JP6596396B2 - 基板の洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
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Description
<洗浄方法>
図1は、第1実施形態に係る基板の洗浄方法の一例を示す流れ図である。図2は、テンプレートの一例を示す模式断面図である。図3(a)〜(f)は、第1実施形態に係る基板の洗浄方法の一例を示す模式断面図である。
被処理基板を、洗浄装置の処理チャンバー内に搬入する。図2に示すように、被処理基板の一例は、例えば、ナノインプリントリソグラフィに使用されるテンプレート10である。
図1中のステップST1、および図3(a)に示すように、テンプレート10を、洗浄装置のチャンバー(図示せず)内に設けられたステージ11上に載置する。ステージ11の載置面11aには、リフトピン12が設けられている。リフトピン12は、載置面11aに対して上下方向に上下動する。テンプレート10は、例えば、載置面11a上にリフトピン12によって支持される。
図1中のステップST2、および図3(b)に示すように、テンプレート10を回転させた状態で、凝固対象液13を、テンプレート(被処理基板)10上に供給する。これにより、液膜14が、テンプレート10上のパターン面1a上に、例えば、パドル(puddle)状に形成される。凝固対象液13の一例は、純水(DeIonized Water:DIW)である。凝固対象液13には、DIWの他、アルカリ性溶液、有機溶媒、および界面活性剤入り水溶液なども用いることができる。
図1中のステップST3、および図3(c)に示すように、冷却ガス15を、例えば、テンプレート10の裏面に吐出して液膜14を冷却し、凝固対象液を凝固させる。冷却ガス15の一例は、窒素(N2)ガスである。液膜14の冷却は、冷却ガス15の吐出の他、チャンバー内を低温に保つ、いわゆる“冷蔵庫方式”であってもよい。
・液膜14に刺激を与えること
で、変動させることができる。
(1) テンプレート10の回転速度を変えること
(2) 液膜14に液を滴下すること
(3) 液膜14に音波を与えること
(4) テンプレート10を振動させること
(5) 液膜14を振動させること
(6) テンプレート10を収容するチャンバー内の圧力を変えること
で、変動させることができる。
図1中のステップST4および図3(d)に示すように、テンプレート10を回転させた状態で、融解液16を、凝固した液膜14aに供給し、凝固対象液の凝固体を、融解する。融解液16の一例は、DIWである。融解液16は、流体であればよい。流体は、気体であってもよい。流体は、温度調節されていてもよい。流体は、凝固した液膜14aに供給するばかりでなく、凝固した液膜14aに接触させるだけもよい。融解液16を用いずに、凝固した液膜14を自然解凍させてもよい。
図1中のステップST5および図3(e)に示すように、テンプレート10を回転させた状態で、リンス液17を、テンプレート10に供給し、テンプレート(被処理基板)10をリンスする。リンス液17の一例は、DIWである。リンス液17は、融解した液膜14とともに、例えば、テンプレート10の回転速度を上げることで、テンプレート10のパターン面1a上から除去される。
図1中のステップST6および図3(f)に示すように、例えば、テンプレート10を回転させた状態で、テンプレート(被処理基板)10を、乾燥させる。乾燥終了後、テンプレート10は、洗浄装置の処理チャンバー内から搬出される。これにより、第1実施形態に係る基板の洗浄方法の一例が終了する。
図6は、参考例における時間と液膜14の温度との関係を概略的に示す図である。図7は、実施形態における時間と液膜14の温度との関係を概略的に示す図である。
参考例は、液膜14を、過冷却の状態とせずに凝固させる場合である。
図6に示す参考例では、液膜14は、温度が凝固点(0℃)に達すると凝固しだす。参考例では、約15nm以下のサイズのパーティクル(以下、微小パーティクルという)の数は、洗浄前約20個が、洗浄後約19個に減少した。参考例の除去率は、約5%である。
図7に示す実施形態では、液膜14の温度が凝固点よりも低い設定温度Bに達した時点で、液膜14の内部圧力を変動させる。変動させた後、液膜14は、凝固しだす。実施形態では、微小パーティクルの数は、洗浄前約20個が、洗浄後約1〜3個に減少した。図7に示す設定温度“A”は、図4に示した設定温度である。設定温度“A”は、設定温度“B”よりも低い。
第2実施形態は、第1実施形態に係る基板の洗浄方法を実行することが可能な洗浄装置の例である。以下、洗浄装置の第1例〜第6例を説明する。
図8は第1例に係る基板の洗浄装置を概略的に示す模式断面図である。
第1例に係る洗浄装置20aは、液膜14の内部圧力を、
(1) テンプレート10の回転速度を変えること
で変動させることが可能な例である。
図9は第2例に係る基板の洗浄装置を概略的に示す模式断面図である。図9に示す断面は、図8に示した断面に対応する。
第2例に係る洗浄装置20bは、液膜14の内部圧力を、
(2) 液膜14に液を滴下すること
で変動させることが可能な例である。
ころは、第2液供給ノズル33を、さらに備えていること、である。
図10は第3例に係る基板の洗浄装置を概略的に示す模式断面図である。図10に示す断面は、図8に示した断面に対応する。
第3例に係る洗浄装置20cは、液膜14の内部圧力を、
(3) 液膜14に音波を与えること
で変動させることが可能な例である。
図11は第4例に係る基板の洗浄装置を概略的に示す模式断面図である。図11に示す断面は、図8に示した断面に対応する。
第4例に係る洗浄装置20dは、液膜14の内部圧力を、
(4) テンプレート10を振動させること
で変動させることが可能な例である。
図12は第5例に係る基板の洗浄装置を概略的に示す模式断面図である。図12に示す断面は、図8に示した断面に対応する。
第5例に係る洗浄装置20eは、液膜14の内部圧力を、
(5) 液膜14を振動させること
で変動させることが可能な例である。
図13は第6例に係る基板の洗浄装置を概略的に示す模式断面図である。図13に示す断面は、図8に示した断面に対応する。
第6例に係る洗浄装置20fは、液膜14の内部圧力を、
(6) テンプレート10を収容するチャンバー内の圧力を変えること
で変動させることが可能な例である。
Claims (9)
- 凝固点以上の温度の凝固対象液を液体の状態で、被処理基板上に供給する工程と、
前記被処理基板上に供給された前記凝固対象液を、凝固点より低い温度に冷却し、過冷却状態にする工程と、
前記凝固対象液の凝固前であって設定温度に達した時点で前記凝固対象液の内部圧力を変動させ、前記被処理基板上の前記凝固対象液を凝固させる工程と、
前記被処理基板上の前記凝固対象液の凝固体を融解させる工程と、
を備えた基板の洗浄方法。 - 前記凝固対象液の内部圧力は、前記凝固対象液に刺激を与えることで変動させる、請求項1に記載の基板の洗浄方法。
- 前記被処理基板の回転速度を変えることで、前記凝固対象液の内部圧力を変動させる請求項2に記載の基板の洗浄方法。
- 前記凝固対象液に第2の液を滴下することで、前記凝固対象液の内部圧力を変動させる請求項2に記載の基板の洗浄方法。
- 前記凝固対象液に音波を与えることで、前記凝固対象液の内部圧力を変動させる請求項2に記載の基板の洗浄方法。
- 前記凝固対象液を振動させることで、前記凝固対象液の内部圧力を変動させる請求項2に記載の基板の洗浄方法。
- 前記被処理基板を収容するチャンバー内の圧力を変えることで、前記凝固対象液の内部圧力を変動させる請求項2に記載の基板の洗浄方法。
- 前記供給する工程は、前記被処理基板を冷却した状態で行う、請求項1〜7のいずれか1つに記載の基板の洗浄方法。
- 被処理基板上に凝固対象液を供給することが可能な液供給機構と、
前記被処理基板を回転させることが可能な駆動機構と、
前記被処理基板に冷却ガスを供給することが可能な冷却ガス供給機構と、
前記凝固対象液の温度を測定することが可能な温度計と、
凝固点以上の温度の前記凝固対象液を液体の状態で前記被処理基板上に供給し、前記被処理基板上に供給された前記凝固対象液を、凝固点より低い温度に冷却し、過冷却状態にし、前記凝固対象液の凝固前であって設定温度に達した時点で前記凝固対象液の内部圧力を変動させ、前記被処理基板上の前記凝固対象液を凝固させる制御装置と、
を備えた、洗浄装置。
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