圧乾燥ユニット5へ搬送されるようになされている。
前記レジスト塗布ユニット4は、前記したようにノズル3を有し、このノズル3は支持台2上に固定されたゲート8から懸垂状態で固定され、基板幅方向(Y方向)に長いスリット状の吐出口(図示せず)を有している。このノズル3にはレジスト液供給手段(図示せず)から処理液であるレジスト液Rが供給され、搬送アーム7によってゲート8の下を通過移動する基板Gの一端から他端にわたりレジスト液Rを塗布するようになされている。
また、減圧乾燥ユニット5は、板状のステージ11を支持する下部チャンバ9と、この下部チャンバ9の上面に気密に密着可能に構成された蓋状の上部チャンバ10とを有している。
図1に示すように下部チャンバ9は略四角形で、中心部には基板Gを水平に載置して保持するための前記ステージ11が配置されている。
前記上部チャンバ10は、上部チャンバ移動手段12によって前記ステージ11の上方にZ方向に沿って昇降自在に配置されており、減圧乾燥処理の際には上部チャンバ10が下降して下部チャンバ9と密着して閉じ、ステージ11上に載置された基板Gを処理空間に収容した状態とされる。
図1に示すように下部チャンバ9は略四角形で、中心部には基板Gを水平に載置して保持するための前記ステージ11が配置されている。
前記上部チャンバ10は、上部チャンバ移動手段12によって前記ステージ11の上方にZ方向に沿って昇降自在に配置されており、減圧乾燥処理の際には上部チャンバ10が下降して下部チャンバ9と密着して閉じ、ステージ11上に載置された基板Gを処理空間に収容した状態とされる。
また、図1,図2に示すように、基板Gの周囲には複数(図では6箇所)の排気口13が設けられている。各排気口13には排気管14が接続され、各排気管14は真空ポンプ15に通じている。そして、下部チャンバ9に前記上部チャンバ10を被せた状態で、チャンバ内の処理空間を前記真空ポンプ15により所定の真空度まで減圧できるようになっている。
また、前記ステージ11の周囲には、複数の支持ピン16が昇降可能に設けられ、図2に示すように、それらはステージ下方に設けられたピン昇降駆動部17(支持ピン昇降手段)により昇降駆動されるようになっている。
また、前記ステージ11の周囲には、複数の支持ピン16が昇降可能に設けられ、図2に示すように、それらはステージ下方に設けられたピン昇降駆動部17(支持ピン昇降手段)により昇降駆動されるようになっている。
前記減圧乾燥ユニット5について、図3乃至図5を用いてさらに詳しく説明する。図3は、減圧乾燥ユニット5の平面図、図4は、減圧乾燥ユニット5の短手方向の側面図、図5は、減圧乾燥ユニット5の長手方向の側面図である。
図3に示すように、ステージ11は、その周縁部が基板Gの周縁部より内側に位置するように形成されている。これは、基板Gにおける画素形成領域20の外側の縁部を、ステージ11の周囲に配置された複数の支持ピン16によって支持可能にするためである。尚、図6の拡大図に示すように、ステージ11の縁部には所定間隔を空けて縦溝状に複数の凹部11aが設けられ、この凹部11a内に支持ピン16が配置されている。
また、図7の拡大図に示すように、支持ピン16の先端には、基板Gの下面と接触する吸着パッド18が設けられ、基板Gとの接触性が向上するように構成されている。吸着パッド18は、可撓性を有する材質(エストラマー等)により形成されている。また、この吸着パッド18には、真空ポンプ21(吸引手段)が接続され、基板面に対して真空吸着することも可能な構成となされている。
また、前記のように支持ピン16は、昇降可能に設けられるが、少なくとも基板Gを支持する状態となる上昇位置において、ステージ11の長手方向に沿って配列された複数の支持ピンの支持位置の高さを凹凸状とすることにより、基板Gの周縁部を強制的に所定形状に湾曲させるようになされる。
具体的には、図4に示すようにステージ11の短辺側では、全て同じピン高さを有する支持ピン16A(第1の支持ピン)が配列され、図5に示すようにステージ11の長辺側では、前記支持ピンAと、それよりも高さの高い支持ピン16B(第2の支持ピン)とが交互に配列される。
具体的には、図4に示すようにステージ11の短辺側では、全て同じピン高さを有する支持ピン16A(第1の支持ピン)が配列され、図5に示すようにステージ11の長辺側では、前記支持ピンAと、それよりも高さの高い支持ピン16B(第2の支持ピン)とが交互に配列される。
尚、図3に示すようにステージ11の長手方向(X方向)の対向する一対の辺側において、前記支持ピン16Aと支持ピン16Bの配置順は一致しており、それにより基板Gの周縁部を左右対称な湾曲形状とすることができる
また、支持ピン16Aと支持ピン16Bとの高低差、支持ピン16Aと支持ピン16Bとの配置間隔、それら支持ピン16A,16Bの基板端面からの支持位置などは、予めシミュレーションなどにより求められた値に従い設定されている。
また、ステージ11の四隅部(角部)には支持ピン16は配置されず、基板Gの四隅部は支持ピン16により支持されないようになされている。これは、基板Gの隅部を支持すると、基板Gの辺縁部における変形(湾曲)の自由度が制約を受けるためである。
また、支持ピン16Aと支持ピン16Bとの高低差、支持ピン16Aと支持ピン16Bとの配置間隔、それら支持ピン16A,16Bの基板端面からの支持位置などは、予めシミュレーションなどにより求められた値に従い設定されている。
また、ステージ11の四隅部(角部)には支持ピン16は配置されず、基板Gの四隅部は支持ピン16により支持されないようになされている。これは、基板Gの隅部を支持すると、基板Gの辺縁部における変形(湾曲)の自由度が制約を受けるためである。
支持ピン16A、16Bは、その下端部が、水平方向に延びる第1フレーム30に支持され、第1フレーム30がピン昇降駆動部17によって昇降移動するように構成されている。前記ピン昇降駆動部17は、例えばピストン軸部17aとそれを昇降移動させるシリンダ部17bとからなり、シリンダ部17bは水平方向に架設された第2フレーム31に保持されている。
この構成により、図8に示すようにシリンダ部17bに対してピストン軸部17aが上昇されると、第1フレーム30に支持された支持ピン16が下部チャンバ9及びステージ11に対して上昇し、基板受け取り可能な状態となるようになっている。このとき、ステージ11の長手方向において支持位置の高さの異なる支持ピン16Aと支持ピン16Bとが交互に配置されているため、それらに基板Gが支持されると、その周縁部は波状に湾曲される。このようにするのは、支持ピン16により基板周縁部を支持した際、基板中央部が自重で下がっても基板周縁部を意図的に所定形状に湾曲させることで安定させ、基板Gをステージ11上の定位置に確実に載置するためである。
一方、図9に示すようにピン昇降駆動部17のピストン軸部17aが下降されると、第1フレーム30に支持された支持ピン16が下降し、その上端がステージ11よりも下方に位置するようになっている。これにより、複数の支持ピン16により基板Gを支持した状態から、支持ピン16を下降させた際、基板Gを支持ピン16からステージ11に引き渡し、基板Gをステージ11に載置することができる。
また、この減圧乾燥ユニット5にあっては、図6,図7に示すように、ステージ11上に、微少な高さ(例えば4mm)を有する固定ピン19が複数設けられている。
これら複数の固定ピン19が設けられることにより、基板Gがステージ11に載置された際に、基板Gがステージ面に沿って滑ることがなく、基板Gを所定の位置に載置することができる。
これら複数の固定ピン19が設けられることにより、基板Gがステージ11に載置された際に、基板Gがステージ面に沿って滑ることがなく、基板Gを所定の位置に載置することができる。
続いて、このように構成された塗布プロセス部1の動作について図10,図11に基づき説明する。図10は、塗布プロセス部1の一連の動作の流れを示すフローであり、図11は、減圧乾燥ユニット5における基板搬入動作の流れを示す断面図である。
先ず、基板Gが搬入され搬送アーム7上に載置されると、搬送アーム7はレール6上を移動し、レジスト塗布ユニット4のゲート8下を通過移動する。その際、ゲート8に固定されたノズル3からは、その下を移動する基板Gに対しレジスト液Rが吐出され、基板Gの一辺から他辺に向かってレジスト液Rが塗布される(図10のステップS1)。
また、レジスト液が基板Gの全面にわたり塗布された時点(塗布終了位置)において、図11(a)に示すように基板Gは減圧乾燥ユニット5に搬入され、下部チャンバ9の上方に配置される(図10のステップS2)。
また、レジスト液が基板Gの全面にわたり塗布された時点(塗布終了位置)において、図11(a)に示すように基板Gは減圧乾燥ユニット5に搬入され、下部チャンバ9の上方に配置される(図10のステップS2)。
次いで、ピン昇降駆動部17の駆動により支持ピン16(支持ピン16A,16B)が上昇移動され、支持ピン16により基板Gの周縁部が支持される(図10のステップS3)。また、支持ピン16により基板Gが支持されると、搬送アーム7は基板Gから離れ、減圧乾燥ユニット5から退出する。
ここで、基板Gの長手方向の周縁部においては、交互に配置された支持位置高さの異なる支持ピン16A,16Bによって支持されるため、図11(b)に示すように波状に湾曲する形状となる。また、支持ピン16A,16Bは基板周縁部を支持するため、基板中央部が自重により下がるが、基板周縁部は強制的に所定形状に湾曲されるため、基板Gは不安定な形状とならず、一定の湾曲形状を維持することができる。
尚、前記支持ピン16A,16Bにより基板Gの周縁部を支持する際、真空ポンプ(図示せず)を駆動させて、ピン上端の吸着パッド18により基板面を真空吸着すれば、より確実に基板周縁部を所定形状に湾曲させることができる。
ここで、基板Gの長手方向の周縁部においては、交互に配置された支持位置高さの異なる支持ピン16A,16Bによって支持されるため、図11(b)に示すように波状に湾曲する形状となる。また、支持ピン16A,16Bは基板周縁部を支持するため、基板中央部が自重により下がるが、基板周縁部は強制的に所定形状に湾曲されるため、基板Gは不安定な形状とならず、一定の湾曲形状を維持することができる。
尚、前記支持ピン16A,16Bにより基板Gの周縁部を支持する際、真空ポンプ(図示せず)を駆動させて、ピン上端の吸着パッド18により基板面を真空吸着すれば、より確実に基板周縁部を所定形状に湾曲させることができる。
前記のように支持ピン16により基板Gが支持されると、ピン昇降駆動部17の駆動により支持ピン16が下降移動され(図10のステップS4)、その上端部がステージ11よりも低い位置まで下降することにより、図11(c)に示すようにステージ11上に基板Gが載置される(図10のステップS5)。
ここで、ステージ11の周縁部には、複数の固定ピン19が設けられているため、基板Gはステージ面に沿って滑ることがなく(位置ずれすることなく)、所定の位置に載置される。
基板Gがステージ11に載置されると、上部チャンバ移動手段12により上部チャンバ10が下降移動され、下部チャンバ9に対し上部チャンバ10が閉じられる(図10のステップS6)。これにより基板Gは、図11(d)に示すように、チャンバ9,10に密閉された処理空間に収容される。
ここで、ステージ11の周縁部には、複数の固定ピン19が設けられているため、基板Gはステージ面に沿って滑ることがなく(位置ずれすることなく)、所定の位置に載置される。
基板Gがステージ11に載置されると、上部チャンバ移動手段12により上部チャンバ10が下降移動され、下部チャンバ9に対し上部チャンバ10が閉じられる(図10のステップS6)。これにより基板Gは、図11(d)に示すように、チャンバ9,10に密閉された処理空間に収容される。
基板Gがチャンバ内に収容されると、真空ポンプ15が作動され、排気口13から排気管14を介して処理空間内の空気が吸引され、処理空間の気圧が所定の真空状態となるまで減圧される。
チャンバ内の気圧が所定値に達すると、所定時間の経過により減圧乾燥処理が実施される(図10のステップS7)。そして、減圧乾燥処理が終了すると、チャンバ内が大気状態に戻された後、上部チャンバ移動手段12により上部チャンバ10が上昇移動され、チャンバが開かれる(図10のステップS8)。
そして、ピン昇降駆動部17の駆動により支持ピン16(16A,16B)が所定の高さまで上昇され(図10のステップS9)、基板Gは搬送アーム7に引き渡されて後段の処理工程に向け搬出される(図10のステップS10)。
チャンバ内の気圧が所定値に達すると、所定時間の経過により減圧乾燥処理が実施される(図10のステップS7)。そして、減圧乾燥処理が終了すると、チャンバ内が大気状態に戻された後、上部チャンバ移動手段12により上部チャンバ10が上昇移動され、チャンバが開かれる(図10のステップS8)。
そして、ピン昇降駆動部17の駆動により支持ピン16(16A,16B)が所定の高さまで上昇され(図10のステップS9)、基板Gは搬送アーム7に引き渡されて後段の処理工程に向け搬出される(図10のステップS10)。
以上のように本発明に係る実施の形態によれば、基板Gをステージ11に載置する際に、ステージ11の周囲に昇降可能に配置されて、その上昇位置において一時的に基板Gの周縁部を支持する複数の支持ピン16は、ステージ11の長手方向に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるようになされている。そのため、前記複数の支持ピン16により基板Gの周縁部を支持した際、基板中央部が自重により下がっても、基板周縁部は前記凹凸状の支持位置に沿って強制的に湾曲され、不安定な状態とはならない。
即ち、基板Gを搬送アーム7から支持ピン16上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピン16が基板Gに接触する順番の違い等)に拘わらず、枚葉処理される基板Gを所定形状に一様に湾曲させた状態で保持することができ、ステージ11上に基板Gを載置する際、所定位置に載置することができる。
また、当然ながら、前記支持ピン16並びに固定ピン19は、基板Gの画素形成領域20の外側の基板周縁部を支持するため、前記ピンとの接触跡に起因するレジスト膜への転写を防止することができる。
即ち、基板Gを搬送アーム7から支持ピン16上に引き渡す際の諸要因(複数の支持ピン16が基板Gに接触する順番の違い等)に拘わらず、枚葉処理される基板Gを所定形状に一様に湾曲させた状態で保持することができ、ステージ11上に基板Gを載置する際、所定位置に載置することができる。
また、当然ながら、前記支持ピン16並びに固定ピン19は、基板Gの画素形成領域20の外側の基板周縁部を支持するため、前記ピンとの接触跡に起因するレジスト膜への転写を防止することができる。
尚、前記実施の形態においては、ステージ11の辺に沿って、互いに支持位置の高さの異なる支持ピン16Aと支持ピン16Bとを交互に配置する構成としたが、それに限らず、更に前記支持ピン16A,16Bとは支持高さの異なる支持ピンを用い、ステージ辺に沿って支持高さが凹凸状になるように構成してもよい。
また、前記実施の形態においては、ステージ11(基板G)の長手方向のみに沿って支持高さの異なる支持ピン16A,16Bを交互に配置するものとしたが、それに限らず、ステージ11(基板G)の短手方向のみ、或いは、ステージ11(基板G)の全周にわたり支持高さが凹凸状になるように支持ピン16を配置してもよい。
また、前記実施の形態においては、ステージ11(基板G)の長手方向のみに沿って支持高さの異なる支持ピン16A,16Bを交互に配置するものとしたが、それに限らず、ステージ11(基板G)の短手方向のみ、或いは、ステージ11(基板G)の全周にわたり支持高さが凹凸状になるように支持ピン16を配置してもよい。
また、前記実施の形態においては、図8,図9に示すように、予め複数の支持ピン16の支持高さに高低差を設け(長さの異なる支持ピン16A、16Bを用いる)、それらを支持するフレーム30をピン昇降駆動部17により昇降させる構成とした。
しかしながら、本発明に係る基板処理装置にあっては、その形態に限定されるものではない。
例えば、各支持ピン16に昇降駆動部(図示せず)を設け、各昇降駆動部により各ピンの上昇距離に差異を持たせ、複数の支持ピン16の支持位置に高低差を形成してもよい。尚、この場合、複数の前記昇降駆動部により支持ピン高低差形成手段が構成される。
しかしながら、本発明に係る基板処理装置にあっては、その形態に限定されるものではない。
例えば、各支持ピン16に昇降駆動部(図示せず)を設け、各昇降駆動部により各ピンの上昇距離に差異を持たせ、複数の支持ピン16の支持位置に高低差を形成してもよい。尚、この場合、複数の前記昇降駆動部により支持ピン高低差形成手段が構成される。
また、前記実施の形態においては、本発明に係る基板処理装置を減圧乾燥ユニットに適用したが、それに限らず、被処理基板をステージ上に載置し、前記基板に対して所定の処理を施すその他の装置にも適用することができる。
1 塗布プロセス部
4 レジスト塗布ユニット
5 減圧乾燥ユニット(基板処理装置)
11 ステージ
16 支持ピン
16A 支持ピン(第1の支持ピン)
16B 支持ピン(第2の支持ピン)
17 ピン昇降駆動部(支持ピン昇降手段)
19 固定ピン
20 画素形成領域
21 真空ポンプ(吸引手段)
G ガラス基板(被処理基板)
4 レジスト塗布ユニット
5 減圧乾燥ユニット(基板処理装置)
11 ステージ
16 支持ピン
16A 支持ピン(第1の支持ピン)
16B 支持ピン(第2の支持ピン)
17 ピン昇降駆動部(支持ピン昇降手段)
19 固定ピン
20 画素形成領域
21 真空ポンプ(吸引手段)
G ガラス基板(被処理基板)
Claims (12)
- 被処理基板をステージ上に載置し、前記被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、
前記被処理基板を載置可能な前記ステージと、前記ステージの周囲に昇降可能に設けられ、上昇位置において前記ステージの上方に突出して前記被処理基板の周縁部を支持する複数の支持ピンと、前記複数の支持ピンを昇降移動させる支持ピン昇降手段とを備え、
前記複数の支持ピンの上昇位置において、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側にそれぞれ設けられた前記複数の支持ピンは、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記複数の支持ピンは、互いに高さの異なる第1の支持ピンと第2の支持ピンとを有し、
前記第1の支持ピンと前記第2の支持ピンとが、前記ステージの辺に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項1に記載された基板処理装置。 - 被処理基板をステージ上に載置し、前記被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、
前記被処理基板を載置可能な前記ステージと、前記ステージの周囲に昇降可能に設けられ、上昇位置において前記ステージの上方に突出して前記被処理基板の周縁部を支持する複数の支持ピンと、前記複数の支持ピンをそれぞれ昇降移動させ、上昇位置において前記複数の支持ピンの間で支持位置の高さに高低差を形成する支持ピン高低差形成手段とを備え、
前記支持ピン高低差形成手段が、前記複数の支持ピンの間で、上昇距離に差異を持たせることにより、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側にそれぞれ設けられた前記複数の支持ピンは、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なることを特徴とする基板処理装置。 - 前記支持ピンの上端には前記被処理基板に吸着可能な吸着パッドが設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載された基板処理装置。
- 前記吸着パッドに連通する吸引手段を備えることを特徴とする請求項4に記載された基板処理装置。
- 前記支持ピンは、前記被処理基板の隅部を除く該基板の周縁部を、下方から支持可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載された基板処理装置。
- 前記ステージの周縁部には、前記被処理基板が載置された際に該基板の周縁部を支持する複数の固定ピンが設けられ、
前記支持ピン昇降手段が前記基板を支持した前記複数の支持ピンを下降移動させることにより前記基板は前記固定ピンを介して前記ステージ上に載置されることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載された基板処理装置。 - 被処理基板をステージ上に載置し、前記被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理方法において、
前記ステージの周囲に沿って昇降可能に設けられ、前記ステージの少なくとも一対の対向する辺側においては、前記ステージの辺に沿って支持位置の高さが凹凸状に異なるように配置された複数の支持ピンを、前記ステージの上方に突出するよう上昇移動させるステップと、
前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップと、
前記複数の支持ピンを下降移動させ、前記ステージ上に前記被処理基板を載置するステップとを実行することを特徴とする基板処理方法。 - 前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップにおいて、
前記支持ピンの上端に設けられた吸着パッドにより基板面を吸着することを特徴とする請求項8に記載された基板処理方法。 - 前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップにおいて、
前記ステージの辺に沿って交互に配置された互いに高さの異なる前記第1の支持ピンと前記第2の支持ピンとにより、前記被処理基板の周縁部を下方から支持することを特徴とする請求項8または請求項9に記載された基板処理方法。 - 前記複数の支持ピンにより前記被処理基板の周縁部を下方から支持するステップにおいて、
前記被処理基板の隅部を除く該基板の周縁部を下方から支持することを特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれかに記載された基板処理方法。 - 前記複数の支持ピンを下降移動させ、前記ステージ上に前記被処理基板を載置するステップにおいて、
前記ステージの周縁部に設けられた複数の固定ピンにより前記被処理基板の周縁部を支持することを特徴とする請求項8乃至請求項11のいずれかに記載された基板処理方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015167159A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置装置及び基板処理装置 |
JP2015228488A (ja) * | 2014-05-03 | 2015-12-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | フィルム状部材の支持装置 |
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101719176B1 (ko) * | 2015-09-11 | 2017-03-23 | 주식회사 선익시스템 | 글라스기판 서포트방법 |
JP6639175B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2020-02-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 乾燥装置及び乾燥処理方法 |
TWI725115B (zh) * | 2016-01-29 | 2021-04-21 | 日商達誼恆股份有限公司 | 基板移載用機器手 |
JP6461235B2 (ja) * | 2017-05-22 | 2019-01-30 | キヤノントッキ株式会社 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
CN109343248A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-02-15 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 真空贴合装置及其脱离显示面板的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08181054A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nikon Corp | ステージ装置及びその制御方法 |
JPH1124236A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Nikon Corp | フォトマスク、フォトマスク支持装置及びフォトマスク支持方法 |
JP2004146625A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Tokyo Electron Ltd | ベーキング方法及びベーキング装置 |
JP2008112902A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 基板の支持方法及び支持構造 |
JP2008235472A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2011100917A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Nikon Corp | 基板受け渡し装置、露光装置、デバイス製造方法、及び基板受け渡し方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3295620B2 (ja) * | 1996-08-08 | 2002-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP3989384B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2007-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP4799325B2 (ja) * | 2006-09-05 | 2011-10-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受け渡し装置,基板処理装置,基板受け渡し方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08181054A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nikon Corp | ステージ装置及びその制御方法 |
JPH1124236A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Nikon Corp | フォトマスク、フォトマスク支持装置及びフォトマスク支持方法 |
JP2004146625A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Tokyo Electron Ltd | ベーキング方法及びベーキング装置 |
JP2008112902A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 基板の支持方法及び支持構造 |
JP2008235472A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2011100917A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Nikon Corp | 基板受け渡し装置、露光装置、デバイス製造方法、及び基板受け渡し方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015167159A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置装置及び基板処理装置 |
JP2015228488A (ja) * | 2014-05-03 | 2015-12-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | フィルム状部材の支持装置 |
US11243476B2 (en) | 2018-04-26 | 2022-02-08 | Asml Netherlands B.V. | Stage apparatus, lithographic apparatus, control unit and method |
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