JP6510768B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
図1〜図2を参照して、本発明の第1実施形態に係る露光装置1について説明する。露光装置1は、いわゆるロールトゥロール方式の露光装置であり、長尺ワークWの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、長尺ワークWを供給する供給部10と、長尺ワークWの表面にパターンを露光して電子回路を形成する露光部30と、露光済みの長尺ワークWを回収する巻取り部20とを備えている。
長尺ワークWは、例えば、携帯電話やモバイル機器等に用いられる電子回路基板(プリント回路基板)のベース素材となる感光性長尺フィルム(表面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム)をロール状にしたものである。フォトレジストなどの感光材料が塗布された長尺ワークWは、銅張積層板などによるシート状に形成され、数十〜数百メートルの長さを有する。以下では、長尺ワークWの表裏面のうち、図中の上方を向く面を「表面」と呼び、図中の下方を向く面を「裏面」と呼ぶ。
供給部10は、長尺ワークWの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、供給リール11、ガイドローラ12、供給側ダンサーローラ13、ガイドローラ14、供給側制動ローラ15、及び端面位置センサ16を備え、長尺ワークWを露光部30に供給するためのワーク供給系を構成する。巻取り部20は、長尺ワークWの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、巻取り側制動ローラ25、ガイドローラ24、巻取り側ダンサーローラ23、ガイドローラ22、及び巻取リール21を備え、露光部30で露光された長尺ワークWを巻き取るためのワーク巻取系を構成する。
露光部30は、供給側制動ローラ15及び巻取り側制動ローラ25の間に配置されている。露光部30は、露光ステージ31、アライメントカメラ41及び露光ユニット51を備えている。
図3a〜図3jの工程図を参照して、露光装置1による露光搬送動作について詳細に説明する。なお、図中における長尺ワークW近傍の矢印は長尺ワークWの移動を表す。また、長尺ワークW上の点Aは第1回目の露光の際の先頭位置を示し、点Bは第1回目の露光の際の終端位置かつ、第2回目の露光の際の先頭位置を示すものである。
第2実施形態は、露光装置1の構成については第1実施形態と同じである。本実施形態では、露光装置1による動作のステップS6終了後に、以下のステップに分岐する。
2 架台
10 投入部
11 供給リール
12,14 ガイドローラ
13 供給側ダンサーローラ
15 供給側制動ローラ
16 端面位置センサ
21 巻取リール
22,24 ガイドローラ
23 巻取り側ダンサーローラ
25 巻取り側制動ローラ
30 露光部
31 露光ステージ
32 ステージ移動部
33 ガイドレール
34 昇降駆動手段
35 ワーククランプ機構
40 アライメント部
41 アライメントカメラ
42 モニター
50 露光処理部
51 露光ユニット
W 長尺ワーク(感光性基板)
A 長尺ワークW上の第1回目の露光開始位置(点A)
B 長尺ワークW上の第2回目の露光開始位置(点B)
Claims (3)
- 供給リールから巻取りリールまで、長尺で可塑性のある被露光体を搬送する搬送手段と、
前記供給リールから前記巻取りリールにいたる間に設けられた露光手段と、
前記被露光体の一部分を保持する露光ステージと、
前記露光ステージを前記搬送手段の前記被露光体の搬送方向に沿って往復移動させる移動手段とを備え、
前記露光手段と前記露光ステージとの相対移動により前記被露光体にパターンを露光する露光装置であって、
前記搬送手段が、
前記供給リールの下流側かつ前記露光手段の上流側に設けられ、前記被露光体を制動する供給側制動ローラと、
前記露光手段の下流側かつ前記巻取りリールの上流側に設けられ、前記被露光体を制動する巻取り側制動ローラとを備え、
前記供給側制動ローラに前記供給側制動ローラを回転駆動するローラ駆動手段を設け、
前記供給側制動ローラと前記巻取り側制動ローラとに前記被露光体を制動させずに前記露光ステージが搬送開始位置から搬送終了位置まで前記被露光体を保持した状態で移動する間に前記露光手段が前記被露光体にパターンを露光し、
前記露光手段の露光終了後、前記供給側制動ローラと前記巻取り側制動ローラが前記被露光体を制動し、
前記露光ステージが前記搬送終了位置から前記搬送開始位置まで前記被露光体を保持せずに移動する際に、前記ローラ駆動手段が前記供給側制動ローラを回転駆動して前記被露光体を供給側に移動させることを特徴とする露光装置。 - 前記露光ステージは、前記被露光体の搬送方向に沿った端面を前記露光ステージに押圧するクランプ機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記供給側制動ローラと前記露光手段の間の前記被露光体上方に設けられた撮像手段を備える露光位置補正手段と、
前記撮像手段が撮像した画像を表示可能な表示手段とを備え、
前記撮像手段が前記被露光体に設けられた位置決めマークを撮像する撮像ステップと、
前記露光手段が、前記撮像手段が撮像した画像に基づいて露光データを補正する露光位置補正ステップと、
前記露光手段が補正された前記露光データに従って、前記被露光体にパターンを露光する露光ステップと、
前記露光ステップの終了後に、前記撮像手段を用いて前記被露光体に露光されたパターンを確認する確認ステップとを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
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